JPH02107681A - Photo-sensitive tacky adhesive sheet - Google Patents

Photo-sensitive tacky adhesive sheet

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Publication number
JPH02107681A
JPH02107681A JP63260419A JP26041988A JPH02107681A JP H02107681 A JPH02107681 A JP H02107681A JP 63260419 A JP63260419 A JP 63260419A JP 26041988 A JP26041988 A JP 26041988A JP H02107681 A JPH02107681 A JP H02107681A
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JP
Japan
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adhesive
sheet
actinic light
color
action
Prior art date
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Pending
Application number
JP63260419A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hideaki Okumura
奥村 秀明
Fumio Kawamura
史生 河村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tomoegawa Co Ltd
Original Assignee
Tomoegawa Paper Co Ltd
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Publication date
Application filed by Tomoegawa Paper Co Ltd filed Critical Tomoegawa Paper Co Ltd
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Abstract

PURPOSE:To obtain the subject sheet capable of detecting the variation of radiation energy of actinic light such as ultraviolet ray and useful for electrical insulation, etc., by laminating a substrate with a layer developing color with actinic light and a tacky adhesive layer decreasing the tacky adhesive force with actinic light. CONSTITUTION:The objective photo-sensitive tacky adhesive sheet is produced by laminating a substrate 1 (e.g. cellophane) with (A) a color-developing layer 2 composed of e.g. 10pts.wt. of a pigment precursor (e.g. triphenylmethane compound), 0.1-100pts.wt. of a photo-activator (e.g tetrabromic acid) and 1-1,000pts. wt. of a polymeric binder (e.g. ethylcellulose) and (B) a tacky adhesive layer 3 (e.g. a layer composed of a copolymer of glycidyl methacrylate and isooctyl acrylate).

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は 活性光の作用によって発色し、粘着力の低下
をきたす光感受性粘着シートに関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to a photosensitive adhesive sheet which develops color under the action of actinic light and whose adhesive strength decreases.

従来の技術 従来、電子工業においては、電気絶縁用、表示ラベル用
、両面接着用、マスキング用、包装用、表面保護用、結
束固定用等の各種用途に、粘着製品が用いられている。
BACKGROUND ART Conventionally, adhesive products have been used in the electronics industry for various purposes such as electrical insulation, display labels, double-sided attachment, masking, packaging, surface protection, and binding and fixing.

粘着製品の用途の一つに紙テープがある。例えば、包装
用として、プリント基板に抵抗体、コンデンサー、半導
体チップなど、各種部品を組込むために、自動挿入機(
インサーター)が使用されており、これらの部品を順番
に並べて整理するために、自動順列機(シーケンサ)か
用いられているが、その際の部品の保持には粘着剤を付
与した紙テープが用いられる。これらの紙テープの要求
特性としては、部品の保持時には、十分の粘着時を有す
るか、部品のピックアップ時には、真空パレット等の工
具で容易にピンクアップされ、フレームに組込むことが
可能なことがあげられる。
Paper tape is one of the uses of adhesive products. For example, automatic insertion machines (
An automatic sequencer is used to arrange these parts in order, but paper tape with adhesive is used to hold the parts. It will be done. The required characteristics of these paper tapes are that they have sufficient adhesion when holding parts, and that they can be easily pinked up using tools such as a vacuum pallet when picking up parts, and that they can be assembled into a frame. .

粘着製品の別の用途としては、例えば、ダイシングテー
プがある。ダイシングテープは、半導体の素子形成(パ
ターニング)を完了したシリコン等のウェハーの細分化
(ダイシング)時に、パターニング済みのウェハーの固
定に用いるものである。すなわち、まずウェハーを両面
粘着テープ或いは自己粘着フィルムに貼り付け、その後
、ウェハーをハーフカットし、ブレーキングで切り離し
てウェハーをチップに分割し、各チップを吸着方式など
によってピックアップする。
Another use for adhesive products is, for example, dicing tape. A dicing tape is used to fix a patterned wafer when a wafer of silicon or the like is divided into pieces (dicing) after semiconductor element formation (patterning) has been completed. That is, first, a wafer is attached to a double-sided adhesive tape or a self-adhesive film, and then the wafer is cut in half and separated by braking to divide the wafer into chips, and each chip is picked up by a suction method or the like.

