JPH02118059A - 難窒化金属材料のアンモニアガス窒化処理方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は難窒化金属材料のアンモニアガス窒化処理方法
に関する。より詳細には１本発明は、難窒化金属材料を
水素ガスにｕＩｎして難窒化金属材料の表面酸化層を還
元する０；ｉ処理工程と還元処理を受けた難窒化金属材
料を低温でアンモニアガスにより窒化させる窒化Ｉ−程
からなる難窒化金属材料のアンモニアガス窒化処理方法
に関する。

［従来の１に術及びその問題点ｌ 従来、金属材料の表面硬化方法として、アンモニアガス
窒化法が知られている。しかしながら、ステンレス鋼を
含む高クロム合金は、その表面にアンモニアガス窒化を
阻ｌ；する酸化膜を有しているため容易にガス窒化でき
ないという欠点をもつ。

このため、これらの難窒化金属材料のアンモニアガス窒
化を行うためには、従来、前処理としてガス窒化を阻止
する表面酸化膜を酸ｆ’Ｊ溶液による洗浄により除去し
た後、比較的高１４で窒化処理を行っていた。しかしな
がら、高ｄｌ！で窒化を行うと。

ｌ°分な表面硬さがｉｉ）られない。また、酸性溶液で
洗？７１″４る方法としては１例えば、アンモニアガス
窒化を阻止する表面酸化膜を有する難窒化金属材料で、
１１．つ、窒化以外に表面硬化させる方法のないものの
代表例であるオーステナイト系ステンレス鋼の一つであ
る１１本１−業規格：　ＪＩＳ（、Ｉａｐａｎ　Ｉｎｄ
ｕＳＬｒｉ＋ｔｌ　５Ｌａｎｄｃ１ｒｄ）　ＳＵＳ：１
０４鋼（以下、＋ＢにＪＩＳ　ＳＵＳ３０４鋼と略記す
る）をアンモニアガス窒化する場合、Ｏｆ処理として、
弗酸と硝酸の混合溶液又は塩酸を用いて表面酸化膜を除
去していた。しかしながら、酸性溶液により表面酸化膜
を除去する方法には、用いる混合酸、酸洗後の廃液及び
その廃液中に含まれる酸化クロム及びその池の酸化重金
属等が極めて有害であるため、この廃液処理には多大な
費用をかけて無公害化を行なわなければならないという
極めて大きな欠点がある。そのため、窒化の；１；ｉ処
理として酸性溶液を用いない方法が提案されている。

窒化の０：Ｉ処理として酸性溶液を用いない離京化金Ｂ
ＪＩ材料の窒化方法として、例えば、特開昭６０−１６
５３７０吟には、０；ｉ処理としてステンレス鋼を真空
中で高温に加熱してステンレス表面を活性化し、その後
高純度窒素ガス雰囲気中で高温で窒化処理を行う方法が
ｌＳ！ｍされている。しかしながら、この方法の０：ｉ
処理による表面の活性化では、その後の窒化を９５０乃
至１１５０℃の高温で行なわなければならない。このよ
うに高温で窒化を行うと、得られた窒化ステンレス鋼に
形成された窒化層の硬さが表面から内部に向うにつれ連
続的に低下しており、最高硬さを示す表面でさえ十分に
硬化されていないという欠点がある。

また、特開昭６０−１２５３６５号には、前処理として
湿式ブラスト処理によりステンレス表面を活性化し、そ
の後アンモニアガスと窒素ガスの混合気体又はアンモニ
アガスで窒化処理を行う方法が提案されている。しかし
ながら、この方法では、６ｉｊ処理によってステンレス
の表面を物理的にｎリリとって梨地状にするため、得ら
れる窒化ステンレス鋼の表面■１さが大きくなり６ｆま
しくない。また、この方法により得られた窒化ステンレ
ス鋼は、その窒化層の硬さが表面から内部に向って連続
的に低トし、最高硬さを示す表面の硬化も十分ではない
という欠点がある。その」二、この方法では、　ｌ１ｉ
ｆ処Ｊｌｌとして湿式ブラスト処理を行うため、前処理
から窒化処理に移行する間にステンレス表面が酸化され
るのを防ぐため、硬質粒子でステンレスを被包する等の
処理が必要であり、操作が煩雑であり好ましくない。

