JPH02141618A - 位置センサ、その被検体及び位置検出センサ - Google Patents
位置センサ、その被検体及び位置検出センサInfo
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- JPH02141618A JPH02141618A JP29533188A JP29533188A JPH02141618A JP H02141618 A JPH02141618 A JP H02141618A JP 29533188 A JP29533188 A JP 29533188A JP 29533188 A JP29533188 A JP 29533188A JP H02141618 A JPH02141618 A JP H02141618A
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 90
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 3
- 101710139363 Mini-ribonuclease 3 Proteins 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 230000000593 degrading effect Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
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- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野〕
本発明は、圧力シリンダの伸縮量や工作機械の移動量等
を高速、かつ、高精度に検出するに好適なる位置センサ
、その被検体及び位置検出センサに係わり、詳しくは、
被検体のスペースが僅かであっても（従って、これに付
与できる位置情報が僅かであっても）、被検体と位置検
出センサとの相対位置を、移動中であれ、かつ、初期位
置であれ高速、かつ、高精度に検出し得る位置センサ、
その被検体及び位置検出センサに関する。
を高速、かつ、高精度に検出するに好適なる位置センサ
、その被検体及び位置検出センサに係わり、詳しくは、
被検体のスペースが僅かであっても（従って、これに付
与できる位置情報が僅かであっても）、被検体と位置検
出センサとの相対位置を、移動中であれ、かつ、初期位
置であれ高速、かつ、高精度に検出し得る位置センサ、
その被検体及び位置検出センサに関する。
従来、位置センサ、その被検体及び位置検出センサは、
被検体の伸縮量や移動量等に基づき、スキャニングによ
り被検体と位置検出センサとの相対位置の変化量を測定
したり、この測定結果を利用して工作機械等におけるワ
ークの位置決め等に用いたりするに重要である。位置セ
ンサは、位置検出センサと被検体とからなり、−ａに位
置検出センサはホール素子や検出コイルでなる複数個の
センサを備え、更に被検体の直上に設置されて被検体上
の情報を検出する構成である６位置検出センサで検出さ
れる被検体上の情報としては一般に凹凸や磁気特性の違
い等で表されるＢＣＤ （２進化１０進法）コード又は
１０進２進変換コード等が知られる。詳しくは、この種
の位置センサである第４図を参照し、以下説明する。同
図において、位置検出センサ２０Ｐは、被検体１０Ｐ直
上に設置され、位置検出センサ２０Ｐと被検体ｌＯＰと
の対向面に、前者については８個のセンサＰ１が直列に
設置され、後者については１０進２進変換コードの１バ
イトでなる情報Ｐ２が順に多数敷き詰められた構成であ
る０次に、かかる構成における変化量の検出を説明すれ
ば、被検体１０Ｐが移動すると、センサＰＩが被検体１
０Ｐ上の前記情報Ｐ２を検出する構成である６例えば、
ある位置においてセンサＰ１が被検体１０Ｐ上の情報（
Ｐ２＝０１０１０１０１）を検出したとすれば、この値
は１０進数で８５であうで、仮に、Ｏを基準とし、かつ
、１目盛りを１ｃｍとすれば、８５ｃｍ目という結果に
なる。これがＢＣＤコード（例えば、ｌＯ進法で８５な
らば、ＢＣＤコードは８＝１０００と５＝０１０１とで
１００００１０１となる）等でなる情報Ｐ２のものも、
上述同様これらを順に被検体１０Ｐ上に敷き詰めた構成
となっている。
被検体の伸縮量や移動量等に基づき、スキャニングによ
り被検体と位置検出センサとの相対位置の変化量を測定
したり、この測定結果を利用して工作機械等におけるワ
ークの位置決め等に用いたりするに重要である。位置セ
ンサは、位置検出センサと被検体とからなり、−ａに位
置検出センサはホール素子や検出コイルでなる複数個の
センサを備え、更に被検体の直上に設置されて被検体上
の情報を検出する構成である６位置検出センサで検出さ
れる被検体上の情報としては一般に凹凸や磁気特性の違
い等で表されるＢＣＤ （２進化１０進法）コード又は