粘着製品のさらに池の用途として、フェライトやシリコ
ンウェハーなどの表面を平坦に加工するラッピング作業
、或いはシリコンウェハーの裏面を粗面に加工するグラ
インディング作業において、被加工物を固定するのに用
いる粘着テープがある。
Adhesive products can also be used to fix workpieces in lapping work, where the surfaces of ferrite and silicon wafers are processed to make them flat, or in grinding work, where the back side of silicon wafers is processed into a rough surface. There's a tape.

この粘着テープは、作業時には被加工物を強く保持して
いるが、作業終了後には容易に剥離できるものである。
This adhesive tape strongly holds the workpiece during work, but can be easily peeled off after work is completed.

上記例示したような用途に使用する粘着テープ或いは粘
着フィルム等の粘着製品(以下、粘着シートと言う)は
、その使用に際して作業工程に対応して、高粘着力と低
粘着力という二つの異なる機能が適宜付与されることが
必要である。
Adhesive products such as adhesive tapes and adhesive films (hereinafter referred to as adhesive sheets) used in the above-mentioned applications have two different functions: high adhesive strength and low adhesive strength, depending on the work process. It is necessary to provide appropriate information.

従来、これらの機能が付与された粘着シートとしては、
紫外線感応型の粘着シートが知られている。この型の粘
着シートは、基体上に紫外線の作用によって粘着力が変
化する組成物の層を設けたものであり、例えば、ダイシ
ングの作業を行う場合、ダイシング、ブレーキングまで
の工程では、強い粘着力を保持しており、ダイシング後
のチップ化されたウェハーに対しては、ピックアップ直
前に紫外線を照射することによって、粘着力が急激に低
下するものであって、チップを取り出すことが可能にな
る。
Conventionally, adhesive sheets with these functions include:
Ultraviolet-sensitive adhesive sheets are known. This type of adhesive sheet has a layer of a composition on the substrate whose adhesive strength changes depending on the action of ultraviolet rays. By irradiating the wafer into chips after dicing with ultraviolet rays immediately before picking up, the adhesive strength rapidly decreases, making it possible to take out the chips. .

発明が解決しようとする課題 上記紫外線感応型の粘着シートは、水銀ランプ、メタル
ハライドランプのような光源から放射される紫外線エネ
ルギーの作用によって粘着剤が光化学的に変化し、粘着
力が低下するという現象を利用するものである。
Problems to be Solved by the Invention The above-mentioned ultraviolet-sensitive adhesive sheet has a phenomenon in which the adhesive is photochemically changed by the action of ultraviolet energy emitted from a light source such as a mercury lamp or a metal halide lamp, resulting in a decrease in adhesive strength. It uses

ところで、上記の櫟な光源は、それを継続して使用する
と劣化したり、またラング管壁、反射ミラー或いはフィ
ルター等の汚れが生じる結果、紫外線の放射エネルギー
(出力)の低下を来たす。
By the way, if the above-mentioned straight light source is used continuously, it deteriorates and the Lang tube wall, reflection mirror, filter, etc. become dirty, resulting in a decrease in the radiant energy (output) of ultraviolet rays.

従来の粘着シートを用い、光源からの紫外線の出力の検
知又は補正を行なわずに、上記したダイシンク等の作業
を進めた場合、上記の櫟な紫外線の出力低下を来たした
結果、粘着シートに要求される粘着力の低下か充分に起
こらず、作業に支障を来たすという問題かあった。
If you use a conventional adhesive sheet and proceed with the die sinking process described above without detecting or correcting the output of ultraviolet rays from the light source, the output of ultraviolet rays described above will decrease, resulting in the adhesive sheet becoming There was a problem that the required adhesive strength did not decrease sufficiently, causing problems in the work.

従来、この様な紫外線の出力低下に起因して、粘着テー
プの粘着力の低下が不十分になったことを直接検知する
ことは行われておらず、したがって、粘着テープの粘着
力の低下の度合を簡単に検知する技術の開発が望まれて
いた。
Conventionally, it has not been possible to directly detect whether the adhesive strength of the adhesive tape has insufficiently decreased due to such a decrease in the output of ultraviolet rays. There was a desire to develop a technology that could easily detect the degree of damage.

