JPH02131943A - Liquid jet recording head - Google Patents

Liquid jet recording head

Info

Publication number
JPH02131943A
JPH02131943A JP1003392A JP339289A JPH02131943A JP H02131943 A JPH02131943 A JP H02131943A JP 1003392 A JP1003392 A JP 1003392A JP 339289 A JP339289 A JP 339289A JP H02131943 A JPH02131943 A JP H02131943A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
group
recording head
methacrylate
liquid
jet recording
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1003392A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiromichi Noguchi
弘道 野口
Tadaki Inamoto
忠喜 稲本
Emi Munakata
棟方 恵美
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Publication of JPH02131943A publication Critical patent/JPH02131943A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
    • C08F220/00Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and only one being terminated by only one carboxyl radical or a salt, anhydride ester, amide, imide or nitrile thereof
    • C08F220/02Monocarboxylic acids having less than ten carbon atoms; Derivatives thereof
    • C08F220/10Esters
    • C08F220/20Esters of polyhydric alcohols or phenols, e.g. 2-hydroxyethyl (meth)acrylate or glycerol mono-(meth)acrylate
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
    • C08F220/00Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and only one being terminated by only one carboxyl radical or a salt, anhydride ester, amide, imide or nitrile thereof
    • C08F220/02Monocarboxylic acids having less than ten carbon atoms; Derivatives thereof
    • C08F220/52Amides or imides
    • C08F220/54Amides, e.g. N,N-dimethylacrylamide or N-isopropylacrylamide
    • C08F220/58Amides, e.g. N,N-dimethylacrylamide or N-isopropylacrylamide containing oxygen in addition to the carbonamido oxygen, e.g. N-methylolacrylamide, N-(meth)acryloylmorpholine
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
    • C08F291/00Macromolecular compounds obtained by polymerising monomers on to macromolecular compounds according to more than one of the groups C08F251/00 - C08F289/00

Abstract

PURPOSE:To provide a recording head having a low cost, high accuracy, high reliability and excellent durability by incorporating specific graft copolymerizable polymer, specific linear polymer, specific epoxy resin, and polymerization initiator for generating Lewis acid by radiating it with active energy beam. CONSTITUTION:Composition contains graft copolymerizable polymer in which branched of chain having a structure unit derived from monomer selected from a group consisting of monomer represented by formulae x and y is added to backbone chain having a structure unit derived from monomer selected from a group consisting of alkylmethacrylate, acrylonitrile and styrene as a main ingredient, its number-average molecular weight is 5000 or more, and its weight- average molecular weight is 50,000 or less, specific linear polymer, epoxy resin containing compound having epoxy group in its molecule, and polymerization initiator for generating Lewis acid by radiating it with active energy beam. In the formulae x and y, R<1> is alkyl group or hydroxyalkyl group, R<2> is alkyl group or acyl group, R<3> is alkyl group or specific phenylalkyl group.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業トの利用分野〕 本発明は、液体噴射記録ヘッド、詳しくは、インク等の
記録用液体の小滴を発生させ、それを紙などの被記録材
に付着させて記録を行なう液体噴射記録方式に用いる記
録用液体の小摘発生用の記録ヘッドに関する。
[Detailed Description of the Invention] [Field of Industrial Application] The present invention relates to a liquid jet recording head, specifically, a liquid jet recording head that generates droplets of a recording liquid such as ink and attaches them to a recording material such as paper. The present invention relates to a recording head for generating small particles of recording liquid used in a liquid jet recording method that performs recording.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

インク等の記録用液体の小滴を発生させ、それを紙など
の被記録材に付着させて記録を行なう液体噴射記録方式
は、記録時の騒音の発生が無視できる程度に極めて小さ
く、かつ高速記録が可能であり、しかも淳通紙に定着な
どの特別な処理を必要とせずに記録を行なうことのでき
る記録方式として注「1され、最近種々のタイプのもの
か活発に研究されている。
The liquid jet recording method generates small droplets of recording liquid such as ink and attaches them to a recording material such as paper to perform recording, and the noise generated during recording is extremely small and can be ignored at high speed. It has been described as a recording method that allows recording without the need for special processing such as fixing on paper, and has recently been actively researched into various types.

液体噴射記録方式に用いられる記録装置の記録ヘッド部
は、一般に、記録用液体を吐出するためのオリフィス(
液体吐出口)と、該オリフィスに連通し、記録用液体を
吐出するためのエネルギーが記録用液体に作用する部分
を有する液体通路と、該液体通路に供給する記録用液体
を貯留するための液室とを有して構成されている。
The recording head section of a recording device used in the liquid jet recording method generally has an orifice (
a liquid passage communicating with the orifice and having a portion where energy for ejecting the recording liquid acts on the recording liquid; and a liquid for storing the recording liquid to be supplied to the liquid passage. It is configured with a chamber.

記録の際に、記録用液体を吐出するためのエネルギーは
、液体通路の一部を構成する記録用液体に吐出エネルギ
ーを作用させる部分(エネルギー作用部)の所定の位置
に配設さわた発熱素子、圧電素子等の種々のタイプの吐
出エネルギー発生素子によって発生されるものが多い。
During recording, the energy for ejecting the recording liquid is generated by a heat generating element placed at a predetermined position in a part (energy application part) that applies ejection energy to the recording liquid, which forms part of the liquid path. In many cases, ejection energy is generated by various types of ejection energy generating elements such as piezoelectric elements.

このような構成の液体噴射記録ヘッドを製造する方法と
しては、例えば、ガラス、金属等の平板に切削やエッチ
ング等によって5微細な溝を形成し、更にこの溝を形成
した平板に他の適当な板を接合して液体通路を形成する
工程を含む方法、あるいは例えば吐出エネルギー発生素
子の配置されたJ,+1,板十に硬化した感光性樹脂の
溝壁をフォトリソグラフィー工程によって形成して、基
板トに液体通路となる溝を設け、このようにして形成さ
れた溝付き板に、他の)V−板(覆い)を接合して液体
通路を形成する王程を含む方法が知られている(例えば
特開昭57−43878号)。
A method for manufacturing a liquid jet recording head having such a configuration is, for example, to form five fine grooves on a flat plate of glass, metal, etc. by cutting or etching, and then to form other suitable grooves on the flat plate with these grooves. A method including a step of bonding the plates to form a liquid passage, or, for example, forming a groove wall of hardened photosensitive resin on the J, +1, plate on which the ejection energy generating element is arranged by a photolithography process, and forming the substrate. A known method includes forming a groove to serve as a liquid passage in the V plate, and joining another (V) plate (cover) to the thus formed grooved plate to form a liquid passage. (For example, JP-A-57-43878).

これらの液体噴射記録ヘッドの製造方法のなかでは、感
光性樹脂を使用した後者の方法は、航者の方法に対して
、液体通路をより精度良く、かつ歩留り良く微細加Lで
き、しかも量産化が容易であるので、品質が良く、より
安価な液体噴射記録ヘットを提供することができるとい
う利点を有していろう このような記録ヘッドの製造に用いる感光性樹脂として
は、印刷版,プリント配線等におけるパターン形成用と
して用いられてきたもの、あるいはガラス、金属、セラ
ミックス等に用いる光硬化型の塗料や接着剤として知ら
れているものが用いられており、また作業能率などの而
からドライフィルムタイプの樹脂が主に利用されてきた
Among these methods for manufacturing liquid jet recording heads, the latter method using photosensitive resin allows for fine machining of liquid passages with higher accuracy and higher yield than the aviator's method, and is also easier to mass-produce. The photosensitive resin used for manufacturing such a recording head includes printing plates, printed wiring, etc. For example, dry film has been used for pattern formation, or is known as a photo-curable paint or adhesive used for glass, metal, ceramics, etc. type of resin has been mainly used.

〔発明が解決しようとするa!) 感光性樹脂の硬化膜を構成の一部に利用する記録ヘット
において、高度な記録特性、耐久性及びイ,暦頼性等の
優れた特性を得るためには、用いる感光性樹脂に、 (+)特に、硬化膜としてμ板等との接着性に優れてい
る、 (2)硬化した際の機械的強度及び耐久性等に優れてい
る、 (3)パターン露光を用いたパターンニングの際の感度
及び解像度に優れている などの特性を仔していることが要求される。
[The invention aims to solve a! ) In a recording head that uses a cured film of a photosensitive resin as part of its structure, in order to obtain excellent characteristics such as advanced recording characteristics, durability, and calendar reliability, the photosensitive resin used must contain ( +) Especially as a cured film, it has excellent adhesion to μ plates, etc. (2) It has excellent mechanical strength and durability when cured, (3) When patterning using pattern exposure It is required to have characteristics such as excellent sensitivity and resolution.

ところか、これまでに知られている液体噴射記録ヘッド
の形成に用いられてきた感光性樹脂には、F記の要求特
性を全て満足したものは少ないのか現状である。
However, there are currently very few photosensitive resins that have been used to form known liquid jet recording heads that satisfy all of the required characteristics listed in F.

例えば、記録ヘッド用の感光性樹脂として、印刷版、プ
リント配線等におけるパターン形成用として用いられて
いるものは、感度及び解像度においては優れているが、
基板として用いられるガラス、セラミックス、プラスチ
ックフイルムなどに対する接着性や密着性に劣り、しか
も硬化した際の機械的強度や耐久性が十分でない。その
ため、記録ヘッドの製造段階において、または使用にと
もなって、例えば液体通路内の記録用液体の流れを阻害
したり、あるいは液滴吐出方向を不安定にするなどして
記録特性を低下させる等、記録ヘッドの信頼性を著しく
損なう原因となる樹脂硬化膜の変形や基板からの剥離、
損傷などが起き易いという欠点を有している。
For example, photosensitive resins used for recording heads and for pattern formation in printing plates, printed wiring, etc. have excellent sensitivity and resolution;
It has poor adhesion and adhesion to glass, ceramics, plastic films, etc. used as substrates, and also lacks sufficient mechanical strength and durability when cured. Therefore, during the manufacturing stage of the print head or during use, for example, the flow of the print liquid in the liquid passage may be obstructed, or the direction of droplet ejection may be made unstable, resulting in deterioration of the print characteristics. Deformation of the cured resin film and peeling from the substrate, which can significantly impair the reliability of the recording head.
It has the disadvantage of being easily damaged.

一方、ガラス、金属、セラミックス等に用いる光硬化型
の塗料や接着剤として知られているものは、これらの材
質からなる基板に対する密着性や接着性に優れ、かつ硬
化した際に十分な機械的強度や耐久性が得られるという
利点を仔しているものの、感度及び解像度に劣るために
、より高強度の露光装置や長時間の露光操作が必要とさ
れ、また、その時性ト、解像度良く精密な高密度パター
ンを得ることができないために、特に微細な精密加王が
要求される記録ヘット用としては向いていないという問
題点を有している。
On the other hand, known photocuring paints and adhesives used for glass, metals, ceramics, etc. have excellent adhesion and adhesion to substrates made of these materials, and have sufficient mechanical strength when cured. Although it has the advantage of being strong and durable, it is inferior in sensitivity and resolution, requiring higher-intensity exposure equipment and longer exposure operations. Since it is not possible to obtain a high-density pattern, this method has the problem that it is not suitable for use in recording heads that require particularly fine and precise surface processing.

また、従来の種々の用途に利用ざれている感光性樹脂組
成物においては、例えば金属との錯体形成能を有する複
素環式化合物等の種々の添加助削、あるいはカップリン
グ剤等を感光性樹脂組成物に添加し、金属等との密着性
を向上させていたく特公昭51−5934、特公昭58
−24035など),,シかしこの方法には、長期間が
経過すると、−ヒ記添加助剤等がその組成物の酸化およ
びlrx蝕等の現象を引き起こしてしまうという問題が
あった。
In addition, in the photosensitive resin compositions used for various conventional purposes, various additives such as heterocyclic compounds having the ability to form complexes with metals, or coupling agents, etc. are added to the photosensitive resin. Added to compositions to improve adhesion to metals, etc.
However, this method has a problem in that, over a long period of time, the additives mentioned above cause oxidation of the composition and phenomena such as lrx corrosion.

方、そのような添加助剤等を添加しなくとも十分な密着
性を有する硬化組成物を得ることを目的として、枝鎖に
極性基を有するグラフト共巾合体より成る高分子物質が
特開昭61−283645 ,特開昭6 1−28:1
646において開示されている。そこで開示された高分
子物質(グラフト共重合高分子)を含イ1−する活性エ
ネルギー線硬化p.+1樹脂組成物は、添加助剤等に頼
ること無く、密着性の向上、史には塗膜の耐久性の向]
一を実現することかできるという111点を有している
On the other hand, with the aim of obtaining a cured composition with sufficient adhesion even without the addition of such additives, a polymeric material consisting of a graft co-cross polymer having polar groups in its branch chains was disclosed in Japanese Patent Application Laid-open No. 1-28:1
646. Active energy ray-curable p. +1 The resin composition improves adhesion and improves the durability of the coating film without relying on additives, etc.]
It has 111 points, indicating that it is possible to achieve one goal.

しかしなから、この組成物においては、その高分子物質
(グラフト共重合高分子)の分子設計に困難性が伴なう
という問題がまだ残されていた。
However, in this composition, there still remains the problem that the molecular design of the polymer substance (graft copolymer polymer) is difficult.

すなわち、一般に、枝鎖の分子量および含有率を定にし
つつ,グラフト共頃合体全体の市量平均分子1鋒を広範
囲(5万〜35万程度)に漁り適宜所望の埴の分子寸に
なるよう合成することは、技術的に困難を伴なう。
That is, in general, while keeping the molecular weight and content of the branch chains constant, the commercial weight average molecular weight of the entire graft co-coalescence is selected over a wide range (approximately 50,000 to 350,000) to obtain the desired molecular size. Synthesizing it is technically difficult.

