JPH0213757Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0213757Y2 JPH0213757Y2 JP1984019138U JP1913884U JPH0213757Y2 JP H0213757 Y2 JPH0213757 Y2 JP H0213757Y2 JP 1984019138 U JP1984019138 U JP 1984019138U JP 1913884 U JP1913884 U JP 1913884U JP H0213757 Y2 JPH0213757 Y2 JP H0213757Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cryopanel
- support frame
- shield plate
- heat shield
- cryopump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 6
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 6
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- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
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- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
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Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案はクライオポンプに係り、特に、中性粒
子入射装置に用いられ、超高真空中の水素を排気
するに好適なクライオポンプに関する。
子入射装置に用いられ、超高真空中の水素を排気
するに好適なクライオポンプに関する。
従来のクライオポンプは、第１図、第２図、及
び第３図に示される様な構造を有している。即
ち、クライオパネル１とこれを支持する支持枠
２、クライオパネル１の断熱用の熱シールド板
３、断熱と水素の流入口を兼ねたシエブロン型バ
ツフル４から主に構成されている。クライオパネ
ル１は２枚の薄板を溶接して成る薄板の容器で、
この中に液体ヘリウムを充填補給し、4Kまで冷
却して水素ガスを凝着させる能力をもつものであ
る。熱シールド板３、及びシエブロン型バツフル
４には、液体窒素の循環パイプ５，６が設けら
れ、70Kまで冷却されて、周囲部材がクライオパ
ネル１に与える熱を遮断する。
び第３図に示される様な構造を有している。即
ち、クライオパネル１とこれを支持する支持枠
２、クライオパネル１の断熱用の熱シールド板
３、断熱と水素の流入口を兼ねたシエブロン型バ
ツフル４から主に構成されている。クライオパネ
ル１は２枚の薄板を溶接して成る薄板の容器で、
この中に液体ヘリウムを充填補給し、4Kまで冷
却して水素ガスを凝着させる能力をもつものであ
る。熱シールド板３、及びシエブロン型バツフル
４には、液体窒素の循環パイプ５，６が設けら
れ、70Kまで冷却されて、周囲部材がクライオパ
ネル１に与える熱を遮断する。
クライオポンプは、同じ大きさであれば水素が
流入するシエブロン型バツフル４の前面空間が広
ければ広い程コンダクタンスが大きくなり、水素
ガスを凝着させる能力は上がる。しかし、従来の
クライオポンプの支持枠２は、第４図、第５図、
及び第６図に示す様に、４本のＬ形鋼の柱を一体
溶接構造としていたため、円筒タンク７に寄せる
事が出来ず、クライオポンプと円筒タンク７間の
空間が大きく、シエブロン型バツフル４の前面空
間が狭いという欠点があり、コンダクタンスが大
きくとれず、水素ガス凝着能力が向上しなかつ
た。
流入するシエブロン型バツフル４の前面空間が広
ければ広い程コンダクタンスが大きくなり、水素
ガスを凝着させる能力は上がる。しかし、従来の
クライオポンプの支持枠２は、第４図、第５図、
及び第６図に示す様に、４本のＬ形鋼の柱を一体
溶接構造としていたため、円筒タンク７に寄せる
事が出来ず、クライオポンプと円筒タンク７間の
空間が大きく、シエブロン型バツフル４の前面空
間が狭いという欠点があり、コンダクタンスが大
きくとれず、水素ガス凝着能力が向上しなかつ
た。
本考案は上述の点に鑑み成されたもので、その
目的とするところは、シエブロン型バツフルの前
面空間を広くとれコンダクタンスが大きくなり、
水素ガス凝着能力が向上するクライオポンプを提
供するにある。
目的とするところは、シエブロン型バツフルの前
面空間を広くとれコンダクタンスが大きくなり、
水素ガス凝着能力が向上するクライオポンプを提
供するにある。
本考案はクライオパネルの一方側を覆い、該ク
ライオパネルに与える熱をしや断する熱シールド
板を支持している支持枠の一部を、円筒タンク内
面に沿つて伸延させると共に、これに支持される
前記熱シールド板部分を前記支持枠の伸延部分と
ほぼ同形状にし、前記円筒タンク内面に近接させ
て配置することにより、所期の目的を達成するよ
うになしたものである。
ライオパネルに与える熱をしや断する熱シールド
板を支持している支持枠の一部を、円筒タンク内
面に沿つて伸延させると共に、これに支持される
前記熱シールド板部分を前記支持枠の伸延部分と
ほぼ同形状にし、前記円筒タンク内面に近接させ
て配置することにより、所期の目的を達成するよ
うになしたものである。
以下、図面の実施例に基づいて本考案を説明す
る。尚、符号は従来と同一のものは同符号を使用
