JPH02110592A

JPH02110592A - 固体表示装置

Info

Publication number: JPH02110592A
Application number: JP26430788A
Authority: JP
Inventors: Tadayasu Fukatsu; 深津　忠泰
Original assignee: Fujitsu General Ltd
Current assignee: Fujitsu General Ltd
Priority date: 1988-10-20
Filing date: 1988-10-20
Publication date: 1990-04-23

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】「産業上の利用分野」本発明は光学セラミックスシャッタを用いたクロストー
クのない固体表示装置に関するものである。

「従来の技術」近年、Ｐ　Ｌ　Ｚ　Ｔ　（例えば（Ｐｂ５−ｇｌ　Ｌａ
ａ、ａｓ）（Ｚｒｏ。

６４ｉｏ＋ａｓ）。、９７７５０３）を用いた光シャッ
タヤティスプレイの研究開発が盛んになってきた。この
ＰＬＺＴをライトバルブとして用いたイメージプロジェ
クタ−は高輝度、高精細化が期待されているが、その電
極構造が間層となっていた。

本出願人は第３図（ａ）（ｂ）に示すような全く新しい
製造方゛法により作られた光学セラミックスシャッタ（
］０）をすでに提案した。この光学セラミックスシャッ
タ（１ｏ）は厚さが約１　、０ｍｍの透明なＰＬＺＴセ
ラミックプレート（以下Ｐ　Ｌ　Ｚ　Ｔプレートという
）（１１）に、光軸（光線の入射する方向）と平行な垂
直走査内部電極群（１２）・・・と、水平走査内部電極
群（１３）・・・が一定間隔で埋設されており、これら
のうち垂直走査内部電極群（１２）・・・は外部電極（
１４）・・・を介して垂直端子（１５）・・・に結合さ
れ、前記水平走査内部Ｗ１電極（１３）・・・は直接、
水平端子（１６）・・・に結合されている。そして、水
平走査内部電極（１３）とその両側の垂直走査内部電極
（１２）（１２）で囲まれた部分が１つの画素（１７）
・・・を構成している。

この光学セラミックスシャッタ（１０）の製造方法を第
４図の製造工程と第５図のフローチャートにより説明す
る。

（１）硝酸鉛（Ｐｂ（Ｎｏ３）、）溶液、硝酸ランタン
鉛（Ｌａ（ＮＯｉ）ａ）溶液、硝酸ジルコニウム（Ｚｒ
（Ｎ。

、）２）溶液、チタンアルコキシド（Ｔｉ（ｎ−ｏ−Ｃ
４Ｈ９）４）溶液を所定の割合で混合する０例えばＰＬ
ＺＴ　（９／６５／３５）すなわちＰｂ６−ｓｌ　Ｌａ
（１＋＋ｏｇ　Ｚｒａｎｓｓ　Ｔｘ、。

１．Ｏｌとなるように各溶液の割合を予め設定して混合
する。このとき、ρ１１調整のためＮＨ，ＯＨを混合し
て約１時間混合する。

（２）混合した後、静止すると微粒子が共沈するので、
これを濾紙にて濾過する。このとき、沈澱物は水酸化物
となるので脱イオン水で洗浄しながらｔ濾過する。

（３）微粒子を約１２０℃で約５時間乾燥した後、ポリ
エチレンポットにジルコニアボールとアセトンを入れて
ボールミルで約２０時間撹拌し、これをフィルターで濾
過し、再度約１２０℃で約５時間乾燥する。

（４）乾燥した微粉末を高純度（９９，５％以上）のア
ルミナのるつぼに入れて約８００℃で約２時間仮焼成す
る。

（５）再び前記（３）の工程を繰返えす。すると、ＰＬ
ＺＴの粉末が得られる。このときの粉末の特性は、比重
７．８ｇ／ｄ、１次粒子径（最小径）約０．１　μｒｎ
。

２次粒子径（最大径）約０．９２μｍ、比表面積約８．
４イ／ｇであった。

（６）ＰＬＺＴの共沈粉末に、有機バインダ（ポリビニ
ルブチラール）、可塑剤（ジブチルフタレート）、有機
溶剤（メチルエチルケトンとトルエンの５０％ずつの混
合液）を加え、ボールミルで撹拌し、スラリー状物を作
る。これを真空脱泡器で溶剤を除去し、粘度１０．００
（１〜３０，０００ｃ、ｐ、とする。