更に、特開昭５８−５４１８６号には、前処理としてス
テンレス鋼を高温で空気焼鈍又は、ガラスビードピーニ
ングにけし、その後８００℃以１〕の高４で窒素−水素
雰囲気Ｆでステンレス鋼の窒化処理を行なう方〃；が提
案されている。しかしながら、空気焼鈍は、逆に表面に
酸化物が生成するのでなｆましくなく、また、ガラスビ
ードピーニングによる方法は、＋ｆｉｉ述の湿式ブラス
ト法によるｎ；ｉ処理と同様に表面ｆｉｌさが大きくな
り好ましくない。更に、この方法により得られる窒化ス
テンレス鋼は、８００℃以ｌ―の高温で窒化されている
ため、表面硬さが余り高くなく、耐摩耗Ｆ１が不十分で
ある等の欠点がある。

【閂題を解決するための手段及び作用］以」−の点に鑑
み、本発明者等は、帰室化金属材料の窒化のｎｉＪ処理
として、公害の恐れのないことはもとより、帰室化金属
材料の表面を不必要に粗面化することなく、表面酸化膜
を除去して表面を活性化した後、低温で窒化を行い、そ
の結果十分な表面６史さを（ｆする令−属材料を得るこ
とのできる離京化金属材Ｈの窒化方法を得るため鋭意研
究を行った結果、窒化の６：Ｉ処理として寝室化金属材
料を水素ガスに暴露させ帰室化金属材料の表面酸化膜を
還元することにより、３００乃〒５７０℃という低１．
１で寝室化金属材ｆ１をアンモニアガスにより窒化する
ことができ、この方法により優れた表面硬さを有するう
°貫窒化金属材料が得られることを知見した。本発明は
１−記の知見に基づき完成されるに到ったものである。

すなわち、本発明のＩＪ的は、公害の恐れのないｔ”＋
：ｉ処理を行い、低温で帰室化金属材料を窒化をするこ
とのできる方法を提０１することにある。

本発明によれば、帰室化金属材料を６００乃至１３５０
℃の温度で水素ガスにｕＩｎさせ該帰室化金属材料の表
面酸化膜を還元する工程と、還元処理を受けた該帰室化
金属材料を３００乃至５７０℃の温度でアンモニアガス
又はアンモニアガスを含む混合気体の雰囲気中にψｎす
る工程とからなることを特徴とする離京化令属材料のア
ンモニアガス窒化処理方法が提供される。

本発明の方法を実施する場合、雰囲気制御可能な槽、温
度制御装置及びガス排気装置を備えた炉を用いるが、更
にＩＸ／＋爆装置を備えた炉を用いることが安全性の面
から望ましい。

窒化の前処理としての留室化金属材料の表面酸化膜の還
元は炉内に連室化金属材料を入れ、水素ガスを炉内に導
入して行なう。本発明に於いて留室化金属材料とは、そ
の表面に窒化を阻止する酸化膜を有しているため、容易
にガス窒化をすることのできない金属材料をいう。この
ような留室化金属材料の例としては、高クロム合金、ク
ロム等があるが、高クロム合金についてはステンレス鋼
（例えばＪＩＳ　Ｇ４３０３に記載されているような旧
５ＳＵＳ鋼）及び祠熱鋼（例えばＪＩＳ　Ｇ４３１１に
記載されているようなＪＩＳ　Ｓｔ用鋼）がその代表例
であり、なかでもオーステナイト系ステンレス鋼のＪＩ
Ｓ　５ＵＳ３０４Ｇｌｑ、フェライト系ステンレス鋼の
ＪＩＳ　５ＵＳ４３０鋼、マルテンサイト系ステンレス
鋼の旧Ｓ　５１１Ｓ４１０鋼及びＪＩＳ　５ＩＩＳ４４
０鋼並びに析出硬化型ステンレス鋼のＪＩＳＳＩＩＳｆ
ｉ３０鋼は特に代表的なものである。また、鉄及びクロ
ムのみからなる合金の場合、クロム含有量がυＲノＡ％
以１−５特にＲ１ｔｒｎ％以」−のものに対し本発明の
Ｊｉ法は極めて有効である。水素ガスの圧力は般に０．
０１乃至１５２０’ｌ’ｏｒｒである。圧力が０，０Ｉ
Ｔｏｒｒ未満の場合には、還元が１分でなく、寝室化金
属材料の表面活性化の効果が不（・分である。一方、１
１・力が１５２０’ｒｎｒｒを越える場合には、ａ元に
よる表面活性化は１・分であるが、例えば、防爆設備及
び高温での耐圧設備が１！’６４１１ｉになり好ましく
ない。還元の温度は窒化する金属材料等により適宜選択
するが、６００乃至１：ｌ’、＋０℃の範囲であり、一
般的には、８００乃至１２５０℃の範囲である。還元の
時間は、温度にもよるが、少くとも１５分、一般的には
１乃至４時間であるが、更に１）時間還元することに格
段の支障はない。温１度が６００℃未満の場合には、３
元反応が起こりに＜＜、難窒化金属材料の表面活性化が
不１分である。一方、１３５０°Ｃを越える場合には、
金属結晶粒が粗大化しすぎる結果、金属材料のＩＱ相そ
のものの室温程度の低温に於ける十分な強度を得ること
ができない。更には、　１３５０℃を越えると用いる帰
室化金属材１゛トによっては部分的に溶融して液相を生
じるため、留室化金属材料の変形が起こり好ましくない
。

