JPH02149448A - 基体色をかえない熱線遮へいガラス - Google Patents
基体色をかえない熱線遮へいガラスInfo
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/3411—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
- C03C17/3429—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating
-
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- C03C17/3423—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings comprising a suboxide
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野１
本発明は、ガラス基体の上に熱線を遮へいする被膜が設
けられた自動車や建築用の熱線遮へいガラス、とりわけ
自動車用の窓ガラスに適した熱線遮へいガラスに関する
ものである。
けられた自動車や建築用の熱線遮へいガラス、とりわけ
自動車用の窓ガラスに適した熱線遮へいガラスに関する
ものである。
［従来の技術］
従来、窓ガラスを通して自動車内に流入する太陽光の一
部を遮へいし、自動車室内の温度の上昇を低減し冷房負
荷を軽減する目的で、ガラス表面に熱線西へい性能を有
する膜を被覆したガラスが用いられている。これらの目
的のために被覆される膜としては、ガラス基体側から第
１層、第３層を可視域で透明な酸化物からなる膜、第２
層に熱線遮へい性能を有するジルコニウム、チタニウム
、ハフニウムなどの窒化物の膜とするものが知られてい
る。この熱線遮へいガラスの第１層及び第３層に用いら
れる、可視域で透明な酸化物の膜は、第２層の窒化物の
膜の可視域での反射防止の機能を重視して用いられてい
たので、通常、波長５５０ｎｍでの屈折率が２．０以上
の物質が用いられ、具体的な酸化物としては、酸化チタ
ニウム、酸化錫などがある。
部を遮へいし、自動車室内の温度の上昇を低減し冷房負
荷を軽減する目的で、ガラス表面に熱線西へい性能を有
する膜を被覆したガラスが用いられている。これらの目
的のために被覆される膜としては、ガラス基体側から第
１層、第３層を可視域で透明な酸化物からなる膜、第２
層に熱線遮へい性能を有するジルコニウム、チタニウム
、ハフニウムなどの窒化物の膜とするものが知られてい
る。この熱線遮へいガラスの第１層及び第３層に用いら
れる、可視域で透明な酸化物の膜は、第２層の窒化物の
膜の可視域での反射防止の機能を重視して用いられてい
たので、通常、波長５５０ｎｍでの屈折率が２．０以上
の物質が用いられ、具体的な酸化物としては、酸化チタ
ニウム、酸化錫などがある。
［本発明が解決しようとする課題］
しかしながら、前記した可視域で高い屈折率の酸化物の
膜を第１層および第３層に用いると、光の干渉作用によ
り反射色および透過色は強い干渉色を呈してしまう。こ
れを防止するために第１層および第３層の膜厚を小さく
することが行われるが、この場合日射透過率が高くなり
、かつ可視光線反射率が高くなってしまうという欠点が
生じる。
膜を第１層および第３層に用いると、光の干渉作用によ
り反射色および透過色は強い干渉色を呈してしまう。こ
れを防止するために第１層および第３層の膜厚を小さく
することが行われるが、この場合日射透過率が高くなり
、かつ可視光線反射率が高くなってしまうという欠点が
生じる。
自動車の窓ガラスとして使用される熱線遮へい膜は、直
射光を減らすことにより暑さを低減して、快適性を向上
させるとともに、デザイン上の要求から、ガラス基体の
色をそのまま保つことが必要とされる。すなわち、ガラ
ス基体の透過色、反射色を変えないことが強く要求され
ている。本発明は上記したように、ガラス基体の透過色
、反射色を実際上はとんど変えずに、比較的高い可視光
線透過率と低い可視光線反射率を有しながら、熱線遮へ
い性能を有するガラスを提供することにある。
射光を減らすことにより暑さを低減して、快適性を向上
させるとともに、デザイン上の要求から、ガラス基体の
色をそのまま保つことが必要とされる。すなわち、ガラ
ス基体の透過色、反射色を変えないことが強く要求され
ている。本発明は上記したように、ガラス基体の透過色
、反射色を実際上はとんど変えずに、比較的高い可視光
線透過率と低い可視光線反射率を有しながら、熱線遮へ
い性能を有するガラスを提供することにある。
［課題を解決するための手段］
本発明にかかる熱線遮へいガラスは、ガラス基体の上に
ガラス側から数えて第１層および第３層が、５５０ｎｍ
の波長における屈折率カ月、７以下の可視域で透明な層