つまり、パターン形成時の現像特性、すなわち未I■合
部の溶解速度、重合部の膨潤性、干してそ打らの結果と
しての感度、パターンのシャープさ、解像度を良好なも
のとするには、高分子物質の平均分子量は小さ過ぎては
ならない。グラフト共重合高分子において、比較的大き
な分子量の幹鎖に、有効な密着性が得られる程度に十分
な長さを持った枝鎖を多数結合させ、−1二連した目的
に合致する(Y均分子jJを得ることは、現在の合成技
術においては、立体的障害の点から困難を伴なうもので
ある。
In other words, in order to improve the development characteristics during pattern formation, i.e., the dissolution rate of uncombined parts, the swelling property of polymerized parts, the sensitivity as a result of drying, the sharpness of the pattern, and the resolution. , the average molecular weight of the polymeric material should not be too small. In graft copolymer polymers, a large number of branch chains with sufficient length to obtain effective adhesion are bonded to a relatively large molecular weight trunk chain, and -1 double chain is used (Y Obtaining homogeneous molecules jJ is difficult with current synthetic techniques due to steric hindrance.

π−い替えれば、高分子物質の平均分子量が低すぎると
、それを用いたパターン形成材料の現像特性、すなわち
未1[合部の溶解速度、重合部の膨潤性、モしてそわら
の結果としての感度、パターンのシャープさ、解像度の
調節に一定の制限を受けるのである。
In other words, if the average molecular weight of the polymeric substance is too low, the development characteristics of the pattern-forming material using it, i.e., the dissolution rate of the polymeric part, the swelling property of the polymeric part, and the results of There are certain limitations on the sensitivity, pattern sharpness, and resolution adjustment.

本発明はF記問題点に鑑み成されたものであり、その目
的は、添加助剤等を添加しなくとも七分な密着性を有し
、パターン形成時の現像特性に優れ、かつ液体噴射記録
ヘッドの構成部材として良好な特性を得られるようにそ
の特性を制御することが容易な活性エネルギー線硬化型
樹脂組成物を用い、安価で精密であり、信頼性が扁く、
耐久性に優れた記録ヘッドを提供することにある。
The present invention has been made in view of the problem described in F.The purpose of the present invention is to have 70% adhesion without the addition of additives, excellent development characteristics during pattern formation, and liquid jetting. We use an active energy ray-curable resin composition whose properties can be easily controlled to obtain good properties as a component of the recording head, and it is inexpensive, precise, and highly reliable.
The objective is to provide a recording head with excellent durability.

本発明の他の目的は、液体通路が蹟度良くかっ歩留り良
く微細加工ざれた構成を有した液体噴射記録ヘッドを提
供することにある。
Another object of the present invention is to provide a liquid jet recording head having a structure in which liquid passages are finely machined with good roughness and high yield.

本発明の他の目的は、マルチオリフィス化された場合に
も信頼性が高く、耐久性に優れた液体噴射記録ヘッドを
提供することにある。
Another object of the present invention is to provide a liquid jet recording head that is highly reliable and has excellent durability even when it has multiple orifices.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

上記の目的は以下の本発明によって達成することができ
る。
The above objects can be achieved by the following invention.

本発明は、活性エネルギー線硬化型樹脂組成物の硬化物
をその構成の一部とする液体噴射記録ヘッドであって、
前記組成物が、 (A)アルキルメタアクリレート、アクリロニトリルお
よびスチレンからなる群より選ばれた一種以上−のモノ
マー(以下モノマー成分■という)に由来する構造単位
を主体とする9?釦に、下記一般式(x)で表わさわる
モノマーおよび下記一般式(y)で表わさ九るモノマー
からなる群より選択された少なくとも一種のモノマー(
以下モノマー成分(りという)に由来する構造単位を打
する枝鎖が付加されてなり、かつ数゛ト均分子縫が5千
以上であり、重購゛ト均分子晴が5万以下であるグラフ
t4[合高分子と、 R1 R CH,=C                  ・・
・ (y)0=C−0−R3 −OH [ただし、Rlは水素、もしくは炭素原子数が1〜3の
アルキル基またはヒドロキシアルキル基を表わし、R2
は水素、もしくは炭素原子数が1〜4のヒドロキシ基を
有していてもよいアルキル基またはアシル基を表わし、
R3は炭素原子数2〜6のアルキル基、あるいはハロゲ
ン置換されたアルキル基、 →CH2片『−〇一廿CH,i (ただし、2≦m+n≦6、n≠0、m≠0)で表わさ
れるアルキルエーテル基、 (たたし、2≦m + n≦4、n=oあるいはm−0
の場合も含む) で表わされるフエニルアルキル基である。](B)メチ
ルメタアクリレート、エチルメタアクリレート、イソブ
チルメタアクリレート、t−プチルメタアクリレート、
ペンジルメタアクリレート、アクリロニトリル、インボ
ルニルメタアクリレート、イソホルニルアクリレート、
トリシクロデカンアクリレート、トリシクロデカンメタ
アクリレート、トリシクロデカンオキシエチルメタアク
リレート、スチレン、ジメチルアミノエチルメタクリレ
ート、シクロへキシルメタクリレートからなる群より選
ばれた一種以上のモノマー(以下モノマー成分■という
)に由来する構造単位を有し、かつ前記一般式(x)で
表わされるモノマーおよび前記一般式(y)で表わされ
るモノマーからなる群より選択された少なくとも一種の
モノマー(以下モノマー成分■′ という;ただし、モ
ノマー成分■とモノマー成分■′は同一の組成を有する
ものであっても、異なる組成のものであっても良い)に
由来する構造単位を有し、かつ数平均分子量が5万以」
二であり、重量平均分子量が35万以下であり、ガラス
転移温度が60℃以上である線状高分子と、 (C)分子内にエボキシ基を1個以上有する化合物の少
なくとも1種を含んでなるエポキシ樹脂と、 (D)活性エネルギー線の照射によってルイス酸を発生
する1F合開始剤とを含むことを特徴とする液体噴射記
録ヘッドである。
The present invention provides a liquid jet recording head that includes a cured product of an active energy ray-curable resin composition as part of its configuration,
The composition is composed mainly of structural units derived from (A) one or more monomers selected from the group consisting of alkyl methacrylate, acrylonitrile, and styrene (hereinafter referred to as monomer component (2)). At least one monomer (
It is made by adding a branch chain that connects the structural unit derived from the following monomer components (ri), and the average molecular weight of several points is 5,000 or more, and the average molecular weight of several points is 50,000 or less. Graph t4 [combined polymer and R1 R CH,=C...
・(y)0=C-0-R3 -OH [However, Rl represents hydrogen, or an alkyl group or hydroxyalkyl group having 1 to 3 carbon atoms, and R2
represents hydrogen, or an alkyl group or acyl group having 1 to 4 carbon atoms which may have a hydroxy group,
R3 is an alkyl group having 2 to 6 carbon atoms or a halogen-substituted alkyl group, represented by →CH2 piece "-〇1廿CH,i (however, 2≦m+n≦6, n≠0, m≠0) alkyl ether group, (2≦m + n≦4, n=o or m-0
) is a phenyl alkyl group represented by ] (B) Methyl methacrylate, ethyl methacrylate, isobutyl methacrylate, t-butyl methacrylate,
Penzyl methacrylate, acrylonitrile, inbornyl methacrylate, isophonyl acrylate,
Derived from one or more monomers selected from the group consisting of tricyclodecane acrylate, tricyclodecane methacrylate, tricyclodecaneoxyethyl methacrylate, styrene, dimethylaminoethyl methacrylate, and cyclohexyl methacrylate (hereinafter referred to as monomer component ■) At least one monomer (hereinafter referred to as monomer component ■′) selected from the group consisting of the monomer represented by the general formula (x) and the monomer represented by the general formula (y) Monomer component (2) and monomer component (2) may have the same composition or may have different compositions), and have a number average molecular weight of 50,000 or more.
(C) a linear polymer having a weight average molecular weight of 350,000 or less and a glass transition temperature of 60°C or more; and (C) at least one compound having one or more epoxy groups in the molecule. (D) a 1F initiator that generates a Lewis acid upon irradiation with active energy rays.

本発明の液体噴射記録ヘッドは所望に応じて神々の構成
を取ることができるが、少なくともト記樹脂組成物の硬
化物がその構成の一部として用いられる。
The liquid jet recording head of the present invention can have a unique configuration as desired, and at least a cured product of the resin composition mentioned above is used as a part of the configuration.

以下、図面に従って本発明の液体噴射記録ヘッドの一例
を詳細に説明する。
Hereinafter, an example of the liquid jet recording head of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

第1図は本発明の液体噴射記録ヘッドの一例であり、第
1図(a)はその主要部の斜視図、第1図(b)は第1
図(a)のC−C線に添った切断断面図である。
FIG. 1 shows an example of the liquid jet recording head of the present invention, FIG. 1(a) is a perspective view of its main parts, and FIG.
FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line CC in FIG.

この液体噴射記録ヘッドは、基本的に、基板1と、該基
板上に設けられ、所定の形状にパターンニングされた樹
脂硬化膜からなる液体通路壁311と、該液体通路壁上
に積層された覆い7とを有してなり、これらの部材によ
って、記録用液体を吐出するためのオリフィス9、該オ
リフィスに連通し、記録用液体を吐出するためのエネル
ギーが記録用液体に作用する部分を有する液体通路6−
2及び該液体通路に供給する記録用液体を貯留するため
の液室6−1が形成されている。更に、覆いに設けられ
た貫通孔8には、記録ヘッド外部から液室6−1に記録
用液体を供給するための供給管IOが接合されている。
This liquid jet recording head basically consists of a substrate 1, a liquid passage wall 311 made of a cured resin film provided on the substrate and patterned into a predetermined shape, and a liquid passage wall 311 laminated on the liquid passage wall. These members include an orifice 9 for ejecting the recording liquid, and a portion that communicates with the orifice and on which energy for ejecting the recording liquid acts on the recording liquid. Liquid passage 6-
2 and a liquid chamber 6-1 for storing recording liquid to be supplied to the liquid passage. Furthermore, a supply pipe IO for supplying recording liquid from the outside of the recording head to the liquid chamber 6-1 is connected to the through hole 8 provided in the cover.

尚、第1図(a)には、供給管10は省略してある。Note that the supply pipe 10 is omitted in FIG. 1(a).

記録の際に、記録用液体を吐出するためのエネルギーは
、液体通路6−2の一部を構成する記録用液体に吐出エ
ネルギーを作用させる部分の所定の位置に配設された発
熱素子、圧電素子等の種々のタイプの吐出エネルギー発
生素子2に、これら素fに接続してある配線(不図示)
を介して吐出信号を所望に応じて印加することにより発
生される。
During recording, the energy for ejecting the recording liquid is generated by a heating element or a piezoelectric element disposed at a predetermined position in a part of the liquid passage 6-2 that applies ejection energy to the recording liquid. Wiring (not shown) connected to various types of ejection energy generating elements 2, such as elements f,
The ejection signal is generated by applying an ejection signal as desired via the ejection signal.

本発明の記録ヘッドを構成する基板lは、ガラス、セラ
ミックス、プラスチックあるいは金属等からなり、発生
素子2が所望の個数所定位置に配設される。なお、第1
図の例においては発生素子か2個設けられているか、発
熱素子の個数及び配置は記録ヘッドの所定の構成に応じ
て適宜決定される。
The substrate l constituting the recording head of the present invention is made of glass, ceramics, plastic, metal, or the like, and a desired number of generating elements 2 are disposed at predetermined positions. In addition, the first
In the illustrated example, whether two generating elements are provided or the number and arrangement of heating elements are determined as appropriate depending on the predetermined configuration of the recording head.

また、覆い7は、ガラス、セラミックス、プラスチック
または金属等の平板からなり5融着あるいは接着剤を用
いた接着方法により液体通路壁3Hトに接合されており
、また所定の位置に供給管10を接続するためのJ通孔
8が設けられている。
The cover 7 is made of a flat plate made of glass, ceramics, plastic, metal, etc., and is bonded to the liquid passage wall 3H by fusion bonding or adhesive bonding. A J through hole 8 for connection is provided.

この記録ヘッドにおいて、液体通路6−2及び液室6−
1の壁3Hを構成する所定の形状にパターンニングされ
た樹脂硬化膜は、基板1−Lに、または覆い7Fに設け
た而述した構成成分(A)〜(D)を含む活性エネルギ
ー線硬化型樹脂組成物からなる層をフォトリソグラフィ
ー王程によってパターンニングして得られたものである
In this recording head, a liquid passage 6-2 and a liquid chamber 6-
The cured resin film patterned into a predetermined shape constituting the wall 3H of 1 is cured with active energy rays containing the above-mentioned components (A) to (D) provided on the substrate 1-L or on the cover 7F. It is obtained by patterning a layer made of a mold resin composition using a photolithography process.

以上、液体通路壁3Hの構成に該樹脂組成物の硬化膜を
用いた例を説明したが、該樹脂組成物の硬化膜(硬化物
)は、記録ヘットのその他の部分に好適に利用し得る。
Although an example in which a cured film of the resin composition is used in the structure of the liquid passage wall 3H has been described above, the cured film (cured product) of the resin composition can be suitably used for other parts of the recording head. .

例えば、液体通路に垂直な記録ヘッドの部分断而として
表した第7図(a)〜(h)に示すように 1 覆い7として(a) 2.液体通路壁3H及び覆い7として(b)(この場合
液体通路壁3Hと覆い7は一体化されて形成されていて
も良いし、別途形成後接合されたものあっても良い。) 3.各種樹脂等から形成した液体通路壁311と覆い7
との接着WIl4(c)、(e)及び(g)として 4.液体通路壁3H及び液体通路壁311と覆い7との
接着層l4として(d)及び(f) 5.III.体通路壁311及び液体通路壁311と覆
い7との接着層l4(2層構成)として(h) の利用を挙げることができる。なお、上記構成のなかで
第7図(a)〜(e).(h)の構成及び第7図(f)
における液体通路壁3■の形成には、ドライフィルムタ
イプのものが好適に利用でき、また第7図(f)及び(
G)の接着剤層l4には、液体状で用いて硬化させるタ
イプが好適に用いらわる。
For example, as shown in FIGS. 7(a) to 7(h), which are shown as partial cut-offs of the recording head perpendicular to the liquid path, 1. As a cover 7, (a) 2. (b) as the liquid passage wall 3H and the cover 7 (in this case, the liquid passage wall 3H and the cover 7 may be formed integrally, or may be formed separately and then joined) 3. Liquid passage wall 311 and cover 7 made of various resins, etc.
Adhesion with WIl4 (c), (e) and (g) as 4. (d) and (f) as an adhesive layer l4 between the liquid passage wall 3H and the liquid passage wall 311 and the cover 7; 5. III. (h) can be used as the adhesive layer l4 (two-layer structure) between the body passage wall 311 and the liquid passage wall 311 and the cover 7. In addition, among the above configurations, FIGS. 7(a) to (e). Structure of (h) and Fig. 7(f)
A dry film type can be suitably used to form the liquid passage wall 3■ in FIGS. 7(f) and (
For the adhesive layer l4 in G), a type that is used in a liquid state and then cured is preferably used.

