JPH02150009A - 積層磁器コンデンサ - Google Patents
積層磁器コンデンサInfo
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- JPH02150009A JPH02150009A JP63303599A JP30359988A JPH02150009A JP H02150009 A JPH02150009 A JP H02150009A JP 63303599 A JP63303599 A JP 63303599A JP 30359988 A JP30359988 A JP 30359988A JP H02150009 A JPH02150009 A JP H02150009A
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Landscapes
- Ceramic Capacitors (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、積層磁器コンデンサに関するものである。
(従来の技術)
積層磁器コンデンサは、内部電極としての電極材料を印
刷したセラミックグリーンシートを、順次積層し焼成し
てなるものであり、上記電極d 材料としては、従来、錦、PtSAg−Pd等の貴金属
が用いられていた。しかしながら、これら従来の積層磁
器コンデンサでは、内部電極の層数が増えるにつれて、
コンデンサの体積に対して内部電極の占める割合が増加
し、コンデンサのコストにも大きく影響するようになっ
てきた。
刷したセラミックグリーンシートを、順次積層し焼成し
てなるものであり、上記電極d 材料としては、従来、錦、PtSAg−Pd等の貴金属
が用いられていた。しかしながら、これら従来の積層磁
器コンデンサでは、内部電極の層数が増えるにつれて、
コンデンサの体積に対して内部電極の占める割合が増加
し、コンデンサのコストにも大きく影響するようになっ
てきた。
このような理由から、最近では、内部電極として安価な
卑金属を用いた積層磁器コンデンサが種々検討されてお
り、例えば、内部電極としてN1、re、 Co等の卑
金属材料を用い、また、外部電極としてはAg1Ag−
Pd等の貴金属粉末にガラスフリットを加えたペースト
を塗布し、焼き付けるものや、旧、00% Cu等の金
属粉末にガラスフリットを加えたペーストを焼き付ける
ものなどが提案されている。
卑金属を用いた積層磁器コンデンサが種々検討されてお
り、例えば、内部電極としてN1、re、 Co等の卑
金属材料を用い、また、外部電極としてはAg1Ag−
Pd等の貴金属粉末にガラスフリットを加えたペースト
を塗布し、焼き付けるものや、旧、00% Cu等の金
属粉末にガラスフリットを加えたペーストを焼き付ける
ものなどが提案されている。
また、これらの積層磁器コンデンサを回路基板等に実装
する際の半田付け性を向上させる目的から、上記焼き付
け電極の表面に更にN1メッキあるいは半田メッキを施
すことも検討されている。
する際の半田付け性を向上させる目的から、上記焼き付
け電極の表面に更にN1メッキあるいは半田メッキを施
すことも検討されている。
(発明が解決しようとする課題)
しかしながら、外部電極として、上記前者のように、A
g、 Ag−Pd等の電極材料ペーストを焼き付けた場
合、内部電極とのなじみが悪いために、内部電極と外部
電極との接続部分に接続不良が生じ、静電容量の低下や
、誘電損失の増大が起こり易かった。
g、 Ag−Pd等の電極材料ペーストを焼き付けた場
合、内部電極とのなじみが悪いために、内部電極と外部
電極との接続部分に接続不良が生じ、静電容量の低下や
、誘電損失の増大が起こり易かった。
また、外部電極の電極材料として、後者のように、NI
s Cos Cu等を選択した場合は、大気中で焼き付
けると、外部電極に接触する部分の内部電極が酸化され
て、接続不良を生じたり、あるいは高抵抗化し、静電容
量の低下や、誘電損失の増大が生じてしまう。
s Cos Cu等を選択した場合は、大気中で焼き付
けると、外部電極に接触する部分の内部電極が酸化され
て、接続不良を生じたり、あるいは高抵抗化し、静電容
量の低下や、誘電損失の増大が生じてしまう。
