JPH0213807A - 位置検出素子による高さ検出方法 - Google Patents

位置検出素子による高さ検出方法

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JPH0213807A
JPH0213807A JP16461688A JP16461688A JPH0213807A JP H0213807 A JPH0213807 A JP H0213807A JP 16461688 A JP16461688 A JP 16461688A JP 16461688 A JP16461688 A JP 16461688A JP H0213807 A JPH0213807 A JP H0213807A
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light
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JP16461688A
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Inventor
Toshiyuki Kato
俊幸 加藤
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Juki Corp
Original Assignee
Juki Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は微小高さの計測技術に係り、殊にウェハー上に
書き込まれた電子回路位置を計測するための位置検出素
子による高さ検出方法に関するものである。
〔従来の技術〕
従来より微小位置計測においては、第1図に示すように
、被計測面1に発光素子2からの単色光L1を照射して
、この反射光L2をレンズ3を介して受光素子4面に結
像すると共に、被計測面1の変位りに伴う該受光素子4
面における反射光L2の結像位置の変位(a−+b)量
を電気的に計測して三角測量の原理で被計測面1の変位
りを算出するものが使用されている。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかし、この種の微小位置計測では上記受光素子として
一般にPSD (位置検出素子)が使用されており、受
光面に当った光の重心の位置を検出する構造になってい
る。
従って第2図のように、被検知物のエツジに照射光が当
った場合には、その背景となる被計測面1aと被検知物
1bの光の反射率の相違によって。
光の重心が反射率の高い方に移動するため、計測値が実
際の高さと異なって高値または低値に計測される欠点を
有していた。より正確に言うと、被検知物1bに対する
発光索子2と受光素子4の相対移動位置関係によって上
記計測誤差が現出するものであり、第3図に示すように
1発光素子2と受光素子4が被検知物1bとの相対移動
方向に対して直交している場合(a)には正確な計測値
が得られるものの、発光素子2と受光素子4が被検知物
1bとの相対移動方向と一致するか又はその方向に傾い
ている場合(b)には、被計測面1aと被検知物1bの
光の反射率の相違によって計測値に誤差を生じるため、
計測精度を向上することが不能であった。
一般に電子回路を描画した基板の全面の高さ情報を得る
ためには、X−Yステージを一定間隔で走査駆動(駆動
ピッチQ、32ma+、0,64rm。
1.28mm)して基板の平面の位置を認識しながら高
さ情報を得る方法が採られているが、一定のピッチで高
さ情報を得ようとすると、確率的に被検知物1bのエツ
ジに光が当る場合が生じ、前述のように測定値が誤差を
含むことになる。
本発明は上記問題に鑑みてなされたものであり。
受光素子としてPSD (位置検出素子)を使用した位
置検出方法において、被検知物のエツジ位置情報を正確
に検知することができる位置検出素子による高さ検出方
法を提唱することを目的とするものである。
〔課題を解決するための手段〕
本発明に係る位置検出素子による高さ検出方法は、常に
前のデータと現在の高さデータを比較しながら高さの検
出を行い、異常なデータであった場合、現在のデータの
代りに前のデータを用い、次に検知する位置を例えば0
.32+nmでなく、0゜5m移動した所の高さデータ
を得ることで、極力正確に被検知物のエツジ位置を把握
するようにした。従って、一定のピッチではなく、高さ
データの計測をしなからセンサで取り込むデータ位置を
変えることを要旨とするものである。
即ち発光素子から被測定面に照射した光束の反射光を位
置検出素子に受光し、該受光位置の変位を検知して三角
測量法によって被測定面の高さ位置を測定する高さセン
サによる高さの検出において、被測定面を上記高さセン
サによって走査計測するに際して、予め設定した走査ラ
インのピッチ毎にデータを読み込む際、前回走査ライン
のデータとの比較において一定の範囲を超えて今回のデ
ータが前回と異なる場合に1次回の走査ラインのピッチ
を前記予め設定したピッチと異なる別のピッチに変更し
、その走査ライン位置で計測すると共に1次回のデータ
が今回のデータと一定範囲を超えて異なるときには、今
回の走査ラインのデータを前回のものと置き換えるよう
にした。
〔作用〕
従って上記検出方法では、走査ラインが被検知物のエラ
、ジと一致した場合には、その前後位置のデータに置き
換えた高さデータを得ることになり。
発光素子と受光素子の方向と被検知物との相対移動方向
に関係なく、被計測面と被検知物の光の反射率が相違す
るような被検知物のエツジ位置の高さデータを正確に検
知することができる。
〔実施例〕
以下1本発明に係る位置検出素子による高さ検出方法を
ブロック線図とフローチャートによって説明する。
第4図は本発明に係る位置検出素子による高さ検出方法
を実施するための装置を示すブロック線図である。
符号10は検査対象のウェハー11を載置支持するXY
ステージであり、該XYステージ10には矢印X(L←
→R)方向に往復平行移動駆動するX軸駆動モータ12
と、矢印Y (F←→B)方向に往復平行移動駆動する
Y軸駆動モータ13が設けられており、それぞれ中央制
御回路14と、X軸モータドライバ15及びY軸モータ
ドライバ16を介してXY力方向制御駆動する構造にな
る。
また符号17は上記XYステージ10の上方に位置して
固定してなる高さセンサであり、第1図に示すように被
計測面1に単色光L1を照射する発光素子2と、被計測
面1からの反射光L2をPSD(位置検出素子)受光素
子4面に集光してなるレンズ3を設けると共に、該高さ
センサ17はセンサコントローラ18を介して中央制御
回路14と接続した制御回路を構成してなる。
上記構成の位置検出素子による高さ検出装置によって1
