JPH02119851A - 超音波検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野】

この発明は、超音波によって物体内部を検査する装置に
関する。

【従来の技術】

従来より、超音波検査装置は、とくに医学の分野におい
て診断の重要な手段として定着してきている。現在医用
診断の手段として用いられている超音波診断装置は、大
多数が超音波の反射を利用して生体内部の組織の不連続
性を映像化しようとするものに過ぎず、軟部組織の病変
（癌や肝硬変など）に対しては識別能力がない。 そこで、最近、生体内部の弾性的な特性に間する情報を
得るため、生体外部から周波数１０ＨｚないしＩ　Ｋ　
Ｈｚ程度の低周波振動を加え、生体内部に伝わる振動変
位の分布を、同時に送波したプローブ用超音波により計
測することが提案されている（山越芳樹、鈴木正人、佐
藤拓宋：低周波振動とプローブ用超音波を用いた弾性的
特性の映像系、日超医論文集　５０　３０１　１９８７
）。 これは、同時に送波した超音波の反射波の振幅の変化か
ら内部の振動振幅の大きさを間接的に推定し、その分布
より内部の弾性特性に関する情報を得ようというもので
ある。 また、生体内部の振動振幅を超音波を用いて計測するた
め、任意の２つの時点で得られた超音波画像などの相互
相関関数を求め、そのピーク位置より移動量を推定しよ
うという提案もなされている（稲葉克、へ木晋−１中山
淑：ＲＦエコー相関方による変位測定、日超医論文集　
５０　３０３一 １９８７）　　。

【発明が解決しようとする課題】

しかしながら、前者にあっては、内部振動振幅の直接計
測ができず、さらに反射振幅の統計的な変動を取り除く
ために、得られた映像に移動平均処理を行なうことが必
要で、映像の分解能が劣るという問題点がある。 また、後者では、加振により内部の散乱体が超音波ビー
ムに対して回転してしまうと相互相関関数に明確なピー
クが現われなくなり、このときに正確な変位量の測定が
難しいという問題点がある。 この発明は、被検査体内部の振動の振幅や位相の正確な
測定ができる、超音波検査装置を提供することを目的と
する。

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するため、この発明による超音波検査装
置においては、被検査体に対し低周波の機械的振動を加
える手段と、該被検体に対して超音波を送ってその反射
波を受ける超音波送受手段と、該受波信号からドツプラ
ー効果による周波数変調成分を取り出す手段とが備えら
れる。

【作　　用】

超音波の反射波は被検査体内部の振動によってドツプラ
ー効果を受け、その周波数がシフトする。 そこで、受波信号からドツプラー効果による周波数変調
成分を取り出せば、そのスペクトルから変調指数を求め
て内部の振動振幅を直接計測したり、振動の位相を計測
することが可能となる。 得られたデータの統計的な変動を押さえるための移動平
均処理などが不必要で、空間的に高分解能なデータを計
測できるため、高分解能な画像が得られる。