であって、その層の膜厚が５０〜１５０ｎｍであり、第
２層がチタニウムの窒化物、ジルコニウムの窒化物、ハ
フニウムの窒化物の少なくとも１つ以上が含まれる窒化
物の膜であって、前記窒化物の膜厚が２〜２０ｎｍであ
る積層体が、透明なガラス基体のうえに被覆されたもの
である。
ガラス側から数えて第１層および第３層が、５５０ｎｍ
の波長における屈折率カ月、７以下の可視域で透明な層
であって、その層の膜厚が５０〜１５０ｎｍであり、第
２層がチタニウムの窒化物、ジルコニウムの窒化物、ハ
フニウムの窒化物の少なくとも１つ以上が含まれる窒化
物の膜であって、前記窒化物の膜厚が２〜２０ｎｍであ
る積層体が、透明なガラス基体のうえに被覆されたもの
である。
第１層および第３層に用いられる、可視域で透明な層と
しては、波長５５０ｎｍにおいて屈折率が１．７以下で
あることが好ましく、屈折率１．７を越えると、可視光
線透過率を高く、かつ日射透過率を低く保ちながら反射
または透過の干渉色を実際上無い状態に抑えることは困
難となる。また第１層および第３層の、屈折率が１．７
以下の可視域で透明な層の膜厚は、５０〜１５０ｎｍで
あることが好ましい。膜厚が５０ｎｍより小さいと可視
光線反射率が高くなり、干渉色が強く表われるようにな
る。
しては、波長５５０ｎｍにおいて屈折率が１．７以下で
あることが好ましく、屈折率１．７を越えると、可視光
線透過率を高く、かつ日射透過率を低く保ちながら反射
または透過の干渉色を実際上無い状態に抑えることは困
難となる。また第１層および第３層の、屈折率が１．７
以下の可視域で透明な層の膜厚は、５０〜１５０ｎｍで
あることが好ましい。膜厚が５０ｎｍより小さいと可視
光線反射率が高くなり、干渉色が強く表われるようにな
る。
また膜厚が１５０ｎｍより大きいと、同様に可視光線の
反射率が高くなり反射の干渉色が強くなるので好ましく
ない。さらに反射および透過の干渉色が実際上無く、肉
眼で基体の色を惑じる最も好ましい膜厚は７０〜１２０
ｎｍの範囲である。
反射率が高くなり反射の干渉色が強くなるので好ましく
ない。さらに反射および透過の干渉色が実際上無く、肉
眼で基体の色を惑じる最も好ましい膜厚は７０〜１２０
ｎｍの範囲である。
波長５５０ｎｍの屈折率が１．７以下で可視域で透明な
第１層および第３層とすることができる透明な膜として
は、二酸化ケイ素、酸化アルミニウム、アルミニウムシ
リサイドの酸化物、アルミニウムシリサイドの酸窒化物
および、これらの２つ以上からなる混合物よりなる群か
ら選ばれた化合物または混合物の膜を用いることができ
る。前記のアルミニウムシリサイドの酸窒化物の膜は、
膜組成をＡ Ｉ ５ｉｘＯＪｚで表わすとき、Ｘ≧０．
２． Ｙ≧１．ＯＺ≦２．０のものを用いることができ
る。二酸化ケイ素、酸化アルミニウム、アルミニウムシ
リサイドの酸化物の膜は、膜中の酸素がほぼ化学量論的
組成で含まれていれば用いることができる。
第１層および第３層とすることができる透明な膜として
は、二酸化ケイ素、酸化アルミニウム、アルミニウムシ
リサイドの酸化物、アルミニウムシリサイドの酸窒化物
および、これらの２つ以上からなる混合物よりなる群か
ら選ばれた化合物または混合物の膜を用いることができ
る。前記のアルミニウムシリサイドの酸窒化物の膜は、
膜組成をＡ Ｉ ５ｉｘＯＪｚで表わすとき、Ｘ≧０．
２． Ｙ≧１．ＯＺ≦２．０のものを用いることができ
る。二酸化ケイ素、酸化アルミニウム、アルミニウムシ
リサイドの酸化物の膜は、膜中の酸素がほぼ化学量論的
組成で含まれていれば用いることができる。
また本発明の熱線遮へいガラスの第２層に用いられる、
ジルコニウム、チタニウム、ハフニウムの窒化物または
、これらの窒化物の混合物の膜の膜厚は、２〜２０ｎｍ
の範囲であることが好ましい。
ジルコニウム、チタニウム、ハフニウムの窒化物または
、これらの窒化物の混合物の膜の膜厚は、２〜２０ｎｍ
の範囲であることが好ましい。
膜厚が２ｎｍより小さいと熱線の遮へい性能が劣化する
。また膜厚が２０ｎｍより大きいと、窒化物の膜が可視
域で光を吸収するため可視光線透過率を低下させてしま
う。さらに膜厚が４ｎｍ以上１５ｎｍ以下の範囲が自動
車の窓ガラスとして可視光透過性および日射遮へい性を
バランス良く得るうえで最も好ましい。
。また膜厚が２０ｎｍより大きいと、窒化物の膜が可視
域で光を吸収するため可視光線透過率を低下させてしま
う。さらに膜厚が４ｎｍ以上１５ｎｍ以下の範囲が自動
車の窓ガラスとして可視光透過性および日射遮へい性を
バランス良く得るうえで最も好ましい。
さらに本発明にかかる熱線遮へいガラスの被膜の、とく
に酸およびアルカリに対する化学的耐久性および耐湿性
を向上させるために、第３層の上に酸化第二錫、酸化チ
タニウム、酸化タンタル、酸化ジルコニウムあるいはこ
れらの混合物からなる保護層を第４層として被覆するこ