史に、本発明の記録ヘッドは、第8図(a)及び(b)
並びに第9図に示す液体通路(6−2)に対して垂直な
方向に液滴を吐出する構造を有するものであっても良く
、その際には、例えば第10図(a)及び(b)に示す
部分等上記第7図に示したのと同様の部分などに該樹脂
組成物の硬化膜が好適に利用できる。
Historically, the recording head of the present invention is shown in FIGS. 8(a) and (b).
It may also have a structure that discharges droplets in a direction perpendicular to the liquid passage (6-2) shown in FIG. 9, in which case, for example, as shown in FIGS. The cured film of the resin composition can be suitably used for the same parts as shown in FIG. 7 above, such as the parts shown in ).

以下、本発明の記録ヘッドの構成の用いる館述した構成
成分(A)〜(D)を含む活性エネルギー線硬化型樹脂
組成物について説明する。
The active energy ray-curable resin composition containing the above-mentioned constituent components (A) to (D) used in the structure of the recording head of the present invention will be described below.

該樹脂組成物は、特に硬化膜とした際にガラス、プラス
チック、セラミックス等からなる基板等の各種部材に対
して良好な接着性を有し、かつインク等の記録用液体に
対する耐性及び機械的強度にも優れ、しかも活性エネル
ギー線によるパターニングによって蹟密で高解像度のパ
ターンを形成することができるという液体噴射記録ヘッ
ドの構成部材として優れた特性を存するものである。
The resin composition has good adhesion to various members such as substrates made of glass, plastic, ceramics, etc., especially when formed into a cured film, and has good resistance to recording liquids such as ink and mechanical strength. Furthermore, it has excellent properties as a component of a liquid jet recording head, such as being able to form a dense, high-resolution pattern by patterning with active energy rays.

更に、この樹脂組成物は、ドライフィルムとして用いる
ことができ、その際にも上記の優れた特性が発揮される
Furthermore, this resin composition can be used as a dry film, and the above-mentioned excellent properties are exhibited in that case as well.

該樹脂組成物に含まれるグラフト共重合高分子(A)の
幹鎖の形成には、而述のモノマー成分■が主成分として
用いらわる。
In forming the backbone chain of the graft copolymer polymer (A) contained in the resin composition, the monomer component (2) mentioned above is used as the main component.

枝鎖に用いるモノマーとしては、前述のモノマー成分■
に加え、必要に応じて以下の極性モノマーを併用するこ
とが可能である。
As monomers used for branch chains, the monomer components mentioned above ■
In addition, the following polar monomers can be used in combination as necessary.

(1)アミン基またはアルキルアミノ基含有アクリルモ
ノマー (11)カルボキシル基含有アクリルまたはビニルモノ
マー (III)N−ビニルピロリトン、もしくはその誘導体 (IV)ビニルピリジン、もしくはその誘導体また、疎
水性モノマーも、約25モル%以Fの範囲内で共1R合
の成分として用いることができる。
(1) Acrylic monomer containing an amine group or alkylamino group (11) Acrylic or vinyl monomer containing a carboxyl group (III) N-vinylpyrrolitone or its derivative (IV) Vinylpyridine or its derivative Also, a hydrophobic monomer, It can be used as a component of the co-1R combination within a range of about 25 mol% or less F.

詑クラフト共屯合高分子(八)の形成には、例えば[ボ
リマーアロイ基礎と応用」 (高分子学会編災、東京化
学同人■発行、1981年)のlθ〜350に記載され
ているような、従来より公知の種々の方法を用いること
ができる。それらの方法としては、■連鎖移動法、■放
射線を用いる方法、■酸化重合法、■イオングラフト重
合法、■マクロモノマー法などがある。これらの方法を
用い、先に例示した千ノマ一等を用いて、数平均分子量
5千以E、重量平均分子量5万以下のグラフト共重合高
分子が得らえるように適宜重合条件を選定して重合する
ことによって、該グラフト共重合高分子(^)を得るこ
とができる。
For the formation of the kraft covalent polymer (8), for example, as described in [Basics and Applications of Bolimar Alloys] (edited by the Society of Polymer Science, published by Tokyo Kagaku Dojin, 1981), lθ ~ 350, Various conventionally known methods can be used. These methods include ① a chain transfer method, ② a method using radiation, ② an oxidative polymerization method, ② an ion graft polymerization method, and ② a macromonomer method. Using these methods and using the Sennoma Ichi etc. as exemplified above, polymerization conditions were appropriately selected so as to obtain a graft copolymer with a number average molecular weight of 5,000 or more and a weight average molecular weight of 50,000 or less. The graft copolymer polymer (^) can be obtained by polymerization.

なお、而記方法のうち、■あるいは■の方法を141い
ると、共重合高分子(A)の鎖枝の長さが揃うので、特
に■の方法がより好ましい。
Of the methods listed above, method (1) or (141) is particularly preferable because the lengths of the chain branches of the copolymer (A) are made uniform.

上記線状高分子(n)は、簡述したモノマー成分■を1
成分とし、かつ1前述したモノマー成分■′を用い、数
平均分’j.;15万以上、重量平均分千雀35万以下
で、ガラス転移温度60℃以上の重合体になるように、
適宜重合条件を選定しつつ、従来より公知の方法を用い
て重合することにより得ることができる。なお、モノマ
ー成分■′は、5モル%か630モル%の範囲で加える
ことが好ましい。線状高分子中にモノマー成分■′が3
0モル%を越えて含有されると、硬化塗膜中の極性基濃
度が高くなり、密着性向上の効果がそれ以上上昇せずに
、耐水性の低下が現われてくるので好ましくない。また
、モノマー成分■′が5モル%未満であると、密着性向
上および塗膜の結合剤としての効果が不十分になる。
The above linear polymer (n) contains 1 monomer component
component, and using the monomer component ■' mentioned above, the number average fraction 'j. 150,000 or more, weight average molecular weight of 350,000 or less, and a glass transition temperature of 60°C or more,
It can be obtained by polymerizing using a conventionally known method while appropriately selecting polymerization conditions. It is preferable to add monomer component (2) in an amount of 5 mol % to 630 mol %. There are 3 monomer components ■′ in the linear polymer.
If the content exceeds 0 mol %, the concentration of polar groups in the cured coating film will increase, and the effect of improving adhesion will not further increase, but water resistance will decrease, which is not preferable. Furthermore, if the monomer component (■') is less than 5 mol%, the effect of improving adhesion and acting as a binder for the coating film will be insufficient.

該樹脂組成物の硬化物に高いガラス転移温度を与え、耐
水性を高める目的では、而述したモノマー成分■として
、メチルメタクリレート、イソボルニルメタクリレート
、イソボルニルアクリレート、トリシクロデカンメタク
リレート、トリシクロデカンアクリレート等は特に好ま
しい結果を与える。
For the purpose of imparting a high glass transition temperature to the cured product of the resin composition and increasing its water resistance, the above-mentioned monomer component (2) may include methyl methacrylate, isobornyl methacrylate, isobornyl acrylate, tricyclodecane methacrylate, tricyclo Decane acrylate and the like give particularly favorable results.

而記1分子内にエボキシ基を1個以上含む化合物の1種
以上からなるエボキシ樹脂(C)とは、後述する重合開
始剤(D)の存在下に本発明の樹脂組成物に活性エネル
ギー線による高感度で十分な硬化性を発揮させ、これに
加えて、本発明の樹脂組成物を、ガラス、プラスチック
ス、セラミックス等からなる各種支持体上に液体状で塗
布してからこれを硬化させて硬化膜として形成した際に
、あるいはドライフィルムの形で各種支持体1−に接着
して用いた際に該樹脂組成物からなる硬化膜に、より良
好な支持体との密着性、耐水性、耐薬品性、十法安定性
等を付与するための成分である。
The epoxy resin (C) consisting of one or more types of compounds containing one or more epoxy groups in one molecule refers to the resin composition of the present invention that is irradiated with active energy rays in the presence of the polymerization initiator (D) described below. In addition to this, the resin composition of the present invention is applied in liquid form onto various supports made of glass, plastics, ceramics, etc., and then cured. When formed as a cured film or used in the form of a dry film adhered to various supports 1-, the cured film made of the resin composition has better adhesion to the support and water resistance. It is a component for imparting chemical resistance, ten-method stability, etc.

このエボキシ樹脂(C)としては、1分子内にエボキシ
基を1個以上含む化合物の1種以上を用いてなるエボキ
シ樹脂であれば、特に限定することなく用いることがで
きる。しかしながら、例えば本発明の樹脂組成物を硬化
して得られる硬化膜の耐薬品性や機械的強度、構造材料
としての高い耐久性などを考慮したり、あるいは該組成
物の硬化11qからなる各種パターンを支持体上に形成
する際の作業性や、形成されるパターンの解像度などを
考慮すると、1分子内にエボキシ基を2個以七含む化合
物の1種以上からなるエボキシ樹脂を用いることが好ま
しい。
As the epoxy resin (C), any epoxy resin can be used without particular limitation as long as it is made of one or more compounds containing one or more epoxy groups in one molecule. However, for example, considering the chemical resistance and mechanical strength of the cured film obtained by curing the resin composition of the present invention, high durability as a structural material, etc., or various patterns made of the cured composition 11q, Considering the workability when forming on a support and the resolution of the formed pattern, it is preferable to use an epoxy resin consisting of one or more compounds containing 2 to 7 epoxy groups in one molecule. .

上記1分子内にエボキシ基を2個以上含むエボキシ樹脂
としては、ビスフェノールA型、ノボラック型、脂環型
に代表されるエボキシ樹脂、あるいは、ビスフェノール
S、ビスフェノールF、テトラヒド口キシフェニルメタ
ンテトラグリシジルエーテル、レゾルシノールジグリシ
ジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテル、ペ
ンタエリスリトールトリグリシジルエーテル、イソシア
ヌール酸トリグリシシルエーテルおよび下記一般式エ (ただし、R4はアルキル基またはオキシアルキルル基
を表わす) で表ねさわるエボキシウレタン樹脂等の多官能性のエボ
キシ樹脂及びこわらの一種以上の混合物などを挙げるこ
とができる。
The above-mentioned epoxy resins containing two or more epoxy groups in one molecule include epoxy resins typified by bisphenol A type, novolak type, and alicyclic type, or bisphenol S, bisphenol F, and tetrahydroxyphenylmethane tetraglycidyl ether. , resorcinol diglycidyl ether, glycerin triglycidyl ether, pentaerythritol triglycidyl ether, isocyanuric acid triglycidyl ether, and epoxyurethane resins represented by the following general formula E (wherein R4 represents an alkyl group or an oxyalkyl group) Examples include mixtures of one or more of polyfunctional epoxy resins such as epoxy resins and stiffeners.

なお、これら多官能性エボキシ樹脂の具体例としては以
下のようなものを挙げることができる。
In addition, the following can be mentioned as a specific example of these polyfunctional epoxy resins.

すなわち、ビスフェノールA型エボキシ樹脂としては、
例えばエピコート828 , 834 , 871、1
00l、+004 (商品名、シェル化学社製),DE
R:l31−J , 337−J , 661J , 
6fi4−J , 667−J  (ダウケミカル社c
A)及びエビクロン800(商品名、大日本インキ化学
工業■社製)など:ノボラック型エボキシ樹脂としては
、例えばエビコート152、+54 、+72、(商品
名、シェル化学社製)、アラルダイトEPN 1138
 (商品名、チバガイギー社製),DEIIイ31 、
438及び439(商品名、ダウケミカル社製)など:
脂環式エポキシ樹脂としては、例えばアラルダイト C
Y−175 ,−176、−179、=182、−18
4、−192 (商品名、チバガイギーネL製)、チッ
ソノックス090 、091 、092 、301、3
13(商品名、チッソ■社製)、シラキュア−(GY1
+八Cutlビ)6100、61lO、6200及び 
F.RI. 4090、4617, 2256、541
1 (商品名、ユニオン力ーバイト社製)など;脂肪族
多価アルコールの多価グリシジルエーテル類としては、
例えばエチレングリコールジグリシジルエーテル、ポリ
エチレングソコールジグリシジルエーテル、プロピレン
グリコールジグリシジルエーテル,ボリプロビレングリ
コールジグリシジルエーテル,ネオベンチルグリコール
ジグリシジルエーテル、1,6−ヘキサンジオールジグ
ワシジルエーテル、グリセリンジグリシジルエーテル、
トリメチロールブロバントリグリシジルエーテル、水素
添加ビスフェノールAのジグリシジルエーテル、2.2
−ジブロモネオペンチノレグリコーノレジグリシジノレ
エーテノレ等;芳香族多価アルコールから誘導された多
価グリシジルエーテルとしては、ビスフェノールAのア
ルキレンオキシドの2〜16モル付加体のジグリシジル
エーテル、ビスフェノールFのアルキレンオキントの2
〜16モル付加体のジグリシジルエーテル5ビスフェノ
ールSのアルキレンオキシドの2〜16モル付加体のジ
グリシジルエーテルなどがある。
That is, as a bisphenol A type epoxy resin,
For example, Epicote 828, 834, 871, 1
00l, +004 (product name, manufactured by Shell Chemical Co., Ltd.), DE
R:l31-J, 337-J, 661J,
6fi4-J, 667-J (Dow Chemical Company c
A) and Ebicuron 800 (trade name, manufactured by Dainippon Ink & Chemicals Co., Ltd.), etc.: Examples of novolak-type epoxy resins include Ebicoat 152, +54, +72, (trade name, manufactured by Shell Chemical Co., Ltd.), Araldite EPN 1138
(Product name, manufactured by Ciba Geigy), DEII-31,
438 and 439 (trade name, manufactured by Dow Chemical Company), etc.:
As the alicyclic epoxy resin, for example, Araldite C
Y-175, -176, -179, = 182, -18
4, -192 (product name, manufactured by Ciba Gaigine L), Chisson Knox 090, 091, 092, 301, 3
13 (product name, manufactured by Chisso Corporation), Syracure (GY1)
+8Cutl Bi) 6100, 61lO, 6200 and
F. RI. 4090, 4617, 2256, 541
1 (trade name, manufactured by Union-Beit Co., Ltd.) etc.; Polyglycidyl ethers of aliphatic polyhydric alcohols include:
For example, ethylene glycol diglycidyl ether, polyethylene glycol diglycidyl ether, propylene glycol diglycidyl ether, polypropylene glycol diglycidyl ether, neobentyl glycol diglycidyl ether, 1,6-hexanediol diglycidyl ether, glycerin diglycidyl ether,
Trimethylolbroban triglycidyl ether, diglycidyl ether of hydrogenated bisphenol A, 2.2
-Dibromoneopentylene glycoleglycidinoleate, etc.; polyhydric glycidyl ethers derived from aromatic polyhydric alcohols include diglycidyl ether of 2 to 16 mole adduct of alkylene oxide of bisphenol A, bisphenol F alkylene ochinto 2
Diglycidyl ether is an adduct of 2 to 16 moles of alkylene oxide of 5-bisphenol S, and diglycidyl ether is an adduct of 2 to 16 moles of alkylene oxide.