１０進２進変換コード等が知られる。詳しくは、この種
の位置センサである第４図を参照し、以下説明する。同
図において、位置検出センサ２０Ｐは、被検体１０Ｐ直
上に設置され、位置検出センサ２０Ｐと被検体ｌＯＰと
の対向面に、前者については８個のセンサＰ１が直列に
設置され、後者については１０進２進変換コードの１バ
イトでなる情報Ｐ２が順に多数敷き詰められた構成であ
る０次に、かかる構成における変化量の検出を説明すれ
ば、被検体１０Ｐが移動すると、センサＰＩが被検体１
０Ｐ上の前記情報Ｐ２を検出する構成である６例えば、
ある位置においてセンサＰ１が被検体１０Ｐ上の情報（
Ｐ２＝０１０１０１０１）を検出したとすれば、この値
は１０進数で８５であうで、仮に、Ｏを基準とし、かつ
、１目盛りを１ｃｍとすれば、８５ｃｍ目という結果に
なる。これがＢＣＤコード（例えば、ｌＯ進法で８５な
らば、ＢＣＤコードは８＝１０００と５＝０１０１とで
１００００１０１となる）等でなる情報Ｐ２のものも、
上述同様これらを順に被検体１０Ｐ上に敷き詰めた構成
となっている。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、上記従来の位置センサ、その被検体及び
位置検出センサには、次に掲げる不都合がある。つまり
、被検体において、検出分解能を向上させようとすれば
、被検体上のＢＣＤコード１０進２進変換コード又は暗
号コード等のビット数を増やさなければならず、そして
これら多量のビットを被検体上に敷き詰める結果、大面
積の被検体としなければならないという不都合が生じて
いる。換言すれば、かかる大面積を確保するため、装置
自体の全体容積も大きくせざるを得ないという不都合が
生じている。
位置検出センサには、次に掲げる不都合がある。つまり
、被検体において、検出分解能を向上させようとすれば
、被検体上のＢＣＤコード１０進２進変換コード又は暗
号コード等のビット数を増やさなければならず、そして
これら多量のビットを被検体上に敷き詰める結果、大面
積の被検体としなければならないという不都合が生じて
いる。換言すれば、かかる大面積を確保するため、装置
自体の全体容積も大きくせざるを得ないという不都合が
生じている。
本発明は、上記従来の問題点に着目し、狭いスペースに
おいて、換言すれば、限られたスペースにおいて、僅か
なビット数からなる情報を備えた被検体と、このような
被検体の情報を分解能を低下させることなく検出し得る
位置検出センサと、更にこれら被検体と位置検出センサ
とからなる位置センサとを提供することを目的とする。
おいて、換言すれば、限られたスペースにおいて、僅か
なビット数からなる情報を備えた被検体と、このような
被検体の情報を分解能を低下させることなく検出し得る
位置検出センサと、更にこれら被検体と位置検出センサ
とからなる位置センサとを提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明に係わる位置センサ、
その被検体及び位置検出センサは、第１図を参照し説明
すれば、先ず、位置センサは、複数ｎａビットでなるア
ブソリュート形情報ａが複数Ｎａ毎に同一情報を備え一
群Ｇをなし、この群Ｇが群毎に異なる情報を備えて複数
Ｇｎ配列されてなるアブソリュート形情報列Ａと、少な
くともｌピントであり、かつ、前記各アブソリュート形
情報群Ｇ内毎に複数Ｎａ備えてなるインクリメンタル形
情報すを前記アブソリュート形情報列Ａと並列に配列し
てなるインクリメンタル形情報列Ｂとを備えてなる被検
体１０、及びｎａ個のアブソリュート情報検出センサ２
１と、ｋが１≦に≦ｎａであるｋＸ （Ｎａ−１）個の
アブソリュート情報検出センサ２２と、少なくとも１個
のインクリメンタル情報検出センサ２３とを備えてなる
位置検出センサ２０を備え、アブソリュート形情報ａは
アブソリュート情報検出センサ２１及び２２により、イ
ンクリメンタル形情１ｂはインクリメンタル情報検出セ
ンサ２３により検出される構成とした０次に、被検体は
、複数ｎａビットでなるアブソリュート形情報ａが複数
Ｎａ毎に同一情報を備え一群Ｇをなし、この群Ｇが群毎
に異なる情報を備えて複数Ｇｎ配列されてなるアブソリ
ュート形情報列Ａと、少なくともｌ°ビットであり、か
つ、前記各アブソリュート形情報群Ｇ内毎に複数Ｎａ備
えてなるインクリメンタル形情報すを前記アブソリュー
ト形情報列Ａと並列に配列してなるインクリメンタル形
情報列Ｂとを備えてなる構成とした。更に、位置検出セ
ンサは、複数ｎａ個のアブソリュート情報検出センサ２
１と、ｋが１≦に≦ｎａであるｋｘ （Ｎａ−１）個の
アブソリュート情報検出センサ２２と、少なくとも１個
のインクリメンタル情報検出センサ２３とを備えてなる
構成とした。
その被検体及び位置検出センサは、第１図を参照し説明
すれば、先ず、位置センサは、複数ｎａビットでなるア