（７）このスラリー状物を第４図の（ａ）に示すように
、約８０℃の雰囲気中を３０ｃｍ／ｗｉｎ程度で移動す
るテープ（１８）上にドクターブレードシート成型機を
用いてＰＬＺＴのグリーンシート（生シート）（１９）
を形成する。このときの生シート（１９）は厚さ約１４
０μｍのものが得られる。

（８）第４図（ｂ）に示すように、生シート（１９）を
フィルム（１８）付きのまま所定の大きさの正４角形に
型抜きする。そして第４図（ｃ）に示すように白金厚膜
ペーストで電極を印刷する。このとき、生シート（１９
）の４隅には位置合せ孔（１９ｃ）を穿設するとともに
、左上隅の１個所にブランキング目印（１９ｄ）をつけ
る、そして、第４図（ｄ）に示すようにこの目印（１９
ｄ）が左上に位置したものを垂直走査内部電極（１２）
とし、また、生シート（１９）を９０度回転して左上隅
に位置したものを水平走査内部電極（１３）とする。

（９）これら垂直走査内部電極（１２）を印刷した生シ
ート（１９ａ）と水平走査内部電極（１３）を印刷した
生シート（１９ｂ）を、テープ（１８）を剥して交互に
積層し、約７０℃、約３０００ｐｓｉで約３０分間熱圧
着し、さらに５００〜６００℃で数時間加熱し、バイン
ダを除去しながら雰囲気焼結する。すると、第４図（ｅ
）のような積層型Ｐ　Ｌ　Ｚ　Ｔ　（２２）が形成され
る。

（１０）この積層型Ｐ　Ｌ　Ｚ　Ｔ　（２２）を第４図
（ｆ）のようにダイヤモンドブレードで厚さ約１．Ｏｎ
ｗｍに切断してプレートを形成する。このとき、水平走
査内部電極（１３）が略中央で切断される位置で切断し
て一端面を露出させるにの切断されたプレートの両面を
鏡面に研磨し、さらに、垂直走査内部電極（１２）・・
・に外部電極（１４）をできるだけ細く導電性接着剤で
形成し、最後に、垂直端子（１５）と水平端子（１６）
を接続する。

［発明が解決しようとする課題」以上のようにして構成された光学セラミックスシャッタ
（ｌＯ）は本質的にクロストークの少ないものであるが
、依然として若干のクロストークが残る。例えば第３図
（ａ）において、各画素（１７）を容量成分とし、水平
端子（ｂ）と垂直端子（Ｂ）間に電界をかけてＣ０を選
択したものとする。この０２□だけが選択されたにも拘
らず、付近の素子（１７）への回り込みによるクロスト
ークが生じ、解像度を劣化させている。

本発明は各画素にスイッチを設けることによりこのよう
な回り込みによるクロストークを除去することを目的と
するものである。

「課題を解決するための手段」本発明はＰＬＺＴの光学セラミックスプレートの内部に
垂直走査内部電極群と水平走査内部電極群を埋設して対
向する電極間毎に画素を形成してなるものにおいて、前
記垂直走査内部電極群を各垂直ライン毎に垂直走査外部
電極に結合し、前記水平走査内部電極群を、各水平走査
ライン毎に水平走査駆動用外部電極と機械的スイッチを
介して結合してなるものである。

