JPH02138836A - 放射測温装置 - Google Patents

放射測温装置

Info

Publication number
JPH02138836A
JPH02138836A JP29019888A JP29019888A JPH02138836A JP H02138836 A JPH02138836 A JP H02138836A JP 29019888 A JP29019888 A JP 29019888A JP 29019888 A JP29019888 A JP 29019888A JP H02138836 A JPH02138836 A JP H02138836A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
temperature
measured
emissivity
radiation
spectral
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP29019888A
Other languages
English (en)
Inventor
Tomio Tanaka
田中 富三男
Takashi Ohira
尚 大平
Yoichi Naganuma
永沼 洋一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Steel Corp
Original Assignee
Nippon Steel Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Steel Corp filed Critical Nippon Steel Corp
Priority to JP29019888A priority Critical patent/JPH02138836A/ja
Publication of JPH02138836A publication Critical patent/JPH02138836A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Radiation Pyrometers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は鉄鋼業等の製造プロセスにおいて放射率が変化
する物体の温度と放射率を、被測定物体を冷却すること
無しに測定する放射測温装置に関する。
〔従来の技術並びに発明が解決しようとする課題〕放射
測温装置の最も大きな技術上の2つの問題は放射率変動
と迷光雑音である。例えば鉄鋼業の代表的な冷延鋼板の
熱処理設備である連続焼鈍炉では放射率変動と迷光雑音
の2つの問題が共存する場合があり温度計測上の問題と
なっている。
従来の放射測温t4としてもっとも代表的な単色法では
、被測定物体の放射率を一定と仮定して測定するために
放射率変動、迷光雑音があるところでは通用できない。
また、二色比法では2つの波長における分光放射率の比
が一定と仮定して測定するがこれも放射率変動、迷光雑
音があるところでは適用できない。
迷光雑音に対処する方法としては例えば特許第9197
98号に記載されている水冷式の遮蔽板を使用するもの
かあるが、遮蔽板によって被測定物体を冷却することが
問題となる場合には適用出来ない上この方法は放射率変
動に対処したもので副ない。
特許第1422268号に記載されている非水冷式の遮
蔽板を使用する方法は被測定物体を冷却する恐れは無い
がこれも放射率変動にも対処したものではない。
一方、放射率変動に対処する方法としては例えば特許第
1368788号に記載されているような被測定物体表
面における放射光の鏡面反射を利用する方法があるが、
このような方法は比較的に平滑な表面を持った被測定対
象にしか適用できないという問題がある。
このように、迷光雑音が存在する製造プロセスにおいて
放射率が変動する被測定物体の温度を正確に、しかも冷
却によって被測定物体の材質に悪影響を及ぼずことなく
測定することは従来の放射測温装置ではできなかった。
本発明は放射測温技術上の最も大きい2つの問題である
放射率変動と迷光雑音の両者を解決するためのものであ
り、且つ被測定物体を冷却すること無しに温度と放射率
を同時に測定することを目的としている。即ち被測定物
体表面の放射率が変化し、かつその物体が例えば高温炉
内に存在するような状況下において物体表面の温度を正
確に測定できる放射測温装置を提供するためのものであ
る。
〔問題を解決するための手段] 本願の発明者の一人はずでに2つの異なる分光放射率間
の関係を解くことによって被測定物体の温度と放射率を
求める放射測温法を出願した。この方法は、従来の被測
定物体表面における放射光の鏡面反射特性を利用するも
のとは異なっており、被測定物体表面上での反射を使わ
ないために鏡面、粗面を問わず適用できる特長がある。
本発明は、上記発明の方法を発展させて迷光雑音対策と
して非水冷の遮蔽板を併用することにより放射測温技術
の2つの大きな問題である放射率変動と迷光雑音を被測
定物体を冷却することなしに同時に解決するための装置
を提供する。即ち、未知の迷光雑音を除去し既知の迷光
雑音を発生ずるための非水冷遮蔽板と、その温度あるい
はそれが発する2種の分光放射輝度信号を検出するため
の熱電対あるいば分光放射計検出器、および被測定物体
表面からの2種の分光放射輝度信号を検出するだめの分
光放射計検出器と、」−記構吊器からの信号を人力しそ
れらをもとに該分光放射輝度信号に対応する2種の分光
放射率間の関係式(放射率特性関数)を解くための計算
装置を手段として物体の温度と放射率を測定するもので
ある。
〔作 用〕