する。
る。尚、符号は従来と同一のものは同符号を使用
する。
第７図に本考案のクライオポンプの一実施例、
第８図、及び第９図に本考案に採用される枠を示
す。
第８図、及び第９図に本考案に採用される枠を示
す。
該図の如く、本考案では支持枠２を円筒タンク
７側の柱２本をやめ円筒タンク７に沿つて伸延す
る腕２ａを出す。また、熱シールド板３も支持枠
２の腕２ａに沿つて角落しをし、腕２ａ部分とほ
ぼ同形状にする。このように構成することによ
り、クライオポンプは従来構造に比べ円筒タンク
７側に熱シールド板３を寄せる事ができ、水素流
入口のシエブロン型バツフル４の前面空間が広く
なり、水素ガスを凝着させる能力が向上する。ま
た、支持枠２、熱シールド板３が従来と比べ軽量
になると共に、それらを冷却している液体窒素の
消費量が少なくてすむ。
７側の柱２本をやめ円筒タンク７に沿つて伸延す
る腕２ａを出す。また、熱シールド板３も支持枠
２の腕２ａに沿つて角落しをし、腕２ａ部分とほ
ぼ同形状にする。このように構成することによ
り、クライオポンプは従来構造に比べ円筒タンク
７側に熱シールド板３を寄せる事ができ、水素流
入口のシエブロン型バツフル４の前面空間が広く
なり、水素ガスを凝着させる能力が向上する。ま
た、支持枠２、熱シールド板３が従来と比べ軽量
になると共に、それらを冷却している液体窒素の
消費量が少なくてすむ。
以上説明した本考案のクライオポンプによれ
ば、水素の流入口であるシエブロン型バツフルの
前面空間が広くなるので、クライオポンプの性能
が向上するという効果がある。
ば、水素の流入口であるシエブロン型バツフルの
前面空間が広くなるので、クライオポンプの性能
が向上するという効果がある。
第１図は従来のクライオポンプの概略を示す断
面図、第２図はその正面図、第３図はその側面
図、第４図は従来のクライオポンプ支持枠の平面
図、第５図はその正面図、第６図はその側面図、
第７図は本考案のクライオポンプの一実施例を示
す断面図、第８図はそれに採用される本考案のク
ライオポンプ支持枠の正面図、第９図はそれの側
面図である。 １…クライオパネル、２…支持枠、２ａ…支持
枠の腕、３…熱シールド板、４…シエブロン型バ
ツフル、５，６…循環パイプ、７…円筒タンク。
面図、第２図はその正面図、第３図はその側面
図、第４図は従来のクライオポンプ支持枠の平面
図、第５図はその正面図、第６図はその側面図、
第７図は本考案のクライオポンプの一実施例を示
す断面図、第８図はそれに採用される本考案のク
ライオポンプ支持枠の正面図、第９図はそれの側
面図である。 １…クライオパネル、２…支持枠、２ａ…支持
枠の腕、３…熱シールド板、４…シエブロン型バ
ツフル、５，６…循環パイプ、７…円筒タンク。
Claims (1)
- 薄板で形成される容器内に液体ヘリウムが充填
され水素ガスを凝着させるクライオパネルと、該
クライオパネルを支持する支持枠と、該支持枠に
支持され、前記クライオパネルの一方側を覆い、
該クライオパネルに与える熱をしや断する熱シー
ルド板と、前記支持枠に支持され、前記クライオ
パネルの他方側を覆い、該クライオパネルへの断
熱と水素の流入口を兼ねたシエブロン型バツフル
とを備え、これらを前記熱シールド板が外側とな
るよう円筒タンク内に収納してなるクライオポン
プにおいて、前記熱シールド板を支持している支
持枠の一部を前記円筒タンク内面に沿つて伸延さ
せると共に、これに支持される前記熱シールド板
部分を前記支持枠の伸延部分とほぼ同形状に、前
記円筒タンク内面に近接させて配置したことを特
徴とするクライオポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1913884U JPS60133185U (ja) | 1984-02-15 | 1984-02-15 | クライオポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1913884U JPS60133185U (ja) | 1984-02-15 | 1984-02-15 | クライオポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60133185U JPS60133185U (ja) | 1985-09-05 |
| JPH0213757Y2 true JPH0213757Y2 (ja) | 1990-04-16 |
Family
ID=30508431
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1913884U Granted JPS60133185U (ja) | 1984-02-15 | 1984-02-15 | クライオポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60133185U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4827525U (ja) * | 1971-08-10 | 1973-04-03 |
-
1984
- 1984-02-15 JP JP1913884U patent/JPS60133185U/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4827525U (ja) * | 1971-08-10 | 1973-04-03 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60133185U (ja) | 1985-09-05 |
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