【実　施　例】

つぎにこの発明の一実施例について図面を参照しながら
説明する。第１図の実施例において、メカニカルバイブ
レータ１２は低周波発振器１４の出力を増幅する増幅器
１５により駆動され、その先端に取り付けられた適当な
大きさの振動板（たとえばアクリル板でなる）１３より
被検査体１０の表面に−様な振動変位を与えるようにし
ている。 メ カニカルバイブレータ つるされており、被検査体１０の表面への振動板１３の
接触圧力が嚢えちれるようにされている。 超音波トランスデユーサアレイ２１は、振動板１３から
の低周波振動が伝わらないように、柔らかいコンタクト
ゲル２２を間に挟んで被検査体１０の表面に接触させら
れている。このトランスデユーサアレイ２１にはパルス
発生器２３からのこの実施例では３．５ＭＨｚの信号が
増幅器２４を介して送られてきており、被検査体１０の
内部に超音波を送波する。被検査体１０からの反射波が
このトランスデユーサアレイ２１によって受波され、受
波信号は増幅器２６を経て、９０°移相器３１、乗算器
３２、３３、ローパスフィルタ３４、３５、サンプルホ
ールド回路３６、３７よりなる周波数変調検出部と、エ
ンベロープ検波器４１、ローパスフィルタ４２及σサン
プルホールド回路４３よりなる振幅変調検出部とに送ら
れる。乗算器３２、３３はパルス発生器２３からの周波
数３。 ５ＭＨｚの参照信号と受波信号とを乗算するもので、ロ
ーパスフィルタ３４、３５は高域カット周波数が約５０
０ＫＨｚのものでこれにより高調波成分が除去される。 このローパスフィルタ３４、３５の出力はサンプルホー
ルド回路３６、う７によりサンプリングされ、あらかじ
め指定した測定点からの信号だけが時系列信号として取
り出される。 受波信号をそのまま及び９０°移相して２系統で処理を
行なっているのは直交検波方式とするためであり、サン
プリングされて得た信号は一方が実部、他方が虚部の信
号としてＡ／Ｄコンバータ５１を経てマイクロコンピュ
ータ５２に取り込まれる。被検査体１０を振動させる場
合、その内部の反射体の運動によって、反射してくる超
音波はドツプラー周波数シフトのほかに振幅変調も受け
ているので、振幅変調検出信号をＡ／Ｄコンバータ５１
を経てマイクロコンピュータ５２に入力して、その影響
を補正するようにしている。こうして各測定点ごとに低
周波振動の振幅が求められ、その２次元分布像がデイス
プレー装置５３でカラ−表示される。なお、タイミング
信号発生器５４は各部の動作タイミングを決めるための
信号を発生する。この実施例では、超音波送波パルスの
繰り返し周期は最高２００μｓであり、振動振幅測定の
ために加振周波数の第５次高調波成分まで用いるとする
と、約５００　Ｈｚまでの低周波振動を加えることがで
きる。 つぎに、上記の実施例の動作原理を説明する。 まず、振動板１３により被検査体１０に対し１０Ｈｚ〜
ＩＫＨｚ程度の低周波振動を加えると、その内部の反射
体がその周波数で振動するので、反射体の振動速度は０
式のように表わすことができる。 Ｖ＝Ｖｏｓｉｎ　ωｂｔ　　　　　　　　　　　　■こ
こで、ωｂは加えた振動の角周波数、Ｖｏは速度振幅で
ある。 こうして振動している反射体に向けて超音波を送波する
と、この反射体で反射し、その反射超音波はドツプラー
効果により周波数変調を受ける。 このとき周波数シフト量Δｆは０式で与えられる。 Δｆ、＝ｆ　　（２Ｖ／Ｃ） 一Δｆ　ｗａｘ　Ｓｉｎ　Ｏ１）　ｔ　　　　　　　　
　　　　■ここでｆは超音波の周波数、Ｃは音速であり
、Δｆ　ｙ＋ｎｘはドツプラー効果による最大周波数シ
フトで、つぎのようになる。 Δｆ　、、！＝　２　ｆ　（Ｖ　ｏ／　Ｃ）　　　　　
　　　　　■一方、超音波トランスデユーサアレイ２１
で受波した反射波の受波信号ｒ（ｔ）は、 ｒ（ｔ）−ｒ。５ｉｎ（ωｔ＋ｍ（ｓｉｎωｂｔ＋φ）
　　　　　■と表わすことができる。ここで、ｒｏは反
射超音波の振幅であり、ωはドツプラー効果を受けてい
ないときの超音波の角周波数、φは伝播による位相差で
ある６また、ｍｅは周波数変調の変調指数であり、 ｍ　ｒ＝　２　πΔｆ　１１１１．Ｘ　／　Ｏｔ１　　
　　　　　　　　　■と表わせる。 いま、反射体の振動振幅をξ。とすると、この変調指数
は、 ｍｒ−（４πｆ／Ｃ）ξ０　　　　　　　　　■と表わ
すこともできる。 さて、受波信号ｒ（ｔ）からドツプラー効果による周波