ブソリュート形情報ａが複数Ｎａ毎に同一情報を備え一
群Ｇをなし、この群Ｇが群毎に異なる情報を備えて複数
Ｇｎ配列されてなるアブソリュート形情報列Ａと、少な
くともｌピントであり、かつ、前記各アブソリュート形
情報群Ｇ内毎に複数Ｎａ備えてなるインクリメンタル形
情報すを前記アブソリュート形情報列Ａと並列に配列し
てなるインクリメンタル形情報列Ｂとを備えてなる被検
体１０、及びｎａ個のアブソリュート情報検出センサ２
１と、ｋが１≦に≦ｎａであるｋＸ （Ｎａ−１）個の
アブソリュート情報検出センサ２２と、少なくとも１個
のインクリメンタル情報検出センサ２３とを備えてなる
位置検出センサ２０を備え、アブソリュート形情報ａは
アブソリュート情報検出センサ２１及び２２により、イ
ンクリメンタル形情１ｂはインクリメンタル情報検出セ
ンサ２３により検出される構成とした０次に、被検体は
、複数ｎａビットでなるアブソリュート形情報ａが複数
Ｎａ毎に同一情報を備え一群Ｇをなし、この群Ｇが群毎
に異なる情報を備えて複数Ｇｎ配列されてなるアブソリ
ュート形情報列Ａと、少なくともｌ°ビットであり、か
つ、前記各アブソリュート形情報群Ｇ内毎に複数Ｎａ備
えてなるインクリメンタル形情報すを前記アブソリュー
ト形情報列Ａと並列に配列してなるインクリメンタル形
情報列Ｂとを備えてなる構成とした。更に、位置検出セ
ンサは、複数ｎａ個のアブソリュート情報検出センサ２
１と、ｋが１≦に≦ｎａであるｋｘ （Ｎａ−１）個の
アブソリュート情報検出センサ２２と、少なくとも１個
のインクリメンタル情報検出センサ２３とを備えてなる
構成とした。
かかる請求項１内前段記載の及び請求項２記載の被検体
の構成であれば、第１図において、アブソリュート形情
報列Ａは、インクリメンタル形情報列Ｂに対し、アブソ
リュート形情報群毎に異なる値の上位の位となり、他方
インクリメンタル形情報列Ｂは、アブソリュート形情報
列Ａの上位の位に対し、これを複数Ｎａに細分しである
ため、下位の位となり得る。従って、アブソリュート形
情報列Ａとインクリメンタル形情報列Ｂとは僅かなビッ
ト数であっても、これを組み合わせて位取りしているた
め、多（の値とすることができる。
の構成であれば、第１図において、アブソリュート形情
報列Ａは、インクリメンタル形情報列Ｂに対し、アブソ
リュート形情報群毎に異なる値の上位の位となり、他方
インクリメンタル形情報列Ｂは、アブソリュート形情報
列Ａの上位の位に対し、これを複数Ｎａに細分しである
ため、下位の位となり得る。従って、アブソリュート形
情報列Ａとインクリメンタル形情報列Ｂとは僅かなビッ
ト数であっても、これを組み合わせて位取りしているた
め、多（の値とすることができる。
この場合、情報検出の最小分解能はインクリメンタル形
情報すのスパンδにより決定されることになる。次に、
請求項１内後段記載の又は請求項３記載の位置検出セン
サの構成であれば、アブソリュート形情報ａとインクリ
メンタル形情報すとを同時に検出することにより、稼働
時の被検体と位置検出センサとの相対移動量の検出はも
とより、始動時の被検体と位置検出センサとの相対的絶
対位置量をも容易に検出することが可能である。
情報すのスパンδにより決定されることになる。次に、
請求項１内後段記載の又は請求項３記載の位置検出セン
サの構成であれば、アブソリュート形情報ａとインクリ
メンタル形情報すとを同時に検出することにより、稼働
時の被検体と位置検出センサとの相対移動量の検出はも
とより、始動時の被検体と位置検出センサとの相対的絶
対位置量をも容易に検出することが可能である。
以下本発明に係わる位置センサ、その被検体及び位置検
出センサの実施例を、図面（第１図乃至第３図）を参照
し、説明する。
出センサの実施例を、図面（第１図乃至第３図）を参照
し、説明する。
第１図は請求項２の被検体の第１実施例及び請求項３の
位置検出センサの第１実施例並びにこれらからなる請求
項１の位置センサの第１実施例を示す図であって、同図
において、先ず、請求項２の第１実施例なる被検体ｌＯ
はアブソリュート形情報列Ａと、これに並列に並べたイ
ンクリメンタル形情報列Ｂとを備えている。前者アブソ
リュト情報列Ａは、３ビット（ｎａｗ３ビット）で−の
アブソリュート形情報ａを１０個（つまり、Ｎａ＝１０
）並べて一群Ｇとし、これら群Ｇｎを８個（Ｇ ｎ ＝
Ｇ ｏ〜Ｇ？）並べた構成である。各群Ｇ内ではアブ
ソリュート形情報ａは同一の情報を有しているが、各群
間では異なる。つまり、群ＧｎをＧ Ｏ−０００、ＣＩ
−００１１Ｇ ｚ ＝ ０１０、・・・Ｇｔ””１１１
と順に並べ、アブソリュート形情報列Ａをなしている。
位置検出センサの第１実施例並びにこれらからなる請求
項１の位置センサの第１実施例を示す図であって、同図
において、先ず、請求項２の第１実施例なる被検体ｌＯ
はアブソリュート形情報列Ａと、これに並列に並べたイ
ンクリメンタル形情報列Ｂとを備えている。前者アブソ