本発明は、従来の技術における上記の間防点に鑑みてな
されたものである。
The present invention has been made in view of the above-mentioned problems in the prior art.

したがって、本発明の目的は、紫外線等の活性光の放射
エネルギーの変動か検知可能な光感応・四粘着シートを
提供することにある。
Therefore, an object of the present invention is to provide a photosensitive four-adhesive sheet that can detect changes in the radiant energy of active light such as ultraviolet rays.

課題を解決するための手段及び作用 本発明者は、紫外線などの活性光の作用によって種々の
物性変化を来たすシートにつき、鋭意研究の結果、特定
の層構成を有するシートを使用することにより、上記の
目的が達成されることを見出だし、本発明を完成するに
至った。
Means and Effects for Solving the Problems The present inventor has conducted intensive research on sheets that undergo various physical property changes due to the action of active light such as ultraviolet rays, and has solved the above problems by using a sheet having a specific layer structure. The inventors have discovered that the above objectives can be achieved, and have completed the present invention.

本発明の第1の光感受性粘着シートは、基体上に、活性
光の作用によって発色する組成物よりなる発色層、及び
該活性光の作用によって粘着力が低下する粘着層を積層
してなることを特徴とする。
The first photosensitive adhesive sheet of the present invention is formed by laminating, on a substrate, a coloring layer made of a composition that develops color under the action of active light, and an adhesive layer whose adhesive strength decreases under the action of the active light. It is characterized by

第2の光感受性粘着シートは、基体の一面に活性光の作
用によって発色する組成物よりなる発色層を設け、他面
に該活性光の作用によって粘着力が低下する粘着層を設
けてなることを特徴とする。
The second photosensitive adhesive sheet is provided with a coloring layer made of a composition that develops color by the action of active light on one side of the base, and an adhesive layer whose adhesive strength decreases by the action of the active light on the other side. It is characterized by

第3の光感受性粘着シートは、活性光の作用によって発
色する組成物を含有する基体上に、該活性光の作用によ
って粘着力が低下する粘着層を設けてなることを特徴と
する。
The third photosensitive adhesive sheet is characterized in that an adhesive layer whose adhesive strength is reduced by the action of actinic light is provided on a substrate containing a composition that develops color by the action of actinic light.

さらに、第4の光感受性粘着シートは、基体上に、活性
光の作用によって発色すると共に、粘着力が低下する発
色性粘着層を設けてなることを特徴とする。
Furthermore, the fourth photosensitive adhesive sheet is characterized in that a color-forming adhesive layer is provided on the substrate, which develops color under the action of actinic light and whose adhesive strength decreases.

以下、図面を参酌して本発明の光感受性粘着シートを説
明する。
Hereinafter, the photosensitive adhesive sheet of the present invention will be explained with reference to the drawings.

第1図ないし第4図は、それぞれ本発明の第1ないし第
4の光感受性粘着シートの模式的断面図を示す、第1図
においては、基体1上に、活性光の作用によって発色す
る組成物よりなる発色層2及び該活性光の作用によって
粘着力が低下する粘着層3が順次積層されている。第2
図においては、基体1の一面に上記発色層2が、また他
面に上記粘着層3か設けられている。第3図においては
、活性光の作用によって発色する組成物を含有する発色
性基本4上に、該活性光の作用によって粘着力か低下す
る粘着層3が設けられている。また、第4図においては
、基体1上に、活性光の作用によって発色すると共に粘
着力が低下する発色性粘着層5が設けられている。
1 to 4 respectively show schematic cross-sectional views of the first to fourth photosensitive adhesive sheets of the present invention. In FIG. A coloring layer 2 made of a material and an adhesive layer 3 whose adhesive strength is reduced by the action of the actinic light are sequentially laminated. Second
In the figure, the coloring layer 2 is provided on one side of the base 1, and the adhesive layer 3 is provided on the other side. In FIG. 3, an adhesive layer 3 whose adhesive strength is reduced by the action of actinic light is provided on a color-forming base 4 containing a composition that develops color by the action of actinic light. Further, in FIG. 4, a color-forming adhesive layer 5 is provided on the substrate 1, which develops color and whose adhesive strength is reduced by the action of actinic light.