数変調成分のみを取り出すために、参照信号５（ｔ）を
、 ５（ｔ）・５０（ｃｏｓωｔ＋ｊｓｉｎωｔ〉　　　　
　　　　■とじて、ｒ（ｔ）と５（ｔ）とを乗算しく乗
算器３２．３３）、ローパスフィルタ３４．３５で周波
数２ω付近のスペクトラムを持つ信号成分を除去すれば
、ローバルフィルタ３４．３５の出力信号０Ｌｐｐ（ｔ
）は、 ＯＬＰＦ　（ｔ）　＝　＋　ｒ　ｏ　ｓ　ｏ　×（（ｓ
ｉｎφ＋ｊｃｏｓφ）［Ｊｏ（ｍｒ）＋２ΣＪ２　ｎ　
（ｍ　ｒ　）ｃｏｓ２ｎωｂｔ］＋（ｃｏｓφ−ｊｓｉ
ｎφ）［２ΣＪｚｎ＋ｔ（ｍｒ）ｓｉｎ（２ｎ＋１）ω
ｂｔｌｌ■ どなる。ここで、Ｊｎ（ｘ）はｎ次のベッセル関数であ
る。０式をみると、０ＬＰＦ（ｔ）は直流分と角周波数
ωｂ、２ωｂ、３ωｂ、・・・の輝線スペクトラムを持
つことが分かるが、そのｉ次のスペクトラムの大きさＡ
、はつぎの０式で与えられる。 Ａｏ＝＋　ｒ　Ｏ３（１＋Ｊ、Ｏ（ｍｒ）Ａ　ｉ＝ｒ　
ａｓ　ｏ　Ｊ　ｏ　（ｍｒ＞　　（１４，２，・・、’
）　　　■つまり各スペクトラムの大きさは変調指数ｍ
ｆの関数になるため、振動振幅が変化するとそれに応じ
て各スペクトラムの大きさが変化するようになる。この
ことより、Ｏｔ、ｐｐ（ｔ）のスペクトラムの大きさか
ら変調指数を推定すれば、その点での振動振幅が推定で
きることになる。ここでは、隣り合う次数のスペクトラ
ムの大きさの比から振動振幅を推定するようにした。隣
り合う次数のスペクトラムの比は、 Ａｌ／Ａｏ＝　２　Ｊ　ｔ　（ｍｒ）　／　Ｊｏ　（ｍ
ｒ）Ａｔ＋ｔ／　Ａｔ−２Ｊ　ｔｉｔ　（ｍｒ）　／　
Ｊ　ｉ（ｍｒ）　　（ＩＱ）となる。各スペクトラムの
大きさと、それらの比の値を変調指数をパラメータとし
て示すと第２図（ａ）、（ｂ）のようになる。このよう
にして振動変位を推定するには、まず０ＬＰＦ（ｔ）の
スペクトラムを計算し、隣り合うスペクトラムの大きさ
の比をとり第２図（ｂ）を参照して変調指数ｍ。 を求め、０式から導かれる振動振幅と変調指数との関係 ξ。−（Ｃ／４πｆ）ｍ、　　　　　　　　　■を使っ
て振動振幅を求めればよい。しがし、第２図（ｂ）を見
ても分がるように一般にスペクトラム比の大きさに対し
てｍ（の値は多価となっており、このままでは振動変位
の一意な推定ができない。そこで、ここではスペクトラ
ムの大きさを比較し振動振幅が入る大まかなレンジを求
め、それをもとに推定のために用いるスペクトラム比を
適応的に変えることで内部振動変位を一意に推定できる
ようにしている。具体的には、まずｏＬＰＦ（ｔ）の直
流成分、１次、２次、３次スペクトラム成分のなかで、
もし直流成分が最大の値をとれば、振動振幅は小さいこ
とが予想されるからスペクトラムの直流成分と１次の成
分との比を用いて振動振幅を求める。直流成分が最大で
ない場合には、１次成分と２次成分との比や、２次成分
と３次成分との比を用いて求める。このような方法を高
次のスペクトラムにまで適応していくことにより振動振
幅を一意に推定することができる。 この第１図の実施例での実験結果について説明すると、
まず、観測されたドツプラー検出信号〇ＬＰＦ（ｔ　）
は第３図、のようになった。この第３図（ａ）、（ｃ）
で０１．ｔ、ｐｐ（ｔ　）　、０２．ｔ、ｐｐ（ｔ　）
はそれぞれ０ＬＰＦ（ｔ）の実部と虚部を表わす。ここ
では、孔検査体１０として平均粒径４５μｍのグラファ
イト粉末を重量比で１，５％混ぜたグラファイト混入カ
ンテンファントム（カンテン粉末の重量比は１．５％）
を用い、表面から４０ｍｍ下の位置から反射してくる超
音波を捉えるようにした。第３図（ａ）は加振した低周
波振動の周波数を１゜ＯＨｚとし、メカニカルバイブレ
ータ１２への印加電圧を２Ｖとしたときの０１．ＬＰＦ
（ｔ　）　、０２．ＬＰＦ（ｔ　）を表わし、第３図（
ｂ）は第３図（ａ）の信号をフーリエ変換して求めたス
ペクトラムである。また、第３図（ｃ）は加振周波数は
１００Ｈ２のまま、メカニカルバイブレーク１２への印
加電圧を６■に上げたときの○１．ＬＰＦ（ｔ　）　、
０２．ＬＰＦ（ｔ　）を表わし、第３図（ｄ）はその信
号をフーリエ変換して求めたスペクトラムである。この
第３図（ｂ）、（ｄ）から、さきに原理を示したように
、加振周波数とその高調波成分からなる輝線スペクトラ
ムになっていることが分かる。これら第３図（ａ）、（
ｂ）と第３図（ｃ）、（ｄ）とを比較すると、メカニカ
