JPH02120747U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02120747U JPH02120747U JP3009689U JP3009689U JPH02120747U JP H02120747 U JPH02120747 U JP H02120747U JP 3009689 U JP3009689 U JP 3009689U JP 3009689 U JP3009689 U JP 3009689U JP H02120747 U JPH02120747 U JP H02120747U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- microbeam
- current integrator
- accelerator
- slit
- target
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
Description
第１図はこの考案の実施例を示す配置図、第２
図は従来例の配置図である。 １……加速器、２……偏向電磁石、３……チヤ
ンバ、４，６……スリツト、７……集束レンズ、
８……ターゲツト、１０……カレントインテグレ
ータ。
図は従来例の配置図である。 １……加速器、２……偏向電磁石、３……チヤ
ンバ、４，６……スリツト、７……集束レンズ、
８……ターゲツト、１０……カレントインテグレ
ータ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 加速器と、前記加速器によつて加速されたビー
ムを偏向する偏向電磁石と、前記偏向電磁石によ
つて偏向されたビームをマイクロビーム化するス
リツトと、集束レンズと、前記集束レンズによつ
て集束されたビームが照射されるターゲツトを備
えてなるマイクロビーム装置において、 前記偏向電磁石のチヤンバまたは前記スリツト
にカレントインテグレータを接続し、前記カレン
トインテグレータによる積算計測値から、前記タ
ーゲツトに照射されるイオンビームによる電流の
積算値を計測するようにしてなるマイクロビーム
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3009689U JPH02120747U (ja) | 1989-03-16 | 1989-03-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3009689U JPH02120747U (ja) | 1989-03-16 | 1989-03-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02120747U true JPH02120747U (ja) | 1990-09-28 |
Family
ID=31254856
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3009689U Pending JPH02120747U (ja) | 1989-03-16 | 1989-03-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02120747U (ja) |
-
1989
- 1989-03-16 JP JP3009689U patent/JPH02120747U/ja active Pending
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