例えばウェハー上に描画した電子回路を被検出物として
走査計測する場合、本発明によるフローチャート(第6
図参照)に従って実行するもので、以下にそのフローチ
ャートを説明する。
(1)スタート(計測装置ON、カウンタをOにする) (2)XYステージ10を原点に移動した後、停止する
。(X軸駆動モータ12とY軸駆動モータ13をON、
計測基準点を設定) (3)XYステージ10をX4iI!lR方向に移動す
る。
(X軸駆動モータ12をON、このときY軸方向は固定
) (4)高さセンサ17が検出したnライン目の高さデー
タを中央制御回路14のメモリに書き込む・ (5)X軸移動停止。(X軸駆動モータ12を0FF) (6)XYステージ10をY@F方向に0.321移動
した後、停止、(Y軸駆動モータ13を1走査ステツプ
0N) (7)XYステージ10をx@L方向に移動する。
(X軸駆動モータ12をON、このときY軸方向は固定
) (8)高さセンサ17が検出した(n+1)ライン目の
高さデータをメモリに書き込む。
(9)X軸移動停止、(X軸駆動モータ12を0FF) (10)ライン(n+1)のデータをラインnのデータ
と比較する。
(11)ここで上記「前回とのデータ比較」において、
そのデータのr差が2倍以上か」否かによって以後のフ
ローを異にする。YESは(15)に続く。
(12)Noはカウンタをリセットし、今回のデータ1
ライン分をメモリに書き込む。
(13)高さデータは「基板の全面について収集したか
」否かによってフローを分岐する。NOは(6)に帰還
する。
(14)YESは、この計測処理をr終了」する。
(15)データのr差が2倍以上」ある場合は。
カウンタが「1」か「0」かによってフローを分岐する
(16)rlJの場合は、ライン(n+1)のデータを
前回のラインnのデータに書き換え。
1ライン分をメモリに書き込み、(12)に帰還する。
(17)rO」の場合はカウンタを+1し、Y軸F方向
に0.5mm移動して停止した後、(7)に帰還する。
(Y軸駆動モータ13を別設定した1走査ステツプON
) 上記フローチャートに従って1例えば第6図に示すよう
な被計測面1を有するウェハーを測定する場合、XYス
テージ10を0.32mピッチで移動させたときのn+
1回目のデータ位置が1丁度液検知物のエツジ位置Eと
重なった場合は、n回目のデータDnが第7図に示すよ
うに急変(−般に2〜3倍となる)した値りを示す。こ
の場合ラインn+2のデータを読み取り、このn+2回
目のデータとn+1回目のデータが再び急変した場合に
は、n+1回目のデータDは破棄し、前回、即ちn回目
のデータDnをその位置のデータD′として取り込み、
n+2回目位置から0.5++w移動した走査ライン位
置で得たデータを書き込んで補正処理を終了する。ライ
ンn+2のデータとラインn+1のデータが急変しない
ときは、ラインn+1のデータは検知したデータのまま
取り込まれる。。
〔発明の効果〕
以上述べたように本発明に係る位置検出素子による高さ
検出方法によれば、受光素子としてPSDを使用した三
角測量式位置検出方法において、発光素子と受光素子の
方向と被検知物との相対移動方向に関係なく、被計測面
と被検知物の光の反射率の相違によって計測値に誤差を
生じるような被検知物のエツジ位置の高さデータを正確
に検知することができる特徴を有するものであり1本発
明実施後の効果は極めて大きい。
【図面の簡単な説明】
第1図は位置検出素子を使用した高さセンサによる三角
測量の原理を示す説明図、第2図は被検知物のエツジと
センサからの光の関係を示す説明図、第3図(a)及び
(b)は高さセンサと被検知物との関係を示す説明図、
第4図は本発明に係る位置検出素子による高さ検出方法
を実施するための計測装置を示すブロック線図、第5図
(a)及び(b)は同装置の駆動袖御を示すフローチャ
ート、第6図は被計測面と走査ピッチの関係を示す側断
面図、第7図は上記計測位置とデータの関係を示すグラ
フである。 1・・・被計測面     2・・・発光素子3・・・
レンズ 4・・・PSD (位置検出素子)受光素子10・・・
XYステージ  11・・・ウェハー12・・・X軸駆
動モータ 13・・・Y軸駆動モータ14・・・中央制
御回路  15.16・・・ドライバ17・・・高さセ
ンサ 18・・・センサコントローラ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)発光素子から被測定面に照射した光束の反射光を
    位置検出素子に受光し、該受光位置の変位を検知して三
    角測量法によって被測定面の高さ位置を測定する高さセ
    ンサによる高さの検出において、被測定面を上記高さセ
    ンサによって走査計測するに際して、予め設定した走査
    ラインのピッチ毎にデータを読み込む際、前回走査ライ
    ンのデータとの比較において一定の範囲を超えて今回の
    データが前回と異なる場合に、次回の走査ラインのピッ
    チを前記予め設定したピッチと異なる別のピッチに変更
    し、その走査ライン位置で計測すると共に、次回のデー
    タが今回のデータと一定範囲を超えて異なるときには、
    今回の走査ラインのデータを前回のものと置き換えるこ
    とを特徴とする位置検出素子による高さ検出方法。
JP16461688A 1988-06-30 1988-06-30 位置検出素子による高さ検出方法 Pending JPH0213807A (ja)

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JP (1) JPH0213807A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5436991A (en) * 1992-01-11 1995-07-25 Fuji Photo Film Co., Ltd. Optical waveguide device
JP2015135276A (ja) * 2014-01-17 2015-07-27 Dmg森精機株式会社 表面形状測定装置およびそれを備えた工作機械

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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US5436991A (en) * 1992-01-11 1995-07-25 Fuji Photo Film Co., Ltd. Optical waveguide device
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