また、1分子内にエポキシ基を1個含む化合物としては
、オレフィンオキサイド、オクチレンオキサイド、プチ
ルグリシジルエーテル、グリシジルメタクリレート,ア
クリルグリシジルエーテル、スチレンオキサイド、フェ
ニルグリシジルエーテル、n−ブチルフェノールグリシ
ジルエーデル、3−ベンタデシルフェニルグリシジルエ
ーテル、シクロヘキサンビニルモノオキサイド、α−ビ
ネンオキサイド、tert−カルボン酸のグリシジルエ
ステル等およびそれらの混合物などが挙げられる。
Compounds containing one epoxy group in one molecule include olefin oxide, octylene oxide, butyl glycidyl ether, glycidyl methacrylate, acrylic glycidyl ether, styrene oxide, phenyl glycidyl ether, n-butylphenol glycidyl ether, 3-benta Examples include decylphenyl glycidyl ether, cyclohexane vinyl monoxide, α-binene oxide, glycidyl ester of tert-carboxylic acid, and mixtures thereof.

これら一官能性エポキシ樹脂は、航述の多官能性エボキ
シ樹脂とともに、あるいはそれ自身噴独でも用いること
ができる。
These monofunctional epoxy resins can be used in conjunction with the multifunctional epoxy resins mentioned above, or by themselves.

萌記活性エネルギー線の照射によってルイス酸を発生す
る重合開始剤(D)とは、該ルイス酸の作用によって航
述のエボキシ樹脂(C)を硬化させ、本発明の樹脂組成
物に活性エネルギー線に対する高感度で十分な硬化性を
発揮させるための成分であり、好適には例えば特公昭5
2−14278号公報に示されている第Vla族に属す
る元素を含む光感知性を有する芳香族オニウム塩化合物
、または特公昭52−14279号公報に示されている
第Va族に属する元素を含む光感知性を有する芳香族オ
ニウム塩化合物、あるいは特公昭52−14277号に
示されている光感知性を存する芳香族八ロニウム塩など
を用いることができる。これら芳香族オニウム塩化合物
または芳h族ハロニウム塩は、そのいずれもか活性エネ
ルギー線の照射によってルイス酸を放出してエポキシ樹
脂(C)を硬化させるという特性を自している。
The polymerization initiator (D) that generates a Lewis acid upon irradiation with active energy rays is a polymerization initiator (D) that cures the above-mentioned epoxy resin (C) by the action of the Lewis acid and injects active energy rays into the resin composition of the present invention. It is a component for exhibiting sufficient curability with high sensitivity to
Aromatic onium salt compounds having photosensitivity containing elements belonging to Group Vla as shown in Japanese Patent Publication No. 14278/1982, or containing elements belonging to Group Va as shown in Japanese Patent Publication No. 14279/1983 Aromatic onium salt compounds having photosensitivity or aromatic octaronium salts having photosensitivity as disclosed in Japanese Patent Publication No. 14277/1984 can be used. Both of these aromatic onium salt compounds and aromatic halonium salts have the property of curing the epoxy resin (C) by releasing a Lewis acid when irradiated with active energy rays.

1二記の第Via族若しくは第Va族に属する元素をイ
』する光感知性の芳香族オニウム塩化合物には、代表的
には下記一般弐〇 . c(l+6).,(n’)b(R8)cX]d”   
[MQ.]−”−”・・・ ( II ) C1一記式中、1{6は一価の有機芳香族基、R7はア
ルキル居、シクロアルキル基及び置換アルキル基から選
らばれる一僅の有機脂肪族基、R8は脂肪族基及び芳香
族基から選らばれる複素環若しくは縮合環構造を構成す
る多価有機基、Xはイオウ、セレン及びテルルから選ら
ばれる第Vla族または窒素、リン、ヒ素、アンチモン
及びビスマスから選らばれる第Va族に属する元素、M
は金属または半金属及びQはハロゲン基をそれぞれ表わ
し、aはXが第Via族に属する元素である場合には0
〜3の整数、Xが第Va族に属する元素である場合には
0〜4の整数、bは0〜2の整数、CはXが第Via族
に属する元素である場合には0または1の整数、Xが第
Va族に属する元素である場合には0〜2の整数、fは
Mの価数で2〜7の整数、eはfより大で8以下の整数
であり、かつaとbとCの和はXが第VTa族に属する
元素である場合には3、Xが第Va族に属する元素であ
る場合には4及びd=e−fである)で表される化合物
が挙げられる。
The photosensitive aromatic onium salt compounds containing elements belonging to Group Via or Group Va listed in Table 12 are typically the following general compounds. c(l+6). ,(n')b(R8)cX]d"
[MQ. ]-"-"... (II) In the formula C1, 1{6 is a monovalent organic aromatic group, and R7 is a small number of organic aliphatic groups selected from an alkyl group, a cycloalkyl group, and a substituted alkyl group. group, R8 is a polyvalent organic group constituting a heterocyclic or fused ring structure selected from aliphatic groups and aromatic groups, X is Group Vla selected from sulfur, selenium and tellurium, or nitrogen, phosphorus, arsenic, antimony and M, an element belonging to group Va selected from bismuth
represents a metal or semimetal, and Q represents a halogen group, and a is 0 when X is an element belonging to Group Via.
An integer of ~3, if X is an element belonging to Group Va, an integer of 0 to 4, b is an integer of 0 to 2, and C is 0 or 1 if X is an element belonging to Group Via. an integer of 0 to 2 when X is an element belonging to Group Va, f is the valence of M and an integer of 2 to 7, e is an integer greater than f and less than or equal to 8, and a The sum of b and C is 3 when X is an element belonging to group VTa, 4 when X is an element belonging to group Va, and d=e-f). can be mentioned.

また、光感知性の芳香族八ロニウム塩としては、下記一
般■: [ (rt9).(R”)hxL”[MQ.+ド(k−
11  ・・, ( m )(上記式中、R9は一僅の
芳香族有機基、[10は二僅の芳香族有機基、Xはハロ
ゲン基、Mは金属または半金属及びQはハロゲン基をそ
れぞれ表わし、gは0または2の整数かつhは0または
1の整数であって、gとhの和が2またはXの原子価に
等しく、iはk−1に等しく、jはMの原子価に等しい
2〜7の整数であり、kは1よりも大きい8までの整数
である)で表される化合物が挙げられる。
In addition, as the photosensitive aromatic octaronium salt, the following general ■: [(rt9). (R”)hxL”[MQ. + do (k-
11..., (m) (In the above formula, R9 is one aromatic organic group, [10 is two aromatic organic groups, respectively, g is an integer of 0 or 2, h is an integer of 0 or 1, the sum of g and h is equal to 2 or the valence of X, i is equal to k-1, and j is an atom of M. is an integer from 2 to 7 equal to the valence, and k is an integer from 1 to 8).

上記第Via族若しくは第Va族に属する元素を含む光
感知性の芳香族オニウム塩化合物の具体例としては、例
えば などの第■a族に属する元素の先感知性の芳香族才ニウ
ム塩、及び例えば などの第Va族に属する元素の光感知性の芳香族才ニウ
ム塩などを挙げることができる.また、光感知性の芳香
族ハロニウム塩の具体例としては、例えば、 尚、上記のようなルイス酸を放出する重合開始剤(E)
に加えて、エポキシ樹脂の硬化剤として一般に広く知ら
れているポリアミン、ボリアミド、酸無水物、三フッ化
ホウ素一アミンコンプレックス、イミダゾール類、イミ
ダゾールと金属塩のコンプレックス等の硬化剤を必要に
応じて用いてもよい。
Specific examples of the photosensitive aromatic onium salt compounds containing elements belonging to Group Via or Group Va include photosensitive aromatic onium salts of elements belonging to Group IVa, such as; Examples include photosensitive aromatic salts of elements belonging to Group Va, such as. Further, as specific examples of photosensitive aromatic halonium salts, for example, the polymerization initiator (E) that releases a Lewis acid as described above.
In addition, curing agents such as polyamines, polyamides, acid anhydrides, boron trifluoride monoamine complexes, imidazoles, complexes of imidazole and metal salts, etc., which are generally widely known as curing agents for epoxy resins, can be used as necessary. May be used.

以上説明した本発明の液体噴射記録ヘッドの作製に用い
る活性エネルギー線硬化型樹脂組成物は、活性エネルギ
ー線によって硬化されるものであるが、グラフト共重合
高分子(A)及び/または線状高分子(B)として光市
合性を有するものを用い、かつ活性エネルキ一線として
波長25Or+m〜450nmの活性エネルギー線を用
いる場合には、活性エネルギー線の作用により賦活化し
得る打機遊離ラジカル生成性のラジカル重合開始剤を該
樹脂組成物中に添加しておくことが好ましい。
The active energy ray-curable resin composition used for producing the liquid jet recording head of the present invention described above is one that is cured by active energy rays. When using a molecule (B) that has optical marketability and using an active energy ray with a wavelength of 25 Or+m to 450 nm as the active energy line, the molecule (B) has the ability to generate free radicals that can be activated by the action of the active energy ray. It is preferable to add a radical polymerization initiator to the resin composition.

そのようなラジカル重合開始剤を具体的に示せば、ベン
ジルエーテル.ヘンゾインイソブチルエーデル、ペンゾ
インイソブ口ビルエーテル、べンゾインー旧−ブチルエ
ーテル、ベンゾインエチルエーテル、ヘンゾインメチル
エーテルなどのペンゾインアルキルエーデル類;ベンゾ
フェノン、4.4′−ビス(N,N−シエチルアミノ)
ペンゾフェノン、ペンゾフェノンメチルエーテルなどの
ヘンゾフェノン類;2−エチルアントラキノン、2−t
crt.−ブチルアントラキノンなどのアントラキノン
類:2,4−ジメチルチオキサントン、2.4−シイソ
ブロビルチオキサントンなどのキサントン類:2,2−
ジメトキシ−2−フエニルアセトフェノン、α,α−シ
クロロー4−フエノキシアセトフェノン、p − te
rt−プチルトリク口ロアセトフェノン、p − te
rt−プチルジク口ロアセトフェノン、2.2−ジェト
キシアセトフェノン、p−シメチルアミノアセトフェノ
ンなどのアセトフェノン類:あるいはヒドロキシシク口
へキシルフェニルケトン(イルガキュア184チバ・ガ
イギー■製);1−(4−イソブロビルフェニル)−2
−ヒトロキシー2−メチルブロバンー1−オン(ダロキ
ュア111B  メルク(MERCK)■製),2−ヒ
トロキシー2−メチル−1一フェニルーブロバンー1−
オン(タロキュア1 173  メルク@製)等か好適
に用いられるものとして挙げられる。これらのラジカル
重合開始剤に加えて、光+1合促進剤としてアミノ化合
物を添加してもよい。
Specific examples of such radical polymerization initiators include benzyl ether. Penzoin alkyl ethers such as henzoin isobutyl ether, penzoin isobutyl ether, benzoin-old-butyl ether, benzoin ethyl ether, and henzoin methyl ether; benzophenone, 4,4'-bis(N,N-ethylamino)
Henzophenones such as penzophenone and penzophenone methyl ether; 2-ethylanthraquinone, 2-t
crt. -Anthraquinones such as butylanthraquinone: Xanthones such as 2,4-dimethylthioxanthone and 2,4-cyisobrobylthioxanthone: 2,2-
Dimethoxy-2-phenylacetophenone, α,α-cyclo-4-phenoxyacetophenone, p-te
rt-butyltolic oral acetophenone, p-te
Acetophenones such as rt-butyl diacetophenone, 2,2-jetoxyacetophenone, and p-dimethylaminoacetophenone; bilphenyl)-2
-Hydroxy-2-methylbroban-1-one (DAROCURE 111B, manufactured by MERCK), 2-Hydroxy-2-methyl-1-phenylbroban-1-
On (Tarocur 1 173 manufactured by Merck@) and the like are preferably used. In addition to these radical polymerization initiators, an amino compound may be added as a photo+1 polymerization accelerator.

光市合促進剤に用いられるアミノ化合物としては、エタ
ノールアミン、エチル−4−シメチルアミノヘンゾエー
ト、2−(ジメチルアミノ)エチルヘンゾエー1・、p
−ジメヂルアミノ安息香酸n一アミルエステル、ρ−ジ
メチルアミノ安息香酸イソアミルエステル等が挙げられ
る。
Amino compounds used as light market promoters include ethanolamine, ethyl-4-dimethylaminohenzoate, 2-(dimethylamino)ethylhenzoate 1., p
-dimethylaminobenzoic acid n-amyl ester, ρ-dimethylaminobenzoic acid isoamyl ester, and the like.

