JPH02141638A - 光ファイバ構造パラメータ測定装置 - Google Patents

光ファイバ構造パラメータ測定装置

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JPH02141638A
JPH02141638A JP29560088A JP29560088A JPH02141638A JP H02141638 A JPH02141638 A JP H02141638A JP 29560088 A JP29560088 A JP 29560088A JP 29560088 A JP29560088 A JP 29560088A JP H02141638 A JPH02141638 A JP H02141638A
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JP
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optical fiber
laser beam
axis
core
cladding
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JP29560088A
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Hideaki Ito
英昭 伊藤
Kiyoshi Ichimura
清 市村
Tetsuo Takahashi
哲生 高橋
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Mitsubishi Rayon Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は光ファイバの測定装置に関し、特に光ファイバ
の構造パラメータを計測するための測定装置に関する。
[従来の技術] 光ファイバのコア径、クラツド径、コア及びクラッドの
非円率、屈折率等の構造パラメータを測定する方法とし
て種々のものがある。クラツド径の測定のみならマイク
ロメータ等の測定器具を用いることができたが、これで
は他の項目を測定することができない。石英製の光ファ
イバの場合は、例えばコア径が50μm1クラツド厚が
37μm程度であるので、顕微鏡の視野の中にコアとク
ラッドを同時に収めつつ所定の目盛を用いて両者の径を
測定することが可能であった。
更に光ファイバの一方の端面から光を入射し、他方の端
面から出射される透過光の強度を観測し、この測定を単
一の視野の中で径方向に掃引して行うことにより透過光
強度の変化を検出して、コア径、クラツド径を測定する
方法があったが、これも石英光ファイバにのみ適用可能
であった。
又、屈折率及び屈折率分布を測定する方法としては端面
での反射率を測定することにより屈折率を求める方法が
知られている。
[発明が解決しようとする課題] 上記従来の光ファイバ構造パラメータの測定装置及び測
定方法は石英光ファイバのようにコア径とクラッド厚が
同程度のディメンションの場合は顕微鏡の一つの視野内
にて両者を観測できるが、プラスチック光ファイバには
そのまま適用することができない。これはプラスチック
光ファイバのディメンションが例えばコア径1關でクラ
ッド厚10μmというように、クラッドの厚さがコア径
に比して極めて小さい値であるので両者を同−視野内に
収めて測定することができないことによる。
更にクラツド径が125μm程度の石英光ファイバの場
合は端面の凹凸を少なくすることが容易であったが、ク
ラツド径が1 mm以上のプラスチック光ファイバでは
端面全体にわたって凹凸を少なくすることが必らずしも
容易でなく、又端面が光ファイバの軸に対して傾斜して
いることにより、顕微鏡のフォーカスにずれを生じ、又
反射光が正確に戻ってこなくなるという問題を生じてい
た。
従って本発明はコア径とクラッド厚のディメンションが
大きく異なる光ファイバの構造パラメータを容易に測定
することのできる光ファイバ構造パラメータ測定装置を
提供することを目的とする。
[課題を解決するための手段及び作用]上記目的を達成
するため、本発明では、光ファイバから試験片を切り出
し端面を研磨し、この端面を十分な倍率の顕微鏡で目視