次に、本発明における光感受性粘着シートの各層構成に
ついて詳記する。
Next, the structure of each layer of the photosensitive adhesive sheet in the present invention will be described in detail.

本発明において発色層を構成する活性光の作用によって
発色する組成物としては、従来公知のものが使用できる
。すなわち、紫外線或いは可視光線などの作用によって
フリーラジカル或いは酸のような活性種を生じる光活性
剤、及び上記活性種との相互作用によって発色する色素
前駆体の組み合わせを用いることができる。
In the present invention, conventionally known compositions can be used as the composition forming the coloring layer that develops color by the action of actinic light. That is, a combination of a photoactive agent that generates active species such as free radicals or acids by the action of ultraviolet rays or visible light, and a dye precursor that develops color by interaction with the active species can be used.

フリーラジカルを生じる光活性剤としては、有機ハロゲ
ン化合物、例えば、4臭化炭素、i、i、i−トリス(
ブロモメチル)プロパン、フェニルトリブロモメチルス
ルホン、p−ニトロフェニルトリブロモメチルスルホン
、2.4−ジクロロフェニルトリクロロメチルスルホン
、ヘキサブロモジメチルスルホキサイド、ヘキサブロモ
ジメチルスルホン、4.4−ジブロモ−2,3−ヘキサ
ンジオン、4−フェノキシジクロロアセトフェノン、0
−ニトロ−α、α。
Photoactive agents that generate free radicals include organic halogen compounds, such as carbon tetrabromide, i,i,i-tris (
(bromomethyl)propane, phenyltribromomethylsulfone, p-nitrophenyltribromomethylsulfone, 2,4-dichlorophenyltrichloromethylsulfone, hexabromodimethylsulfoxide, hexabromodimethylsulfone, 4,4-dibromo-2,3- Hexanedione, 4-phenoxydichloroacetophenone, 0
-Nitro-α,α.

α−トリブロモアセトフェノン、2,4−ビス(トリク
ロロメチル)−6−(p−メトキシフェニル)−S−ト
リアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル) −6−
(p−メトキシスチリル)−s−トリアジン、2,4−
ビス(トリクロロメチル)−6−fナフト−1−イル)
−8−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)
−6−(アセナフト−5−イル)−S−トリアジン等が
例示される。
α-Tribromoacetophenone, 2,4-bis(trichloromethyl)-6-(p-methoxyphenyl)-S-triazine, 2,4-bis(trichloromethyl)-6-
(p-methoxystyryl)-s-triazine, 2,4-
bis(trichloromethyl)-6-fnaphth-1-yl)
-8-triazine, 2,4-bis(trichloromethyl)
-6-(acenaphth-5-yl)-S-triazine and the like are exemplified.

また、酸を生じる光活性剤としては、芳香族オニウム塩
、例えば、ジフェニルヨードニウムテトラフルオロボレ
ート、ジフェニルヨードニウムへキサフルオロフォスフ
ェート、トリフェニルスルホニウムへキサフルオロフォ
スフェート、ビス(4−メトキシフェニル)フェニルス
ルホニウムへキサフルオロフォスフェート等が例示され
る。
In addition, as a photoactive agent that generates an acid, aromatic onium salts such as diphenyliodonium tetrafluoroborate, diphenyliodonium hexafluorophosphate, triphenylsulfonium hexafluorophosphate, bis(4-methoxyphenyl)phenylsulfonium Examples include hexafluorophosphate.