本発明の方法における寝室化金属材ｙ１の窒化処理は、
以Ｆの様にして行なう。まず、前処理である還元による
流室化金属材料の表面活性化の後、炉内の雰囲気をその
まま保持しながらあるいは、真空にした後又は窒素、ア
ルゴン等の水素以外の也の無酸素のガス雰囲気に置換し
た復５７０°（：以下の温度に炉内の温度をドげる。Ｆ
げる温度のド限は限定的ではないが、通常は室温以ドに
Ｆげることは必ずしも必要ではない。次いで、Ｆげたま
まの４度条件で、もしくは所定の窒化温度条件にした後
、アンモニアガスを炉内に導入し、アンモニアガス雰囲
気中に留室化金属材料を暴露することにより行う。窒化
温度は３００乃至５７０℃であるが、特に優れた表面硬
さを得ようとする場合、４５０乃至５７０℃が好ましく
、更に好ましくは５００乃至５７０℃が更に好ましい。

ただし、特殊な用途、例えば精密Ａ１１ｌ定機番；（の
１有り１等小さな１と一力Ｆでの耐ＩＴ粍性、ｍＮ食情
が・Ｒめられるような場合、あるいは窒化層１１１１に
よる変形ｌｉｄが数μｍ以内であることが必′要な場合
には、窒化処理は３５０乃至５００℃の温度にて行うこ
とが好ましい。本発明の方法によれば、３００乃至５７
０℃の低ｄ１１Ｉで窒化を行うことができるため第１し
１に示ずような１ＩＩ（食ｆ１にｔＪ優れる化合物層２
（外部窒化層）が形成されるため、１食性の面でも優れ
た金属材料が得られる。窒化温度が３００℃未蓼の場合
には、窒化が起こりにくく、１１）られる６ソ属材事［
の表面硬さが不１分である。−・Ｉｆ、５７０°Ｃ′：
を越λると、得られる金属を４料の６ＩＪ！度が不１・
分てアロ、　！ｌｒｔ、ニア、１０°（：を越える１！
’Ｇ　Ｌ：Ａ　Ｉ／）場合には、１−記の様な化合物層
（外部窒化層）が形成されず、ｔ：）られる金属材１１
の耐食性がト分に改沖されない。窒化処理には、アンモ
ニアガスの代りに、アンモニアガスを含イ「する６１５
合気体、例えばアンモニアガスと水メ・１ガスとの混合
気体またはアンモニアガスと窒素ガスとの混合気体を用
いてｂ良い。アンモアガスと水メ１ガスの場合には、第
１図に示すような耐食性にも優れる化合物層２（外部窒
化層）が形成されるため、耐食性の面でも優れた金属材
料が得られる６窒化ｉｆＪ度が３００℃未満の場合には
、窒化が起こりにくく、得られる金属材料の窒化層の厚
さが不十分である。一方、５７０℃を越えると、得られ
る窒化層の硬さが不十分である。更に７４０℃を越える
高温の場合には、を記の様な化合物層（外部窒化層）が
形成されず、得られる金属材ｔ）の耐食性が十分に改Ｎ
されない。　窒化処理には、アンモニアガスの代りに、
アンモニアガスを含ｆｆする混合気体、例えばアンモニ
アガスと水素ガスとの混合気体またはアンモニアガスと
窒素ガスとの混合気体を用いても良い。アンモニアガス
と水素ガスの混合気体の場合には、少くとも５容ｒｆ＋
％のアンモニアガスを含んでいることが必要である。