このため、外部電極の電極材料として、N1、Co、
Cu等を選択した場合は、N2、Ar等の中性ガス雰囲
気中、あるいは、N2に少量のN2を混合した還元性ガ
ス雰囲気中で焼き付けなればならなかったが、このよう
に、中性あるいは還元性ガス中で焼き付けを行なう場合
、電極材料ペースト中に含まれるビヒクル類の分解が充
分行なわれず、残留した有機物のために、電極層の緻密
化が妨げられ、電極層の引張り強度が低下するという問
題が発生していた。
Cu等を選択した場合は、N2、Ar等の中性ガス雰囲
気中、あるいは、N2に少量のN2を混合した還元性ガ
ス雰囲気中で焼き付けなればならなかったが、このよう
に、中性あるいは還元性ガス中で焼き付けを行なう場合
、電極材料ペースト中に含まれるビヒクル類の分解が充
分行なわれず、残留した有機物のために、電極層の緻密
化が妨げられ、電極層の引張り強度が低下するという問
題が発生していた。
そこで、従来は、電極層の焼き付けを行なう前に、予め
電極材料中に含まれるビヒクル類を除去するための脱脂
工程を設けなければならず、作業工程の複雑化が避けら
れなかった。
電極材料中に含まれるビヒクル類を除去するための脱脂
工程を設けなければならず、作業工程の複雑化が避けら
れなかった。
そこで、本発明の目的は、上記従来コンデンサの問題点
を解決して、接続不良による電気的特性の低下を生ずる
ことなく、また、外部電極の焼き付けを大気中において
容易に行なうことのできる積層磁器コンデンサを提供す
ることにある。
を解決して、接続不良による電気的特性の低下を生ずる
ことなく、また、外部電極の焼き付けを大気中において
容易に行なうことのできる積層磁器コンデンサを提供す
ることにある。
(課題を解決するための手段)
本願の第1の発明による積層磁器コンデンサは、内部電
極が卑金属からなり、外部電極として、AgとSnとガ
ラスフリットとを含む焼き付け電極層を備えていること
を特徴とするものである。
極が卑金属からなり、外部電極として、AgとSnとガ
ラスフリットとを含む焼き付け電極層を備えていること
を特徴とするものである。
上記積層磁器コンデンサは、上記焼き付け電極層上に、
Nlx Cus Snおよび半田のうちの少なくとも1
種で形成されたメッキ層を更に備えていることが望まし
い。
Nlx Cus Snおよび半田のうちの少なくとも1
種で形成されたメッキ層を更に備えていることが望まし
い。
本願の第2の発明による積層磁器コンデンサは、内部電
極が卑金属からなり、外部電極として、AgとSnと、
旧、Fes Co5Crのうちから選ばれる少なくとも
1種と、ガラスフリットとを含む焼き付け電極層を備え
ていることを特徴とするものである。
極が卑金属からなり、外部電極として、AgとSnと、
旧、Fes Co5Crのうちから選ばれる少なくとも
1種と、ガラスフリットとを含む焼き付け電極層を備え
ていることを特徴とするものである。
この積層磁器コンデンサは、更に、上記焼き付け電極層
上に、旧、CuSSnおよび半田のうちの少なくとも1
giで形成されたメッキ層を備えていることが望ましい
。
上に、旧、CuSSnおよび半田のうちの少なくとも1
giで形成されたメッキ層を備えていることが望ましい
。
(作 用)
本願の第1の発明による積層磁器コンデンサにおいては
、上記したように、内部電極が卑金属からなり、外部電
極として、AgとSnとガラスフリットとを含む焼き付
け電極層を備えているので、焼き付け電極層に含まれる
Snと、内部電極の卑金属との濡れ性が良いために、内
部電極と外部電極との接続部分が良好に接続され、かつ
、その際、焼き付け電極中に含まれるAgの働きにより
、大気中焼き付け時の内部電極と外部電極との接続部分
の酸化、および外部電極中に含まれる上記Snの酸化が
防止できる。
、上記したように、内部電極が卑金属からなり、外部電
極として、AgとSnとガラスフリットとを含む焼き付
け電極層を備えているので、焼き付け電極層に含まれる
Snと、内部電極の卑金属との濡れ性が良いために、内
部電極と外部電極との接続部分が良好に接続され、かつ
、その際、焼き付け電極中に含まれるAgの働きにより
、大気中焼き付け時の内部電極と外部電極との接続部分
の酸化、および外部電極中に含まれる上記Snの酸化が