とができる。
に酸およびアルカリに対する化学的耐久性および耐湿性
を向上させるために、第３層の上に酸化第二錫、酸化チ
タニウム、酸化タンタル、酸化ジルコニウムあるいはこ
れらの混合物からなる保護層を第４層として被覆するこ
とができる。
ここで前記の第４層の厚みは、５ｎｍ以上で２０ｎ＋ｗ
以下であることが好ましい。保護層の厚みが５ｒ＋ｍよ
り小さいと、熱線遮へい性能を有する第１層から第３層
よりなる積層体に対して保護の機能が十分でなく、２０
ｎｍを越えると干渉色が生じるようになり、ガラス基体
自身の反射色、透過色から熱線遮へいガラスの色調がず
れるので好ましくない。
以下であることが好ましい。保護層の厚みが５ｒ＋ｍよ
り小さいと、熱線遮へい性能を有する第１層から第３層
よりなる積層体に対して保護の機能が十分でなく、２０
ｎｍを越えると干渉色が生じるようになり、ガラス基体
自身の反射色、透過色から熱線遮へいガラスの色調がず
れるので好ましくない。
本発明にかかる第１層および第３層の可視域の屈折率が
１．７以下の層を被覆する方法としては、通常のマグネ
トロンスパッタリング法などの減圧された雰囲気下で行
う物理的手段を用いることができる。たとえば、二酸化
ケイ素、酸化アルミニウム、アルミニウムシリサイドの
酸化物の膜は、それぞれシリコン、アルミニウム、アル
ミニウムシリサイドをターゲットとして不活性ガスと酸
素との混合ガスの減圧された雰囲気下でスパッタリング
を行う方法で得られ、二酸化ケイ素や酸化アルニウムの
被膜については高周波スパッタリング法で得ることもで
きる。また、アルミニウムシリサイドの酸窒化物の膜は
、アルミニウムシリサイドをターゲットとして、不活性
ガスと酸素と窒素からなる混合ガスの減圧された雰囲気
下でスパッタリングすることにより得ることができる。
１．７以下の層を被覆する方法としては、通常のマグネ
トロンスパッタリング法などの減圧された雰囲気下で行
う物理的手段を用いることができる。たとえば、二酸化
ケイ素、酸化アルミニウム、アルミニウムシリサイドの
酸化物の膜は、それぞれシリコン、アルミニウム、アル
ミニウムシリサイドをターゲットとして不活性ガスと酸
素との混合ガスの減圧された雰囲気下でスパッタリング
を行う方法で得られ、二酸化ケイ素や酸化アルニウムの
被膜については高周波スパッタリング法で得ることもで
きる。また、アルミニウムシリサイドの酸窒化物の膜は
、アルミニウムシリサイドをターゲットとして、不活性
ガスと酸素と窒素からなる混合ガスの減圧された雰囲気
下でスパッタリングすることにより得ることができる。
また第２層の窒化物の膜についても、前記と同様の物理
的手段で被覆できる。たとえばチタニウム、ジルコニウ
ム、ハフニウム金属またはこれらの金属の合金をターゲ
ットとして窒素と不活性ガスとの混合ガスによる減圧さ
れた雰囲気下のスパッタリングにより得ることができる
。
的手段で被覆できる。たとえばチタニウム、ジルコニウ
ム、ハフニウム金属またはこれらの金属の合金をターゲ
ットとして窒素と不活性ガスとの混合ガスによる減圧さ
れた雰囲気下のスパッタリングにより得ることができる
。
さらに、被膜の耐久性を向上させるために設けられる第
４層の、酸化第２錫、酸化チタニウム、酸化タンタル、
酸化ジルコニウムの酸化物またはこれらの混合物からな
る膜は、それぞれの金属または合金の不活性ガスおよび
酸素との混合ガスの減圧された雰囲気下によるスパッタ
リングなどの方法により得ることができる。また透明な
、ガラス基体としてはソーダライムシリカ組成のフロー
ト板ガラスや、ガラス中に鉄イオンなどの１゛種以上の
着色イオンにより着色された熱線吸収フロートガラスを
用いることができる。
４層の、酸化第２錫、酸化チタニウム、酸化タンタル、
酸化ジルコニウムの酸化物またはこれらの混合物からな
る膜は、それぞれの金属または合金の不活性ガスおよび
酸素との混合ガスの減圧された雰囲気下によるスパッタ
リングなどの方法により得ることができる。また透明な
、ガラス基体としてはソーダライムシリカ組成のフロー
ト板ガラスや、ガラス中に鉄イオンなどの１゛種以上の
着色イオンにより着色された熱線吸収フロートガラスを
用いることができる。
前記した透明なガラス基体の種類によって、被覆される
各層の厚みを前記した所定の厚みの範囲内で調節するこ
とにより、自動車用の窓ガラスに適した干渉色が実際上
目立たない高可視光線透過率、低日射透過率の熱線遮へ
いガラスを得ることができる。
各層の厚みを前記した所定の厚みの範囲内で調節するこ
とにより、自動車用の窓ガラスに適した干渉色が実際上
目立たない高可視光線透過率、低日射透過率の熱線遮へ
いガラスを得ることができる。
［作用］
本発明にかかる熱線遮へいガラスおいて可視域での屈折
率が１．７以下の膜からなる第１Ｎおよび第３Ｎは、熱
線遮へい機能を有する第２層の両側に設けられることに