リュト情報列Ａは、３ビット（ｎａｗ３ビット）で−の
アブソリュート形情報ａを１０個（つまり、Ｎａ＝１０
）並べて一群Ｇとし、これら群Ｇｎを８個（Ｇ ｎ ＝
Ｇ ｏ〜Ｇ？）並べた構成である。各群Ｇ内ではアブ
ソリュート形情報ａは同一の情報を有しているが、各群
間では異なる。つまり、群ＧｎをＧ Ｏ−０００、ＣＩ
−００１１Ｇ ｚ ＝ ０１０、・・・Ｇｔ””１１１
と順に並べ、アブソリュート形情報列Ａをなしている。
他方、インクリメンタル形情報すは、１ビットで−の情
報であって、これが１，０．１，０・・・と、１と０と
を８０個（つまり、ＮａＸＧｎ−１０Ｘ８）前記アブソ
リュート形情報列Ａと並列に並べ、インクリメンタル形
情報列Ｂをなしている。更に、インクリメンタル形情報
列Ｂは、前記アブソリュート形情報群Ｇの各々の群内に
おいて、アブソリュート形情報数Ｎａと同数（つまり、
Ｎａ＝１０個）のインクリメンタル形情報すを持つよう
に構成しである。次に、請求項３の第１実施例なる位置
検出センサ２０は、前記被検体１０に対向する面に、ア
ブソリュート情報ａのビット数ｎａと同数の、つまり、
３個のアブソリュート情報検出センサ２１と、ｋが３で
ある２７個（ｋｘ （Ｎａ−１） ＝３Ｘ（１０−１）
）のアブソリュート情報検出センサ２２と、１個のイン
クリメンタル情報検出センサ２３とを備えた構成である
。そして、かかる被検体１０と位置検出センサ２０とか
らなる位置センサが請求項１の第１実施例である。第２
図は請求項２の被検体の第２実施例を示す図であって、
ｎａ＝３ミニ３ピツドソリュート形情報ａ、、Ｎａ−８
のアブソリュート形情報の群Ｇ、これら群Ｇ、を８個（
Ｇ ｎ ＝ Ｇ ｏ〜Ｇｙ）並べたアブソリュト形情報
列Ａ、他方これと並列に、ｎｂ＝１ピッドのインクリメ
ンタル形情報すを６４個並べた被検体１０Ａの例である
。
報であって、これが１，０．１，０・・・と、１と０と
を８０個（つまり、ＮａＸＧｎ−１０Ｘ８）前記アブソ
リュート形情報列Ａと並列に並べ、インクリメンタル形
情報列Ｂをなしている。更に、インクリメンタル形情報
列Ｂは、前記アブソリュート形情報群Ｇの各々の群内に
おいて、アブソリュート形情報数Ｎａと同数（つまり、
Ｎａ＝１０個）のインクリメンタル形情報すを持つよう
に構成しである。次に、請求項３の第１実施例なる位置
検出センサ２０は、前記被検体１０に対向する面に、ア
ブソリュート情報ａのビット数ｎａと同数の、つまり、
３個のアブソリュート情報検出センサ２１と、ｋが３で
ある２７個（ｋｘ （Ｎａ−１） ＝３Ｘ（１０−１）
）のアブソリュート情報検出センサ２２と、１個のイン
クリメンタル情報検出センサ２３とを備えた構成である
。そして、かかる被検体１０と位置検出センサ２０とか
らなる位置センサが請求項１の第１実施例である。第２
図は請求項２の被検体の第２実施例を示す図であって、
ｎａ＝３ミニ３ピツドソリュート形情報ａ、、Ｎａ−８
のアブソリュート形情報の群Ｇ、これら群Ｇ、を８個（
Ｇ ｎ ＝ Ｇ ｏ〜Ｇｙ）並べたアブソリュト形情報
列Ａ、他方これと並列に、ｎｂ＝１ピッドのインクリメ
ンタル形情報すを６４個並べた被検体１０Ａの例である
。
第３図は請求項２の被検体の第２実施例及び請求項３の
位置検出センサの第２実施例並びにこれらからなる請求
項１の位置センサの第２実施例を示す図である。前者に
ついては上記で既説明済みであり、後者の請求項３の位
置検出センサの第２実施例について述べる。同図におい
て、位置検出センサ２ＯＡは、前記被検体１０Ａに対向
する面に、３個（アブソリュート情報ａと同数個である
、つまり、ｎａ＝３）のアブソリエート情報検出センサ
２１と、ｋが１であるｋｘ（Ｎａ−１）＝ｌｘ（１０−
１）＝９個のアブソリュート情報検出センサ２２Ａと、
１個のインクリメンタル情報検出センサ２３とを備えた
位置検出センサ２０Ａの例である。
位置検出センサの第２実施例並びにこれらからなる請求
項１の位置センサの第２実施例を示す図である。前者に
ついては上記で既説明済みであり、後者の請求項３の位
置検出センサの第２実施例について述べる。同図におい
て、位置検出センサ２ＯＡは、前記被検体１０Ａに対向
する面に、３個（アブソリュート情報ａと同数個である
、つまり、ｎａ＝３）のアブソリエート情報検出センサ
２１と、ｋが１であるｋｘ（Ｎａ−１）＝ｌｘ（１０−
１）＝９個のアブソリュート情報検出センサ２２Ａと、
１個のインクリメンタル情報検出センサ２３とを備えた
位置検出センサ２０Ａの例である。
その他の例として、被検体については、アブソリュート
形情報ａのピッドを変更したもの（ｎａ＝３〜４が実用
的であろう）、インクリメンタル情報すのピッドを変更
したもの（ｎｂ＝２でもよいがｎｂ＝１が実用的であろ
う）、又はアブソリュート形情報群内のアブソリュート
形情報ａの数Ｎａを変更したもの（部内のインクリメン
タル情報すと、アブソリエート情報検出センサ２２との
数が多くなるため多ければよいといえない）、他方、位