防止できる。
本願の第2の発明による積層磁器コンデンサにおいては
、上記したように、内部電極が卑金属からなり、外部電
極として、AgとSnと、Ni1FeSCoSCrのう
ちから選ばれる少なくとも1種と、ガラスフリットとを
含む焼き付け電極層を備えているので、焼き付け電極層
に含まれるSnおよびN1、FC,Cos Crと、内
部電極の卑金属との濡れ性が良いために、内部電極と外
部電極との接続部分が良好に接続され、かつ、その際、
焼き付け電極中に含まれるAgの働きにより、大気中焼
き付け時の内部電極と外部電極との接続部分の酸化、お
よび外部電極中に含まれる上記SnおよびN1、Pes
Go、C「の酸化が防止できる。
、上記したように、内部電極が卑金属からなり、外部電
極として、AgとSnと、Ni1FeSCoSCrのう
ちから選ばれる少なくとも1種と、ガラスフリットとを
含む焼き付け電極層を備えているので、焼き付け電極層
に含まれるSnおよびN1、FC,Cos Crと、内
部電極の卑金属との濡れ性が良いために、内部電極と外
部電極との接続部分が良好に接続され、かつ、その際、
焼き付け電極中に含まれるAgの働きにより、大気中焼
き付け時の内部電極と外部電極との接続部分の酸化、お
よび外部電極中に含まれる上記SnおよびN1、Pes
Go、C「の酸化が防止できる。
また、上記2つの発明の積層磁器コンデンサの焼き付け
電極層の表面に、Ni5Cu、 Snおよび・半田のう
ちの少なくとも1種で形成されたメッキ層を施せば、実
装時の半田濡れ性および耐半111性を向上させること
ができる。
電極層の表面に、Ni5Cu、 Snおよび・半田のう
ちの少なくとも1種で形成されたメッキ層を施せば、実
装時の半田濡れ性および耐半111性を向上させること
ができる。
(実施例)
以下、添付図面を参照しつつ本発明の実施例による積層
磁器コンデンサについて説明する。
磁器コンデンサについて説明する。
図面は、本発明の実施例による積層磁器コンデンサの断
面図である。
面図である。
積層磁器コンデンサの構造
この積層磁器コンデンサは、卑金属であるNlで内部電
極1が形成された誘電体2を複数枚積層して形成された
コンデンサチップ本体3と、このコンデンサチップ本体
3の側面に形成された外部電極4とを備えている。
極1が形成された誘電体2を複数枚積層して形成された
コンデンサチップ本体3と、このコンデンサチップ本体
3の側面に形成された外部電極4とを備えている。
上記外部電極4は、金属とガラス成分からなるペースト
の焼結体で形成された第1層5と、メッキ層である第2
層6および第3層7からなっている。
の焼結体で形成された第1層5と、メッキ層である第2
層6および第3層7からなっている。
上記第1層5は、内部電極1と接続しやすく、大気焼き
付けが可能な金属成分と、この金属成分と濡れ性の良い
ガラス成分とから構成される。
付けが可能な金属成分と、この金属成分と濡れ性の良い
ガラス成分とから構成される。
具体的に、上記金属成分としては、主成分としてAg%
Snを少なくとも含み、更に旧、Fe、 Co5Cr等
の卑金属を組み合せたものが望ましい。また、上記ガラ
ス成分は、大気焼き付け性を考慮して設定されるが、ホ
ウケイ酸亜鉛系、鉛系、バリウム系等、多種の中から、
用途に応じて幅広く選択することができる。
Snを少なくとも含み、更に旧、Fe、 Co5Cr等
の卑金属を組み合せたものが望ましい。また、上記ガラ
ス成分は、大気焼き付け性を考慮して設定されるが、ホ
ウケイ酸亜鉛系、鉛系、バリウム系等、多種の中から、
用途に応じて幅広く選択することができる。
上記第2層6および第3層7は、上記第1層5の大気焼
き付けの際に、金属成分が酸化されて、劣化する半田に
対する濡れ性を改善し、またはこの濡れ性および耐半田
性を向上させるためのものである。したがって、第2層
6は、N1またはCuを材料として、一方、第3層7は
、Snまたは半田を材料として、無電解および電解°メ
ッキ法を使用して形成される。
き付けの際に、金属成分が酸化されて、劣化する半田に
対する濡れ性を改善し、またはこの濡れ性および耐半田
性を向上させるためのものである。したがって、第2層
6は、N1またはCuを材料として、一方、第3層7は
