JPH02112312A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
- Publication number
- JPH02112312A JPH02112312A JP26407288A JP26407288A JPH02112312A JP H02112312 A JPH02112312 A JP H02112312A JP 26407288 A JP26407288 A JP 26407288A JP 26407288 A JP26407288 A JP 26407288A JP H02112312 A JPH02112312 A JP H02112312A
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- JP
- Japan
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- electrode
- acoustic wave
- piezoelectric substrate
- surface acoustic
- electrodes
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- Pending
Links
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 12
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
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- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は電子デバイス等に適用される弾性表面波装置に
係わり、特にチャーブレーダ方式或いは信号処理方式で
用いられるＲＡＣ分散型遅延線の人力部構造を改良した
弾性表面波装置に関する。
係わり、特にチャーブレーダ方式或いは信号処理方式で
用いられるＲＡＣ分散型遅延線の人力部構造を改良した
弾性表面波装置に関する。
従来この種の弾性表面波装置として、圧電基板上に弾性
表面波変換用のすだれ状電極と反射用の格子状電極とを
設けた分散型遅延線を有するものが知られている。
表面波変換用のすだれ状電極と反射用の格子状電極とを
設けた分散型遅延線を有するものが知られている。
このような分散型遅延線のすだれ状電極は、信号入出力
用の端子に、アルミニウム細線等からなるボンディング
ワイヤを介して電気的に接続されている。
用の端子に、アルミニウム細線等からなるボンディング
ワイヤを介して電気的に接続されている。
ところで、ボンディングワイヤの長さが大きい場合、信
頼性確保のため同ワイヤを大径としており、一般デバイ
スでは十分な効果が得られている。
頼性確保のため同ワイヤを大径としており、一般デバイ
スでは十分な効果が得られている。
しかし、例えば人工衛生搭載用特棟デバイス等の場合に
は、ランダム振動等が考えられ、−層のワイヤ信頼性向
上が望まれる。
は、ランダム振動等が考えられ、−層のワイヤ信頼性向
上が望まれる。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、入出
力端子との接続用ボンディングワイヤの長さを短縮する
ことにより、−層の信頼性向上が図れる弾性表面波装置
を提供することを目的とする。
力端子との接続用ボンディングワイヤの長さを短縮する
ことにより、−層の信頼性向上が図れる弾性表面波装置
を提供することを目的とする。
本発明は、圧電基板上に弾性表面波変換用のす、・１′
！れ状電極と反射用の格子状電極とを設けた分散型遅延
線を有するものにおいで、圧電基板の端部近傍に入出力
信号中継用バンド電極を設け、このパッド電極どすだれ
状電極とをボンディングワイヤに４よ−っＣ接続し、も
ってボンディングワイヤは、すだれ状電極までの短いも
のとすることを可能とし７、前記の目的を達成するもの
である。
！れ状電極と反射用の格子状電極とを設けた分散型遅延
線を有するものにおいで、圧電基板の端部近傍に入出力
信号中継用バンド電極を設け、このパッド電極どすだれ
状電極とをボンディングワイヤに４よ−っＣ接続し、も
ってボンディングワイヤは、すだれ状電極までの短いも
のとすることを可能とし７、前記の目的を達成するもの
である。
１実施例〕
以下、本発明の一実施例を第１図を参照して説明する、
。
。
・二の実施例では圧電基板１が例えばＢｉ＋２ＧｅＯ２
゜ｉ１１↓、２′されており、この圧電基板１の表面に
弾性表面波変換用のすだれ状電極２と反射用の格子状電
極３とが形成され、これにより分散型遅延線４とされで
いる。なお、この分散型遅延線４の格子溝：１深さが変
化し、いわゆるＲ Ａ Ｃ（ＲｅｆｌｅｃｔｉｖｅＡｒ
ｒａｙ Ｃｏｍｐｒｅｓｓｏｒ）タイプとされている。
゜ｉ１１↓、２′されており、この圧電基板１の表面に
