JPH02126620A - 電極シート - Google Patents
電極シートInfo
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- JPH02126620A JPH02126620A JP28081688A JP28081688A JPH02126620A JP H02126620 A JPH02126620 A JP H02126620A JP 28081688 A JP28081688 A JP 28081688A JP 28081688 A JP28081688 A JP 28081688A JP H02126620 A JPH02126620 A JP H02126620A
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- 230000032798 delamination Effects 0.000 abstract description 10
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 7
- 238000005245 sintering Methods 0.000 abstract description 5
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical group [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000003985 ceramic capacitor Substances 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 229920006267 polyester film Polymers 0.000 description 4
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000002003 electrode paste Substances 0.000 description 3
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 3
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 3
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 3
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 3
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MQIUGAXCHLFZKX-UHFFFAOYSA-N Di-n-octyl phthalate Natural products CCCCCCCCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCCCCCCCC MQIUGAXCHLFZKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N bis(2-ethylhexyl) phthalate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC(CC)CCCC BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000484 butyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000004049 embossing Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 239000010970 precious metal Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Producing Shaped Articles From Materials (AREA)
- Ceramic Capacitors (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は積層磁器コンデンサの内部電極を形成する場合
に使用する電極シートに関するものである。
に使用する電極シートに関するものである。
従来の技術
近年、ラジオ、マイクロカセットレコーダ、電子チュー
ナ、ビデオカメラなどの超小型、薄型軽量電子機器の発
展にともない、回路素子として使用されるコンデンサの
小型、大容量化が強く要求されるようになってきた。こ
れらの要求を満足する部品として積層磁器コンデンサが
知られている。
ナ、ビデオカメラなどの超小型、薄型軽量電子機器の発
展にともない、回路素子として使用されるコンデンサの
小型、大容量化が強く要求されるようになってきた。こ
れらの要求を満足する部品として積層磁器コンデンサが
知られている。
積層磁器コンデンサの製造方法としては、まず誘電体粉
末、バインダ、可塑剤及び有機溶剤からなるスラリーを
用いてドクターブレード法により有機フィルム上に厚さ