よって、ガラス面側からの色調が光の干渉作用により強
い干渉色を呈することなく、可視光線透過率を向上させ
る。また第４Ｎの透明な酸化物からなる保護層は、干渉
色を呈することなく、第１層から第３層までの熱線遮へ
い機能を有する積層体の化学的侵食に対して保護する。
率が１．７以下の膜からなる第１Ｎおよび第３Ｎは、熱
線遮へい機能を有する第２層の両側に設けられることに
よって、ガラス面側からの色調が光の干渉作用により強
い干渉色を呈することなく、可視光線透過率を向上させ
る。また第４Ｎの透明な酸化物からなる保護層は、干渉
色を呈することなく、第１層から第３層までの熱線遮へ
い機能を有する積層体の化学的侵食に対して保護する。
第１図＜ａｌ、 （ｂ）は本発明にかかる熱線遮へいガ
ラスの一部断面図を示し、第１図１ａ）は保護層がない
場合、第１図（ｂｌは保護層がある場合を示している。
ラスの一部断面図を示し、第１図１ａ）は保護層がない
場合、第１図（ｂｌは保護層がある場合を示している。
１はガラス基体、２および４は波長５５０ｎｍにおける
屈折率が１．７以下の可視域で透明な層、３は熱線遮へ
い機能を有する窒化物からなる層、５は保護層である。
屈折率が１．７以下の可視域で透明な層、３は熱線遮へ
い機能を有する窒化物からなる層、５は保護層である。
以下に実施例について詳しく説明する。
実施例１
第５図は、本発明を実施するために使用した装置であり
、真空槽５１は真空排気ポンプ（図示しない）に接続さ
れ、その内部を減圧された雰囲気ガスで、ガス導入管６
４のガスバルブ６５により所定の圧力に調節される。基
体支持台６３の上に洗浄した厚さ４龍の熱線吸収ガラス
（日本板硝子社製商品名ブルーベーン）６２をセットし
、真空槽５１内を５．３ Ｘ １０−’Ｐａに真空排気
後、ガス導入管６４から、アルゴンガス２８体積％、酸
素ガス７２体積％からなる混合ガスを導入し、真空槽５
１内を０．４ Ｐａの圧力に調節した。電気絶縁体６６
により真空槽５１から電気的に隔離された、スパンタリ
ングカソード５２の表面に設置されたＳｉのターゲット
５３に、電源５４からスイッチ５５を閉にして高周波電
力２．２ ｋＷを印加し、ＬＯＯｎｍの５ｉ０２膜を被
覆し、電力の印加およびガスの導入を停止した。次にア
ルゴンガス９４体積％、窒素ガス６体積％の混合ガスを
ガス導入管６４からガスバルブ６５の開度を調節しなが
ら導入し、真空層内の圧力を０．４Ｐａにした。真空槽
５１から電気的に絶縁されているカソード５６の表面に
設置されたＺｒのターゲット５７に、電ｒＡ５８からス
イッチ６１を閉にして直流電力１．６ ｋＷを印加し、
８層ｍのジルコニウムの窒化物膜を被覆し、電力の印加
およびガス導入を停止した。その後、前記したのと同様
の方法で１）００ｎの５ｉＯｚ膜を被覆し、ガラス基体
上に３層からなる熱線遮へい性能を有する積層膜を作成
した。得られた熱線遮へいガラスの光学特性を測定して
、可視光ｖＡ透過率７０．８％、日射透過率５４．２％
、膜面側の可視光線反射率５．７％、ガラス面側の可視
光線反射率８，４％を得、日射透過率はガラス基体のみ
の日射透過率より９．８％低下していた。第２図ｆａｎ
、 （ｂ）にｘ、ｙ座標で透過色、反射色を示す。図中
■印は本実施例に使用したガラス基体のみの色であり、
・印は本実施例で得た熱線遮へいガラス膜面側の反射色
、Ｃ印はガラス面側の反射色を示す。また図中の数値は
光線入射角度である。
、真空槽５１は真空排気ポンプ（図示しない）に接続さ
れ、その内部を減圧された雰囲気ガスで、ガス導入管６
４のガスバルブ６５により所定の圧力に調節される。基
体支持台６３の上に洗浄した厚さ４龍の熱線吸収ガラス
（日本板硝子社製商品名ブルーベーン）６２をセットし
、真空槽５１内を５．３ Ｘ １０−’Ｐａに真空排気
後、ガス導入管６４から、アルゴンガス２８体積％、酸
素ガス７２体積％からなる混合ガスを導入し、真空槽５
１内を０．４ Ｐａの圧力に調節した。電気絶縁体６６
により真空槽５１から電気的に隔離された、スパンタリ
ングカソード５２の表面に設置されたＳｉのターゲット
５３に、電源５４からスイッチ５５を閉にして高周波電
力２．２ ｋＷを印加し、ＬＯＯｎｍの５ｉ０２膜を被
覆し、電力の印加およびガスの導入を停止した。次にア
ルゴンガス９４体積％、窒素ガス６体積％の混合ガスを
ガス導入管６４からガスバルブ６５の開度を調節しなが
ら導入し、真空層内の圧力を０．４Ｐａにした。真空槽
５１から電気的に絶縁されているカソード５６の表面に
設置されたＺｒのターゲット５７に、電ｒＡ５８からス
イッチ６１を閉にして直流電力１．６ ｋＷを印加し、
８層ｍのジルコニウムの窒化物膜を被覆し、電力の印加
およびガス導入を停止した。その後、前記したのと同様
の方法で１）００ｎの５ｉＯｚ膜を被覆し、ガラス基体
上に３層からなる熱線遮へい性能を有する積層膜を作成