置検出センサについては、ｋが１≦に≦ｎａで種々にの
値を変更しｋｘ （Ｎａ−１）個のアブソリエート情報
検出センサ２２としたもの、又はアブソリュート情報検
出センサ２１．２２と、インクリメンタル情報検出セン
サ２３との配置を変更したもの等があり、これらを組み
合わせることによって、更に種々位置センサとすること
ができる。また、当然ながら、被検体は平面のもの、球
面のもの等でも構成できる。
形情報ａのピッドを変更したもの（ｎａ＝３〜４が実用
的であろう）、インクリメンタル情報すのピッドを変更
したもの（ｎｂ＝２でもよいがｎｂ＝１が実用的であろ
う）、又はアブソリュート形情報群内のアブソリュート
形情報ａの数Ｎａを変更したもの（部内のインクリメン
タル情報すと、アブソリエート情報検出センサ２２との
数が多くなるため多ければよいといえない）、他方、位
置検出センサについては、ｋが１≦に≦ｎａで種々にの
値を変更しｋｘ （Ｎａ−１）個のアブソリエート情報
検出センサ２２としたもの、又はアブソリュート情報検
出センサ２１．２２と、インクリメンタル情報検出セン
サ２３との配置を変更したもの等があり、これらを組み
合わせることによって、更に種々位置センサとすること
ができる。また、当然ながら、被検体は平面のもの、球
面のもの等でも構成できる。
次に、上記実施例の効果について述べる。先ず、構成に
よる効果として、例えば第１図の実施例においでは、３
ビットのアブソリュート形情報ａと、Ｎａ＝１０であっ
て、かつ、Ｇ ｎ ＝ Ｇ ｏ 〜Ｇ１なる８個のアブ
ソリュート形情報群Ｇ、〜Ｇ。
よる効果として、例えば第１図の実施例においでは、３
ビットのアブソリュート形情報ａと、Ｎａ＝１０であっ
て、かつ、Ｇ ｎ ＝ Ｇ ｏ 〜Ｇ１なる８個のアブ
ソリュート形情報群Ｇ、〜Ｇ。
と、Ｎａ＝１０のインクリメンタル形情報すとにより、
合１８０個の細分化情報を被検体とすることができた。
合１８０個の細分化情報を被検体とすることができた。
これを従来の技術におけるピッド数で表すと、ｌＯ進２
進変換コードならば、１０進数の８０は２進数の１０１
００００であるから７ビツ］・が必要であり、ＢＣＤコ
ードならば、８−１０００とｏ−ｏｏｏｏとで８ビット
必要となる。つまり、実施例ではアブソリュート形情報
ａの３ビットとインクリメンタル形情報すの１ビットと
で合計４ビットであるから、従来と比較し、同一長さに
おいて、実施例の被検体は幅が４／７乃至４／８であっ
ても、従来と同一の効果を奏する。仮に、４ビットのア
ブソリュート形情報ａとし、他の条件を同一としても、
アブソリュート形情報群Ｇｎは最大１６ （、Ｇｎ−Ｇ
ｏ 〜Ｇａ５）となり、この場合、ｌＯ進２進変損コー
ドならば８ピツド（１０進数の１６０ （＝１６Ｘ１０
）は２進数の１０１０００００である）、ＢＣＤコード
ならば１２ピツド（１・６・０は０００１・０１１０・
００００である）必要となり、実施例の被検体は幅が５
／８乃至５／１２であっても、従来と同一の効果を奏す
る。
進変換コードならば、１０進数の８０は２進数の１０１
００００であるから７ビツ］・が必要であり、ＢＣＤコ
ードならば、８−１０００とｏ−ｏｏｏｏとで８ビット
必要となる。つまり、実施例ではアブソリュート形情報
ａの３ビットとインクリメンタル形情報すの１ビットと
で合計４ビットであるから、従来と比較し、同一長さに
おいて、実施例の被検体は幅が４／７乃至４／８であっ
ても、従来と同一の効果を奏する。仮に、４ビットのア
ブソリュート形情報ａとし、他の条件を同一としても、
アブソリュート形情報群Ｇｎは最大１６ （、Ｇｎ−Ｇ
ｏ 〜Ｇａ５）となり、この場合、ｌＯ進２進変損コー
ドならば８ピツド（１０進数の１６０ （＝１６Ｘ１０
）は２進数の１０１０００００である）、ＢＣＤコード
ならば１２ピツド（１・６・０は０００１・０１１０・
００００である）必要となり、実施例の被検体は幅が５
／８乃至５／１２であっても、従来と同一の効果を奏す
る。
次に、第２図の実施例を使った使用例の面から、かかる
実施例の効果を述べる０例えばインクリメンタル形情報
検出センサ２３の位置を確定するには（つまり、位置検
出センサと被検体との相対位置の検出である）、本実施
例にＣＰＵ （例えば、このＣＰＵは、入力されたアブ
ソリュート形情報ａの値（各群Ｇｎの値でもある）を記
憶するものであり、かつ、インクリメンタル形情報すか
らの入力情報を基準にし、アブソリュート形情報ａの人
力情報が変わるまでカウント可能なプログラムを備る）
を追設し、先ず、アブソリュート形情報ａとインクリメ
ンタル形情報すとを同時に入力し、次にアブソリュート
形情報検出センサ２１で入力したアブソリュート形情報
ａの値からインクリメンタル形情報検出センサが位置す
る群Ｇｎの値を検出し、次にアブソリュート形情報検出
センサ２２Ａで入力したアブソリュート形情報ａについ
て、インクリメンタル形情報検出センサ２３の位置から