しつつ、この試験片を載せた台をX−Y方向に移動して
レーザ光線のスポットを光ファイバの端面の複数の箇所
に照射し、そのときのX−Y座標を読み込み、このデー
タを基にコア径、クラツド径、非円率を演算するもので
ある。又屈折率の測定にはレーザ光線が光ファイバ端面
で反射されて戻ってきた反射光の強度を測定することに
より行われ、端面の中心を通る直径方向にレーザビーム
を掃引することにより、屈折率分布を得ることができる
。上記各測定において、端面の凹凸や傾斜があると顕微
鏡のフォーカスがずれたり、反射光が正確に所定の光路
に戻ってこなくなるので、反射光強度を検出することに
より自動的にフォーカス制御を行うオートフォーカス制
御機構を用いる。
かかる測定を行うため本発明では被測定物の光ファイバ
片を置くための台と、所定のレーザビームを出力するレ
ーザと、前記レーザビームをフォーカス機構を介して前
記光ファイバに照射する手段と、前記光ファイバに前記
レーザビームが照射されている様子を目視観測する手段
と、前記レーザビームの照射方向をZ軸方向とするとき
、相対的に前記台をX軸方向及びY軸方向に移動するこ
とのできるX−Y方向移動手段と、前記X−Y方向移動
手段によるX−Y方向への基準点からの移動距離を計測
する手段と、前記計測する手段からの出力信号を読み込
むための手動スイッチと、前記手動スイッチと前記計測
する手段に応答し前記手動スイッチの操作された時点に
おける前記移動距離を記憶する手段と、前記記憶する手
段に記憶されたデータを演算する手段からなる光ファイ
バ構造パラメータ測定装置が提供される。
[実施例] 以下図面と共に本発明の実施例について説明する。被測
定物である光ファイバ片を含む試料10を置く台62は
黒板からなり、この黒板62は手動のゴニオステージ6
3の上に固定されることにより2軸方向にあおり角調整
が可能である。ゴニオステージ63は手動のX軸ステー
ジ56上に置かれており、このX軸ステージ56はモー
タドライブのY軸ステージ58上に置かれている。60
はY軸ステージ58が置かれているシャーシであり、6
4はY軸ステージ58を駆動するモータである。なおY
軸ステージ58は手動操作も可能である。 図中Y軸は
矢印で示される左右方向の軸であり、X軸は紙面に垂直
な方向である。ゴニオステージ63の上方には鏡筒12
が図中上下方向、すなわちZ軸方向に伸長するように設
けられている。この鏡筒12の内部にはハーフミラ−1
6゜18.20.対物レンズ群14、結像レンズ22、
光検出器24が設けられている。ハーフミラ−18には
操作部19が設けられており、使用者が鏡筒12の外部
から操作して図中上下方向に伸長する光路からこのハー
フミラ−18を除くことができるようになっている。
30はHe−Neレーザであり発光されたレーザビーム
は1/4λ板32、レンズ34、ビームスプリッタ36
を介して前述の/−一フミラー20に導びかれ、対物レ
ンズ群14を介して試料10の端面に照射される。図中
28.38,42゜52はレンズであり、26.40は
反射鏡である。
44は試料10の端面にて反射したレーザビームを検出
するフォーカス検出用光検出器であり、46は光検出器
44からの検出信号を用いて制御信号を作る制御回路で
ある。この制御信号はモータ48に与えられ、鏡筒12
を2軸方向に移動制御して自動フォーカスが行われる。
50は照明用光源であり、その出射光はレンズ52、ノ
\−フミラー16、対物レンズ群14を介して試料10
に照射され、レンズ28を介しての光ファイバの目視を
容易にしている。54はレーザ30からのレーザビーム
をビームスプリッタ36を介して受光する光検出器であ
り、前述の光検出器24と同規格のものが用いられるこ
とが好ましい。この光検出器54はモニタ用であり、光
検出器24での受光量の変化に対する基準を与えるもの
である。
78A、80A、82Aはリニアエンコーダであり、そ
れぞれZ軸、X軸、Y軸方向の動きを基準点に対する座
標にて示すデジタル信号を発生するものである。すなわ
ち、Z軸周すニアエンコーダ78Aは鏡筒12の2軸方
向の移動に対して、X軸周リニアエンコーダ80AはX
輪ステージ56のX軸方向の移動に対して、Y軸周リニ
アエンコーダ82AはY軸ステージ58のY軸方向の移
動に対して動作するものである。