数十/1mのセラミック誘電体を設けてグリーンシート
を作製する。次に、このシート上に内部電極を印刷した
ものを、複数枚積み重ねた後、圧着によシ積層成形体を
作製し。
末、バインダ、可塑剤及び有機溶剤からなるスラリーを
用いてドクターブレード法により有機フィルム上に厚さ
数十/1mのセラミック誘電体を設けてグリーンシート
を作製する。次に、このシート上に内部電極を印刷した
ものを、複数枚積み重ねた後、圧着によシ積層成形体を
作製し。
しかる後、チップ状に切断、焼成後、外部電極を形成し
て作成される。
て作成される。
一方、近年のコンデンサの大容量化への要求は特に強く
、そのためには高積層化と共に前記誘電体の薄層化が必
要不可欠である。最近では誘電体グリーンシートの厚み
が十数μmの超薄型の・ものも使用され初めている。こ
のようなシートを使用すると前述の製造方法では次のよ
うな問題が生じる。すなわち、スクリーン印刷等で電極
ペーストを用いて十数μmの誘電体グリーンシートの面
に内部電極を形成しようとすると、電極ペーストの有機
溶剤が誘電体グリーンシートのバインダ等を一部溶解し
、印刷後の乾燥工程で誘電体グリーンシートが変形した
り、あるいは焼結後に絶縁破壊電圧の低下、短絡不良の
原因をおこしたりする。
、そのためには高積層化と共に前記誘電体の薄層化が必
要不可欠である。最近では誘電体グリーンシートの厚み
が十数μmの超薄型の・ものも使用され初めている。こ
のようなシートを使用すると前述の製造方法では次のよ
うな問題が生じる。すなわち、スクリーン印刷等で電極
ペーストを用いて十数μmの誘電体グリーンシートの面
に内部電極を形成しようとすると、電極ペーストの有機
溶剤が誘電体グリーンシートのバインダ等を一部溶解し
、印刷後の乾燥工程で誘電体グリーンシートが変形した
り、あるいは焼結後に絶縁破壊電圧の低下、短絡不良の
原因をおこしたりする。
これらを改善するだめポリエステルフィルム等のベース
フィルムの上に電極を印刷、乾燥した電極シートのベー
スフィルム面側から加熱圧着によシミ極を誘電体層に転
写して電極を形成することが提案されている。(特公昭
63−31104号公報) 発明が解決しようとする課題 ところで前述の電極シートを用いて積層成形体を作製し
焼成すると絶縁抵抗の低下あるいは短絡不良等は見られ
ないが、電極と誘電体層の境界での剥離現象いわゆるデ
ラミネーションが多く発生し、歩留まりが悪いという課
題を有していた。
フィルムの上に電極を印刷、乾燥した電極シートのベー
スフィルム面側から加熱圧着によシミ極を誘電体層に転
写して電極を形成することが提案されている。(特公昭
63−31104号公報) 発明が解決しようとする課題 ところで前述の電極シートを用いて積層成形体を作製し
焼成すると絶縁抵抗の低下あるいは短絡不良等は見られ
ないが、電極と誘電体層の境界での剥離現象いわゆるデ
ラミネーションが多く発生し、歩留まりが悪いという課
題を有していた。
本発明は、上記課題に鑑み、焼結後のデラミネーション
の発生を著しく抑制し、歩留まりを大幅に向上できる電
極シートを提供しようとするものである。
の発生を著しく抑制し、歩留まりを大幅に向上できる電
極シートを提供しようとするものである。
課題を解決するだめの手段
上記課題を解決するだめに本発明の電極シートは、電極
を形成しているベースフィルムの表面を凹凸状にしたも
のである。
を形成しているベースフィルムの表面を凹凸状にしたも
のである。
作用
従来法による電極シートを使用するとデラミネーション
が発生しやすい原因は次のことによるものと思われる。
が発生しやすい原因は次のことによるものと思われる。
従来法のシートの場合、第4図に示すように電極41は
ポリエステルなどのフラットナベースフィルム42の表
面に形成されている。
ポリエステルなどのフラットナベースフィルム42の表
面に形成されている。
次にこのシートの電極41を誘電体層に転写法により電
極形成する場合、例えば第6図のように電極41とは反
対側のベースフィルム42の表面43から、あらかじめ
所望の電極形状となるように刻印されたヒータ48内蔵
の熱盤44等で加熱圧着し、誘電体層46に転写する。
極形成する場合、例えば第6図のように電極41とは反
対側のベースフィルム42の表面43から、あらかじめ
所望の電極形状となるように刻印されたヒータ48内蔵
の熱盤44等で加熱圧着し、誘電体層46に転写する。
その後、電極シート460ベースフイルム42を剥離す
ると、電極41のベースフィルム42を剥がした面、言
い換えれば電極41の上面は凹凸の無い極めてフラット
な面となる。
ると、電極41のベースフィルム42を剥がした面、言
い換えれば電極41の上面は凹凸の無い極めてフラット
な面となる。
一般にBaTi0.主成分とする積層磁器コンデンサの
場合、電極41に使用する材料はパラジウム。
場合、電極41に使用する材料はパラジウム。
白金等の貴金属である。これらの電極41はBaTiO
3と化学的に反応することは無く、むしろ凹凸のある電
極41表面に誘電体層45が入り込むような物理的効果
等で接着しているものと考えられる。
3と化学的に反応することは無く、むしろ凹凸のある電
極41表面に誘電体層45が入り込むような物理的効果
等で接着しているものと考えられる。
しかるに従来方式のシートでは電極41の上面がフラッ