次に、以上の各組成分の配合比は、これら組成分を含む
活性エネルギー線硬化型樹脂組成物の本発明の液体噴射
記録ヘッドにおける使用部位あるいは使用目的に応じて
適宜選択される。
Next, the blending ratio of each of the above components is appropriately selected depending on the location or purpose of use of the active energy ray-curable resin composition containing these components in the liquid jet recording head of the present invention.

例えば、グラフト共重合高分子(A)と線状高分f (
B)との重量比率は (A):(B)= 8040〜5
0・50の範囲が望ましく、この範囲であるとグラフト
共重合高分子に基づく良好な密着性と、線状高分子に基
づく良好なバターニング性が得られる.高分子物質の合
計量(A)÷(B)に対して、エボキシ樹脂(C)との
重量比率は、{(A)÷(B)):(C) =100・
50〜100:200の範囲が望ましい。光開始剤(D
)は、前記樹脂の合計看 (A)+(B)+(C)に対
してf(A)+(B)+(C)):(D) = +00
: 1〜100:10の範囲で用いるのが望ましい。
For example, a graft copolymer polymer (A) and a linear polymer f (
The weight ratio with B) is (A):(B)=8040~5
A range of 0.50 is desirable, and within this range, good adhesion based on the graft copolymer polymer and good patterning properties based on the linear polymer can be obtained. The weight ratio of the epoxy resin (C) to the total amount of polymeric substances (A) ÷ (B) is {(A) ÷ (B)): (C) = 100.
A range of 50 to 100:200 is desirable. Photoinitiator (D
) is the sum of the resin (A) + (B) + (C), f (A) + (B) + (C)): (D) = +00
: It is desirable to use in the range of 1 to 100:10.

また、上記ラジカル重合開始剤(E)及び/または光重
合促進剤としてのアミノ化合物(F)を用いる場合のこ
れらの添加量((E)+(F))  [ (E)・0ま
たは(F)・0の場合を含むコは、府記樹脂の合計星(
A) ” (II) ” ((;) ” (D) に対
して{(A)÷(B) + CG> + (D) ) 
:((1ミ)+(F)) =]00:1 −100:1
0の範囲で用いるのが望ましい。
In addition, when using the above radical polymerization initiator (E) and/or amino compound (F) as a photopolymerization accelerator, the amount added ((E) + (F)) [(E)・0 or (F) ) and 0 are the total stars of Fuuki resin (
A) ” (II) ” ((;) ” (D) for {(A) ÷ (B) + CG> + (D) )
:((1mi)+(F)) =]00:1 -100:1
It is desirable to use it in the range of 0.

更に、以−F説明した活性エネルギー線硬化型樹脂組成
物には、必要に応じて、縮合架橋触媒、熱屯合禁止剤、
染料や顔料等の着色剤、ヒドロキノンやパラメドキシフ
ェノール等の熱安定剤、密着促進剤、可〒削、シリカや
タルク等の体質顔料、塗下め性を与えるレヘリング剤な
どを添加しても良い。
Furthermore, the active energy ray-curable resin composition described below may optionally contain a condensation crosslinking catalyst, a thermal synthesis inhibitor,
Even if coloring agents such as dyes and pigments, heat stabilizers such as hydroquinone and para-medoxyphenol, adhesion promoters, extenders such as abrasives, silica and talc, and leveling agents that provide underpainting properties are added. good.

例えば、縮合架橋触媒としては、パラトルエンスルホン
酸に代表されるスルホン酸、ギ酸などのカルボン酸等が
挙げられる。熱重合禁止剤としては、ハイドロキノンお
よびその誘導体、パラメトキシフェノール、フェノチア
ジン等が挙げられる。着色剤としては、油溶性染料及び
顔料が活性エネルギー線の透過を実質的に防げない範囲
で添加され得る。充填剤は、塗膜の硬度上昇、着色、密
n性、機械的強度上昇のために、塗料一般で使用される
体質顔料、プラスチック微粒子等か用いらわる。密着促
進剤としては、無機質表面改質剤としてのシランカップ
リング剤、低合子界而活性剤等がある。
For example, examples of the condensation crosslinking catalyst include sulfonic acids represented by para-toluenesulfonic acid, carboxylic acids such as formic acid, and the like. Examples of the thermal polymerization inhibitor include hydroquinone and its derivatives, paramethoxyphenol, and phenothiazine. As the colorant, oil-soluble dyes and pigments may be added to the extent that they do not substantially prevent the transmission of active energy rays. Fillers include extender pigments, plastic particles, etc., which are commonly used in paints, in order to increase the hardness, color, density, and mechanical strength of the coating film. Examples of adhesion promoters include silane coupling agents as inorganic surface modifiers, low molecular weight surfactants, and the like.

本発明の液体噴射記録ヘッドの作製のために、ト記活性
エネルギー線硬化型樹脂組成物を溶液状で用いる際、あ
るいはドライフィルムとする際に、該樹脂組成物をフィ
ルム基材であるプラスチックフィルムなどの上に塗布す
る場合などに用いる溶剤としては、アルコール類、グリ
コール工一デル類、グリコールエステル類等の親水性溶
剤などが挙げらわる。もちろん、これら親水性溶剤をt
体とし、それらに必要に応じてメチルエチルケトン、メ
チルイソブチルケトン等のケトン類、酢酸エチル、酢酸
イソブチル等のエステル類、トルエン、キシレン等の芳
香族炭化水素及びそのハロゲン置換体、塩化メチレン、
1,1.1−トリクロルエタン等の塩素含有の脂肪族溶
剤等を適宜混合したものを用いることもできる。尚、こ
れら溶剤は、該樹脂組成物の現像液として用いることも
できる。
In order to produce the liquid jet recording head of the present invention, when using the above active energy ray-curable resin composition in the form of a solution or when forming it into a dry film, the resin composition is applied to a plastic film that is a film base material. Examples of solvents used for coating on such surfaces include hydrophilic solvents such as alcohols, glycol compounds, and glycol esters. Of course, these hydrophilic solvents are
and ketones such as methyl ethyl ketone and methyl isobutyl ketone, esters such as ethyl acetate and isobutyl acetate, aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene and their halogen substituted products, methylene chloride,
It is also possible to use an appropriate mixture of a chlorine-containing aliphatic solvent such as 1,1.1-trichloroethane. Incidentally, these solvents can also be used as a developer for the resin composition.

本発明の液体噴射記録ヘッドの作製に際して、該樹脂組
成物は、通常の方法によって基板等の上に硬化層を形成
できる。
When producing the liquid jet recording head of the present invention, the resin composition can be used to form a cured layer on a substrate or the like by a conventional method.

例えば、 (1)基板等のトに硬化した塗布膜からなる層を形成す
る場合: 液体状の−E記活性エネルギー線硬化型樹脂組成物を基
板等の上に液状塗布膜を形成するため付与し、引き続い
て蒸発乾燥させる。そして得られた乾燥塗布膜に、活性
エネルギー線を照射することでこれを硬化させて、硬化
塗布膜からなる層とする。
For example, (1) When forming a layer consisting of a cured coating film on a substrate, etc.: Applying a liquid active energy ray-curable resin composition -E to form a liquid coating film on a substrate, etc. and then evaporated to dryness. Then, the obtained dry coating film is cured by irradiating active energy rays to form a layer consisting of a cured coating film.

(2)基板等のトに所望パターンの形状の硬化した塗布
膜からなる層を形成する場合(その1);液体状の上記
活性エネルギー線硬化型樹脂組成物を液状塗布膜を形成
するため基板等の上に付与し、引き続いて蒸発乾燥させ
る。そして乾燥した塗布膜からなる層に所望のパターン
にレーザービームを走査し、未露光部を1.1,iトリ
クロ口エタン等の適当な溶剤で除去することで基板等の
上に所望のパターン形状の硬化塗布膜層を形成する。
(2) In the case of forming a layer consisting of a cured coating film in the shape of a desired pattern on a substrate, etc. (Part 1) etc. and subsequently evaporated to dryness. Then, by scanning the layer consisting of the dried coating film with a laser beam in a desired pattern, and removing the unexposed areas with a suitable solvent such as 1.1. Form a cured coating layer.

(3)基板等の上に所望のパターン形状の硬化塗布膜か
らなる層を形成する場合(その2):基板等の上に、液
体状の上記活性エネルギー線硬化型樹脂組成物を液状塗
布膜を形成するために付与し、続いて蒸発乾燥する。得
られた乾燥塗布膜からなる層上に,活性エネルギー線が
透過しない所望の形状をもったパターンを有するフォト
マスクを重ね合わせ、フォトマスク上から活性エネルギ
ー線で露光する。そして、未露光部を1.1,iトリク
ロ口エタン等の適当な溶剤によって除去し、基版等の上
に所望のパターン形状の硬化した塗布膜からなる層を形
成する。
(3) When forming a layer consisting of a cured coating film in a desired pattern shape on a substrate, etc. (Part 2): A liquid coating film is formed by applying the active energy ray-curable resin composition in liquid form onto a substrate, etc. and subsequently evaporated to dryness. A photomask having a pattern of a desired shape through which active energy rays do not pass is superimposed on the layer made of the obtained dry coating film, and the photomask is exposed to active energy rays from above. Then, the unexposed areas are removed using a suitable solvent such as 1.1, i-trichloroethane, and a layer of a cured coating film having a desired pattern shape is formed on the base plate or the like.

(1)感光性ドライフィルムを形成し、基板等のトに面
記ドライフィルムを積層する場合:液体状のト記活性エ
ネルギー線硬化型樹脂を液状膜を形成するためポリエチ
レンテレフタレートフィルム1二に付与し、続いて蒸発
乾燥して前記ポリエチレンテレフタレートフィルム上に
感光性トライフィルムを得る。そのドライフイルムを積
層体を得るため通常の積層方法によって」,(板等のト
に積層する。そして、基板等の上に積層した感光性ドラ
イフィルムを上記した方法(1)と同様の方法で活性エ
ネルギー線で照射することで硬化する。
(1) When forming a photosensitive dry film and laminating the dry film on a substrate, etc.: Apply liquid active energy ray-curable resin to the polyethylene terephthalate film 12 to form a liquid film. and then evaporation drying to obtain a photosensitive tri-film on the polyethylene terephthalate film. The dry film is laminated on a board, etc. by a normal lamination method to obtain a laminate.Then, the photosensitive dry film laminated on the substrate, etc. is processed in the same manner as in method (1) above. It is cured by irradiation with active energy rays.

硬化した感光性フィルムを所望のパターンに形成したい
場合は支持体上に積層したト記ドライフィルムを上記し
た方法(2)又は(3)と同様の方法で処理する。
When it is desired to form a cured photosensitive film into a desired pattern, the dry film laminated on the support is treated in the same manner as method (2) or (3) above.

活性エネルギー線硬化型樹脂組成物が前記一般式(x)
によって表わされるモノマーを含むものである場合、ト
記(1)〜(4)の方法で得た硬化膜を更に80℃〜2
00℃の温度で加熱処理して縮合硬化させることは望ま
しい。
The active energy ray-curable resin composition has the general formula (x)
When containing a monomer represented by
It is desirable to carry out condensation curing by heat treatment at a temperature of 0.000C.

本発明の液体噴射記録ヘッドの作製過程において、上記
活性エネルギー線硬化型樹脂組成物の硬化、あるいは該
樹脂組成物へのパターン露光等に用いる活性エネルギー
線としては、既に広く実用化されている紫外線あるいは
電子線などが挙げられる。紫外線光源としては、波長2
50nm〜450r+mの光を多く含む高圧水銀灯、超
高圧水銀灯、メタルハライドランプ等が挙げられ、実用
的に許容されるランブー被照射物間の距離において36
5nmの近傍の光の強度が1 mW/c+n2〜IOO
mW/cm2程度のものが好ましい。電子線照射装置と
しては、特に限定はないが、0.5〜20M Radの
範囲の線量を有する装置が実用的に通している。
In the process of manufacturing the liquid jet recording head of the present invention, the active energy rays used for curing the active energy ray-curable resin composition or pattern exposure of the resin composition are ultraviolet rays, which have already been widely put into practical use. Another example is an electron beam. As an ultraviolet light source, wavelength 2
Examples include high-pressure mercury lamps, ultra-high-pressure mercury lamps, and metal halide lamps that contain a lot of light of 50 nm to 450 r+m.
The intensity of light near 5 nm is 1 mW/c+n2~IOO
A power of about mW/cm2 is preferable. The electron beam irradiation device is not particularly limited, but devices having a dose in the range of 0.5 to 20 M Rad are practically used.

以下、液体通路壁311をドライフィルムタイプのL記
樹脂組成物から得られる硬化膜を用いて形成する場合を
一例として、図面を用いて本発明の液体噴射記録ヘッド
の製造方法を説明する。
Hereinafter, a method for manufacturing a liquid jet recording head of the present invention will be described with reference to the drawings, taking as an example a case in which the liquid passage wall 311 is formed using a cured film obtained from a dry film type resin composition L.

第2図〜第6図は、本発明の液体噴射記録ヘットの製作
手順を説明するための模式図である。
FIGS. 2 to 6 are schematic diagrams for explaining the manufacturing procedure of the liquid jet recording head of the present invention.

本発明の液体噴射記録ヘッドを形成するには、まず、第
2図に示すように、ガラス、セラミック、プラスチック
あるいは金属等の基板1上に発熱素子やピエゾ素子等の
吐出エネルギー発生素子2が所望の個数配置される。尚
、必要に応じて記録用液体に対する耐性、電気絶縁性等
を基板1表面に付与する目的で、該表面にSin2、T
a205 ,ガラス等の保護層を被覆してもよい。また
、吐出エネルギー発生素子2には、図示されていないが
、記録信号人力用電極が接続してある。
In order to form the liquid jet recording head of the present invention, first, as shown in FIG. The number of pieces will be placed. In addition, for the purpose of imparting resistance to recording liquid, electrical insulation, etc. to the surface of the substrate 1, if necessary, the surface is coated with Sin2, T.
A205, a protective layer such as glass may be coated. Further, although not shown, an electrode for recording signal manually is connected to the ejection energy generating element 2.