ルバイブレータ１２への印加電圧が高くなって振動振幅
を大きくすれば、ドツプラー検出信号が歪み、高調波成
分が大きく現われることがよく分かる。 このスペクトラムの大きさの比から振動振幅が求められ
るが、こうして求められた振動振幅を、直径約２．５ｍ
ｍの領域内での振動振幅をサブミクロンの精度で非接触
に計測できる光変位計を用いて測定した結果と比較して
みたところ、非常に高い精度となっていることが確認で
きた。まず、第４図（ａ）、（ｂ）に示すように、水槽
６１の底部に直径約２０＋ｎｍの円形の孔をあけ、そこ
にビニールフィルム６２を張り水６３を入れたものを用
意した。第４図（ａ）では、縦１０ｍｍＸ横１０＋ｎｍ
×高さ５ｍｍのカンテンのみのファントム６４をこのビ
ニールフィルム６２上に接着し、ファントム６４の真下
からメカニカルバイブレーク１２及び振動板１３で振動
を与え、水槽６１の水面側に超音波トランスデユーサア
レイ２１を配置してこのファントム６４の表面における
振動振幅を測定した。第４図（ｂ）では、このビニール
フィルム６２の上に反射体としてアルミニウム箔６５を
張りつけ、光変位計のプローブ６６を上方に配置して振
動振幅を測定した。ここでは加振周波数を１００Ｈｚと
しており、メカニカルバイブレータ１３に加える電圧を
変化させて振幅を変えて測定したところ、第５図のよう
な結果が得られた。この測定結果は、本実施例の場合も
光変位計を用いた場合も、表面上の５点で測定してその
平均値を求めたものである。この第５図から、この実施
例による測定値は、光変位計で得られた測定値とよく一
致しており、振動振幅の定量的な測定が精度高くできる
ことが分かる。 ここまでの計測では、スペクトラム解析のために約１０
０　ｍ　ｓ分の時系列データを用いて振動変位を推定し
たが、映像を実時間的に得ようとすると、さらに短い時
系列データからスペクトラム解析を行なう必要がある。 一般にここで用いているような高調波成分の解析には最
低、振動の１周期分のデータがあればよいが、データ長
が短いとスペクトラム分解能が低下してしまう。そこで
、さきに示したグラファイト混入カンテンファントム６
３（第４図〉を用いて、振動変位の違う２点についてス
ペクトラム解析のために用いるデータ長を変え、推定精
度への影響を実験的に評価した。 その結果は、第６図に示される。この実験では１００Ｈ
ｚで加振したが、最短の１周期分のデータから推定した
振動変位と５周期分のデータから推定した振動変位とは
、２点とも、はぼ同じ値となっており、この場合は、１
周期分のデータでも正しい測定ができているといえる。 このため、以降の実験では映像を高速に得ることができ
る１周期分のデータを用いて振動変位の測定を行なうこ
ととしている。 つぎに、加振周波数について実験的に検討する。 同一のファントムに対して加振周波数を変えて内部の振
動振幅の分布を測定する。ファントムとして、比較的軟
らかいグラファイト混入カンテンファントム（カンテン
粉末の重量比；１．５％、グラファイト粉末の重量比；
１．５％）の中に縦５０　ｍｍ　Ｘ横５０鵬×高さ５０
＋ｎｍの比較的硬いファントム（カンテン粉末の重量比
；４％、グラファイト粉末の重量比；１．５％）を埋め
込んだものを使用した。第７図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）
、（ｄ）にこのファントムでのＹ方向（奥行き方向）の
振動変位の１次元分布を示す。図中ファントム上端から
４０ｍｍより９０ｍｍの点線で囲んだ部分に硬いカンテ
ンが埋め込まれているが、加振周波数が２０Ｈｚ　（第
７図（ａ→）と６０Ｈｚ　（第７図（ｂ））とでは２つ
のカンテンの違いがこの図からはよく区別できていない
。これは周波数が低いとファントム全体が振動してしま
うためと考えられる。 また加振周波数が１４０Ｈｚ　（第７図（ｄ））では硬
いカンテン上面での弾性特性の違いがよく映像化されて
いるものの、周波数が高いため奥行き方向への浸透が悪
く硬いカンテンで振動が遮られてしまっている。この中
間の周波数１００Ｈ２（第７図（Ｃ））では、２つのカ
ンテンの間の弾性的な特性の違いがよく映像化されてお
り、また硬いカンテンの下部に振動が入り込まない部分
が生じているものの、表面から約１２０ｍｍを超える部
分で再び振動振幅が大きくなり、このようなファントム
では１００Ｈｚ前後の加振周波数を用いればよいことが