、Snまたは半田を材料として、無電解および電解°メ
ッキ法を使用して形成される。
積層磁器コンデンサの製造方法
先ず、上記コンデンサチップ本体3は、卑金属であるN
iで内部電極1が形成された誘電体2を曳数枚積層し、
これを焼成することによって形成される。
iで内部電極1が形成された誘電体2を曳数枚積層し、
これを焼成することによって形成される。
次に、外部電極4について説明すると、この外部電極4
の形成は、先ず第1層5を形成するための上記ペースト
の調整から行なわれる。このペーストの調整は、Ag粉
末と、Sn粉末と、ガラス粉末とを、lO〜89:10
〜70;1〜20の割合で秤量した後、有機バインダー
溶液を全重量に対して20〜30%の割合で添加し、こ
れを3本ロールミルで混合して行なわれる。このペース
トを調整する際には、旧、VeSCo、 Crのうちか
ら選ばれる少なくとも1種の粉末を前記Sn粉末との合
計量が前記Sn粉末の配合割合の範囲内で混合してもよ
い。
の形成は、先ず第1層5を形成するための上記ペースト
の調整から行なわれる。このペーストの調整は、Ag粉
末と、Sn粉末と、ガラス粉末とを、lO〜89:10
〜70;1〜20の割合で秤量した後、有機バインダー
溶液を全重量に対して20〜30%の割合で添加し、こ
れを3本ロールミルで混合して行なわれる。このペース
トを調整する際には、旧、VeSCo、 Crのうちか
ら選ばれる少なくとも1種の粉末を前記Sn粉末との合
計量が前記Sn粉末の配合割合の範囲内で混合してもよ
い。
上記ペーストを、焼成済みの上記コンデンサチップ本体
3の側面に、図面に示したようにして塗布し、乾燥した
後、大気中で600〜850℃で焼き付けを行なって、
外部電極4の上記第1層5を形成する。
3の側面に、図面に示したようにして塗布し、乾燥した
後、大気中で600〜850℃で焼き付けを行なって、
外部電極4の上記第1層5を形成する。
上記第2層6および第3層7は、無電解および電解メッ
キ等をバレルメッキで行なって、上記第1層5上に形成
される。
キ等をバレルメッキで行なって、上記第1層5上に形成
される。
発明の効果を確認するための試料の作製この試料とする
内部電極に旧を用いた積層磁器コンデンサとしては、例
えば、特公昭H−20850号、特公昭Go−2085
1号、特公昭61−14007号、特公昭81−146
08号、特公昭81−14609号、特公昭6に一14
810号、特公昭81−14811号、特公昭62−2
4388号、特開昭[12−131412号、特開昭8
2−11413号、特開昭62−131414号、特開
昭62−131415号、特開昭82−157604号
、特開昭82−157605号、特開昭82−1576
06号、および特開昭82−157607号公報等に記
載されている誘電体磁器組成物を用いたものを使用する
事ができる。
内部電極に旧を用いた積層磁器コンデンサとしては、例
えば、特公昭H−20850号、特公昭Go−2085
1号、特公昭61−14007号、特公昭81−146
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2−11413号、特開昭62−131414号、特開
昭62−131415号、特開昭82−157604号
、特開昭82−157605号、特開昭82−1576
06号、および特開昭82−157607号公報等に記
載されている誘電体磁器組成物を用いたものを使用する
事ができる。
誘電体材料としては、特公昭80−20851号公報に
開示されているように、組成式(Bao、 90 C
ao、 ob Sro、 04) (Tlo、 8
2 Zro、 +g) 03からなる主成分に対して
、Li20−11aO−CaO−3rO−8102から
なるガラス成分を1.0重量%添加したものを用意した
。誘電体材料と有機バインダ、分散剤、消泡剤の混合水
溶液から原料スラリを作製し、ドクターブレード法によ
り厚さ40μmのセラミックグリーンシートを得た。こ
のセラミックグリーンシート上に、内部電極となる旧ペ
ーストを印刷した後、内部電極が互いに対向するように
、40枚のセラミックグリーンシートを積層し、熱圧着
した後、還元雰囲気中、1,150℃で焼成し、外形寸
法、3.15+o+s X 2.45+om X 1.
