JPH02129540A - 半導体式ガスセンサ - Google Patents
半導体式ガスセンサInfo
- Publication number
- JPH02129540A JPH02129540A JP28326388A JP28326388A JPH02129540A JP H02129540 A JPH02129540 A JP H02129540A JP 28326388 A JP28326388 A JP 28326388A JP 28326388 A JP28326388 A JP 28326388A JP H02129540 A JPH02129540 A JP H02129540A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- net
- heater coil
- sensitive body
- gas sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 7
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 62
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 15
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- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 abstract 1
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- IKHGUXGNUITLKF-UHFFFAOYSA-N Acetaldehyde Chemical compound CC=O IKHGUXGNUITLKF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、例えば空気清浄機に組み込んで使用し、常
時室内の悪臭ガスを検知するなど、空気中の各種ガス濃
度を検知する半導体式ガスセンサに関するものである。
時室内の悪臭ガスを検知するなど、空気中の各種ガス濃
度を検知する半導体式ガスセンサに関するものである。
［従来の技術］
第２図は従来の半導体式ガスセンサの側断面図である。
第２図において、１はベース、２はベース１上方に配設
した感ガス体、３はベース１上方の感ガス体近傍に配設
したヒータコイル、４は感ガス体２に接続した電極リー
ド線、５．６はベース１に固定しその下方に突出した感
ガス体用ピン電極、ヒータコイル用ピン電極、７は上面
が平坦な円筒状に形成した金属製網であり、防爆性カバ
ーとして用いる上記金属製Ｍ４７は、開口する下端部が
ベース１に固着されて、感ガス体２．感ガス体２を感ガ
ス体用ビン電極５に接続してベース１上に支持する上記
リード線４．およびヒータコイル用ピン電極６に接続し
たヒータコイル３からなるベース１上の各部材を包囲し
ている。
した感ガス体、３はベース１上方の感ガス体近傍に配設
したヒータコイル、４は感ガス体２に接続した電極リー
ド線、５．６はベース１に固定しその下方に突出した感
ガス体用ピン電極、ヒータコイル用ピン電極、７は上面
が平坦な円筒状に形成した金属製網であり、防爆性カバ
ーとして用いる上記金属製Ｍ４７は、開口する下端部が
ベース１に固着されて、感ガス体２．感ガス体２を感ガ
ス体用ビン電極５に接続してベース１上に支持する上記
リード線４．およびヒータコイル用ピン電極６に接続し
たヒータコイル３からなるベース１上の各部材を包囲し
ている。
次に以上のように構成された半導体式ガスセンサの動作
について説明する。ヒータコイル用ピン電極６がＤＣま
たはＡＣ電源に接続され、ヒータコイル３に常に電圧が
印加され、このため感ガス体２は表面温度が４００°Ｃ
程度に加熱されている。
について説明する。ヒータコイル用ピン電極６がＤＣま
たはＡＣ電源に接続され、ヒータコイル３に常に電圧が
印加され、このため感ガス体２は表面温度が４００°Ｃ
程度に加熱されている。
この状態で、例えば煙草の副流煙に含まれるガス成分で
あるアセトアルデヒドなどの還元性ガスが感ガス体２の
表面に吸着された場合に、感ガス体２の電気抵抗は電極
リード線４を介して感ガス休出ビン電極５から出力され
る。この半導体式ガスセンサの感ガス特性は、第３図に
例示するように感知するガス（Ｇ）の濃度が高くなるに
したがって電気抵抗がＲｓがＲ，、Ｒ，。と増大する。
あるアセトアルデヒドなどの還元性ガスが感ガス体２の
表面に吸着された場合に、感ガス体２の電気抵抗は電極
リード線４を介して感ガス休出ビン電極５から出力され
る。この半導体式ガスセンサの感ガス特性は、第３図に
例示するように感知するガス（Ｇ）の濃度が高くなるに
したがって電気抵抗がＲｓがＲ，、Ｒ，。と増大する。
［発明が解決しようとする課題］
以上のように構成された従来の半導体式ガスセンサは、
金属製ＦＡＴに流速（ｍ ／ ｓ ）が大きい空気など
が接触すると、放熱が大きい金属製綱７の表面温度が低
下し、金属製網７内部つまり惑ガス体２の近傍の空気な
どの温度も下降する。このため、第４図に例示するよう
に、還元性ガスが存在しないエアレベル状態では、流速
がＷ １． Ｗ ｔ （ｓ ／ ｓ）の時に感ガス体２
の電気抵抗はＲ，、Ｒ，（ＫΩ）であり、流速が大きく
なると、電気抵抗が増大する傾向を示し、また、アセト
アルデヒド１ｏｐｐ＋Ｉｌの状態では、流速がＷ、、Ｗ
ｔの時に怒ガス体２の電気抵抗はＲｓ、Ｒｈであり、エ
アレベルと同様の特性を示す。したがって、従来の半導