第2図は第1図の測定装置の電気回路部分のみを示した
ブロック図である。上記リニアエンコーダ78A、80
A、82Aの出力信号は各々デジタルパネルメータ78
B、80B、82Bとインターフェース84を介してコ
ンピュータ72に入力されている。各デジタルパネルメ
ータ78B。
80B、82Bはカウンタ78C,80C。
82Cと表示部78D、80D、82Dを有している。
88はフットスイッチであり、後述するように測定者が
レンズ28を介して光ファイバ10を目視しつつ必要な
データを読み込むために用いられる。70は光検出器2
4.54の出力信号を各々増幅した2つの信号間で除算
して得られる商信号をデジタル信号に変換して出力する
2チヤンネルパワーメータであり、このデジタル信号は
コンピュータ72に入力される。74はコンピュータ7
2に接続されたCRT、76は同様に接続されたキーボ
ードである。このコンピュータ72、CRT74、キー
ボード76はパーソナルコンピュータとして汎用されて
いるものを用いることができる。
次に上記測定装置を用いた光ファイバ構造パラメータの
測定について説明する。
測定に先立って被測定物たる試料10を準備すると共に
、できた試料10を台63の上に置き所定の準備作業を
行う必要がある。
試料10に含まれるべき光ファイバをエボキシ樹脂接着
剤にて抱み固化する。具体的にはポリエチレン製シリン
ダの中心に光ファイバを通し、エポキシ樹脂を注入した
後、室温にて放置し固化させる。固化した後、適当な長
さ、例えば5〜10龍、の試料片となるよう切断する。
次に測定用端面を研磨する。研磨条件としては#150
0耐水研磨紙、1μmアルミナ、0.05μmアルミナ
の順とする。研磨終了後超音波洗浄により研磨粒を完全
に除去し、次に圧縮空気を送り測定端面の水滴を吹きと
ばす。その後試料片10を真空乾燥して試料片が完成す
る。この試料片10はマツチングオイルとして用いられ
るグリセリン(n −1,475)をゴニオステージ6
2の上部に置かれるべき台、すなわち黒板63の表面に
滴下し、研磨した端面を上方にして、マツチングオイル
滴下部に置かれる。第3図はこの様子を示す図であり、
90がエポキシ樹脂、92が光ファイバ、94はマツチ
ングオイルである。
このようにしてできた試料片10を載せた黒板63をゴ
ニオステージ62の上に置き黒板63をゴニオステージ
62に対して固定する。この状態で目視観察用の白色照
明光源50に通電し、又He−Neレーザ30にも通電
し白色光とレーザビームを鏡筒12を介して試料10の
端面に照射する。次にX軸ステージ56とY軸ステージ
58を各々手動にて操作し、レーザビームが試料10中
の光ファイバ92の中心付近を通ってそれぞれX軸方向
、Y軸方向に掃引されるようにする。このX軸及びY軸
方向の掃引中、光検出器44、制御回路46、モータ4
8からなるオートフォーカス機構が動作し、鏡筒12を
常に最適なフォーカスが得られる位置に2軸に沿って移
動させる。試料10の端面がZ軸に対して垂直でなく、
傾いていると、照射されたレーザビームが正確に所定の
光路に戻ってこなくなるので、2軸ゴニオステージ62
のあおり角を手動調整する必要がある。このため、上記
掃引中のZ軸周リニアエンコーダ78Aの出力に応答す
るデジタルパネルメータ78Bの表示部78Dに表示さ
れる値が常に一定となるように手動で2種類のあおり角
を調整する。
これで試料10の端面がZ軸に対して垂直になったこと
になる。
次に光ファイバ92のコアとクラッドの境界をレンズ2
8を介して目視しながらX軸ステージ56とY軸ステー
ジ58を手動操作して、レーザビームスポットがコアと
クラッドの境界に位置するようにし、ここでフットスイ
ッチ88を踏む。
従ってこのときの各リニアエンコーダ78A。
80A、82Aの出力値、すなわち各座標値がコンピュ
ータ72に読み込まれ記憶される。次にX軸ステージ5
6とY軸ステージ58を手動操作し、先の1点と共に略
正三角形を形作る他の2点をクラッドとコアの境界上に
求めて同様にフットスイッチ88により各座標値を読み
込む。第4図は光ファイバのコアとクラッドの境界上に
3点を設定した様子を示す図である。この3点のX−Y
座標(x  、  y  )+  (x  *  y 
 )、  (x3.y3)l  1   2 2 から3点を通る円の方程式を求め、次に中心座標a、b