順に、そのアブソリュート形情報ａの入力情報が変化す
るまでスキャンし、これをカウントすれば、前記群Ｇｎ
内でのインクリメンタル形情報検出センサ２３の位置を
確定することができる。つまり、位置検出センサを止め
たままでも、被検体と位置検出センサとの相対的な初期
位置を検出することが可能となる。これを同図（同図に
おいて、情報０をＯと、また情報・を１と定義する）で
更に具体的に説明すれば、インクリメンタル形情報検出
センサ２３がインクリメンタル形情報Ｏを入力し、アブ
ソリュート形情報検出センサ２１がアブソリュート形情
報○・Ｏを入力し、更にアブソリュート形情報検出セン
サ２２Ａが直下のアブソリュート形情報群０２〜Ｇ、の
アブソリュート形情報ＯＯＯ・・φ・を入力すると、先
ずアブソリュート形情報検出センサ２１からのＯ・Ｏを
０１０（つまり、１０進数の２）と判断し、次に、イン
クリメンタル形情報検出センサ２３の列からから数えて
アブソリュート形情報０００・・・・が５番目（Ｎ番目
とする）の位置でＱから・と変化するため、ＣＰＵでプ
ログラムをＧｎ・（Ｎａ−Ｎ＋１）が検出位置であると
しておけば、Ｇｎ＝＝１０進数の２、Ｎａ＝８及びＮ＝
５であるから、Ｏｎ ・（Ｎａ−Ｎ＋１） ＝２ ・（
８−５＋１）＝２・４＝２４の位置となる。かかるごと
く、ビット数（ｎａ又はｎｂ）、群Ｇの大きさ（つまり
、ＮａＯ数）をどのように設定しようとも、また、検出
位置の基準（例えば、１目盛りに対する長さ、重さ等又
は０点位置等）をどのように設定しようとも、かかる構
成位置センサ、被検体及び位置検出センサを備えれば、
ＣＰＵでの演算プログラムを簡単容易に作成することが
可能となる０以上を換言すれば、本実施例を搭載した装
置は、装置の稼働時での被検体と位置検出センサとの相
対移動ノの検出はもとより、始動時での被検体と位置検
出センサとの相対的な初期位置量をも直ちに検出するこ
とができる。
実施例の効果を述べる０例えばインクリメンタル形情報
検出センサ２３の位置を確定するには（つまり、位置検
出センサと被検体との相対位置の検出である）、本実施
例にＣＰＵ （例えば、このＣＰＵは、入力されたアブ
ソリュート形情報ａの値（各群Ｇｎの値でもある）を記
憶するものであり、かつ、インクリメンタル形情報すか
らの入力情報を基準にし、アブソリュート形情報ａの人
力情報が変わるまでカウント可能なプログラムを備る）
を追設し、先ず、アブソリュート形情報ａとインクリメ
ンタル形情報すとを同時に入力し、次にアブソリュート
形情報検出センサ２１で入力したアブソリュート形情報
ａの値からインクリメンタル形情報検出センサが位置す
る群Ｇｎの値を検出し、次にアブソリュート形情報検出
センサ２２Ａで入力したアブソリュート形情報ａについ
て、インクリメンタル形情報検出センサ２３の位置から
順に、そのアブソリュート形情報ａの入力情報が変化す
るまでスキャンし、これをカウントすれば、前記群Ｇｎ
内でのインクリメンタル形情報検出センサ２３の位置を
確定することができる。つまり、位置検出センサを止め
たままでも、被検体と位置検出センサとの相対的な初期
位置を検出することが可能となる。これを同図（同図に
おいて、情報０をＯと、また情報・を１と定義する）で
更に具体的に説明すれば、インクリメンタル形情報検出
センサ２３がインクリメンタル形情報Ｏを入力し、アブ
ソリュート形情報検出センサ２１がアブソリュート形情
報○・Ｏを入力し、更にアブソリュート形情報検出セン
サ２２Ａが直下のアブソリュート形情報群０２〜Ｇ、の
アブソリュート形情報ＯＯＯ・・φ・を入力すると、先
ずアブソリュート形情報検出センサ２１からのＯ・Ｏを
０１０（つまり、１０進数の２）と判断し、次に、イン
クリメンタル形情報検出センサ２３の列からから数えて
アブソリュート形情報０００・・・・が５番目（Ｎ番目
とする）の位置でＱから・と変化するため、ＣＰＵでプ
ログラムをＧｎ・（Ｎａ−Ｎ＋１）が検出位置であると
しておけば、Ｇｎ＝＝１０進数の２、Ｎａ＝８及びＮ＝
５であるから、Ｏｎ ・（Ｎａ−Ｎ＋１） ＝２ ・（
８−５＋１）＝２・４＝２４の位置となる。かかるごと
く、ビット数（ｎａ又はｎｂ）、群Ｇの大きさ（つまり
、ＮａＯ数）をどのように設定しようとも、また、検出
位置の基準（例えば、１目盛りに対する長さ、重さ等又
は０点位置等）をどのように設定しようとも、かかる構
成位置センサ、被検体及び位置検出センサを備えれば、
ＣＰＵでの演算プログラムを簡単容易に作成することが
可能となる０以上を換言すれば、本実施例を搭載した装
置は、装置の稼働時での被検体と位置検出センサとの相
対移動ノの検出はもとより、始動時での被検体と位置検
出センサとの相対的な初期位置量をも直ちに検出するこ
とができる。
上記実施例から分かるように、アブソリュート形情報列
Ａは、インクリメンタル形情報列Ｂに対し、アブソリュ
ート形情報群毎に異なる上位の位となり、他方インクリ