分かる。 最後に、上記実施例で得られた内部の振動変位の映像例
を示す。実際には、ここで示す２次元画像はカラー画像
として表示されるが、ここではモノクロ画像として図示
している。第８図はカンテン粉末の重量比が１．５％で
グラファイト粉末の重量比が１，５％の−様なグラファ
イト混入カンテンファントムに対して得た映像である。 ここで、加振周波数は１００Ｈｚで、振動板１３として
３０ｍｍＸ、２０＋ｎｍの大きさのアクリル板を用いて
いる。 この図を見ると、ファントム内部に伝わる振動振幅の様
子がよく分かる。一方、第９図は、第７図で示した実験
で用いたのと同じ、の内部に縦５０＋ｎｍ×横５０ｍｍ
Ｘ高さ５０ｍｍの比較的硬いファントムを埋め込んだグ
ラファイト混入カンテンファントムでの映像である。加
振周波数は１００Ｈｚとし、図中点線で囲まれた部分に
硬いカンテンが埋め込まれている。この像は、振動を硬
いカンテンの真上から加えたときの内部の振動変位分布
を示すもので、振動の伝播の様子がよく分かるが、硬い
カンテンの上面と右側面に比べて左側面と下面での違い
がよく映像かできていない。そこで、振動板の位置を左
に少し動かして映像をとり、両映像の各画素ごとに、振
動振幅の最大値をその画素の値として２つの映像を合成
して、第１０図に示すような映像を得た。この映像では
奥にいくほど振動振幅を上げるような減衰補正を行なっ
ており、また５０μｍ以上の振動振幅がある点はすべて
同色で示している。このような処理により、内部の振動
振幅から、ファントム外側の比較的軟らかい部分と、内
側の比較的硬い部分の弾性特性の違いをより明瞭に区別
して映像化できることが分かる。 第１１図のように左上腕部にメカニカルバイブレータ１
２と振動板１３と超音波トランスデユーサアレイ２１と
を密着させ、ＩＮ　　ＶＩＶＯでの内部振動変位分布を
測定した。こうして、第１２図（ａ）、（ｂ）に示すよ
うな内部振動分布のＹ方向１次元像を得た。このとき、
加振周波数は１００Ｈｚで、第１２図（ａ）は筋肉を弛
緩したとき、第１２図（ｂ）は緊張させたときである。 どちらも同じ部位を観測し、メカニカルバイブレータ１
２への印加電圧も同じ場合の結果であるが、筋肉を緊張
させると、弛緩時に比べて一般に組織が硬くなって振動
しにくくなる様子がよく分かる。 なお、本発明は上記の実施例に限定されるものではなく
、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々に変更可能であ
る。たとえば、上記の実施例では映像化すべき２次元空
間の各点について１点ずつドツプラー効果による周波数
シフトを検出しているが、ドツプラー効果による周波数
シフトの検出を同時に複数点で行なうようにしてリアル
タイム性を実現することなども可能である。 また、振動振幅以外に、振動の伝搬速度に関連している
振動の位相分布を計測することも可能である。すなわち
、反射体の振動の位相φｂを考慮すると、上記０式は、 ■−■。５ｉｎ（ωｂｔ÷φｂ）　　　　　　　■′と
なる。このとき、反射波の受波信号はｒ（ｔ）−ｒ。５
ｉｎ（ωｔ＋ｍｔｓｉｎ（ωｂｔ＋φｂ）＋φ）　■′
と表わすことができる。これを参照信号（０式）を用い
て直交検波すると、その複素検波信号（複素ドツプラー
検出信号）ＯＬＰＦ（ｔ）の実部０１ＬＰＦ（１）、虚
部０２ＬＰＦ（ｔ）はつぎのようになる。 ０１ＬＰＦ　（ｔ）　−＋　ｒ　ｏ　ｓ　ｏｓｉｎφ［
Ｊｏ　（ｍｒ）＋２ΣＪ２ｎ（Ｉｌｌｒ）ｃｏｓ（２ｎ
ω、ｔ＋２ｎφｂ）　］　＋＋ｒｏｓｏｃｏｓφ［２Σ
’２ｎ＋１（ｕ＋ｒ）ｓｉｎ（（２ｎ＋１）ωｂｔ＋（
２ｎ＋１）φｂ）］　　　　　　■′０２ＬＰＦ　（ｔ
）　−＋　　ｒ　ｏ　ｓ　　ｏｃＯ３φ　［Ｊｏ（ｍｒ
）＋２ΣＪｚｎ（ｌｌｌｒ）ｃｏｓ（２ｎωｂｔ＋２ｎ
φｂ）　］　　＋　ｒ　ａｓ　ｏｓｌｎφ［２ΣＪ２ｎ
＋１（ｌｌｌｒ）ｓｉｎ（（２ｎ＋１）ωｂｔ＋（２ｎ
＋１）φ５）１　　　　　　■″この■°式、■″式を
見ると、振動に位相差φｂがあると、周波数ｎωｂのス
ペクトラムに対してｎφｂの位相差を持つことが分かる
。つまり■′式、■゛式を各々フーリエ変換し、そのω
ｂのスペクトラムの偏角を導出すれば、φ、を求めるこ
とができる。そこで、先の振動振幅測定と組み合わせれ
ば、物体内部に伝わる振動の振幅と位相の分布を同時に
映像化できることになる。