次に、第2図の工程を経て得られた基板1の表面を清浄
化すると共に例えば80〜150℃で乾燥させた後、第
3図(a)及び第3図(b)に示したようにドライフィ
ルムタイプ(膜厚、約20一〜200一)の1i7F述
した活性エネルギー線硬化型樹脂組成物3を、40〜1
30℃程度に加温して、例えば0.5〜0.4 f/m
in.の速度、1 〜3 Kg/ cm2の加圧条件下
で基板面IA七にラミネートする。
Next, after cleaning the surface of the substrate 1 obtained through the process shown in FIG. 2 and drying it at, for example, 80 to 150°C, as shown in FIGS. 3(a) and 3(b), Active energy ray-curable resin composition 3 of dry film type (film thickness, approximately 20-1 to 200-1) as described above was added to 40-1
Heating to about 30℃, e.g. 0.5 to 0.4 f/m
in. The substrate surface IA7 is laminated at a speed of 1 to 3 Kg/cm2 under pressure conditions.

続いて、第4図に示すように、基板而IA上に設けたド
ライフィルム層3上に、活性エネルギー線を透過しない
所定の形状のパターン4Pを有するフォトマスク4を重
ね合わせた後、このフォトマスク4の上部から露光を行
なう。
Subsequently, as shown in FIG. 4, a photomask 4 having a pattern 4P of a predetermined shape that does not transmit active energy rays is superimposed on the dry film layer 3 provided on the substrate IA. Exposure is performed from the top of the mask 4.

なお、フォトマスク4と基板1との位置合わせは、露光
、現像処理等の工程を経て、最終的に形成される液体通
路領域中に上記素子2が位置するように行なわれ、例え
ば、位置合せマークを、基板1とマスク4のそれぞれに
予め描いておき、そのマークに従って位置合わせする方
法等によって実施できる。
Note that the alignment between the photomask 4 and the substrate 1 is performed so that the element 2 is located in the liquid passage area that is finally formed through steps such as exposure and development. This can be carried out by drawing marks on each of the substrate 1 and the mask 4 in advance and aligning them according to the marks.

このように露光を行うと、前記パターンに覆われた領域
以外、すなわちドライフィルム層3の露光された部分が
重合硬化し、露光されなかった部分が、溶剤可溶性のま
まであるのに対して溶剤不溶性となる。
When exposed in this way, the area other than the area covered by the pattern, that is, the exposed area of the dry film layer 3, polymerizes and hardens, and the unexposed area remains solvent soluble, whereas the solvent Becomes insoluble.

このパターン露光に用いる活性エネルギー線としては、
上述した活性エネルギー線硬化型組成物の成分の種類等
に応じて、従来より公知の活性エネルギー線のうち好適
なものを適宜選定して用いればよく、具体的には、例え
ば高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライドランプ、
カーボンアーク灯、電子ビームなどを挙げることができ
る。
The active energy rays used for this pattern exposure are:
Depending on the types of components of the above-mentioned active energy ray-curable composition, a suitable one may be selected and used from conventionally known active energy rays. Specifically, for example, high-pressure mercury lamps, ultra-high pressure Mercury lamp, metal halide lamp,
Examples include carbon arc lamps and electron beams.

例えば、紫外線光源としては、波長250nm〜450
nmの光を多く含む高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタル
ハライドランプ等が挙げられ、実用的に許容されるラン
ブー被照射物間の距離において365nmの近傍の光の
強度が1 mW/cm2〜100mW/cm2程度のも
のが好ましい。電子線照射装置としては、特に限定はな
いが、0.5〜20 M Radの範囲の線計を有する
装置が実用的に適している。
For example, as an ultraviolet light source, the wavelength is 250 nm to 450 nm.
Examples include high-pressure mercury lamps, ultra-high pressure mercury lamps, metal halide lamps, etc. that contain a lot of nm light, and the intensity of light in the vicinity of 365 nm is 1 mW/cm2 to 100 mW/cm2 at a practically acceptable distance between the irradiated objects. It is preferable that the degree of The electron beam irradiation device is not particularly limited, but a device having a wire meter in the range of 0.5 to 20 M Rad is practically suitable.

ドライフィルム層3のパターン露光を終了したら、次に
、露光済みのドライフィルム3を、例えば1,1.1−
1−リクロルエタン等の揮発性有機溶剤中に浸清するな
どして現像処理し、溶剤可溶性であるドライフィルム層
3の未重合(未硬化)部分を基板1上から溶解除去し、
第5図(a)および第5図(b)に示すように基板1上
に残存した樹脂硬化膜311によって最終的に液体通路
6−2及び液室6−1となる溝を形成する。
After completing the pattern exposure of the dry film layer 3, next, the exposed dry film 3 is
The film is developed by immersion in a volatile organic solvent such as 1-lychloroethane, and the unpolymerized (uncured) portion of the solvent-soluble dry film layer 3 is dissolved and removed from the substrate 1.
As shown in FIGS. 5(a) and 5(b), the cured resin film 311 remaining on the substrate 1 forms grooves that will eventually become the liquid passage 6-2 and the liquid chamber 6-1.

次に、基板1上の硬化樹脂膜3Hを、少なくとも80℃
以上の温度で、10分〜3時間程度加熱し熱重合させる
。なお、熱硬化性のグラフト共重合高分子が樹脂組成物
3に用いられている場合には、この加熱処理温度を、少
なくとも100℃で5〜60分程度とする。
Next, the cured resin film 3H on the substrate 1 is heated to at least 80°C.
Heat polymerization by heating at the above temperature for about 10 minutes to 3 hours. Note that when a thermosetting graft copolymer polymer is used in the resin composition 3, the heat treatment temperature is at least 100° C. for about 5 to 60 minutes.

なお、本例の記録ヘッドにおいては、液体通路6−2及
び液室6−1となる溝の形成に、ドライフィルムタイプ
の樹脂組成物、つまり固体状のものを使用した例につい
て説明しているが、本発明の記録ヘッドの形成に際して
使用できる活性エネルギー線硬化型樹脂組成物としては
、固体状のもののみに限られるものではなく、液状のも
のももちろん使用可能である。
In the recording head of this example, an example is described in which a dry film type resin composition, that is, a solid material is used to form the grooves that will become the liquid passage 6-2 and the liquid chamber 6-1. However, the active energy ray-curable resin composition that can be used in forming the recording head of the present invention is not limited to solid ones, and of course liquid ones can also be used.

J.ti板上に液状の樹脂組成物を用いて該組成物から
なる層を形成する方法としては、例えばレリーフ画像の
作製時に用いられるスキージによる方法、すなわち所望
の樹脂組成物の塗膜の厚さに相当した高さの壁を基板の
周囲に設け、スキージによって余分な樹脂組成物を除去
する方法等を挙げることができる。この場合、樹脂組成
物の粘度は、loocp〜3000cpが適当である。
J. Examples of methods for forming a layer made of a liquid resin composition on a Ti plate include a method using a squeegee, which is used when creating a relief image; Examples include a method in which a wall of a corresponding height is provided around the substrate and excess resin composition is removed using a squeegee. In this case, the appropriate viscosity of the resin composition is loocp to 3000 cp.

また、基板の周囲に置く壁の高さは、感光性樹脂組成物
の含有する溶剤分の蒸発による減量分を見込んで決定す
る必要がある。
Further, the height of the wall placed around the substrate must be determined in consideration of the amount of weight loss due to evaporation of the solvent contained in the photosensitive resin composition.

また、固体状の樹脂組成物を用いる場合には、前記のよ
うにドライフィルムを基板上に加熱圧着して貼着する方
法等が好適である。
In addition, when using a solid resin composition, the method of attaching a dry film to the substrate by heat-pressing as described above is suitable.

しかしながら、本発明の記録ヘットを形成するに際して
は、取扱い上で、あるいは厚さの制御が容易かつ正確に
できる点に於いて、固体状のフィルムタイプのものが便
利である。
However, when forming the recording head of the present invention, a solid film type recording head is convenient in terms of handling and the fact that the thickness can be easily and accurately controlled.

このようにして、樹脂硬化膜311によって最終的に液
体通路6−2及び液室6−1を構成する溝を形成した後
、第6図(a)及び第6図(b)に示すように、溝の覆
いとなる平板7を樹脂硬化膜3Hトに接着剤に接合し、
接合体を形成する。
After forming the grooves that will finally constitute the liquid passage 6-2 and the liquid chamber 6-1 using the cured resin film 311 in this way, as shown in FIGS. 6(a) and 6(b), , the flat plate 7 that covers the groove is bonded to the cured resin film 3H with adhesive;
Form a zygote.

第6図(a)及び第6図(b)に示した工程に於いて、
覆い7を付設する具体的な方法としては、例えばガラス
、セラミック、金属、プラスチック等の平板7にエポキ
シ樹脂系接着剤を厚さ3〜4μにスビンコートした後、
予備加熱して接着剤層を、いわゆるBステーシ化させ、
これを硬化したドライフィルム3+1上に貼り合わせた
後前記接着剤層を、本硬化させる等の方法があるが、ア
クリル系樹脂、八BS樹脂、ポリエチレン等の熱可塑性
樹脂の平板7を樹脂硬化膜3日上に、直接、熱融着させ
る等の接着剤を使用しない方法でも良い。
In the steps shown in FIG. 6(a) and FIG. 6(b),
A specific method for attaching the cover 7 is, for example, after coating the flat plate 7 of glass, ceramic, metal, plastic, etc. with an epoxy resin adhesive to a thickness of 3 to 4 μm,
The adhesive layer is preheated to form a so-called B-stacy,
There is a method such as laminating this onto a cured dry film 3+1 and then curing the adhesive layer. A method that does not use an adhesive may also be used, such as directly heat-sealing the film on the surface of the film for 3 days.

また、覆い7の液体通路と接合する側に、本発明におけ
る樹脂硬化膜形成用の樹脂組成物からなる樹脂層を設け
、これを液体通路を形成した樹脂硬化膜3Hと熱融着さ
せ、しかる後に活性エネルギー線を照射して加熱すると
いう方法、すなわち本発明における樹脂硬化膜形成用の
樹脂組成物を接着剤として用いる方法も好ましい。
Further, a resin layer made of the resin composition for forming a cured resin film according to the present invention is provided on the side of the cover 7 that is joined to the liquid passage, and this is heat-sealed to the cured resin film 3H forming the liquid passage. Also preferable is a method in which active energy rays are irradiated and heated afterwards, that is, a method in which the resin composition for forming a cured resin film of the present invention is used as an adhesive.

尚、第6図に於いて、 6−1は液室、 6−2は液体
通路、8は液室6−1に不図示の記録ヘッド外部から内
部へ記録用液体を供給するための供給管(不図示)を連
結するための貫通孔を示す。
In FIG. 6, 6-1 is a liquid chamber, 6-2 is a liquid passage, and 8 is a supply pipe for supplying recording liquid from the outside of the recording head (not shown) to the inside of the recording head. (not shown).

このようにして、基板1上に設けられた樹脂硬化膜31
1と平板7との接合が完了した後、この接合体を第6図
(a)及び第6図(b)に示した液体通路6−2の下流
側にあたるC−CI.:添って切削して、切削面に於け
る液体通路の開口部である、記録用液体を吐出するため
のオリフィスを形成する。
In this way, the resin cured film 31 provided on the substrate 1
1 and the flat plate 7, this joined body is moved to the C-CI.1 on the downstream side of the liquid passage 6-2 shown in FIGS. : Cut along the cut surface to form an orifice for discharging the recording liquid, which is the opening of the liquid passage on the cut surface.

この玉程は、吐出エネルギー発生素f2とオリフィス9
との間隔を通正化するために行なうものであり、ここで
切削する領域は適宜選択される。
This ball size is determined by the ejection energy generating element f2 and the orifice 9.
This is done to normalize the distance between the two, and the area to be cut here is selected as appropriate.

この切削に際しては、半導体工業で通常採用されている
ダイシング法等を採用することができる。
For this cutting, a dicing method or the like commonly employed in the semiconductor industry can be employed.

なお、本発明でいう液体通路下流部とは、記録ヘッドを
用いて記録を行なっている際の記録用液体の流れ方向に
於ける下流領域、具体的には、吐出エネルギー発生素子
2の設置位置より下流の液体通路の部分を言う。
Note that the downstream part of the liquid path in the present invention refers to the downstream region in the flow direction of the recording liquid when recording is performed using a recording head, specifically, the installation position of the ejection energy generating element 2. Refers to the part of the liquid passage further downstream.

切削が終了したところで、切削面を研磨して平滑化し、
貫通孔8に供給管10を取付けて第1図に示したような
液体噴射記録ヘッドを完成する。
Once cutting is complete, the cut surface is polished and smoothed.
A supply pipe 10 is attached to the through hole 8 to complete a liquid jet recording head as shown in FIG.

なお、以上説明した例では、基板1上に樹脂硬化膜31
1を形成した後、これに覆い7が接合されたが、覆い7
側に樹脂硬化膜3■を形成した後これを基板1に接合し
ても良い。また、液体通路6−2と液室6−1とは別々
に形成されたものであっても良い。
In addition, in the example explained above, the resin cured film 31 is formed on the substrate 1.
After forming the cover 7, the cover 7 was joined to the cover 7.
It is also possible to form a cured resin film 3 on the side and then bond it to the substrate 1. Further, the liquid passage 6-2 and the liquid chamber 6-1 may be formed separately.

〔実施例〕〔Example〕

以下、合成例および実施例により本発明を更に詳細に説
明する。
Hereinafter, the present invention will be explained in more detail with reference to Synthesis Examples and Examples.

合成例1 本発明の液体噴射記録ヘッドの作製に用いる活性エネル
ギー線硬化型樹脂組成物を構成する成分として、以下に
に示すものを用意した。
Synthesis Example 1 The following components were prepared as components constituting the active energy ray-curable resin composition used for producing the liquid jet recording head of the present invention.

グラフト」1二(■今高ノ− 八 2−とドロキシエチルメタクリレート80重量部、プチ
ルアクリレート20重揖部を用い、チオグリコール酸を
連鎖移動剤、アゾビスイソブチルニトリルを開始剤とし
て用い、ラジカル連鎖移動重合を行ない、末端にカルホ
キシ基を持つオリゴマーを得た。
Grafting'' 12 (■Ima Taka no-82-), 80 parts by weight of droxyethyl methacrylate, 20 parts by weight of butyl acrylate, thioglycolic acid as a chain transfer agent, azobisisobutylnitrile as an initiator, and a radical Chain transfer polymerization was performed to obtain an oligomer with a carboxy group at the end.