温度Tの物体からは次式で表される分光熱放射輝度信号
が発生している ■5−εI−b(T)             (1
)ただしεは分光放射率、I−b(T)は温度Tにおけ
る黒体分光放射輝度でありブランクの式%式%(2 で表現される。ごこでC,、C2は定数、λは検出波長
である。分光放射輝度信号は放射計あるいは放射温度計
検出器により光電変換されて一般的には電圧出力信号と
して取り扱われる。
被測定物体の分光放射率が既知の場合には(1)より Lb(T)=L/ε            (3)と
して物体温度に対応する黒体分光放射輝度信号値が求ま
り、放射計の黒体炉校正関数よりただちに温度Tが求ま
る。これが基本的な放射測温の原理である。
(3)式より明らかなように被測定物体の分光放射率が
未知あるいは変動するような状況においては物体温度が
正確に測定出来ない。
さらに、被測定物体が例えば温度T〜の加熱炉内にある
ような場合には加熱炉内壁からの熱放射が被測定物体表
面に入射さらに反射されて放射計検出器に入ってくる。
そのときの検出信号は1−= t I−b(T) +(
1−ε) Lb(T、、) (4)で表される。右辺第
二項は迷光雑音と呼ばれ周囲温度T。Oあるいは迷光L
b(’1”〜)が未知の場合は正確な測温か出来なくな
る。上述の放射率変動および迷光雑音の問題が放射測温
技術上の最も大きな障害になっている。
本発明の方法では、まず検出波長、測定角度、偏光のい
ずれか一つ以上界なる条件で測定された2種の分光放射
輝度信号を放射旧で計測し、それらは次式で表現される
Lx−e XLbx(T) +(1−ε、) Lbx(
To、 )Ly=ε、Lby(T) +(1−εy) 
L by (T ∞ )ここで、LX :εつに対応す
る分光放射輝度検出信号 Ly :ε、に対応する分光放射輝度検出信号 Lbx:ε8に対応する黒体分光放射輝度信号 Lby:ε、に対応する黒体分光放射輝度信号 T :被測定物体表面温度 To:被水冷遮蔽板表面温度 x、y:測定条件の違いを示す添字 さらに周囲温度T。あるいは周囲からの放射輝度Lbx
 (T∞)、  Lby (T∞)を熱電対等接触式温
度計あるいは放射計で計測する。この際これらの値を既
知のものとするために被測定物体表面近傍の上方に非水
冷の遮蔽板を設置しこの温度あるいは表面からの放射輝
度信号を測定すれば被測定物体を冷却することなしに目
的を達成することができる。
放射率が変動する物体に対しては本発明の発明者の一人
がすでに特願昭63−######に記載したように、
2つの異なる分光放射率間の関係を解くことによって被
測定物体の温度と放射率を求める放射測温祷道を応用す
ることができる。即ち、次の原理式 %式%(7) を(5L (6)式とともに解けば(5L (6L(7
)弐において未知数はε8 、ε2.Tの3個であるか
らこれらの方程式は解くことができる。
fは両者間の相補的な関係を表す既知の関係式(放射率
特性関数)で被測定物体あるいは物体が処理される製造
プロセスに固有なものである。即ち、非水冷の遮蔽板で
既知の雑音を形成して炉内壁からの未知の雑音を除去し
、検出された2種の分光放射輝度信号を使って放射率特
性関数を解けば高温炉内で放射率が変動する被測定対象
の温度と放射率を同時に求めることができる。
方程式の数値解決は色々な手法が考えられるが、第1図
に最も簡単な解決の流れ図を示す。はじめに2つの分光
放射率に対応する放射計検出器の黒体炉校正関数Lbx
 (T)、  Lby (T)を読みこむ。
これらは関数型式でも良いし、あるいは数表として計算
機のメモリーに収納される。次に放射率特性関数rを読
みこむ。これも関数型式あるいは数表として収納される
。つぎに測定値Lx、Ly。
Toを放射計検出器および熱電対から読みこみ以降方程
式(5)、(6L (7)を解く。T∞のかわりに放射
計検出器をスキャンしてL bx (T ∞ )Lby
(T∞)を読みこみ方程式を解いてもよい。
分光放射率ε、の初期値としてこの例では考えうる最少
の値を設定している。たとえば被測定対象が冷延鋼板で
あり検出波長が数μn程度ならば無酸化状態で約0.2
程度の値になる。これに対応するもう一方の放射率ε、
を放射率特性関数で計算する。これら2つの分光放射率
を仮定して(5)。
(6)式を変形した次の式より被測定物体の見掛けの温
度Tx、Tyを求める。
Lbx(Tx) = (Lx −(1−e x’:l 
Lbx(T∞))/εX          (8) Lby(Ty)−(Ly   (1−εy)Lby(T
へ)〕/εy          (9) Tx 、Tyが許容誤差範囲以内で等しければそれらの
平均値を解としその時の分光放射率ε8 、ε。
と共に出力する、。Tx、Tyが許容誤差範囲以内でな
ければ見掛けの分光放射率ε8の値を変更し、対応する
εアを放射率特性関数で計算して再度(8)、(9)式
により見掛けの温度Tx 、 T’yを計算する。この
例では、放射率の設定値をdcXだけ微増させている。
以下、同様なルーチンを解が求まるまで繰り返せば良い
第2図は演算システムのブロックダイアダラムを示した
ものである。■は放射計検出器であり検出された分光放
射輝度信号I、x、Lyは3の計算機に伝送される。2
は熱電対検出器であり非水冷遮蔽板の温度Tいが計算機
3に伝送される。2は1の放射計検出器で兼用しても良
く、この場合は非水冷遮蔽板内表面を覗いてLbx (
To)、  L))y(TC,o)を測定しその信号が
計算機3に伝送される。計算機3ばLx、Ly及びTo
またはLbx(T∞)、Lby (T−)の信号値とメ
モリー4に収納されている黒体炉校正関数Lbx (T
)、  Lby(T)および放射率特性関数fを使って
解を求め5で示したレコーダーあるいは制御装置等に出