した。得られた熱線遮へいガラスの光学特性を測定して
、可視光ｖＡ透過率７０．８％、日射透過率５４．２％
、膜面側の可視光線反射率５．７％、ガラス面側の可視
光線反射率８，４％を得、日射透過率はガラス基体のみ
の日射透過率より９．８％低下していた。第２図ｆａｎ
、 （ｂ）にｘ、ｙ座標で透過色、反射色を示す。図中
■印は本実施例に使用したガラス基体のみの色であり、
・印は本実施例で得た熱線遮へいガラス膜面側の反射色
、Ｃ印はガラス面側の反射色を示す。また図中の数値は
光線入射角度である。
実施例２
第５図の装置の基体支持台６３の上に、洗浄した厚さ４
１の熱線吸収ガラス（日本板硝子社製商品名ブロンズベ
ーン）６２をセットし、真空槽５１内を５．３Ｘ１０−
’Ｐａに真空排気後、ガス導入管６４からアルゴンガス
７６体積％、酸素ガス１９体積％、窒素ガス５体積％か
らなる混合ガスを導入し、真空槽５１内を０．４ Ｐａ
の圧力に調節した。
１の熱線吸収ガラス（日本板硝子社製商品名ブロンズベ
ーン）６２をセットし、真空槽５１内を５．３Ｘ１０−
’Ｐａに真空排気後、ガス導入管６４からアルゴンガス
７６体積％、酸素ガス１９体積％、窒素ガス５体積％か
らなる混合ガスを導入し、真空槽５１内を０．４ Ｐａ
の圧力に調節した。
アルミニウム８８原子％シリコン１２原子％からなるア
ルミニウムシリサイドのターゲット５３に電源５４から
、スイッチ５５を閉にして直流電力２．１ ｋＷを印加
し、１）００ｎのアルミニウムシリサイドの酸窒化物か
らなる膜を被覆し、電力の印加およびガスの導入を停止
した。次にアルゴンガス９４体積％、窒素ガス６体積％
の混合ガスを、ガス導入管６４からガスバルブ６５の開
度を調節しながら導入し、真空槽５１内の圧力を０．４
Ｐａにした。チタニウムのターゲット５７に、電源５８
からスイッチ６１を閉にして直流電力１．６に弱を印加
し、６．０ ｎｍのチタニウムの窒化物の膜を被覆し、
電力の印加およびガスの導入を停止した。その後、前記
したのと同様にして８０ｎｍのアルミニウムシリサイド
の酸窒化物の膜を被覆し、ガラス基体上に３層からなる
熱線遮へい性能を有する積層膜を作成した。得られた熱
線遮へいガラスの光学特性を測定して、可視光線透過率
７０．９％、日射透過率５４．２％、膜面側の可視光線
反射率５．６％、ガラス面側の可視光線反射率８．２％
を得た。また日射透過率はガラス基体のみの日射透過率
より９．８％低下していた。また第３図（ａＬ （ｂ）
にｘ＋ｙ座標で透過色、反射色を示す。図中の■印は本
実施例に使用したガラス基体のみの色であり、・印はｊ
膜面側の反射色、Ｃ印はガラス面側の反射色を示す。
ルミニウムシリサイドのターゲット５３に電源５４から
、スイッチ５５を閉にして直流電力２．１ ｋＷを印加
し、１）００ｎのアルミニウムシリサイドの酸窒化物か
らなる膜を被覆し、電力の印加およびガスの導入を停止
した。次にアルゴンガス９４体積％、窒素ガス６体積％
の混合ガスを、ガス導入管６４からガスバルブ６５の開
度を調節しながら導入し、真空槽５１内の圧力を０．４
Ｐａにした。チタニウムのターゲット５７に、電源５８
からスイッチ６１を閉にして直流電力１．６に弱を印加
し、６．０ ｎｍのチタニウムの窒化物の膜を被覆し、
電力の印加およびガスの導入を停止した。その後、前記
したのと同様にして８０ｎｍのアルミニウムシリサイド
の酸窒化物の膜を被覆し、ガラス基体上に３層からなる
熱線遮へい性能を有する積層膜を作成した。得られた熱
線遮へいガラスの光学特性を測定して、可視光線透過率
７０．９％、日射透過率５４．２％、膜面側の可視光線
反射率５．６％、ガラス面側の可視光線反射率８．２％
を得た。また日射透過率はガラス基体のみの日射透過率
より９．８％低下していた。また第３図（ａＬ （ｂ）
にｘ＋ｙ座標で透過色、反射色を示す。図中の■印は本
実施例に使用したガラス基体のみの色であり、・印はｊ
膜面側の反射色、Ｃ印はガラス面側の反射色を示す。
また図中の数値は光線入射角度である。
実施例３
第５図に示された装置の基体支持台６３の上に洗浄した
に４龍の熱線吸収ガラス（日本板硝子社製商品名ブロン
ズベーン）６２をセントし、真空槽５１内を５．３ Ｘ
１０−’Ｐａに真空排気後、ガス導入管６４からアル
ゴンガス７６体積％、Ｍｉガス１９体積％、窒素ガス５
体積％からなる混合ガスを導入し、真空槽５１内を０．
４Ｐａの圧力に調節した。アルミニウム８８原子％シリ
コン１２原子％からなるアルミニウムシリサイドのター
ゲット５３に電源５４から、スイッチ５５を閉にして直
流電力２．１に−を印加し、９４層ｍの膜厚のアルミニ
ウムシリサイドの酸窒化物からなる膜を被覆し、電力の
印加およびガスの導入を停止した。次にアルゴンガス９
４体積％、窒素ガス６体積の混合ガスを、ガス導入管６
４からガスバルブ６５の開度を調節しながらＷ人し、真
空槽５１内の圧力を０．４ Ｐａにした。チタニウムの