トなため物理的な効果が期待出来ず、よって電極41と
誘電体層45の密着性が弱くなるので、積層成形を作製
し焼成しても電極41と誘電体層46間で剥離現象が見
られるのである。
トなため物理的な効果が期待出来ず、よって電極41と
誘電体層45の密着性が弱くなるので、積層成形を作製
し焼成しても電極41と誘電体層46間で剥離現象が見
られるのである。
一方、本発明の電極シートでは第1図に示すように電極
12の支持体となるベースフィルム11の表面をあらか
じめ凹凸状に仕上げたものを用いる。この面上に電極1
2を印刷法などで形成する。
12の支持体となるベースフィルム11の表面をあらか
じめ凹凸状に仕上げたものを用いる。この面上に電極1
2を印刷法などで形成する。
このような構成からなる電極シートを第6図のように熱
盤44で加熱圧着し、電極12を誘電体層46に転写し
た後、ベースフィルム11を剥離すると第2図のように
ベースフィルム11が剥離された電極120表面22は
凹凸状となる。従ってこのような電極シートを用いて出
来る積層成形体は従来法の電極シートを用いた場合に比
べて電極12と誘電体層46の密着性は極めて良好とな
り、焼結後もデラミネーションの発生を著しく抑制する
ことか可能となる口 実施例 本発明の具体的実施例について詳しく説明する。
盤44で加熱圧着し、電極12を誘電体層46に転写し
た後、ベースフィルム11を剥離すると第2図のように
ベースフィルム11が剥離された電極120表面22は
凹凸状となる。従ってこのような電極シートを用いて出
来る積層成形体は従来法の電極シートを用いた場合に比
べて電極12と誘電体層46の密着性は極めて良好とな
り、焼結後もデラミネーションの発生を著しく抑制する
ことか可能となる口 実施例 本発明の具体的実施例について詳しく説明する。
あらかじめエムボス加工により表面を凹凸状に仕上げて
いる厚み5071mのポリエステルフィルムの面上に市
販のPd電極ベース) (ML−3724昭栄化学(株
)製)をスクリーン印刷法で所定の形状に印刷後、乾燥
し本発明の電極シートを作製した。一方比較の為にフィ
ルムの表面がフラットな厚み50μmのポリエステルフ
ィルムの面上に前述と同じ市販のPd電極ペーストをス
クリーン印刷法で所定の形状に印刷後、乾燥し従来法に
よる電極シートを作製した。
いる厚み5071mのポリエステルフィルムの面上に市
販のPd電極ベース) (ML−3724昭栄化学(株
)製)をスクリーン印刷法で所定の形状に印刷後、乾燥
し本発明の電極シートを作製した。一方比較の為にフィ
ルムの表面がフラットな厚み50μmのポリエステルフ
ィルムの面上に前述と同じ市販のPd電極ペーストをス
クリーン印刷法で所定の形状に印刷後、乾燥し従来法に
よる電極シートを作製した。
次にBaTi05 を主成分とする誘電体粉末100重
量部に対しポリビニルブチラール樹脂20重量部、フタ
ル酸ジオクチル3重量部を配合した後、溶剤に酢酸−n
−ブチルを用いてボールミルで混練し誘電体スラリーを
作製した。このスラリーをドクターブレード法でシート
成形し、厚み76μmのポリエステルフィルム上に誘電
体層が30μmの厚みからなるグリーンシートを作製し
た。
量部に対しポリビニルブチラール樹脂20重量部、フタ
ル酸ジオクチル3重量部を配合した後、溶剤に酢酸−n
−ブチルを用いてボールミルで混練し誘電体スラリーを
作製した。このスラリーをドクターブレード法でシート
成形し、厚み76μmのポリエステルフィルム上に誘電
体層が30μmの厚みからなるグリーンシートを作製し
た。
かかるクリーンシートの上に前述の本発明、従来法によ
る電極シートを重ね合わせた後、第2図のような方法で
所望する電極形状となるように刻印された熱盤44によ
シミ極12を誘電体層45上に形成した。なお熱盤44
による加熱圧着条件は150℃、15kg/adである
。この電極12が形成された誘電体層46を金型に入れ
、加熱圧着によ930層からなる積層成形体を作製した
。この積層成形体をチップ状に切断後、チップ成型体を
ZrO2粉末中に1ぶしながら1300℃、2時間の条
件で焼成した。このようにして作製した積層チップコン
デンサの焼結体内部を電子顕微鏡によシ観察した。その
結果、全試料数100ケに対し従来法による電極ソート
を使用したものは、誘電体層46と電極41間でデラミ
ネーションが発生しており不良率は12%もあったが、
本発明による電極シートを用いたものはデラミネーショ
ンは全く見られなかった。
る電極シートを重ね合わせた後、第2図のような方法で
所望する電極形状となるように刻印された熱盤44によ
シミ極12を誘電体層45上に形成した。なお熱盤44
による加熱圧着条件は150℃、15kg/adである
。この電極12が形成された誘電体層46を金型に入れ
、加熱圧着によ930層からなる積層成形体を作製した
。この積層成形体をチップ状に切断後、チップ成型体を
ZrO2粉末中に1ぶしながら1300℃、2時間の条
件で焼成した。このようにして作製した積層チップコン
デンサの焼結体内部を電子顕微鏡によシ観察した。その
結果、全試料数100ケに対し従来法による電極ソート
を使用したものは、誘電体層46と電極41間でデラミ
ネーションが発生しており不良率は12%もあったが、
本発明による電極シートを用いたものはデラミネーショ