体式ガスセンサでは、周囲のガス濃度を正確に検知でき
ないという問題点があった。
金属製ＦＡＴに流速（ｍ ／ ｓ ）が大きい空気など
が接触すると、放熱が大きい金属製綱７の表面温度が低
下し、金属製網７内部つまり惑ガス体２の近傍の空気な
どの温度も下降する。このため、第４図に例示するよう
に、還元性ガスが存在しないエアレベル状態では、流速
がＷ １． Ｗ ｔ （ｓ ／ ｓ）の時に感ガス体２
の電気抵抗はＲ，、Ｒ，（ＫΩ）であり、流速が大きく
なると、電気抵抗が増大する傾向を示し、また、アセト
アルデヒド１ｏｐｐ＋Ｉｌの状態では、流速がＷ、、Ｗ
ｔの時に怒ガス体２の電気抵抗はＲｓ、Ｒｈであり、エ
アレベルと同様の特性を示す。したがって、従来の半導
体式ガスセンサでは、周囲のガス濃度を正確に検知でき
ないという問題点があった。
この発明は、上記のような問題点を解決して、流速の大
きい空気つまり風速に対し特性が安定しており、還元性
ガスなどのガス濃度を正確に検知できる半導体式ガスセ
ンサを得ることを目的とするものである。
きい空気つまり風速に対し特性が安定しており、還元性
ガスなどのガス濃度を正確に検知できる半導体式ガスセ
ンサを得ることを目的とするものである。
［課題を解決するための手段］
この発明に係る半導体式ガスセンサは、惑ガス体、ヒー
タコイルおよび感ガス体のリード線を、機械的強度と耐
食性とを有する内側の金属製網および耐熱性と耐燃性と
を有する外側のプラスチック製網をともにドーム状に形
成した２重構造網によって包囲したものである。
タコイルおよび感ガス体のリード線を、機械的強度と耐
食性とを有する内側の金属製網および耐熱性と耐燃性と
を有する外側のプラスチック製網をともにドーム状に形
成した２重構造網によって包囲したものである。
［作 用］
この発明における半導体式ガスセンサでは、防爆カバー
として用いる内側の金属製網の外側全体を耐熱性と耐燃
性とを有するプラスチック製網で覆い、上記内、外の網
をドーム状にしであることにより、流速が大きい空気が
プラスチック製網に直接接触しても、この網の放熱が著
しく小さいため、プラスチック製網の内側にある金属製
網の表面温度は若干下降するだけであり、したがって、
この網の内部にある空気およびアセトアルデヒドなどの
ガス成分の温度下降を充分に抑制できる。
として用いる内側の金属製網の外側全体を耐熱性と耐燃
性とを有するプラスチック製網で覆い、上記内、外の網
をドーム状にしであることにより、流速が大きい空気が
プラスチック製網に直接接触しても、この網の放熱が著
しく小さいため、プラスチック製網の内側にある金属製
網の表面温度は若干下降するだけであり、したがって、
この網の内部にある空気およびアセトアルデヒドなどの
ガス成分の温度下降を充分に抑制できる。
［実施例］
以下、この発明の一実施例を図について説明する。
第１図はこの発明の一実施例を示す側断面図であり、同
図において、１はベース、２は感ガス体、３はヒータコ
イル、４は電極リード線、５．６は惑ガス体用ビン電極
、ヒータコイル用ビン電極であり、これらの各部材は上
述した第２図に示す従来の半導体式ガスセンサと同構成
である。
図において、１はベース、２は感ガス体、３はヒータコ
イル、４は電極リード線、５．６は惑ガス体用ビン電極
、ヒータコイル用ビン電極であり、これらの各部材は上
述した第２図に示す従来の半導体式ガスセンサと同構成
である。
７は機械的強度と耐食性とが大きい金属製網、８は耐熱
性と耐燃性とがすぐれたプラスチック製網であり、これ
らの￥ｉ！４７．８はともにドーム状に形成し、さらに
内側の金属製！ｉｉ７の表面全体を外側のプラスチック
製網で覆った２重構造網に構成され、上記両組７，８に
よって惑ガス体２．ヒータコイル３および上記リード線
４を包囲し、両組７．８の下端部がベース１に固定しで
ある。
性と耐燃性とがすぐれたプラスチック製網であり、これ
らの￥ｉ！４７．８はともにドーム状に形成し、さらに
内側の金属製！ｉｉ７の表面全体を外側のプラスチック
製網で覆った２重構造網に構成され、上記両組７，８に
よって惑ガス体２．ヒータコイル３および上記リード線
４を包囲し、両組７．８の下端部がベース１に固定しで
ある。
次に、以上のように構成された実施例の半導体式ガスセ
ンサの動作について説明する。
ンサの動作について説明する。
所定のＤＣまたはＡＣ電圧をヒータコイル用ピン電極６
を介してヒータコイル３へ印加することにより、感ガス
体２の表面温度が４００°Ｃ程度に加熱する。この状態
で、流速（ｍ／ｓ）が大きい空気Ｗ、、Ｗ、が発生し、
プラスチック製網８に直接接触すると、プラスチック製
網８は放熱が著しく小さいため、この網８の内側に防爆
性カバーとして配置した金属製ｗ？１７は表面温度が若
干下降する１頃向を示す。したがって、金属製綱７の内
にある空気の温度も幾分下降するが、下降する温度は従
来のプラスチック製網がないものに比べ僅かである。
を介してヒータコイル３へ印加することにより、感ガス
体２の表面温度が４００°Ｃ程度に加熱する。この状態
で、流速（ｍ／ｓ）が大きい空気Ｗ、、Ｗ、が発生し、
プラスチック製網８に直接接触すると、プラスチック製
網８は放熱が著しく小さいため、この網８の内側に防爆
性カバーとして配置した金属製ｗ？１７は表面温度が若
干下降する１頃向を示す。したがって、金属製綱７の内
にある空気の温度も幾分下降するが、下降する温度は従
来のプラスチック製網がないものに比べ僅かである。
したがって、第４図の特性図に例示するように、空気の
流速Ｗ ＋ 、 Ｗ ｚ （ｍ ／ ｓ）の時に惑ガス
体２の電気抵抗はエアレベル状態ではＲ，、Ｒ，（ＫΩ
