JPH02137046U - - Google Patents
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- JPH02137046U JPH02137046U JP2745390U JP2745390U JPH02137046U JP H02137046 U JPH02137046 U JP H02137046U JP 2745390 U JP2745390 U JP 2745390U JP 2745390 U JP2745390 U JP 2745390U JP H02137046 U JPH02137046 U JP H02137046U
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- JP
- Japan
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- electrical
- insulating member
- transmission cable
- output section
- optical transmission
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 4
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例に係るプローブカー
ドの要部断面図、第２図は従来のプローブカード
の要部断面図である。 １……プローブカード、２……回路基板、３…
…絶縁部材、３２……測定電極、４……光／電気
変換素子、５……電気／光変換素子、６……光伝
送ケーブル。
ドの要部断面図、第２図は従来のプローブカード
の要部断面図である。 １……プローブカード、２……回路基板、３…
…絶縁部材、３２……測定電極、４……光／電気
変換素子、５……電気／光変換素子、６……光伝
送ケーブル。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 測定しようとする試料の電気的入出力部と測定
装置の入出力部との間の信号の遣り取りを行う光
伝送ケーブルが配設される回路基板と、 この回路基板に取付けらる、かつ前記光伝送ケ
ーブルの先端が固定される絶縁部材と、 前記試料の電気的入出力部に当接させるべく、
電気的入出力部の配置状態に対応して前記絶縁部
材の下面に配設される複数の測定電極と、 前記絶縁部材の内部に配置され、かつ前記測定
電極と極めて短い配線で接続される光／電気変換
素子及び電気／光変換素子とを具備したことを特
徴とするプローブカード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2745390U JPH02137046U (ja) | 1990-03-16 | 1990-03-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2745390U JPH02137046U (ja) | 1990-03-16 | 1990-03-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02137046U true JPH02137046U (ja) | 1990-11-15 |
Family
ID=31530307
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2745390U Pending JPH02137046U (ja) | 1990-03-16 | 1990-03-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02137046U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5611352B2 (ja) * | 1971-10-04 | 1981-03-13 |
-
1990
- 1990-03-16 JP JP2745390U patent/JPH02137046U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5611352B2 (ja) * | 1971-10-04 | 1981-03-13 |