【発明の効果】

この発明の超音波検査装置によれば、被検査体躯 内部の低周波振動の振幅を＋μｍの精度で測定したり、
振動の位相を測定できるので、生体軟部組織の硬さの違
いによる低周波振動加振に対する応答の差を検出でき、
癌の良性・悪性の区別などを容易に行える。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例のブロック図、第２図（ａ
）はドツプラーシフトの各スペクトラムの大きさと変調
指数との理論的関係を示すグラフ、第２図（ｂ）はその
スペクトラムの比と変調指数との理論的関係を示すグラ
フ、第３図（ａ）、　（ｃ）は実際のドツプラー検出信
号を示すグラフ、第３図（ｂ）、（ｄ）はそれらのスペ
クトラムをそれぞれ示すグラフ、第４図（ａ＞、　（ｂ
）は振動振幅の測定精度を確認するための実験例を示す
模式図、第５図は上記の実験結果として得られたデータ
を示すグラフ、第６図はデータ長と測定振動振幅との関
係を示すグラフ、第７図（ａ）、　（ｂ）、　（ｃ）、
　（ｄ）は加振周波数を変えたときの測定振幅の奥行き
方向の１次元分布を表わすグラフ、第８図、第９図及び
第１０図は映像例をそれぞれ示す図、第１１図はＩＮ　
　ＶＩＶＯ測定例を示す模式図、第１２図（ａ）、　（
ｂ）は第１１図において測定した振幅のＹ方向１次元分
布を表わすグラフである。 １０・・・被検査体、１１・・・ばねばかり、１２・・
・メカニカルバイブレータ、１３・・・振動板、１４・
・・低周波発振器、１５．２４．２５・・・増幅器、２
１・・・超音波トランスデユーサアレイ、２２・・・コ
ンタクトゲル、２３・・・パルス発生器、３１・・・９
０°移相器、３２．３３・・・乗算器、３４．３５．４
２・・・ローパスフィルタ、３６．３７．４３・・・サ
ンプルホールド回路、４１・・・エンベロープ検波器、
５１・・・Ａ／Ｄコンバータ、５２・・・マイクロコン
ピュータ、５３・・・デイスプレー装置、５４・・・タ
イミング信号発生器、６１・・・水槽、６２・・・ビニ
ールフィルム、６３・・・水、６４・・・ファントム、
６５・・・アルミニウム箔、 ６６・・・光変位計のプローブ、 ７１・・・上腕部。 （ト快 ＣＯ％

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）被検査体に対し低周波の機械的振動を加える手段
   と、該被検査体に対して超音波を送ってその反射波を受
   ける超音波送受手段と、該受波信号からドップラー効果
   による周波数変調成分を取り出す手段とからなることを
   特徴とする超音波検査装置。