）、アセトアルデヒド１０ｐｐｍの状態ではＲ７，Ｒ１
１であり、ともに流速に対する感ガス体２の電気抵抗の
変化量が従来のものに比べて著しく小さく、特性が安定
しており、防爆効果があり、また常に周囲の悪臭などが
ある還元性ガスの濃度を正確に検知できる。
流速Ｗ ＋ 、 Ｗ ｚ （ｍ ／ ｓ）の時に惑ガス
体２の電気抵抗はエアレベル状態ではＲ，、Ｒ，（ＫΩ
）、アセトアルデヒド１０ｐｐｍの状態ではＲ７，Ｒ１
１であり、ともに流速に対する感ガス体２の電気抵抗の
変化量が従来のものに比べて著しく小さく、特性が安定
しており、防爆効果があり、また常に周囲の悪臭などが
ある還元性ガスの濃度を正確に検知できる。
［発明の効果］
以上説明したように、この発明によれば、感ガス体、ヒ
ータコイルおよび感ガス体のリード線を、内側の金属製
網および外側のプラスチック製網をともにドーム状に形
成した２重構造網によって包囲したことにより、流速の
大きい空気に含まれたガスでもこれの濃度を安定した特
性で、正確に検知できる半導体式ガスセンサが得られる
という効果がある。
ータコイルおよび感ガス体のリード線を、内側の金属製
網および外側のプラスチック製網をともにドーム状に形
成した２重構造網によって包囲したことにより、流速の
大きい空気に含まれたガスでもこれの濃度を安定した特
性で、正確に検知できる半導体式ガスセンサが得られる
という効果がある。
第１図はこの発明の一実施例による半導体式ガスセンサ
を示す側断面図、第２図は従来例の半導体式ガスセンサ
を示す側断面図、第３図は半導体式ガスセンサの感ガス
特性図、第４図はこの発明の一実施例および従来例によ
る半導体式ガスセンサの流速に対する特性図である。 １・・・ベース、２・・・感ガス体、３・・・ヒータコ
イル、４・・・電極リード線、５．６・・・ビン電極、
７・・・金属製網、８・・・プラスチック製網。 なお、図中、同一符号は同一または相当部分を示す。
を示す側断面図、第２図は従来例の半導体式ガスセンサ
を示す側断面図、第３図は半導体式ガスセンサの感ガス
特性図、第４図はこの発明の一実施例および従来例によ
る半導体式ガスセンサの流速に対する特性図である。 １・・・ベース、２・・・感ガス体、３・・・ヒータコ
イル、４・・・電極リード線、５．６・・・ビン電極、
７・・・金属製網、８・・・プラスチック製網。 なお、図中、同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- 空気中の各種ガス濃度を検知する半導体式ガスセンサで
あって、感ガス体とこの感ガス体の近傍に配設したヒー
タコイルと上記感ガス体のリード線とを機械的強度と耐
食性とを有する内側の金属製網および耐熱性と耐燃性と
を有する外側のプラスチック製網をともにドーム状に形
成した２重構造網によって包囲したことを特徴とする半
導体式ガスセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28326388A JPH02129540A (ja) | 1988-11-09 | 1988-11-09 | 半導体式ガスセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28326388A JPH02129540A (ja) | 1988-11-09 | 1988-11-09 | 半導体式ガスセンサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02129540A true JPH02129540A (ja) | 1990-05-17 |
Family
ID=17663191
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28326388A Pending JPH02129540A (ja) | 1988-11-09 | 1988-11-09 | 半導体式ガスセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02129540A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1231464A1 (en) * | 2001-02-13 | 2002-08-14 | Delphi Technologies, Inc. | Lower protective shield for an exhaust sensor and method for making the same |
-
1988
- 1988-11-09 JP JP28326388A patent/JPH02129540A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1231464A1 (en) * | 2001-02-13 | 2002-08-14 | Delphi Technologies, Inc. | Lower protective shield for an exhaust sensor and method for making the same |
| US6551498B2 (en) | 2001-02-13 | 2003-04-22 | Delphi Technologies, Inc. | Lower protective shield for an exhaust sensor and method for making the same |
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