「作用」すべての水平走査内部電極を接地しておき、ある垂直走
査内部電極に電界をかけ、かつ目的の水平ラインのアク
チュエータに信号を送ると、その１本の水平ラインのみ
機械的スイッチが導通して水平走査内部電極と水平走査
駆動用外部電極を短絡する。このため、他の水平ライン
への回り込みがなくなり、クロストークが除去される。

「実施例」以下１本発明の一実施例を図面に基づき説明する。

第１図（ａ）（ｂ）において、第３図（ａ）（ｂ）と異
なる・ところは、水平走査内部電極（１３）・・・が各
画素（１７）・・・毎に分離し、また導電性パーなどか
らなる水平走査駆動用外部電極（２０）が１水平ライン
毎に水平走査内部電極（１３）とわずかな間隔を持って
形成されている点である。そして、この水平走査駆動用
外部電極（２ｏ）には対応する水平走査内部電極群（１
３）・・・と接離する機械的スイッチとしての接触片群
（２］）・・・が設けられている。さらに、前記水平走
査駆動用外部電極（２０）には、接触片群（２１）・・
・を高速で可動するための圧電素子からなるアクチュエ
ータ（２３）が設けられている。このアクチュエータ（
２３）は電磁的手段で作動するものであってもよい。

以上のような構成において、水平走査内部電極（１３）
・・・をすべで接地すると、第１図に示す光学セラミッ
クスシャッタ（１０）は第２図に示す等価回路となる。

ここで、第１図および第２図において目的の水平端子（
１６ｂ）に信号を印加し、水平ライン用アクチュエータ
（２３）を駆動し、かつ目的の垂直端子（１５ｂ）に電
界をかけると、１本の水平ラインの全てのスイッチ電極
（ｓｌ）（ｓ、）（Ｓ、）と水平走査内部電極（１３）
とが短絡され、同時にオンする。すると、垂直端子（１
５ｂ）との画素（１７）だけが選択される。

なお、相隣る２以上の垂直端子（１５）・・・が選択さ
れて同時に電界がかけられても、選択された垂直端子（
１５）・・・に対応する画素（１７）・・・だけが選択
される。

このことは、隣接する画素（１７）による回り込みがな
くクロストークが除去される。

「発明の効果」本発明は上述のように構成したので、各画素の容量を通
して隣接する画素に生じるクロストークを除去すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）　（ｂ）は本発明による固体表示装置の正
面図と断面図、第２図は同上等価回路図、第３図（ａ）
（ｂ）は本出願人の先に提案した固体表示装置の正面図
と側面図、第４図（ａ）〜（ｇ）は製造工程の説明図、
第５図は製造工程のフローチャートである。（１０）・・光学セラミックススイッチ、（１１）・・
ＰＬＺＴプレート、（１２）・・・垂直走査内部電極、
　（１３）・・・水平走査内部電極、（１４）・・・外
部電極、　（１５）（１６）・・・端子、（１７）・・
・画素、（１８）・・・テープまたはフィルム、（１９
ａ）・・・垂直走査電極用生シート、（１９ｂ）・・・
水平電極用生シート、（１９ｃ）・・・位置合せ孔、（
１９ｄ）・・ブランキング目印、（２０）・・・水平走
査駆動用外部電極。（２１）・・・機械的スイッチ、（２２）・・・積層型
ＰＬＺＴ、（２３）・・アクチュエータ。第図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）ＰＬＺＴの光学セラミックスプレートの内部に垂
直走査内部電極群と水平走査内部電極群を埋設して対向
する電極間毎に画素を形成してなるものにおいて、前記
垂直走査内部電極群を各垂直ライン毎に垂直走査外部電
極に結合し、前記水平走査内部電極群を、各水平走査ラ
イン毎に水平走査駆動用外部電極と機械的スイッチを介
して結合してなることを特徴とする固体表示装置。
（２）機械的スイッチは圧電素子からなるアクチュエー
タで駆動してなる請求項（１）記載の固体表示装置。
（３）機械的スイッチは電磁的手段からなるアクチュエ
ータで駆動してなる請求項（１）記載の固体表示装置。