ターゲット５７に、電源５８からスイッチ６１を閉にし
て直流電力１．２ ｋＷを印加し、６．０層ｍの膜厚の
チタニウムの窒化物の膜を被覆し、電力の印加およびガ
スの４人を停止した。
に４龍の熱線吸収ガラス（日本板硝子社製商品名ブロン
ズベーン）６２をセントし、真空槽５１内を５．３ Ｘ
１０−’Ｐａに真空排気後、ガス導入管６４からアル
ゴンガス７６体積％、Ｍｉガス１９体積％、窒素ガス５
体積％からなる混合ガスを導入し、真空槽５１内を０．
４Ｐａの圧力に調節した。アルミニウム８８原子％シリ
コン１２原子％からなるアルミニウムシリサイドのター
ゲット５３に電源５４から、スイッチ５５を閉にして直
流電力２．１に−を印加し、９４層ｍの膜厚のアルミニ
ウムシリサイドの酸窒化物からなる膜を被覆し、電力の
印加およびガスの導入を停止した。次にアルゴンガス９
４体積％、窒素ガス６体積の混合ガスを、ガス導入管６
４からガスバルブ６５の開度を調節しながらＷ人し、真
空槽５１内の圧力を０．４ Ｐａにした。チタニウムの
ターゲット５７に、電源５８からスイッチ６１を閉にし
て直流電力１．２ ｋＷを印加し、６．０層ｍの膜厚の
チタニウムの窒化物の膜を被覆し、電力の印加およびガ
スの４人を停止した。
その後、前記したのと同様に、６６層ｍの膜厚のアルミ
ニウムシリサイドの酸窒化物の膜を被覆し、電力の印加
とガスの導入を停止した。真空槽５１内を大気圧に戻し
、ターゲット５３として錫をセットした。真空槽５１内
を５゜３ Ｘ Ｉ Ｏ−’Ｐａに真空排気後、ガス導入
管６４からアルゴンガス２０体積％、酸素ガス８０体積
％からなる混合ガスをｍ人し、真空槽５１内を０．４Ｐ
ａに調節した。電源５４からスイッチ５５を閉にして直
流電力５．、！ｋＷを錫のターゲットに印加し、１０層
ｍの膜厚の酸化第二錫の膜を被覆し、ガラス基体上に４
層からなる熱線遮へい性能を有する積層体を作成した。
ニウムシリサイドの酸窒化物の膜を被覆し、電力の印加
とガスの導入を停止した。真空槽５１内を大気圧に戻し
、ターゲット５３として錫をセットした。真空槽５１内
を５゜３ Ｘ Ｉ Ｏ−’Ｐａに真空排気後、ガス導入
管６４からアルゴンガス２０体積％、酸素ガス８０体積
％からなる混合ガスをｍ人し、真空槽５１内を０．４Ｐ
ａに調節した。電源５４からスイッチ５５を閉にして直
流電力５．、！ｋＷを錫のターゲットに印加し、１０層
ｍの膜厚の酸化第二錫の膜を被覆し、ガラス基体上に４
層からなる熱線遮へい性能を有する積層体を作成した。
得られた熱′ＫＭｇへいガラスの光学特性を測定して可
視光線透過率７０．９％、日射透過率６１．２％、膜面
側の可視光線反射率６．１％、ガラス面側の可視光線反
射率８．５％を得た。また日射透過率はガラス基体のみ
の日射透過率より８．８％低下していた。第４図（ａｌ
、 （ｂ）にｘ、 ｙ座標で透過色、反射色を示す。
視光線透過率７０．９％、日射透過率６１．２％、膜面
側の可視光線反射率６．１％、ガラス面側の可視光線反
射率８．５％を得た。また日射透過率はガラス基体のみ
の日射透過率より８．８％低下していた。第４図（ａｌ
、 （ｂ）にｘ、 ｙ座標で透過色、反射色を示す。
図中の■印は本実施例に使用したガラス基体のみの色で
あり、・印は膜面側の反対色、Ｃ印はガラス面側の反射
色を示す。また図中の数値は光線入射角度である。
あり、・印は膜面側の反対色、Ｃ印はガラス面側の反射
色を示す。また図中の数値は光線入射角度である。
［比較例］
第５図で示された装置において、スパッタリングカソー
ド５２の表面に錫のターゲット５３を設置し、基体支持
台６３の上に洗浄した厚さ４ｍｍの熱線吸収ガラス（日
本板硝子社製商品名ブルーベーン）６２をセントした。
ド５２の表面に錫のターゲット５３を設置し、基体支持
台６３の上に洗浄した厚さ４ｍｍの熱線吸収ガラス（日
本板硝子社製商品名ブルーベーン）６２をセントした。
真空槽５１内を５．３×１０−’Ｐａに真空排気後、ガ
ス導入管６４からアルゴンガス２０体積％、酸素ガス８
０体積％からなる混合ガスを導入し、真空槽５１内を０
．６７Ｐａの圧力に調節した。電源５４により直流電力
１．５ｋＷをＳｎのターゲットに印加に、６２層ｍのＳ
ｎＯ２膜をガラス６２の上に被覆し、電力の印加および
ガス４大を停止した。次に真空槽５１内にアルゴンガス
９４体積％、窒素ガス６体積％からなる）２合ガスをガ
ス導入管６４から、ガスパルプ６５の開度を調節しなが
ら導入し、真空槽５１内の圧力を０．４Ｐａにした。ジ
ルコニウムのターゲ・ノド５７に電源５８から直流電力
１．６ ｋＷを所定の時間印加して、１０層ｍのジルコ
ニウムの窒化物の膜を被覆し、電力の印加およびガスの
導入を停止した。その後、前記したのと同様の方法で６
５層ｍのＳｎＯ，膜を被覆し、３層からなる熱線遮へい
性能を有する積層体を作成した。得られた熱線遮へいガ