と半径Rを次の式(1)〜(3)から求める。
から3点を通る円の方程式を求め、次に中心座標a、b
と半径Rを次の式(1)〜(3)から求める。
−(y −y  ) lx、2+y12−x2−y2)
1/2  ((y  −y  )  ・(x  −x 
 )−(y2−yl)・(X2−X3 )l     
      ・・(1)−b−(−2・(x2−X3 
) ・(−a)X  2−y  2+x  2−y  
21これらの演算結果はCRT74に表示される。
次に中心座標(a、b)にレーザビームスポットが位置
するようにデジタルパネルメータ80B。
82Bを見ながらX軸ステージ56を手動操作し、Y軸
ステージ58を自動操作する。中心座標にレーザビーム
スポットが照射される状態となるとX軸とY軸のデジタ
ルパネルメータ80B、82Bが中心座標(a、b)を
示すので、ここで停止し、デジタルパネルメータ80B
、82Bのカウンタ80C,82Cを0にリセットする
。従って各表次に試料10の端面の凹凸量が所定許容量
(例えば1μm)以内か否かの検査を行う。これはY軸
方向に掃引しつつ、1μmステップで2軸のカウンタ7
8Cの値を次々と自動的にコンピュータ72に読み込み
、オートフォーカスによる鏡筒12の2軸方向移動量の
変化をCRT74の画面上に作図することにより行う。
すなわちY軸を横軸に、Z軸を縦軸にして端面の平坦の
度合を作図し、Z軸移動量、すなわち凹凸差が許容量を
超えているときは、その試料は不適当であると判断し除
外する。このようにして選択された試料10を用いて以
下の測定が行われる。
まずコア径、コア非円率、クラツド径、クラッド非円率
、コア/クラッド偏心率の測定について説明する。上記
測定項目中、コア径とクラツド径以外の項目は、複数の
コア径とクラツド径のデータを用いて演算により求める
ことができる。従ってコア径とクラツド径の複数のデー
タを取り込む必要がある。
第5図は上記データを取り込み各測定を行うフローを示
すフローチャートであり、ステップA。
B、Cの詳細は第6図〜第8図に示されている。
第5図の実施例ではコア径を先に測定しているが、クラ
ツド径を先に測定してもよく、この場合は第8図のフロ
ー中のコア/クラッド偏心率を演算するステップを第7
図のフローに移せばよい。第5図のステップAはレーザ
ビームスポットを光ファイバの中心に位置させるための
処理であり、第6図に示されているように、コア又はク
ラッドの円周上の任意の3点の座標を取り込み、前述の
準備作業同様の計算で中心座標(a、b)と半径Rを求
め、CRT74に表示する。この表示を見て、X軸ステ
ージ56を手動操作してレーザビームスポットがX軸座
標のaに位置するようにし、次にY軸ステージ58を自
動操作し、レーザビームスポットがY軸座標のbに位置
するようにする。こうしてレーザビームスポットは光フ
ァイバの中心座標(a、b)に位置することとなる。な
おこの中心座標(a、b)は上記のように円周上の任意
の3点の座標から求めたものであり、光ファイバが真円
であるとは限らないから、真の中心点から多少ずれてい
ることもありうる。この中心座標(a、b)を原点(0
,O)とおき、CRT74の画面には座標の原点を中心
とし、半径Rの円を描く。
次にコア径等の測定フローBについて第7図により説明
する。測定者はデータの取り込み数を決めキーボード7
6から入力する。データは3点で1セツトとなるので必
ずデータ数は3の倍数でなくてはならない。コア外周に
沿ってレーザビームスポットを照射し、フットスイッチ
88を踏むことにより、データを次々と取り込んでゆく
。データ数が予め入力した数に達すると、前述同様の方
法で3点の座標から中心座標を求め、複数の中心座標を
平均して真の中心座標を求める。次に真の中心に極座標
を適用して各測定点までの半径を求め、このデータから
コア径とコア非円率を求める。
なおコア径は複数の半径の値を平均して2倍したもので
ある。又コア非円率(N co)は次の式による。
Neo(%)−+ (RooM^X   coMIN 
) R /R)X100      ・ 赤 ・ (4)O ここでR8oMAXはコア半径の最大値’ RcoMI
Nは同最小値、Rは同平均値である。
O 上記計算結果はCRT74に表示されると共に、測定さ