メンタル形情報列Ｂは、アブソリュート形情報列Ａの上
位の位に対し、これを複数Ｎａに細分した下位の位とな
り得る。従って、アブソリュート形情報列Ａは僅かなビ
ット数であっても多くの位をとることができ、最小分解
能もインクリメンタル形情報すのスパンにより決定する
ことができる。次に、請求項１又は請求項３記載の位置
検出センサの構成であれば、アブソリュート形情報ａと
インクリメンタル形情報すとを同時に検出することによ
り、稼働時の被検体と位置検出センサとの相対移動量の
検出はもとより、始動時の被検体と位置検出センサとの
相対的絶対位置量をも容易に検出することが可能である
。
Ａは、インクリメンタル形情報列Ｂに対し、アブソリュ
ート形情報群毎に異なる上位の位となり、他方インクリ
メンタル形情報列Ｂは、アブソリュート形情報列Ａの上
位の位に対し、これを複数Ｎａに細分した下位の位とな
り得る。従って、アブソリュート形情報列Ａは僅かなビ
ット数であっても多くの位をとることができ、最小分解
能もインクリメンタル形情報すのスパンにより決定する
ことができる。次に、請求項１又は請求項３記載の位置
検出センサの構成であれば、アブソリュート形情報ａと
インクリメンタル形情報すとを同時に検出することによ
り、稼働時の被検体と位置検出センサとの相対移動量の
検出はもとより、始動時の被検体と位置検出センサとの
相対的絶対位置量をも容易に検出することが可能である
。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明に係わる位置センサは、僅
かなビット数からなる被検体と、僅かな数のセンサから
なる位置検出センサとから構成されているため、狭いス
ペースであっても、換言すれば、限られたスペースであ
っても、分解能を低下させることなく、圧力シリンダの
伸縮量や工作機械の移動量等を高速、かつ、高精度に検
出することが可能となる。詳しくは、かかる位置センサ
、その被検体及び位置検出センサを使用すれば、被検体
のスペースが僅かであっても（従って、これに付与でき
る位置情報が僅かであっても）、被検体と位置検出セン
サとの相対位置を、移動中であれ、かつ、初期位置であ
れ高速、かつ、高精度に検出することが可能となる。更
に、ＣＰｔＪを装備して、検出機能を高める場合であっ
ても、そのプログラムは簡単、かつ、容易な構成のもの
とすることができる。
かなビット数からなる被検体と、僅かな数のセンサから
なる位置検出センサとから構成されているため、狭いス
ペースであっても、換言すれば、限られたスペースであ
っても、分解能を低下させることなく、圧力シリンダの
伸縮量や工作機械の移動量等を高速、かつ、高精度に検
出することが可能となる。詳しくは、かかる位置センサ
、その被検体及び位置検出センサを使用すれば、被検体
のスペースが僅かであっても（従って、これに付与でき
る位置情報が僅かであっても）、被検体と位置検出セン
サとの相対位置を、移動中であれ、かつ、初期位置であ
れ高速、かつ、高精度に検出することが可能となる。更
に、ＣＰｔＪを装備して、検出機能を高める場合であっ
ても、そのプログラムは簡単、かつ、容易な構成のもの
とすることができる。
第１図乃至第３図は本発明に係わる実施例を示す図であ
って、第１図は請求項２の被検体の第１実施例及び請求
項３の位置検出センサの第１実施例並びにこれらからな
る請求項１の位置センサの第１実施例を示す図、第２図
は請求項２の被検体の第２実施例を示す図、第３図は請
求項２の被検体の第２実施例及び請求項３の位置検出セ
ンサの第２実施例並びにこれらからなる請求項１の位置
センサの第２実施例を示す図、また、第４図は従来の被
検体及び位置検出センサから構成した位置センサを示す
図である。 ａ・・・アブソリュート形情報 ｂ・・・インクリメンタル形情報 Ａ・・・アブソリュート形情報列 Ｂ・・・インクリメンタル形情報列 Ｇ・・・アブソリュート形情報群 Ｇｎ・・アブソリュート形情報群数 ｎａ・・アブソリュート形情報のピッド数及びアブソリ
ュート情報検出センサ２１の 数 ｎｂ・・インクリメンタル形情報のピッド数Ｎａ・・ア
ブソリュート形情報群内のアブソリュート形情報数 １０、ＩＯＡ、ＩＯＰ・・被検体 ２０．２０Ａ、２０Ｐ・・位置検出センサ２１． ２３ ・ ２２、２２Ａ ・アブソリュ ト情報検 出センサ ・インクリメ ンタル情報検出センサ
って、第１図は請求項２の被検体の第１実施例及び請求
項３の位置検出センサの第１実施例並びにこれらからな
る請求項１の位置センサの第１実施例を示す図、第２図
は請求項２の被検体の第２実施例を示す図、第３図は請
求項２の被検体の第２実施例及び請求項３の位置検出セ
ンサの第２実施例並びにこれらからなる請求項１の位置
センサの第２実施例を示す図、また、第４図は従来の被
検体及び位置検出センサから構成した位置センサを示す