又、アンモニアガスと窒素ガスの混合気体の場合には少
なくとも２０容量％のアンモニアガスを含んでいること
が必要である。アンモニアガス又はアンモニアガスを含
有する混合気体の圧力としては５００乃至１５２０Ｔｏ
ｒｒが選択される。窒化に要する時間は、（−１的によ
り適宜選択されるが少くとも約１５分であり、を業的に
は一般に数時間乃至１００時間程瓜である。

本発明の寝室化金属材料のアンモニアガス窒化処理方法
は、具体的には窒化の前処理としての水素ガスを用いる
湿空化金属材料の表面酸化膜の還元処理の間に、用いる
Ｎ′！：４化金属材料及び還元処理ｉ！、、ｌ瓜により
湿空化金属材料に水素が吸収されることがあり、その場
合窒化により最終的に得られる金属材料がもろくなるこ
とがある。従って、そのような場合には、還元処理から
窒化処理に移行する際に、無水素雰囲気、即ちｆｔｆ述
のように炉内を真空にするかまたは炉内の雰囲気を水素
以外の無酸素の雰囲気に置換することにより吸収された
水素を帰室化金屈材料から放出することができるのでり
ｆましい。

偉窒化金城材料に吸収された水素の放出処理は、具体的
には＋’ＩＱ処理である還元による湿空化金属材料の表
面活性化の後、炉内を真空にするか又は炉内の雰囲気を
水素以外の他の無酸素の雰囲気に置換した後５７０℃以
下の温度に冷却することにより行う。ｒｔ空Ｆで水素の
放出を行う場合の温度は限定的ではなく室、ｆ１４まで
ドげることもｉｉｌ能であるが、約１）０γ：未満のｉ
ＪＪ度では水素の放出の速度がｄくなるため１通常は約
！１０℃以」−の４１度で１１うことが好ましい。水素
の放出の温度は必ずしも一定に保持する必要はなく、連
続的に温度をＦげながら水素を放出させても貴い。

湿空化金属材料に吸収された水素の放出処理を行った場
合、その後の湿空化金属材料の窒化処理は、炉内を真空
のまま又は不活性ガスを炉内に導入した後、所定の窒化
処理温度にしてから、アンモニアガスを導入してアンモ
ニアガス雰囲気中に湿空化金属材料を暴露させるか又は
、まず炉内にアンモニアガスを導入してから所定の窒化
温度にしてアンモニアガス雰囲気に湿空化金属材料を暴
ｎさせて行う。上記の不活性ガスとして使用することが
できるものとして、Ｎ１、ｌｌｅ、　Ｎｅ、　Ａｒ、に
ｒ及びＸｅが半げられるが、費用の而からＮ、及び＾「
が好ましい。窒化処理の温度及び時間は水素の放出処理
を行なわない場合と同様、それぞれ３００乃至５７０ｘ
〕、好ましくは・１５０乃〒５７０℃、更に好ましくは
５００乃うζ５７０°０であり、少くとも約１５分、工
業的には一般に数時間乃至１００時間程度である。更に
、水素の放出処理を行なわない場合と同様、窒化処理に
は、アンモニアガスの代りにアンモニアガスを含有する
１１；ｉ述の混合気体を用いても良い。アンモニアガス
又はアンモニアガスを含’ｆｆする混合気体の圧力は５
００乃至＋５２０Ｔｏｒｒである。

本発明のアンモニアガス窒化処理方法により得られる窒
化金属材料は、化合物層（外部窒化層）及び拡散層（内
部窒化層）からなる優れた硬さを有する窒化層を有し、
その窒化層は母材と明白に区別できる。該窒化層は表面
からの深さに関係なく全体にわたってほぼ一定の硬さを
維持している。また、化合物層は耐食性にも優れている
ことから。

本発明ＪＪ法により表面硬度のみならず耐食性にも優れ
た金属材料を得ることができる。この窒化層の（７（１
は、顕ｖＩｉ鏡写真、ｘ！１回折等により確認すること
ができ、窒化金属材料の窒化層の硬さは例えば日本工業
規格によるＪＩＳ　Ｚ２２５１（＋９８０）ビッカース
硬さ試験法により測定できる。