れたコア径を用いて円を描き直す。
第8図はクラツド径等の測定フローCを示すもので、基
本的に第7図のフローと同様であるが、最後にコア/ク
ラッド偏心率を求める処理が加っている点が異る。第8
図中クラッドの非円率(N cl)は次の式により求め
られる。
Ncl(X)” ’ (RclMAX   clMIN
 ) R /RlX100     −  −(5)cl ここでRはクラッド半径の最大値、 1MAX RclMINは同最小値、Rclは同平均値である。
コア/クラッド偏心率(E    ’)はコアの中co
/cl 心座標とクラッドの中心座標の相互間の距離Xを求め次
の式により計算する。
Eco/cl (%)” (X/2R)X100・・・
(6)O 次に屈折率と屈折率分布、更に理論最大NAを求めるフ
ローについて第9図に従って説明する。
本発明の装置では屈折率等を求めるためにコア及びクラ
ッドの反射率を求めているが、反射率と屈折率及び理論
最大NAの関係についてまず説明する。
物質の屈折率nと反射率Rには次の関係がある。
コアの反射率をRクラッドの反射率をR2とし、その比
をRとするとき、RKは実測により得られる反射光強度
比R’  / R’ tにより測定できる。
R−R/R−R’2/R’l コアの屈折率を01とすれば であり、n1アツベ屈折率計などで、予めバルク材料を
用いて実測でき、R1は(7)式で計算でき、(8)式
より R−R’  /R’  を測定すれば、n2が計算K 
      2      1 できる。
NA −(n  2−  2) 112−(11)1 
  °2 により理論最大NAが計算できる。
第9図のフローではY軸ステージ58を自動操作してク
ラッドの直径に沿ってY軸方向の掃引を行い、クラッド
部分では1μm毎に、又コア部分では10μm毎に反射
レーザビームの強度を測定してゆく。最初のステップで
コア径+20μmの位置までY軸ステージ58を移動す
るのは、クラッド厚が10μm程度であるので、クラッ
ドの外周より更に外側から測定を開始するためである。
光ファイバの直径に沿って反射強度データを取り込むと
、このデータを用いて屈折率、屈折率分布、理論最大N
Aを計算し、CRT74に表示する。
第1表は種類の異なるシート状光ファイバ材料を用いて
測定した屈折率、理論最大NA等をまとめたものである
。表中「ブランク」とは試料を置かず無反射状態での測
定を示す。「PMMAJはコア材として用いられるポリ
メチルメタクリレート、試料(1)〜(3)はクラツド
材として用いられる異なる種類の合成樹脂からなるもの
である。NA理論値はアツベの屈折計を用いて測定した
第1行目の測定値から計算したものである。反射光強度
は「ブランク」以外については3回測定し平均値又を求
めた。この反射光強度は第1図の光検出器24の出力を
モニター用光検出器54の出力で除算して補正したもの
である。
この第1表から明らかなように本発明の測定装置で得ら
れた屈折率及びNA計算値はそれぞれアツベの屈折計か
ら得られた屈折率とNA理論値とほぼ等しく、測定精度
が極めて高いことがわかる。
第10図は上記測定で得られた屈折率の分布の一例を示
すグラフ、第11図はその部分拡大図である。
第2表は2種類のプラスチック光ファイバを用いて各項
目を測定した結果をまとめたものである。
使用した光ファイバは三菱レイヨン■製のエスカ(商標
)の2種類である。
上記実施例では試料10を載せたX軸ステージ56及び
Y軸ステージ58を移動する構成となっているが、試料
を固定して鏡筒12をX−Y方向に移動するようにして
もよい。又Z軸についても実施例では鏡筒12を移動し
たが、試料10を移動してもよい。すなわち鏡筒12と
試料10が相対的にx、y、zの3方向に移動する構成
となっていればよいのである。
[発明の効果コ 以上詳細に説明したところから明らかなように、本発明
の光ファイバ構造パラメータ測定装置は上記構成となっ
ているので、光ファイバのレーザビームの照射状況を目
視しつつフットスイッチ等の手動スイッチを用いてX−
Y座標を取り込むことができ、取り込んだ複数のデータ
を用いてコア径、クラツド径、コア非円率、クラッド非
円率を容易かつ正確に測定することができる。又レーザ
ビームの反射光強度を測定することにより屈折率とその
分布、理論最大NAを容易かつ正確に測定することがで