力する。
〔実施例〕
本発明を合金化炉内を搬送される溶融亜鉛めっき鋼板の
温度測定に適用した具体例を第3図に示す。鋼板7は合
金化炉内にて加熱されるが亜鉛と鉄の合金化反応に伴う
合金結晶の成長により放射率が大きく変動する。さらに
炉内壁8の内面は高温であるためそれからの熱放射が大
きくなり被測定物体表面で反射されて検出器に入る成分
は、しばしば被測定物体からの熱放射に比べて無視出来
なくなるほどの大きさの迷光雑音となる。このような迷
光雑音信号は炉壁内面の様々な面素からの寄与が入って
いるため既知の雑音成分として補正出来ないという問題
がある。
第3図中6は炉内壁からの未知の迷光雑音を遮蔽し既知
の雑音を被測定物体表面に放射するだめの非水冷遮蔽板
である。検出器1は2種の分光放射輝度信号を検出し、
それらに対応する分光放射率間の関係式(7)を用いる
ことによって物体の温度と放射率を測定する。非水冷遮
蔽板の表面温度T〜は熱電対等接触式のセンサーで測定
してもよいし、あるいは放射温度計をスキャンして遮蔽
板の内面から直接Lbx (T∞)、Lby (T∞)
を測定することも可能である。非水冷遮蔽板の表面は、
炉内壁からの未知の迷光雑音の侵入を効果的に防ぐため
に黒色塗料の塗布あるいは酸化処理等により黒化してお
くのが望ましい。
第4図は連続焼鈍炉内を搬送される冷延鋼板の温度計測
に本発明の方法を適用した具体例の一つである。冷延鋼
板は高温状態で炉内を搬送される間に炉内雰囲気中の酸
素により酸化され放射率が大きく変化する。この例では
同じ検出波長で異なる偏光成分の分光放射輝度を測定し
、対応する分光放射率間の放射率特性関数を解くことに
よって温度と放射率を同時に求める場合の状況を説明し
ている。この場合でも未知の迷光雑音が炉内壁から侵入
するのを防ぐと同時に、鋼板を冷却すること無しに正確
な測温を可能にするために非水冷の遮蔽板を使用するの
が効果的である。
第1表は本発明の方法により加熱炉内冷延鋼板の温度と
放射率を測定した結果の一例である。この例では2種の
分光放射輝度は2.0および1.5 tmの異なる波長
で鋼板表面に対して゛垂直方向から検出され対応する分
光放射率間の関係式は3次の多項式により εツー丁(εx) −−0,793+4.8108つ4
.585εX”+1.460ε8 で表されることが予め実験により求められていた。
但しε、は2. Otmにおける分光放射率、εツば1
、5 tmにおける分光放射率である。また各検出波長
における黒体炉校正関数はそれぞれ次式で与えられるこ
とが黒体炉校正の結果求められていた。
Lbx (T) −1,626X10’e x p (
−7194/T)(V)   (11) Lby (T) −1,911xlO5e x p (
−9592/T)〔V)   (12) 但しTの単位は〔K〕である。非水冷遮蔽板の温度T。
は熱電対により550°Cと得られた。第1表中の鋼板
の真の温度および放射率値は鋼板に溶着された熱電対に
より別途に測定されたものである。
表の測定結果から明らかなように本方法によれば真の温
度および放射率値に極めて近い測定値が得られることが
わかる。
第1表 〔発明の効果〕 本発明は炉内等で加熱状態にあり、しかもその表面が酸
化、合金化、粗面化等のために変化し放射率が変動する
ような被測定物体にたいしても正確な温度計測ができる
画期的な放射測温装置を提供するものである。これによ
って例えば鉄鋼業における連続焼鈍炉、合金化炉、加熱
炉、塗装焼付炉をはじめ他の金属、非金属の製造プロセ
スにおける測温精度の向上、温度管理精度の向上が期待
でき製品品質の向上、生産効率の向上、操業の安5・・
・レコーダーあるいは制御装置等の測定信号出力機器、 6・・・非水冷遮蔽板、  7・・・被測定物体、8・
・・炉壁、       9・・・透過窓。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、被測定物体からの熱放射のうち異なる測定条件で2
    つの分光放射輝度(L_x,L_y)を測定する放射検
    出手段(1)と、被測定物体の周囲に存在する温度が未
    知の物体からの迷光雑音を除去するための非水冷遮蔽板
    (6)と、該非水冷遮蔽板(6)の温度(T_∞)又は
    、分光放射輝度(L_b_x(T_∞)、L_b_y(
    T_∞))を測定する遮蔽板温度検出手段(2)と、該
    2つの分光放射輝度(L_x,L_y)と該温度(T_
    ∞)又は、該分光放射輝度(L_b_x(T_∞)、L
    _b_y(T_∞))とから、所定の誤差範囲内で放射
    率特性関数(f)、及び黒体分光放射輝度関数(L_b
    _x(T),L_b_y(T))を満足する非測定物体
    温度(T)を計算する計算手段(3)とを具備すること
    を特徴とする放射測温装置。
JP29019888A 1988-11-18 1988-11-18 放射測温装置 Pending JPH02138836A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP29019888A JPH02138836A (ja) 1988-11-18 1988-11-18 放射測温装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP29019888A JPH02138836A (ja) 1988-11-18 1988-11-18 放射測温装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH02138836A true JPH02138836A (ja) 1990-05-28

