JPS6442479U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6442479U JPS6442479U JP13685787U JP13685787U JPS6442479U JP S6442479 U JPS6442479 U JP S6442479U JP 13685787 U JP13685787 U JP 13685787U JP 13685787 U JP13685787 U JP 13685787U JP S6442479 U JPS6442479 U JP S6442479U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor device
- transmission line
- inputs
- signal output
- measuring needle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 8
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Description
第１図は本考案による半導体デバイス試験装置
の実施例を示す回路図、第２図は装置外観を示す
正面図、第３図はプローブカードの形状構造を示
す斜視図、第４図は従来の半導体デバイス試験装
置を示す回路図、第５図は従来装置の外観を示す
正面図、第６図は従来のプローブカードの形状を
示す斜視図である。 １……半導体デバイス、２……ドライバアンプ
、３……センサアンプ、４……コンパレータ、５
……テスタ、６……伝送線、７……測定針、８…
…プローブカード。
の実施例を示す回路図、第２図は装置外観を示す
正面図、第３図はプローブカードの形状構造を示
す斜視図、第４図は従来の半導体デバイス試験装
置を示す回路図、第５図は従来装置の外観を示す
正面図、第６図は従来のプローブカードの形状を
示す斜視図である。 １……半導体デバイス、２……ドライバアンプ
、３……センサアンプ、４……コンパレータ、５
……テスタ、６……伝送線、７……測定針、８…
…プローブカード。
Claims (1)
- 機能試験のためのロジツク信号を測定対象の半
導体デバイスへ出力するドライバアンプ及び上記
半導体デバイスから出力される信号を入力して正
しい論理値等と比較するコンパレータを有するテ
スタと、このテスタ及び測定対象の半導体デバイ
スの間の信号を伝送する伝送線と、上記半導体デ
バイスの接触端子に当てる測定針を有すると共に
この測定針の近くに実装され上記半導体デバイス
から出力される信号を入力しその取り込んだ信号
を切り離すセンサアンプを有し上記伝送線の先端
に接続されるプローブカードとから成ることを特
徴とする半導体デバイス試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13685787U JPS6442479U (ja) | 1987-09-09 | 1987-09-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13685787U JPS6442479U (ja) | 1987-09-09 | 1987-09-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6442479U true JPS6442479U (ja) | 1989-03-14 |
Family
ID=31397756
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13685787U Pending JPS6442479U (ja) | 1987-09-09 | 1987-09-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6442479U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61193081A (ja) * | 1985-02-22 | 1986-08-27 | Hitachi Ltd | Ｉｃ回路のテスト装置 |
-
1987
- 1987-09-09 JP JP13685787U patent/JPS6442479U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61193081A (ja) * | 1985-02-22 | 1986-08-27 | Hitachi Ltd | Ｉｃ回路のテスト装置 |
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