このオリゴマーに、グリシジルメタアクリレートを反応
させることにより、分子鎖の片末端にメタアクリロイル
基を持つマクロモノマーを得た。
By reacting this oligomer with glycidyl methacrylate, a macromonomer having a methacryloyl group at one end of the molecular chain was obtained.

このマクロモノマーのGPC法による数平均分子量は、
約3千であった。このマクロモノマー30屯量部とメチ
ルメタクリレート70重量部とを、メチルセロソルブ溶
媒中で溶液重合し、重μ平均分子量が約4万、数平均分
子量が約5千5百のグラフト共重合高分子を得た。
The number average molecular weight of this macromonomer by GPC method is:
It was about 3,000. 30 parts by weight of this macromonomer and 70 parts by weight of methyl methacrylate were solution polymerized in a methyl cellosolve solvent to obtain a graft copolymer having a weight average molecular weight of about 40,000 and a number average molecular weight of about 5,500. Obtained.

致吠A±ゴ」■ メチルメタクリレートを重合して得た線状アクリル重合
体。なお、その数モ均分子量は約7万、その重量平均分
子量は約25万である。
■ A linear acrylic polymer obtained by polymerizing methyl methacrylate. The number average molecular weight is about 70,000, and the weight average molecular weight is about 250,000.

と並上/椎胤μ) l).エピコート1001 (油化シェルエポキシ■社
製のビスフェノールAタイプのエボキシ樹脂、エボキシ
当量450〜500) 2).エピコートl52(油化シェルエボキシ■社製の
クレゾールノホラックタイプのエボキシ樹脂、エボキシ
当量172〜l79) 3),セロキサイド2021 (ダイセル化学■社製の
脂環タイブのエポキシ樹脂、エボキシ当量128〜14
5) 肌企肌椎剋便) 面述の構造弐〇)で示されるビス−[4−(ジフェニル
スルフォニオ)フェニル]スルフィドービスーヘキサフ
ルオロアンチモネート 次に、以上の材料を以下に示すような市量比で混合する
ことによって、液体状の活性エネルギー線硬化型樹脂組
成物を得た。
and above average/Shitane μ) l). Epicoat 1001 (bisphenol A type epoxy resin manufactured by Yuka Shell Epoxy ■, epoxy equivalent 450-500) 2). Epicoat 152 (cresol noholac type epoxy resin manufactured by Yuka Shell Epoxy ■, epoxy equivalent: 172 to 179) 3), Celoxide 2021 (alicyclic type epoxy resin manufactured by Daicel Chemical ■, epoxy equivalent: 128 to 14)
5) Bis-[4-(diphenylsulfonio)phenyl]sulfide bis-hexafluoroantimonate shown in the structure 2〇) Next, the above materials are shown below. A liquid active energy ray-curable resin composition was obtained by mixing at a commercially available ratio.

材料        重量部 (A50 (B50 (C −1          50 ((:)−2          20(C −3  
        30 (D           10 トルエン        100 メチルセロソルブ   200 実施例1 合成例1で得た液体状の活性エネルギー線硬化型樹脂組
成物を用い、先に明細書中で説明した第1図〜第6図の
工程に従って、吐出エネルギー発生素子としてIO個の
発熱素子[ハフニウムボライド(l1fB2) ]及び
該発熱素子に対応して設けられたオリフィス(オリフィ
ス寸法;80μ×50μ1、配列ピッチ0.130 m
m)を有する第7図(f)に示すタイプのオンデマン}
’ IFF液体噴射記録ヘッドの作成を以下のようにし
て実施した。尚、記録ヘッドは、同形状のものを各30
個宛試作した。
Material Part by weight (A50 (B50 (C -1 50 ((:) -2 20 (C -3
30 (D 10 Toluene 100 Methyl cellosolve 200 Example 1 Using the liquid active energy ray-curable resin composition obtained in Synthesis Example 1, the steps of FIGS. 1 to 6 described earlier in the specification were carried out. , IO heating elements [hafnium boride (l1fB2)] as ejection energy generating elements and orifices provided corresponding to the heating elements (orifice dimensions: 80μ x 50μ1, arrangement pitch 0.130 m)
m) of the type shown in Figure 7(f)}
' An IFF liquid jet recording head was created as follows. In addition, the recording head has the same shape as each 30
I made a prototype for each individual.

まず、シリコンからなる基板上に発熱素子の複数を所定
の位置に配設し、これらに記録信号印加用′准極を接続
した。
First, a plurality of heating elements were arranged at predetermined positions on a substrate made of silicon, and quasi-poles for applying a recording signal were connected to them.

次に、発熱素子か配設された基板面上に保護膜としての
Si02層(Jフさ1.0.)を設け、保護層の表面を
清浄化すると共に乾燥させた後、該保護層トに合成例1
で得た液体状の活性エネルギー線硬化型樹脂組成物を、
ロールコーターを用いて塗布し、得られた塗布膜層をi
oo℃、15分間熱風乾燥して、膜J7約50−の乾燥
塗布膜層を得た。
Next, a SiO2 layer (J-thickness 1.0.) is provided as a protective film on the surface of the substrate on which the heating element is disposed, and after cleaning and drying the surface of the protective layer, the surface of the protective layer is Synthesis example 1
The liquid active energy ray-curable resin composition obtained in
Coating is performed using a roll coater, and the resulting coating layer is coated with i
The film was dried with hot air at 0°C for 15 minutes to obtain a dry coated film layer of about 50 - of film J7.

次に、該乾燥塗布膜層上に、液体通路及び液室の形状に
対応したパターンを有するフォトマスクを重ね合わせ、
最終的に形成される液体通路中に上記素子が設けられる
ように位置合せを行なって真空密着した後、このフォト
マスクの上部から最大照射エネルギーが100mVI/
cffi2の高圧水銀灯下で、60秒間の露光を行なっ
た。
Next, a photomask having a pattern corresponding to the shape of the liquid passage and the liquid chamber is superimposed on the dry coating layer,
After aligning and vacuum-adhering the above-mentioned element so that it is installed in the liquid path that is finally formed, the maximum irradiation energy is 100 mVI/
Exposure was performed for 60 seconds under a cffi2 high pressure mercury lamp.

露光終了後、乾燥塗布膜層をエターナNUで35℃、6
0秒間のスプレー現像処理して、乾燥塗布膜層の未重合
(未硬化)部分を基板上から溶解除去し、基板上に残存
した硬化塗布膜からなる壁によって最終的に液体通路及
び液室となる溝を形成した。
After exposure, the dried coating layer was heated with Eterna NU at 35°C for 6
The unpolymerized (uncured) portion of the dried coating film layer is dissolved and removed from the substrate by a spray development process for 0 seconds, and the wall made of the cured coating film remaining on the substrate finally forms a liquid passage and a liquid chamber. A groove was formed.

現像処理終了後、基板上の硬化塗布膜に、IOJ/cn
+2の紫外線による後露光を行ない、更に150℃で:
lO分間の加熱処理を行なった。
After the development process, apply IOJ/cn to the cured coating film on the substrate.
Post-exposure with +2 UV light and further at 150°C:
Heat treatment was performed for 10 minutes.

このようにして、硬化塗布膜からなる壁によって液体通
路及び液室となる溝を基板上に形成した後、形成した溝
の覆いとなるソーダガラスからなる貫通孔の設けられた
平板(天板)に、合成例1で得た液体状の活性エネルギ
ー線硬化型樹脂組成物をロールコーターにより塗布し、
得られた塗布膜層を80℃、5分間熱風乾燥させ、厚さ
3μmの乾燥塗布膜層を得た。
In this way, after grooves that serve as liquid passages and liquid chambers are formed on the substrate using walls made of a cured coating film, a flat plate (top plate) with through holes made of soda glass is formed to cover the formed grooves. , apply the liquid active energy ray-curable resin composition obtained in Synthesis Example 1 using a roll coater,
The obtained coating layer was dried with hot air at 80° C. for 5 minutes to obtain a dry coating layer with a thickness of 3 μm.

次に、天板を乾燥塗布膜層側から先に得た基板上の硬化
塗布膜からなる壁に位置合せを行なって加圧接合し、更
に天板側から乾燥塗布膜層に501!lW/crn2、
60秒間の紫外線照射を行なった。
Next, the top plate is aligned and pressure bonded from the dry coating film layer side to the wall made of the cured coating film on the substrate obtained earlier, and then the top plate is attached to the dry coating film layer from the top plate side (501!). lW/crn2,
Ultraviolet irradiation was performed for 60 seconds.

続いて、接合体の液体通路の下流側、すなわち吐出エネ
ルギー発生素子の設置位置から下流側へ0.150 m
mのところを液体通路に対して垂直に、市販のダイシン
グ・ソー(商品名: DAD 2H/B型、DISCO
社製)を用いて切削し、記録用液体を吐出するためのオ
リフィスを形成した。
Next, the distance is 0.150 m from the downstream side of the liquid passage of the bonded body, that is, from the installation position of the ejection energy generating element.
A commercially available dicing saw (product name: DAD 2H/B type, DISCO
An orifice for discharging the recording liquid was formed by cutting the plate using an orifice (manufactured by Co., Ltd.).

最後に、切削面を洗浄したのち乾燥させ、更に、切削面
を研磨して平滑化し、貫通孔に記録用液体の供給管を取
付けて液体噴射記録ヘッドを完成した。得られた記録ヘ
ッドは、何れもマスクパターンを忠実に再現した液体通
路及び液室を有する寸法精度に優れたものであった。ち
なみに、オリフィス寸法は、80± 5pX50± 5
−、オリフィスビッチは、130±5鱗の範囲にあった
Finally, the cut surface was cleaned and dried, and the cut surface was polished to make it smooth, and a recording liquid supply pipe was attached to the through hole to complete the liquid jet recording head. The resulting recording heads all had liquid passages and liquid chambers that faithfully reproduced the mask pattern, and had excellent dimensional accuracy. By the way, the orifice dimensions are 80±5pX50±5
−, the orifice bitch was in the range of 130±5 scales.

このようにして試作した記録ヘッドの品質及び長期使用
に際しての耐久性を以下のようにして試験した。
The quality and durability of the thus prototyped recording head during long-term use were tested as follows.

まず、得られた記録ヘッドについて、次の各組成からな
る記録用液体中に、60℃で1000時間浸漬処理(記
録ヘッドの長期使用時に匹敵する環境条件)する耐久試
験を実施した。
First, the obtained recording head was subjected to a durability test in which it was immersed in a recording liquid having the following compositions at 60° C. for 1000 hours (environmental conditions comparable to those during long-term use of the recording head).

記録用液体成分 1)H,0 /ジエチレングリコール/1.3−ジメチ
ル−2−イミダゾリジノン/ C.I.ダイレクトブル
ー86” ’ (−57/30/10/3重量部) pH−8。02)
}120 /ジエチレングリコール/N−メチル−2−
ピロリドン/G.I.ダイレクトブラック154 ”(
・55/30/10/5重量部) pH−9.0:])
H20 /ジエチレングリコール/ポリエチレングリコ
ール@400 /N−メチル−2−ピロリドン/C.I
.ダイレクトイエロー8693 (−65/10/10/10/5重量部) pH−7.
04)I120 /エチレングリコール/トリエチレン
グリコール/トリエチレングリコールモノメチルエーテ
ル/C.I.フードブラック 2m4(−67/IO/
15/5/3重量部) pH〜10.0尚、注)11〜
94は、水溶性染料であり、pHの調整には、カセイソ
ーダを用いた。
Recording liquid component 1) H,0/diethylene glycol/1,3-dimethyl-2-imidazolidinone/C. I. Direct Blue 86'' (-57/30/10/3 parts by weight) pH-8.02)
}120/diethylene glycol/N-methyl-2-
Pyrrolidone/G. I. Direct Black 154” (
・55/30/10/5 parts by weight) pH-9.0: ])
H20/diethylene glycol/polyethylene glycol@400/N-methyl-2-pyrrolidone/C. I
.. Direct Yellow 8693 (-65/10/10/10/5 parts by weight) pH-7.
04) I120 / ethylene glycol / triethylene glycol / triethylene glycol monomethyl ether / C.I. I. Hood black 2m4 (-67/IO/
15/5/3 parts by weight) pH~10.0 Note) 11~
94 is a water-soluble dye, and caustic soda was used to adjust the pH.

耐久試験後、該試験を実施した各ヘッドにつき基板及び
■いと硬化ドライフィルム膜の接合状態を観察した結果
、すべての記録ヘッドにおいて剥離や損傷は全く認めら
れず、良好な密着性を示していた。
After the durability test, we observed the state of bonding between the substrate and the cured dry film film for each head that underwent the test. As a result, no peeling or damage was observed in any of the recording heads, indicating good adhesion. .

次いでこれとは別に、得られた記録ヘッドの10個につ
いて、各ヘッドを記録装置に取付け、面記の記録用液体
を用いて10’パルスの記録信号を14時間連続的に記
録ヘッドに印加して印字を行なう印字試験を実施した。
Separately, each of the 10 recording heads obtained was attached to a recording device, and a 10' pulse recording signal was continuously applied to the recording head for 14 hours using a surface recording liquid. A printing test was conducted in which printing was performed using

何れの記録ヘッドに関しても、印字開始直後と14時間
経過後において、記録用液体の吐出性能及び印字状態共
に性能の低下が殆ど認められず、耐久性に優れた記録ヘ
ッドであった。
With respect to any of the recording heads, almost no deterioration in performance was observed in both recording liquid ejection performance and printing condition immediately after printing started and after 14 hours had elapsed, indicating that the recording heads had excellent durability.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上説明したように、本発明の液体噴射記録ヘッドの構
成に用いられる活性エネルギー線硬化型樹脂組成物は、
グラフト共重合高分子(A)を構成成分とするので、添
加助剤等を添加しなくとも、種々の部材に対して十分な
密着性を有し、かつ線状高分子(B)を構成成分として
含むので、パターン形成時の現像特性に優れる。また、
同時にその硬化膜は十分な耐薬品性、耐久性等を有する
As explained above, the active energy ray-curable resin composition used in the structure of the liquid jet recording head of the present invention is
Since the graft copolymer polymer (A) is used as a constituent component, it has sufficient adhesion to various members without the addition of additives, etc., and the linear polymer (B) is used as a constituent component. Since it is contained as a compound, it has excellent development characteristics during pattern formation. Also,
At the same time, the cured film has sufficient chemical resistance, durability, etc.

