JPH02143760U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02143760U JPH02143760U JP5414089U JP5414089U JPH02143760U JP H02143760 U JPH02143760 U JP H02143760U JP 5414089 U JP5414089 U JP 5414089U JP 5414089 U JP5414089 U JP 5414089U JP H02143760 U JPH02143760 U JP H02143760U
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- Japan
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- sample
- sectional
- taken along
- support device
- line
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- Pending
Links
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
Description
第1図はイオン注入装置の概略を示した図であ
る。第2図、第3図及び第4図はこの考案に係る
イオン注入装置におけるサンプル支持装置の九例
を表わした図であり、第2図cは、第2図a又は
bの−′線断面図、第3図cは第3図a又は
bの−′線断面図、第4図cは第4図a又は
bの−′線断面図である。第5図及び第6図
は従来のイオン注入装置におけるサンプル支持部
の二例を表わした図であり、第5b及び第6図b
は第5図a及び第6図aの一部拡大図である。第
7図は第5図b又は第6図bの−′線断
面図である。 1…ソース・イオン源、2…分析マグネツト、
3…ビーム加速器、4…チヤンバー、5…サンプ
ル支持装置、6…サンプル支持部、7…ステージ
、8…熱伝導材、9…サンプルホルダー、71,
72,73…サンプルステージ、101,102
…溝、103…排気孔、S…サンプル。
る。第2図、第3図及び第4図はこの考案に係る
イオン注入装置におけるサンプル支持装置の九例
を表わした図であり、第2図cは、第2図a又は
bの−′線断面図、第3図cは第3図a又は
bの−′線断面図、第4図cは第4図a又は
bの−′線断面図である。第5図及び第6図
は従来のイオン注入装置におけるサンプル支持部
の二例を表わした図であり、第5b及び第6図b
は第5図a及び第6図aの一部拡大図である。第
7図は第5図b又は第6図bの−′線断
面図である。 1…ソース・イオン源、2…分析マグネツト、
3…ビーム加速器、4…チヤンバー、5…サンプ
ル支持装置、6…サンプル支持部、7…ステージ
、8…熱伝導材、9…サンプルホルダー、71,
72,73…サンプルステージ、101,102
…溝、103…排気孔、S…サンプル。
Claims (1)
- サンプルを載置しかつそのサンプル面側に溝を
形成したサンプルステージが設けられていること
を特徴とするイオン注入装置におけるサンプル支
持装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5414089U JPH02143760U (ja) | 1989-05-10 | 1989-05-10 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5414089U JPH02143760U (ja) | 1989-05-10 | 1989-05-10 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02143760U true JPH02143760U (ja) | 1990-12-06 |
Family
ID=31575940
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5414089U Pending JPH02143760U (ja) | 1989-05-10 | 1989-05-10 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02143760U (ja) |
-
1989
- 1989-05-10 JP JP5414089U patent/JPH02143760U/ja active Pending