以下実施例により本発明の詳細な説明するが、本発明は
これに限定されるものではない。

〔実施例１ 実施例１ 雰囲気１Ｎ＋御可能な槽、温度制御装置、ガス排気装置
及び排気ガスの防爆装置を備えた炉中にオーステナイト
系ステンレスｍ（ＪＩＳ　３０３３０４１４Ｍ）製ブロ
ック（２０＋ａｍ　Ｘ　Ｉ　５ｍｍ　Ｘ　３０ｍｍ）を
置き、炉内に０，８Ｔｏｒｒの水素ガスを導入して１２
００℃で１時間ブロックを水素ガスに暴露させ、ブロッ
クの表面酸化膜の還元を行った。炉内の雰囲気をそのま
ま保持しながら、温度を２００℃にまで下げ、炉内をｌ
Ｘｌ０−’Ｔｏｒｒ以下の真空とした後、炉内を室温ま
で冷却してブロックに吸収されている水素を放出せしめ
た。

窒素ガスを炉内に導入して炉内の圧力を７６０Ｔｏｒｒ
とし、再びＴＡ、ｍｔ、て炉内の温度を５５０℃とした
。

しかる後、炉内にアンモニアガスを導入して窒素ガスを
完全にアンモニアガスに置換し、炉内の圧力を７６０１
’ｏｒｒとしてアンモニアガス気流中にブロックを口）
時間暴露させ窒化を行った。窒化後ブロックを水で冷却
した。

得られた窒化ステンレス鋼ブロックをマイクロカッター
により、その表面に対して垂直に切断し、その切断面を
腐食１ｔ４ｆ（５ｇ　ＦｅＣＱ　、　＋２ｍ　Ｑ　ＩＩ
ｃ　Ｑ　＋！Ｉｆ’ｉｍ　Ｑ　Ｃ，ＩＩ、（ｉｌｌ）で
処理した後、光学顕微鏡で４００倍に拡大して写ｊ′に
１１ν影した。得られた写真を観察した活眼、第１図に
みられるように、化合物層２（外部窒化層）及び拡散層
３（内部窒化層）からなる厚さ約’Ｅ５（ｔｖａの窒化
層が形成されており、該窒化層はステンレス鋼のＩ’Ｊ
相４と視覚」−はっきりと区別されて観察される。この
窒化層のうち１表面１から厚さ数（ｔｒａ乃至約１０μ
陽の部分が腐食液により腐食を受けない耐食性に優れる
化合物層２であった。

また、窒化層の硬さは、腐食液による処理を施ず１）Ｉ
Ｉに、窒化ステンレス鋼ブロックの上記と同じ断面にお
いて１１本−１，業規格ＪＩＳ　Ｚ２２５１（１９８０
）による方法に従い、島γ１１製住所製１１ＭＶ−２０
００型ビッカース硬さ試験機を用い４１１Ｉ定荷電ｔｏ
ｏｇで測定したところ、第２図の○印でプロットした線
図に示すようにその表面からの距離に関係なくほぼ一定
で、微小硬さ（ｌｌＶ（＋００ｇｒ）］約１１０（］と
優れたものであった。更に、窒化ブロックの表面を米国
フィリップスｔ］−製Ｘ線回折装置ＮＯＩ？ＥＬＣＯ（
ターゲットＣＯ１加速電圧３５ｋＶ、電流１０ＩＩｌ＾
、Ｇｏ−Ｋａ線Ｊ　Ｋ　ａ　、　＝　１．７８８９０（
入）。

λにα、　＝　１．７９２７８（入）、鉄フィルター使
用）を用いて分析した結果、第３図に示すように、ブロ
ックの母材であるＪＩＳ　５ｔｌＳ３０４Ｌ鋼中の鉄と
の窒化物Ｆｅ。

Ｎ、ｙ　’−Ｆｃ、Ｎ、ε−Ｆｅ、、、Ｎ及びクロムと
の窒化物ＣｒＮが検出され窒化層が形成されていること
がわかった。

実施例２ 実施例１で用いた炉内に実施例１で用いたと同じブロッ
クを置き、炉内に１．０Ｔｏｒｒの水素ガスを導入して
１０００℃で４時間ブロックを水素ガスに暴〃させ、ブ
ロックの表面酸化膜の還元を行った。

炉内の雰囲気をそのまま保持しながら、温度を５５０℃
にまで下げた。炉内の温度が５５０℃に達した時、窒素
ガスを炉内に導入し、水素ガスを完全に窒素ガスに置１
１Ｈして炉内の圧力を７６０　’ｌ’　ｏ　ｒ　ｒとし
た。しかる後、７６０　Ｔ　ｏ　ｒ　＋のアンモニアガ
スを炉内に導入し７、窒素ガスをアンモニアガスに置換
してアンモニアガス中にブロックを２０時間暴露させ窒
化を行った、窒化後ブロックを水で冷却した。