図である。 ａ・・・アブソリュート形情報 ｂ・・・インクリメンタル形情報 Ａ・・・アブソリュート形情報列 Ｂ・・・インクリメンタル形情報列 Ｇ・・・アブソリュート形情報群 Ｇｎ・・アブソリュート形情報群数 ｎａ・・アブソリュート形情報のピッド数及びアブソリ
ュート情報検出センサ２１の 数 ｎｂ・・インクリメンタル形情報のピッド数Ｎａ・・ア
ブソリュート形情報群内のアブソリュート形情報数 １０、ＩＯＡ、ＩＯＰ・・被検体 ２０．２０Ａ、２０Ｐ・・位置検出センサ２１． ２３ ・ ２２、２２Ａ ・アブソリュ ト情報検 出センサ ・インクリメ ンタル情報検出センサ
Claims (3)
- （１）複数ｎａビットでなるアブソリュート形情報ａが
複数Ｎａ毎に同一情報を備え一群Ｇをなし、この群Ｇが
群毎に異なる情報を備えて複数Ｇｎ配列されてなるアブ
ソリュート形情報列Ａと、少なくとも１ビットであり、
かつ、前記各アブソリュート形情報群Ｇ内毎に複数Ｎａ
備えてなるインクリメンタル形情報ｂを前記アブソリュ
ート形情報列Ａと並列に配列してなるインクリメンタル
形情報列Ｂとを備えてなる被検体１０、及びｎａ個のア
ブソリュート情報検出センサ２１と、ｋが１≦ｋ≦ｎａ
であるｋ×（Ｎａ−１）個のアブソリュート情報検出セ
ンサ２２と、少なくとも１個のインクリメンタル情報検
出センサ２３とを備えてなる位置検出センサ２０を備え
、アブソリュート形情報ａはアブソリュート情報検出セ
ンサ２１及び２２により、インクリメンタル形情報ｂは
インクリメンタル情報検出センサ２３により検出される
構成を特徴とする位置センサ。 - （２）複数ｎａビットでなるアブソリュート形情報ａが
複数Ｎａ毎に同一情報を備え一群Ｇをなし、この群Ｇが
群毎に異なる情報を備えて複数Ｇｎ配列されてなるアブ
ソリュート形情報列Ａと、少なくとも１ビットであり、
かつ、前記各アブソリュート形情報群Ｇ内毎に複数Ｎａ
備えてなるインクリメンタル形情報ｂを前記アブソリュ
ート形情報列Ａと並列に配列してなるインクリメンタル
形情報列Ｂとを備えてなる構成を特徴とする位置センサ
の被検体。 - （３）複数ｎａ個のアブソリュート情報検出センサ２１
と、ｋが１≦ｋ≦ｎａであるｋ×（Ｎａ−１）個のアブ
ソリュート情報検出センサ２２と、少なくとも１個のイ
ンクリメンタル情報検出センサ２３とを備えてなる構成
を特徴とする位置検出センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63295331A JP2756988B2 (ja) | 1988-11-22 | 1988-11-22 | 位置センサ、その被検体及び位置検出センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63295331A JP2756988B2 (ja) | 1988-11-22 | 1988-11-22 | 位置センサ、その被検体及び位置検出センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02141618A true JPH02141618A (ja) | 1990-05-31 |
| JP2756988B2 JP2756988B2 (ja) | 1998-05-25 |
Family
ID=17819231
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63295331A Expired - Lifetime JP2756988B2 (ja) | 1988-11-22 | 1988-11-22 | 位置センサ、その被検体及び位置検出センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2756988B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5649915A (en) * | 1979-09-21 | 1981-05-06 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Length*angle measuring device |
-
1988
- 1988-11-22 JP JP63295331A patent/JP2756988B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5649915A (en) * | 1979-09-21 | 1981-05-06 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Length*angle measuring device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2756988B2 (ja) | 1998-05-25 |
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