15關の評価用試料チップを作製した。
開示されているように、組成式(Bao、 90 C
ao、 ob Sro、 04) (Tlo、 8
2 Zro、 +g) 03からなる主成分に対して
、Li20−11aO−CaO−3rO−8102から
なるガラス成分を1.0重量%添加したものを用意した
。誘電体材料と有機バインダ、分散剤、消泡剤の混合水
溶液から原料スラリを作製し、ドクターブレード法によ
り厚さ40μmのセラミックグリーンシートを得た。こ
のセラミックグリーンシート上に、内部電極となる旧ペ
ーストを印刷した後、内部電極が互いに対向するように
、40枚のセラミックグリーンシートを積層し、熱圧着
した後、還元雰囲気中、1,150℃で焼成し、外形寸
法、3.15+o+s X 2.45+om X 1.
15關の評価用試料チップを作製した。
上記のようにして作製された評価用試料チップの側面に
、以下に説明するようにして、外部電極4を形成して、
本発明の実施例によるサンプル1〜38を作製した。
、以下に説明するようにして、外部電極4を形成して、
本発明の実施例によるサンプル1〜38を作製した。
外部電極の第1層を形成するにあたって、先ず第1表に
示す組成比の粉末材料を用意し、これらを混合した後、
有機バインダ溶液を粉末に対して、15〜35重量パー
セントの割合で添加し、3本ロールミルで混合して、外
部電極の第1層用のペーストを作成した。粘度の調整は
、有機溶剤で行なう。このペーストを側面に塗布した評
価用試料チップを大気中で、600〜850℃で60分
程度焼き付け、外部電極の第1層を形成した。この第1
層の焼成後の膜厚は、平面部で60〜8J+m、角部で
10〜30#I11であった。
示す組成比の粉末材料を用意し、これらを混合した後、
有機バインダ溶液を粉末に対して、15〜35重量パー
セントの割合で添加し、3本ロールミルで混合して、外
部電極の第1層用のペーストを作成した。粘度の調整は
、有機溶剤で行なう。このペーストを側面に塗布した評
価用試料チップを大気中で、600〜850℃で60分
程度焼き付け、外部電極の第1層を形成した。この第1
層の焼成後の膜厚は、平面部で60〜8J+m、角部で
10〜30#I11であった。
この第1層の上に、第2層として、NlおよびCuから
選ばれる無電解ないしは電解メッキ層を設け、更に、そ
の上に第3層として、電解錫または電解半田(Sn−P
b)メッキ層を形成し、サンプルを作製した。
選ばれる無電解ないしは電解メッキ層を設け、更に、そ
の上に第3層として、電解錫または電解半田(Sn−P
b)メッキ層を形成し、サンプルを作製した。
また、第1表に示したように、ペーストの組成を本発明
のものとは変えて、本発明のサンプルの方法とはほぼ同
一の作製方法で比較例1〜8を作製した。
のものとは変えて、本発明のサンプルの方法とはほぼ同
一の作製方法で比較例1〜8を作製した。
(以下余白)
試料の測定
以上のようにして得られたサンプルおよび比較例のチッ
プコンデンサを、室温で、周波数IK1(z、入力電圧
IVで、静電容量、誘電損失を測定した。また、直流電
圧toovを20秒間印加し、絶縁抵抗値をaP1定し
た。更に、半田耐熱性の評価は、試料を300℃および
330℃の半田溶液中に、3秒間浸漬し、電気特性およ
び外観を調べた。
プコンデンサを、室温で、周波数IK1(z、入力電圧
IVで、静電容量、誘電損失を測定した。また、直流電
圧toovを20秒間印加し、絶縁抵抗値をaP1定し
た。更に、半田耐熱性の評価は、試料を300℃および
330℃の半田溶液中に、3秒間浸漬し、電気特性およ
び外観を調べた。
更にまた、外部電極の固若力評価試験として、試料を銅
配線ガラスエポキシ基板に半田付けし、裏から該試料を
押し、破壊時の強度を調べた。
配線ガラスエポキシ基板に半田付けし、裏から該試料を
押し、破壊時の強度を調べた。
結果を第1表に示した。
この第1表から分かるように、本実施例のサンプルは、
静電容量、誘電損失、絶縁抵抗値、半田耐熱性、強度の
全ての点で満足のゆ(ものであった。
静電容量、誘電損失、絶縁抵抗値、半田耐熱性、強度の
全ての点で満足のゆ(ものであった。
これに対して、比較例のものは、例えば静電容量が極め
て低かったり、強度の点で満足がゆかないものであった
。なお、比較例においては、静電容量の点で満足のゆか
ないものについては、他の試験は行なわなかった。
て低かったり、強度の点で満足がゆかないものであった