ラスの光学特性を測定して、可視光ｖＡ透過率７１．７
％、日射透過率５１．２％、膜面側の可視光線反射率７
．１％、ガラス面側の可視光線反射率８．１％を得、日
射透過率はガラス基体のみの日射透過率より１２．８％
低下していた。第３図ｔａ＞、 ｔｂ＋にｘ、ｙ座標で
透過色、反射色を示す。図中Ｏ印は比較例に使用した、
ガラス基体のみの色であり、・印は比較例で得た熱線遮
へいガラスの膜面側の反射色、ｃ印はガラス面側の反射
色を示す。また図中の数値は光線入射角度を示す。
ス導入管６４からアルゴンガス２０体積％、酸素ガス８
０体積％からなる混合ガスを導入し、真空槽５１内を０
．６７Ｐａの圧力に調節した。電源５４により直流電力
１．５ｋＷをＳｎのターゲットに印加に、６２層ｍのＳ
ｎＯ２膜をガラス６２の上に被覆し、電力の印加および
ガス４大を停止した。次に真空槽５１内にアルゴンガス
９４体積％、窒素ガス６体積％からなる）２合ガスをガ
ス導入管６４から、ガスパルプ６５の開度を調節しなが
ら導入し、真空槽５１内の圧力を０．４Ｐａにした。ジ
ルコニウムのターゲ・ノド５７に電源５８から直流電力
１．６ ｋＷを所定の時間印加して、１０層ｍのジルコ
ニウムの窒化物の膜を被覆し、電力の印加およびガスの
導入を停止した。その後、前記したのと同様の方法で６
５層ｍのＳｎＯ，膜を被覆し、３層からなる熱線遮へい
性能を有する積層体を作成した。得られた熱線遮へいガ
ラスの光学特性を測定して、可視光ｖＡ透過率７１．７
％、日射透過率５１．２％、膜面側の可視光線反射率７
．１％、ガラス面側の可視光線反射率８．１％を得、日
射透過率はガラス基体のみの日射透過率より１２．８％
低下していた。第３図ｔａ＞、 ｔｂ＋にｘ、ｙ座標で
透過色、反射色を示す。図中Ｏ印は比較例に使用した、
ガラス基体のみの色であり、・印は比較例で得た熱線遮
へいガラスの膜面側の反射色、ｃ印はガラス面側の反射
色を示す。また図中の数値は光線入射角度を示す。
以上の説明により本発明にかかる熱線遮へいガラスの透
過色、反射色は、１２″〜４５°の広い角度範囲の入射
光に対して、従来の技術からなる熱線反射ガラスよりも
、ガラス基体そのものの透過色、反射色に極めて近いこ
とが分かる。さらに実施例および比較例で得た熱線遮へ
いガラスのサンプルについて、耐アルカリ性、耐酸性、
耐湿性を調べた結果を第１表に示す。第４図および第１
表から、本発明にかかる４層からなる熱線遮へいガラス
は、基体色を大きく変えることなく、より優れた化学的
耐久性を有していることが分かる。
過色、反射色は、１２″〜４５°の広い角度範囲の入射
光に対して、従来の技術からなる熱線反射ガラスよりも
、ガラス基体そのものの透過色、反射色に極めて近いこ
とが分かる。さらに実施例および比較例で得た熱線遮へ
いガラスのサンプルについて、耐アルカリ性、耐酸性、
耐湿性を調べた結果を第１表に示す。第４図および第１
表から、本発明にかかる４層からなる熱線遮へいガラス
は、基体色を大きく変えることなく、より優れた化学的
耐久性を有していることが分かる。
タリングカソード、５３．５７・・・ターゲット、５４
．５８・・・電源、５５．６１・・・スイッチ、６２・
・・ガラス基体、６３・・・基体支持台、６４・・・ガ
ス専大管、６５・・・ガスバルブ、６６・・・電気絶縁
体［発明の効果１ 本発明にかかる熱線遮へいガラスは、高い可視光線透過
率と良好な熱線遮へい性能を有するとともに、その色調
が多層膜構成に基因する干渉色をほとんど呈しないので
、ガラス基体の透過色、反射色とほぼ同じ色調を呈する
。とくにガラス側からの反射色は、ガラス基体の反射色
とほとんど同じであるので、自動車の熱線遮へいガラス
として極めて有用である。
．５８・・・電源、５５．６１・・・スイッチ、６２・
・・ガラス基体、６３・・・基体支持台、６４・・・ガ
ス専大管、６５・・・ガスバルブ、６６・・・電気絶縁
体［発明の効果１ 本発明にかかる熱線遮へいガラスは、高い可視光線透過
率と良好な熱線遮へい性能を有するとともに、その色調
が多層膜構成に基因する干渉色をほとんど呈しないので
、ガラス基体の透過色、反射色とほぼ同じ色調を呈する
。とくにガラス側からの反射色は、ガラス基体の反射色
とほとんど同じであるので、自動車の熱線遮へいガラス
として極めて有用である。
第１図は、本発明にかかる熱線遮へいガラスの一部断面
図、第２図、第３図、第４図は本発明の熱線遮へいガラ
スの実施例の色を示す図、第５図は本発明の実施に使用
した装置の概略断面図、第６図は熱線遮へいガラスの比
較例の色を示す図である。 ｌ・・・ガラス基体、２・・・屈折率が１．７以下の可
視域で透明な第１Ｎ、３・・・窒化物からなる第２層、
４・・・屈折率が１．７以下の可視域で透明な第３層、
５・・・保護層、５１・・・真空槽、５２．５６・・・
スパン第 図 Ｘ （ｂ） × （ａ） （ｂ） 第４ 図 （ａ） （ｂ） 第 図