更には、該組成物は、その構成成分である高分子物質と
して、グラフト共重合高分子と線状高分子とを併用して
用いるので、そのグラフト共重合高分子のみを高分子物
質として用いた場合に比べて、少ない活性エネルギー線
照射で、現像液に対する耐溶剤の塗j漠になる。その結
果、高感度、解像度のアップ、部材の種類あるいは状態
に左右されずにパターン形成ができる等のパターニング
プロセスの性質が向−卜し、作業条件巾が拡大する。
Furthermore, since the composition uses a graft copolymer polymer and a linear polymer in combination as its constituent polymer substances, only the graft copolymer polymer is used as the polymer substance. With less active energy ray irradiation than in the case of the conventional method, the developer becomes solvent resistant to the developer. As a result, the properties of the patterning process, such as high sensitivity, increased resolution, and ability to form patterns regardless of the type or condition of the member, are improved, and the range of work conditions is expanded.

従って、該組成物の硬化物をその構成の一部とすること
によって本発明の記録ヘッドは、安価で精密であり、信
頼性が高く、耐久性に優れたものとなる。また、液体通
路壁を該組成物の硬化膜で形成すれば、精度良くかつ歩
留り良く微細加工された液体通路を有する記録ヘッドが
得られる。
Therefore, by using the cured product of the composition as a part of its structure, the recording head of the present invention is inexpensive, precise, highly reliable, and has excellent durability. Further, if the liquid passage wall is formed of a cured film of the composition, a recording head having a finely machined liquid passage with high precision and high yield can be obtained.

更に、本発明の記録ヘッドは上記の構成を有することに
より、マルチオリフィス化された場合にも信頼性が高く
、耐久性に優れたものとなる。
Furthermore, since the recording head of the present invention has the above-described configuration, it has high reliability and excellent durability even when it is configured with multiple orifices.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図〜M6図は本発明の液体噴射記録ヘッドならびに
その製造方法を説明するための模式図、第7図及び第l
O図は樹脂硬化膜の使用部分を示す記録ヘッドの液体通
路に垂直な面での横断面部分図、第8図(a)及び(b
)並びに第9図は記録ヘッドの他の構成を示す図である
。 1二基板 2:吐出エネルギー発生素子 3:樹脂層 311:樹脂硬化膜(液体通路壁) 4:フォトマスク 旧):マスクパターン 6−1=液室 6−2=液体通路 7:覆い B , tjr通孔 9:オリフィス 0:供給管 !二電極 2:−F部保護層 3:発熱抵抗層 4:接着層
FIGS. 1 to M6 are schematic diagrams for explaining the liquid jet recording head of the present invention and its manufacturing method, and FIGS.
Figure O is a partial cross-sectional view taken in a plane perpendicular to the liquid path of the recording head, showing the portion where the cured resin film is used, and Figures 8 (a) and (b).
) and FIG. 9 are diagrams showing other configurations of the recording head. 12 substrates 2: Discharge energy generating element 3: Resin layer 311: Cured resin film (liquid passage wall) 4: Old photomask): Mask pattern 6-1 = Liquid chamber 6-2 = Liquid passage 7: Cover B, tjr Through hole 9: Orifice 0: Supply pipe! Two electrodes 2: -F section protective layer 3: heating resistance layer 4: adhesive layer

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1)活性エネルギー線硬化型樹脂組成物の硬化物をその
構成の一部とする液体噴射記録ヘッドであって、前記組
成物が、 (A)アルキルメタアクリレート、アクリロニトリルお
よびスチレンからなる群より選ばれた一種以上のモノマ
ーに由来する構造単位を主体とする幹鎖に、下記一般式
(x)で表わされるモノマー及び下記一般式(y)で表
わされるモノマーからなる群より選択された少なくとも
一種のモノマーに由来する構造単位を有する枝鎖が付加
されてなり、かつ数平均分子量が5千以上であり、重量
平均分子量が5万以下であるグラフト共重合高分子と、 ▲数式、化学式、表等があります▼・・・(x) ▲数式、化学式、表等があります▼・・・(y) [ただし、R^1は水素、もしくは炭素原子数が1〜3
のアルキル基またはヒドロキシアルキル基を表わし、R
^2は水素、もしくは炭素原子数が1〜4のヒドロキシ
基を有していてもよいアルキル基またはアシル基を表わ
し、R^3は炭素原子数2〜6のアルキル基、あるいは
ハロゲン置換されたアルキル基、 ▲数式、化学式、表等があります▼ (ただし、2≦m+n≦6、n≠0、m≠0)で表わさ
れるアルキルエーテル基、 ▲数式、化学式、表等があります▼ (ただし、2≦m+n≦4、n=0あるいはm=0の場
合も含む) で表わされるフェニルアルキル基である。](B)メチ
ルメタアクリレート、エチルメタアクリレート、イソブ
チルメタアクリレート、t−ブチルメタアクリレート、
ベンジルメタアクリレート、アクリロニトリル、イソボ
ルニルメタアクリレート、イソボルニルアクリレート、
トリシクロデカンアクリレート、トリシクロデカンメタ
アクリレート、トリシクロデカンオキシエチルメタアク
リレート、スチレン、ジメチルアミノエチルメタクリレ
ート、シクロヘキシルメタクリレートからなる群より選
ばれた一種以上のモノマーに由来する構造単位を有し、
かつ前記一般式(x)および前記一般式(y)で表わさ
れるモノマーからなる群より選択された少なくとも一種
のモノマーに由来する構造単位を有し、かつ数平均分子
量が5万以上であり、重量平均分子量が35万以下であ
り、ガラス転移温度が60℃以上である線状高分子と、 (C)分子内にエポキシ基を1個以上有する化合物の少
なくとも1種を含んでなるエポキシ樹脂と、 (D)活性エネルギー線の照射によってルイス酸を発生
する重合開始剤と を含むことを特徴とする液体噴射記録ヘッド。 2)前記グラフト共重合高分子(A)と前記線状高分子
(B)との重量比が(A):(B)=80:20〜50
:50である請求項1記載の液体噴射記録ヘッド。 3)前記グラフト共重合高分子(A)および前記線状高
分子(B)の合計重量(A)+(B)と前記エポキシ樹
脂(C)の重量比が{(A)+(B)}:(C)=10
0:50〜100:200である請求項1または2に記
載の液体噴射記録ヘッド。 4)前記グラフト共重合高分子(A)、前記線状高分子
(B)および前記エポキシ樹脂(C)の合計重量(A)
+(B)+(C)と前記重合始剤(D)の重量比が{(
A)+(B)+(C)}:(D)=100:1〜100
:10である請求項1〜3のいずれかに記載の液体噴射
記録ヘッド。 5)前記の重合開始剤(D)が芳香族ハロニウム塩化合
物及び周期率表第VIa族若しくは第Va族に属する元素
を含む光感知性を有する芳香族オニウム塩化合物から成
る群より選択した1種以上である請求項1〜4のいずれ
かに記載の液体噴射記録ヘッド。
[Scope of Claims] 1) A liquid jet recording head having a cured product of an active energy ray-curable resin composition as part of its structure, wherein the composition comprises (A) alkyl methacrylate, acrylonitrile, and styrene. A backbone mainly consisting of a structural unit derived from one or more monomers selected from the group consisting of a monomer represented by the following general formula (x) and a monomer represented by the following general formula (y). A graft copolymer polymer having a branched chain having a structural unit derived from at least one monomer derived from the above, and having a number average molecular weight of 5,000 or more and a weight average molecular weight of 50,000 or less; , chemical formulas, tables, etc.▼...(x) ▲Mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc.▼...(y) [However, R^1 is hydrogen or has 1 to 3 carbon atoms.
represents an alkyl group or a hydroxyalkyl group, R
^2 represents hydrogen, or an alkyl group or acyl group having 1 to 4 carbon atoms which may have a hydroxy group, and R^3 represents an alkyl group having 2 to 6 carbon atoms, or a halogen-substituted alkyl group. Alkyl groups, ▲There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc.▼ (However, 2≦m+n≦6, n≠0, m≠0) Alkyl ether groups, ▲There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc.▼ (However, 2≦m+n≦4, including cases where n=0 or m=0). ] (B) Methyl methacrylate, ethyl methacrylate, isobutyl methacrylate, t-butyl methacrylate,
Benzyl methacrylate, acrylonitrile, isobornyl methacrylate, isobornyl acrylate,
Having a structural unit derived from one or more monomers selected from the group consisting of tricyclodecane acrylate, tricyclodecane methacrylate, tricyclodecaneoxyethyl methacrylate, styrene, dimethylaminoethyl methacrylate, and cyclohexyl methacrylate,
and has a structural unit derived from at least one monomer selected from the group consisting of monomers represented by the general formula (x) and the general formula (y), and has a number average molecular weight of 50,000 or more, and has a weight (C) an epoxy resin comprising at least one compound having one or more epoxy groups in the molecule; (D) A liquid jet recording head comprising: (D) a polymerization initiator that generates a Lewis acid upon irradiation with active energy rays. 2) The weight ratio of the graft copolymer polymer (A) and the linear polymer (B) is (A):(B)=80:20 to 50.
2. The liquid jet recording head according to claim 1, wherein: :50. 3) The weight ratio of the total weight (A) + (B) of the graft copolymer polymer (A) and the linear polymer (B) to the epoxy resin (C) is {(A) + (B)} :(C)=10
3. The liquid jet recording head according to claim 1, wherein the ratio is 0:50 to 100:200. 4) Total weight (A) of the graft copolymer polymer (A), the linear polymer (B), and the epoxy resin (C)
The weight ratio of +(B)+(C) and the polymerization initiator (D) is {(
A)+(B)+(C)}:(D)=100:1-100
The liquid jet recording head according to any one of claims 1 to 3, wherein: :10. 5) The polymerization initiator (D) is one selected from the group consisting of aromatic halonium salt compounds and photosensitive aromatic onium salt compounds containing elements belonging to Group VIa or Group Va of the periodic table. The liquid jet recording head according to any one of claims 1 to 4, which is the above.
JP1003392A 1988-07-07 1989-01-10 Liquid jet recording head Pending JPH02131943A (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63-167658 1988-07-07
JP16765888 1988-07-07

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH02131943A true JPH02131943A (en) 1990-05-21

Family

ID=15853837

Family Applications (6)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1003394A Pending JPH02131945A (en) 1988-07-07 1989-01-10 Liquid jet recording head
JP1003397A Pending JPH02131947A (en) 1988-07-07 1989-01-10 Liquid jet recording head
JP1003395A Pending JPH02192946A (en) 1988-07-07 1989-01-10 Liquid jet recording head
JP1003392A Pending JPH02131943A (en) 1988-07-07 1989-01-10 Liquid jet recording head
JP1003393A Pending JPH02131944A (en) 1988-07-07 1989-01-10 Liquid jet recording head
JP1003396A Pending JPH02131946A (en) 1988-07-07 1989-01-10 Liquid jet recording head

Family Applications Before (3)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1003394A Pending JPH02131945A (en) 1988-07-07 1989-01-10 Liquid jet recording head
JP1003397A Pending JPH02131947A (en) 1988-07-07 1989-01-10 Liquid jet recording head
JP1003395A Pending JPH02192946A (en) 1988-07-07 1989-01-10 Liquid jet recording head

Family Applications After (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1003393A Pending JPH02131944A (en) 1988-07-07 1989-01-10 Liquid jet recording head
JP1003396A Pending JPH02131946A (en) 1988-07-07 1989-01-10 Liquid jet recording head

Country Status (1)

Country Link
JP (6) JPH02131945A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014519427A (en) * 2011-06-06 2014-08-14 シクパ ホルディング ソシエテ アノニム Inkjet printhead comprising a layer made of a curable resin composition

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3139511B2 (en) * 1990-11-09 2001-03-05 セイコーエプソン株式会社 Inkjet recording head
US6409316B1 (en) * 2000-03-28 2002-06-25 Xerox Corporation Thermal ink jet printhead with crosslinked polymer layer
JP2007090821A (en) * 2005-09-30 2007-04-12 Seiko Epson Corp Manufacturing method of liquid ejecting head

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014519427A (en) * 2011-06-06 2014-08-14 シクパ ホルディング ソシエテ アノニム Inkjet printhead comprising a layer made of a curable resin composition

Also Published As

Publication number Publication date
JPH02192946A (en) 1990-07-30
JPH02131947A (en) 1990-05-21
JPH02131944A (en) 1990-05-21
JPH02131946A (en) 1990-05-21
JPH02131945A (en) 1990-05-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4688056A (en) Liquid jet recording head having a layer of a resin composition curable with an active energy ray
US4688053A (en) Liquid jet recording head having a layer of a resin composition curable with an active energy ray
US5476752A (en) Active energy ray-curing resin composition
JPS6216147A (en) Liquid jet recording head
US5086307A (en) Liquid jet recording head
EP0209753B1 (en) Active energy ray-curing resin composition
US5578418A (en) Liquid jet recording head and recording apparatus having same
JPS61285201A (en) Active energy ray curing type resin composition
JPS6395949A (en) Liquid jet recording head
JPS6395950A (en) Liquid jet recording head
JPH02131943A (en) Liquid jet recording head
JPS624719A (en) Actinic energy ray-curable resin composition
JPH0297516A (en) Active energy ray-curable resin composition
JPS62516A (en) Actinic energy ray-curable resin composition
JPS62520A (en) Actinic energy ray-curable resin composition
JPS624715A (en) Actinic energy ray-curable resin composition
JPS61291619A (en) Active energy ray-curable resin composition
JPS61283645A (en) Actinic energetic ray-curable resin composition
JP2549421B2 (en) Active energy ray curable resin composition
JPS6216152A (en) Liquid jet recording head
JPS6216153A (en) Liquid jet recording head
EP0447591B1 (en) Liquid jet recording head and recording apparatus having same
JPS6216150A (en) Liquid jet recording head
JPS6216155A (en) Liquid jet recording head
JPS6216148A (en) Liquid jet recording head