ンは全く見られなかった。
以上の結果から明らかなように本発明による電極シート
、す力わちベースフィルムと電極からなる電極シートに
おいて、電極が形成されているベースフィルムの表面が
凹凸状になっている電極シートを用いて作成した積層磁
器コンデンサの積層成形体は、電極と誘電体層間の密着
性が良好であり、焼結体のデラミネーションの発生を抑
制することが出来るものである。
、す力わちベースフィルムと電極からなる電極シートに
おいて、電極が形成されているベースフィルムの表面が
凹凸状になっている電極シートを用いて作成した積層磁
器コンデンサの積層成形体は、電極と誘電体層間の密着
性が良好であり、焼結体のデラミネーションの発生を抑
制することが出来るものである。
なお本実施例では電極12が凹凸のあるベースフィルム
11面に形成されておシ、あらかじめ所望する電極形状
に刻印された熱盤44により、電極12を誘電体層46
に転写しだが、第3図に示すように凹凸のあるベースフ
ィルム11に所望する電極形状となるように電極12を
形成した電極シートを作製し、これをフラットな熱盤3
3(第3図a)あるいは加熱ロール34(第3図b)に
より誘電体層45に加熱転写しても同様の効果を得るこ
とができる。なお第3図において36はヒータである。
11面に形成されておシ、あらかじめ所望する電極形状
に刻印された熱盤44により、電極12を誘電体層46
に転写しだが、第3図に示すように凹凸のあるベースフ
ィルム11に所望する電極形状となるように電極12を
形成した電極シートを作製し、これをフラットな熱盤3
3(第3図a)あるいは加熱ロール34(第3図b)に
より誘電体層45に加熱転写しても同様の効果を得るこ
とができる。なお第3図において36はヒータである。
発明の効果
以上のように本発明による電極シートは、電極が形成さ
れているベースフィルムの表面を凹凸状にしだものであ
るので、この電極シートを用いて加熱圧着によシ熱転写
して電極を形成して作製した積層磁器コンデンサの積層
成形体は、電極と誘電体層間の密着性が良好となり、こ
の結果として焼結体のデラミネーションの発生を著しく
抑制することが出来、信頼性の向上、コストダウンが可
能となるなど、その工業的価値は極めて犬なるものであ
る。
れているベースフィルムの表面を凹凸状にしだものであ
るので、この電極シートを用いて加熱圧着によシ熱転写
して電極を形成して作製した積層磁器コンデンサの積層
成形体は、電極と誘電体層間の密着性が良好となり、こ
の結果として焼結体のデラミネーションの発生を著しく
抑制することが出来、信頼性の向上、コストダウンが可
能となるなど、その工業的価値は極めて犬なるものであ
る。
第1図は本発明による電極シートの構成を示す断面図、
第2図、第3図(a)、第3図(b)は本発明による電
極シートを用いた場合の電極形成を説明する断面図、第
4図は従来の電極シートの構成を示す断面図、第6図は
従来シートを用いた場合の電極形成を説明する断面図で
ある。 11・・・・・・ベースフィルム、12・・・・・・電
極。 第 図 第 図 ベースフィルム t 鍮 耕 −怨 霊 45− 詩 11 体層 第 図 (α) 第 図
第2図、第3図(a)、第3図(b)は本発明による電
極シートを用いた場合の電極形成を説明する断面図、第
4図は従来の電極シートの構成を示す断面図、第6図は
従来シートを用いた場合の電極形成を説明する断面図で
ある。 11・・・・・・ベースフィルム、12・・・・・・電
極。 第 図 第 図 ベースフィルム t 鍮 耕 −怨 霊 45− 詩 11 体層 第 図 (α) 第 図
Claims (1)
- 電極が形成されているベースフィルムの表面が凹凸状
になっていることを特徴とする電極シート。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28081688A JPH02126620A (ja) | 1988-11-07 | 1988-11-07 | 電極シート |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28081688A JPH02126620A (ja) | 1988-11-07 | 1988-11-07 | 電極シート |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02126620A true JPH02126620A (ja) | 1990-05-15 |
Family
ID=17630377
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP28081688A Pending JPH02126620A (ja) | 1988-11-07 | 1988-11-07 | 電極シート |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02126620A (ja) |
-
1988
- 1988-11-07 JP JP28081688A patent/JPH02126620A/ja active Pending
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