図、第２図、第３図、第４図は本発明の熱線遮へいガラ
スの実施例の色を示す図、第５図は本発明の実施に使用
した装置の概略断面図、第６図は熱線遮へいガラスの比
較例の色を示す図である。 ｌ・・・ガラス基体、２・・・屈折率が１．７以下の可
視域で透明な第１Ｎ、３・・・窒化物からなる第２層、
４・・・屈折率が１．７以下の可視域で透明な第３層、
５・・・保護層、５１・・・真空槽、５２．５６・・・
スパン第 図 Ｘ （ｂ） × （ａ） （ｂ） 第４ 図 （ａ） （ｂ） 第 図
Claims (4)
- （１）透明なガラス基体のうえに （ａ）５５０ｎｍの波長における屈折率が１．７以下の
、可視域で透明な層であって、前記透明な層の膜厚が５
０〜１５０ｎｍである第１層と （ｂ）前記第１層のうえに、チタニウム窒化物、ジルコ
ニウム窒化物、ハフニウム窒化物の少なくとも１つが含
まれる窒化物の膜であって、前記窒化物の膜厚が２〜２
０ｎｍである第３層と （ｃ）前記第２層のうえに、膜厚が５０〜１５０ｎｍの
前記５５０ｎｍの波長における屈折率が１．７以下の可
視域で透明な層である第３層 とが被覆された熱線遮へいガラス - （２）前記波長５５０ｎｍにおける屈折率が１．７以下
の可視域で透明な層が、二酸化ケイ素、酸化アルミニウ
ム、アルミニウムシリサイドの酸化物、アルミニウムシ
リサイドの酸窒化物よりなる群から選ばれた、化合物ま
たはこれらの２つ以上からなる混合物である特許請求範
囲第１項記載の熱線遮へいガラス - （３）前記第３層のうえに、さらに酸化第二錫、酸化チ
タニウム、酸化タンタル、酸化ジルコニウムよりなる群
から選ばれた、酸化物または２つ以上からなる混合物で
、該酸化物または該混合物の膜厚が、５ｎｍ以上２０ｎ
ｍ以下の第４の層が設けられたことを特徴とする、特許
請求範囲第１項または第２項記載の熱線遮へいガラス - （４）可視光線透過率が７０％以上でかつ日射透過率が
６５％以下である特許請求範囲第１項及至第３項のいず
れかの項記載の熱線遮へいガラス
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30507088A JPH02149448A (ja) | 1988-12-01 | 1988-12-01 | 基体色をかえない熱線遮へいガラス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30507088A JPH02149448A (ja) | 1988-12-01 | 1988-12-01 | 基体色をかえない熱線遮へいガラス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02149448A true JPH02149448A (ja) | 1990-06-08 |
Family
ID=17940754
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30507088A Pending JPH02149448A (ja) | 1988-12-01 | 1988-12-01 | 基体色をかえない熱線遮へいガラス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02149448A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02164744A (ja) * | 1988-12-20 | 1990-06-25 | Asahi Glass Co Ltd | 耐久性の優れた熱線反射性を有する光学体 |
| WO1998012583A1 (en) * | 1996-09-23 | 1998-03-26 | The Secretary Of State For Defence | Multi layer interference coatings |
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1988
- 1988-12-01 JP JP30507088A patent/JPH02149448A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02164744A (ja) * | 1988-12-20 | 1990-06-25 | Asahi Glass Co Ltd | 耐久性の優れた熱線反射性を有する光学体 |
| WO1998012583A1 (en) * | 1996-09-23 | 1998-03-26 | The Secretary Of State For Defence | Multi layer interference coatings |
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