Family

ID=17753024

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP29019888A Pending JPH02138836A (ja) 1988-11-18 1988-11-18 放射測温装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH02138836A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116448249A (zh) * 2023-06-14 2023-07-18 芯三代半导体科技(苏州)有限公司 一种红外测温系统、校正方法及碳化硅外延设备

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116448249A (zh) * 2023-06-14 2023-07-18 芯三代半导体科技(苏州)有限公司 一种红外测温系统、校正方法及碳化硅外延设备
CN116448249B (zh) * 2023-06-14 2023-08-29 芯三代半导体科技(苏州)有限公司 一种红外测温系统、校正方法及碳化硅外延设备

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0335224B1 (en) Radiation thermometry
US4172383A (en) Method and an apparatus for simultaneous measurement of both temperature and emissivity of a heated material
JP2007192579A (ja) 温度計測装置及び温度計測方法
JPH06500387A (ja) 多波長高温計
JPH02138836A (ja) 放射測温装置
US3610592A (en) Method and apparatus for estimating errors in pyrometer readings
JP2007010464A (ja) 鋼板表面の酸化膜厚計測方法及び装置
JPS6049246B2 (ja) 赤外線による温度測定方法における測定値補償方法
Tanaka et al. Theory of a new radiation thermometry method and an experimental study using galvannealed steel specimens
JPH03287025A (ja) 物体の温度と放射率および周囲温度の測定方法および装置
JPH0521412B2 (ja)
JPH04276527A (ja) 炉内温度計
JPH03287024A (ja) 物体の温度と放射率の同時測定方法および装置
JPH0510822A (ja) 放射温度計測装置
JPH03287027A (ja) 物体の温度と放射率を同時測定する方法および装置
JPH03287026A (ja) 物体の温度と放射率の同時測定方法および装置
JPH05273045A (ja) 透明性薄膜に被覆された物体の温度測定装置
JP2632086B2 (ja) 放射測温法及び該測温法に用いる放射温度計
JPH05231944A (ja) 多波長を用いた放射測温方法
JPS6041293B2 (ja) 放射温度計
JPH0579920A (ja) 二色放射測温法および二色放射温度計
JP2007107939A (ja) 鋼板の温度測定方法および温度測定装置
Hayk High quality, high accuracy
JPH0310128A (ja) 高温炉内における温度と放射率の同時測定方法
JPH06241906A (ja) 炉内物体の放射測温法および放射測温装置