。なお、比較例においては、静電容量の点で満足のゆか
ないものについては、他の試験は行なわなかった。
(発明の効果)
以上説明したように、本発明によれば、積層磁器コンデ
ンサの外部電極の焼き付けを大気中で容易に行なえるば
かりでなく、製品としての積層磁器コンデンサも静電容
量等の電気的特性が良好なものであるととともに、接続
強度の点でも満足のゆくものである。
ンサの外部電極の焼き付けを大気中で容易に行なえるば
かりでなく、製品としての積層磁器コンデンサも静電容
量等の電気的特性が良好なものであるととともに、接続
強度の点でも満足のゆくものである。
図は、本発明の実施例による積層磁器コンデンサの断面
図である。 1・・・内部電極 2・・・誘電体 4・・・外部電極 5・・・第 1 層 6・・・第2層 7・・・第3層
図である。 1・・・内部電極 2・・・誘電体 4・・・外部電極 5・・・第 1 層 6・・・第2層 7・・・第3層
Claims (3)
- 1.内部電極が卑金属からなり、外部電極として、Ag
とSnとガラスフリットとを含む焼き付け電極層を備え
ていることを特徴とする積層磁器コンデンサ。 - 2.内部電極が卑金属からなり、外部電極として、Ag
とSnと、Ni、Fe、Co、Crのうちから選ばれる
少なくとも1種と、ガラスフリットとを含む焼き付け電
極層を備えていることを特徴とする積層磁器コンデンサ
。 - 3.更に、焼き付け電極層上に、Ni、Cu、Snおよ
び半田のうちの少なくとも1種で形成されたメッキ層を
備えていることを特徴とする請求項第1項又は第2項記
載の積層磁器コンデンサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63303599A JPH0817138B2 (ja) | 1988-11-30 | 1988-11-30 | 積層磁器コンデンサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63303599A JPH0817138B2 (ja) | 1988-11-30 | 1988-11-30 | 積層磁器コンデンサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02150009A true JPH02150009A (ja) | 1990-06-08 |
JPH0817138B2 JPH0817138B2 (ja) | 1996-02-21 |
Family
ID=17922939
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63303599A Expired - Lifetime JPH0817138B2 (ja) | 1988-11-30 | 1988-11-30 | 積層磁器コンデンサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0817138B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014086715A (ja) * | 2012-10-18 | 2014-05-12 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 積層セラミック電子部品の製造方法 |
JP2021100019A (ja) * | 2019-12-20 | 2021-07-01 | 株式会社村田製作所 | 電子部品 |
-
1988
- 1988-11-30 JP JP63303599A patent/JPH0817138B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014086715A (ja) * | 2012-10-18 | 2014-05-12 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 積層セラミック電子部品の製造方法 |
JP2021100019A (ja) * | 2019-12-20 | 2021-07-01 | 株式会社村田製作所 | 電子部品 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0817138B2 (ja) | 1996-02-21 |
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