きる。
第1図は本発明の光ファイバ構造パラメータ測定装置の
模式図、第2図は同装置の電気回路部分のブロック図、
第3図は光ファイバを含む試料を黒板上に置いた状態を
示す図、第4図は光ファイバのコアとクラッドの境界上
にレーザビームスポットを3点設定した状況を示す図、
第5図〜第9図は第2図に示したコンビ二一夕の処理フ
ローを示す図、第10図、第11図は測定した屈折率の
分布を示すグラフである。
10・・・試料、12・・・鏡筒、14・・・対物レン
ズ群、16.18.20・・・ハーフミラ−19・・・
操作部、22.28,34,38,42.52・・・レ
ンズ、24.54・・・光検出器、26.40・・・鏡
、30・・・レーザ、32・・・ 1/4λ板、36・
・・ビームスプリッタ、44・・・フォーカス検出用光
検出器、46・・・制御回路、48.64・・・モータ
、50・・・照明用白色光源、56・・・X軸ステージ
、58・・・Y軸ステージ、60・・・シャーシ、62
・・・台(黒板)、63・・・ゴニオステージ、70・
・・2−チャンネルパワメ−夕、72・・・コンピュー
タ、74・・・CRT、76・・・キーボード、78A
、80A、82A・・・リニアエンコーダ、78B、8
0B、82B・・・デジタルパネルメータ、78C,8
0C,82C・・・カウンタ、78D、80D、82D
・・・表示部、84・・・インターフェース、88・・
・フットスイッチ、90・・・エポキシ樹脂、92・・
・光ファイバ、94・・・マツチングオイル。
発  明  者  伊   藤   英   昭特許出
願人 三菱レイヨン株式会社 代 理 人 弁理士 二 瓶 正 散 策 図 第3 第 図 第 図 第 図

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)被測定物の光ファイバ片を置くための台と、所定
    のレーザビームを出力するレーザと、前記レーザビーム
    をフォーカス機構を介して前記光ファイバに照射する手
    段と、前記光ファイバに前記レーザビームが照射されて
    いる様子を目視観測する手段と、前記レーザビームの照
    射方向をZ軸方向とするとき、相対的に前記台をX軸方
    向及びY軸方向に移動することのできるX−Y方向移動
    手段と、前記X−Y方向移動手段によるX−Y方向への
    基準点からの移動距離を計測する手段と、前記計測する
    手段からの出力信号を読み込むための手動スイッチと、
    前記手動スイッチと前記計測する手段に応答し前記手動
    スイッチの操作された時点における前記移動距離を記憶
    する手段と、前記記憶する手段に記憶されたデータを演
    算する手段からなる光ファイバ構造パラメータ測定装置
  2. (2)前記光ファイバの端面に照射された前記レーザビ
    ームの反射光を検出する手段と、前記反射光を検出する
    手段の出力信号に応答し前記照射する手段の前記フォー
    カス機構を制御する手段とを有する請求項1記載の光フ
    ァイバ構造パラメータ測定装置。
  3. (3)前記光ファイバの端面にて反射された前記レーザ
    ビームの反射光の強度を測定する手段と、前記光ファイ
    バのコア部からの反射光の強度とクラッド部からの反射
    光の強度を用いて前記光ファイバの屈折率を演算する手
    段とを有する請求項1又は2記載の光ファイバ構造パラ
    メータ測定装置。
  4. (4)前記X−Y方向移動手段を制御して前記台を所定
    距離ずつ一つの方向に移動せしめる手段と、前記所定距
    離の移動のあったときに前記反射光の強度を読み込む手
    段を有する請求項3記載の光ファイバ構造パラメータ測
    定装置。
JP29560088A 1988-11-22 1988-11-22 光ファイバ構造パラメータ測定装置 Pending JPH02141638A (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106526757A (zh) * 2016-12-29 2017-03-22 合肥大族科瑞达激光设备有限公司 光纤生产装备

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