弾性表面波変換用のすだれ状電極２と反射用の格子状電
極３とが形成され、これにより分散型遅延線４とされで
いる。なお、この分散型遅延線４の格子溝：１深さが変
化し、いわゆるＲ Ａ Ｃ（ＲｅｆｌｅｃｔｉｖｅＡｒ
ｒａｙ Ｃｏｍｐｒｅｓｓｏｒ）タイプとされている。
圧電基板１の端部近傍表面に入出力信号中継用の複数の
パッド電極５が設けられ、この各パッド電極５とすだれ
状電極２とがそれぞれアルミニウム等からなるボンディ
ングワイヤ６によって電気的に接続されている。
パッド電極５が設けられ、この各パッド電極５とすだれ
状電極２とがそれぞれアルミニウム等からなるボンディ
ングワイヤ６によって電気的に接続されている。
なお、パッド電極５と図示省略の入出力用端子とは直接
に、または短い配線によって接続されている。
に、または短い配線によって接続されている。
このような実施例の構成によると、すだれ状電極２から
引き出されるボンディングワイヤ６がパッド電極までの
長さの短いものとなるため、例えば人工衛生搭載用の特
殊デバイスのごとく、ランダム振動を受ける場合にも大
きい強度を有するものとなり、従来に比して一層の信頼
性向上が図れるようになる。
引き出されるボンディングワイヤ６がパッド電極までの
長さの短いものとなるため、例えば人工衛生搭載用の特
殊デバイスのごとく、ランダム振動を受ける場合にも大
きい強度を有するものとなり、従来に比して一層の信頼
性向上が図れるようになる。
なお、本実施例のように、ボンディングワイヤ６によっ
てすだれ状電極２とパッド電極５とを接続した場合には
、フィルタ帯域外減衰特性が損なわれることがなく、信
号処理用として最も懸念される位相の乱れも生じないこ
とが確認された。これは、導波路上にパターン形成する
場合の、ような阻害要因がないためと考えられる。
てすだれ状電極２とパッド電極５とを接続した場合には
、フィルタ帯域外減衰特性が損なわれることがなく、信
号処理用として最も懸念される位相の乱れも生じないこ
とが確認された。これは、導波路上にパターン形成する
場合の、ような阻害要因がないためと考えられる。
以上のように、本発明の弾性表面波装置によると、圧電
基板上にバンド電極を設け、このパッド電極とすだれ状
電極とをボンディングワイヤで接続するようにしたこと
により、ボンディングワイヤの長さ短縮が図れ、ワイヤ
信頼性の一層の向上が図れるようになり、ランダム振動
を受ける特殊デバイス等において優れた効果が奏される
。
基板上にバンド電極を設け、このパッド電極とすだれ状
電極とをボンディングワイヤで接続するようにしたこと
により、ボンディングワイヤの長さ短縮が図れ、ワイヤ
信頼性の一層の向上が図れるようになり、ランダム振動
を受ける特殊デバイス等において優れた効果が奏される
。
第１図は本発明に係わる弾性表面波装置の一実施例を示
す平面図である。 １・・・・・・圧電基板、２・・・・・・すだれ状電極
、３・・・・・格子状電極、４・・・・・・分散型遅延
線、５・・・・・・パッド電極、６・・・・・・ボンデ
ィングワイヤ。
す平面図である。 １・・・・・・圧電基板、２・・・・・・すだれ状電極
、３・・・・・格子状電極、４・・・・・・分散型遅延
線、５・・・・・・パッド電極、６・・・・・・ボンデ
ィングワイヤ。
Claims (1)
- 圧電基板上に弾性表面波変換用のすだれ状電極と反射用
の格子状電極とを設けた分散型遅延線を有するものにお
いて、前記圧電基板の端部近傍に入出力信号中継用のパ
ッド電極を設け、このパッド電極と前記すだれ状電極と
をボンディングワイヤによって接続したことを特徴とす
る弾性表面波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26407288A JPH02112312A (ja) | 1988-10-21 | 1988-10-21 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26407288A JPH02112312A (ja) | 1988-10-21 | 1988-10-21 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02112312A true JPH02112312A (ja) | 1990-04-25 |
Family
ID=17398130
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26407288A Pending JPH02112312A (ja) | 1988-10-21 | 1988-10-21 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02112312A (ja) |
-
1988
- 1988-10-21 JP JP26407288A patent/JPH02112312A/ja active Pending
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