得られた窒化ステンレス鋼を実施例１と同様に切断し、
実施例と同様の方法で硬さの泪り定を行ったところ、第
２図のΔ印でブロツトシた線１夕１に示すように、厚さ
約１２５１Ｌ＊の窒化層が形成されていることが認めら
れるとともに、窒化層の硬さは、ブロックの１２面から
の距離にほとんど関係なくほぼ　定で、微小６す！さ団
Ｖ（ｔｏｏ　ｇｒ）］約１０５０と優れたものであった
。

実１１６ｉ　（１１１’！ 実１＋ｈ１例１で用いた炉内に実施例１で用いたと同じ
プロツノ７を置き、炉内に１ＯＴｏｒｒの水素ガスを導
入して７０（］’Ｃで１時間ブロックを水素ガスにｉｈ
′ＩＡさせ、ブロックの表面酸化膜の還元を行った。炉
内の″ノ？囲気をそのまま保ｔ？シながら、温度を３０
０℃にまで１・げた。温度が３００℃に達した時、１分
以内に炉内の雰囲気をアンモニアガスに置換して炉内の
圧力を７６０’ｒｏｒｒとして、ブロックを３００℃で
４９時間アンモニアガスに暴露させ窒化を行った。窒化
後ブロックを水で冷却した。

得られた窒化ステンレス鋼の表面を島津製作所製Ｘ線回
折装置Ｘ＋）−６１０（ターゲットＣｕ、加速電圧３０
ｋＶ、電流ＩＯ＋＊＾、Ｃ＋＋−にａｓａλにａ、　＝
１，５４０５０（八）λにα、　＝　Ｉ　、　５４４３
３　（人）、ニッケルフィルター使用）を用いて分析し
た結果、第４図に示すように、ブロックの母材であるＪ
ＩＳ　５ＵＳ３０４＋、鋼中の鉄との窒化物１ンｅ、Ｎ
、γ’　−Ｆｃ、Ｎ及びクロムとの窒化物Ｃｒ、　Ｎが
検出され窒化層が形成されていることがわかった。

〔発明の効果） 本発明の難窒化金属材料のアンモニアガス処理Ｉｆ　ｕ
：は、寝室化金属材料を窒化する際に、前処理として水
素ガスにより浮室化金属材料の表面酸化膜を還元して表
面活性化を行うため、従来の酸性溶液を用いる方法にお
いて問題となる廃液による公害の恐れが無いのみならず
、也の従来の酸性溶液を用いない方法と比較して低温で
無空化金属材料の窒化を行うことができるため、硬さが
１−分な窒化金属材料を得ることができる。更に、低温
での無空化金属材料の窒化が５（能であるため、難窒化
金属材料の表面に１食性の化合物層が形成されるため、
耐食性がより改善された窒化金属材料を得ることができ
る。本発明の方法は以上のような利点をイ１″するため
、公害防１１一対策の必要が無く費用が節減でき、硬さ
が十分であり、耐食性にも優れた窒化金属材料を毘υ魁
することができるという極めて望ましい効果を有するも
のである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の方法により得られた窒化ステンレス
鋼の断面の金属組織の顕微鏡写真である。 第２図は、本発明の方法により得られた窒化ステンレス
鋼の表面からの深さ（μｍ）とビッカース硬さ団Ｖ（ｌ
ｏｏｇ［）］との１１４１係を示すグラフである。第；
３図及び１７１４図は１本発明の方法により得られた窒
化ステンレス鋼の表面層のＸ線回折分析の結果を示すグ
ラフである。 １・ 表面、２・−・化合物層（外部窒化層）、３・・・拡散
層（内部窒化層）、４・・ステンレス鋼１！ｊロー

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、難窒化金属材料を６００乃至１３５０℃の温度で水
   素ガスに暴露させ該難窒化金属材料の表面酸化膜を還元
   する工程と、還元処理を受けた該難窒化金属材料を３０
   ０乃至５７０℃の温度でアンモニアガス又はアンモニア
   ガスを含む混合気体の雰囲気中に暴露する工程とからな
   ることを特徴とする難窒化金属材料のアンモニアガス窒
   化処理方法。