また、色素前駆体としては、トリフェニルメタン系、フ
ルオラン系、ローダミンラクタム系、フェノチアジン系
、フタリド系の化合物、例えば、ビス(4−ジメチルア
ミノフェニル)フェニルメタン(ロイコマラカイトグリ
ーン)、トリス(4−ジメチルアミノフェニル)フェニ
ルメタン(ロイコクリスタルバイオレット)、ビス(4
−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)フェニルメタ
ン、ビス(4−ジエチルアミノ−2−メトキシフェニル
)フェニルメタン、トリス(4−ジエチルアミン−2−
メチルフェニル)メタン、ビス(4−ジベンジルアミノ
−2−メチルフェニル)フェニルメタン、4−メトキシ
フェニルビス(1−エチル−2−メチルインドール−3
−イル)メタン、フェニル−ビス(1−n−ブチル−2
−メチルインドール−3−イル)メタン、3−ジエチル
アミノベンゾ[al−フルオラン、3−ジメチルアミノ
−6−メチルづ−クロロフルオラン、3−シクロへキシ
ルアミノ−6−クロロフルオラン、3−(N−メチルー
トフェニルアミノ) −6−(N−エチル−N−D−ト
リルアミノ)フルオラン、3−ジエチルアミン−7−ク
ロロフルオラン、3−ジメチルアミン−6−メチル−7
−クロロフルオラン、3−(N−シクロへキシル−N−
メチルアミノ)−6−メチル−7−アニリノフルオラン
、3−ピロリジノ−6−メチル−7−アニリノフルオラ
ン、3−(N−エチルーーーイソベンチルアミノ)−6
−メチル−7−アニリノフルオラン、3−(トエチルー
N−(2−オキソラニルメチルアミン))−6−メチル
−7−アニリツフルオラン、3−ジエチルアミノづ−(
l−フルオロアニリノ)フルオラン、3.6−ジニチル
アミノフルオランーω−p−ニトロフェニルイミドラク
タム、3,6−シエチルアミノフルオランーω−p−ク
ロロフェニルイミドラクタム、3,7−ビス(ジメチル
アミノ)−10−ベンゾフェノチアジン、3.7−ビス
(ジメチルアミノ)−10−アセチルフェノチアジン、
3.3−とスージメチルアミノフェニル−6−ジメチル
アミノフタリド(クリスタルバイオレットラクトン) 
、3.3−ビス−ジメチルアミノフェニルフタリド(マ
ラカイトグリーンラクトン)、3.3−ビス−(1−エ
チル−2−メチルインドール−3−イル)フタリド、3
.3−ビス−(1−ブチル−2−メチルインドール−3
−イル)フタリド、3,3−ビス〜(1−才クチル−2
−メチルインドール−3−イル)フタリド、N−ブチル
−3−Fビス(4−(N−メチルアニリノ)フェニル)
メチル]カルバゾール、3−(4−ジエチルアミノ−2
−エトキシフェニル) −3−(1−エチル−2−メチ
ルインドール−3−イル)−4−アザフタリド等が例示
される。
In addition, as dye precursors, triphenylmethane-based, fluoran-based, rhodamine lactam-based, phenothiazine-based, and phthalide-based compounds, such as bis(4-dimethylaminophenyl)phenylmethane (leucomalachite green), tris(4- dimethylaminophenyl) phenylmethane (leuco crystal violet), bis(4
-diethylamino-2-methylphenyl)phenylmethane, bis(4-diethylamino-2-methoxyphenyl)phenylmethane, tris(4-diethylamine-2-
methylphenyl)methane, bis(4-dibenzylamino-2-methylphenyl)phenylmethane, 4-methoxyphenylbis(1-ethyl-2-methylindole-3
-yl)methane, phenyl-bis(1-n-butyl-2
-methylindol-3-yl)methane, 3-diethylaminobenzo[al-fluorane, 3-dimethylamino-6-methyl-chlorofluorane, 3-cyclohexylamino-6-chlorofluorane, 3-(N- methyltophenylamino)-6-(N-ethyl-N-D-tolylamino)fluorane, 3-diethylamine-7-chlorofluorane, 3-dimethylamine-6-methyl-7
-chlorofluorane, 3-(N-cyclohexyl-N-
methylamino)-6-methyl-7-anilinofluorane, 3-pyrrolidino-6-methyl-7-anilinofluorane, 3-(N-ethyl-isobentylamino)-6
-Methyl-7-anilinofluorane, 3-(toethyl-N-(2-oxolanylmethylamine))-6-methyl-7-anilinofluorane, 3-diethylamino-(
l-fluoroanilino) fluorane, 3,6-dinitylaminofluorane-ω-p-nitrophenylimidolactam, 3,6-ethylaminofluorane-ω-p-chlorophenylimidolactam, 3,7-bis (dimethylamino)-10-benzophenothiazine, 3.7-bis(dimethylamino)-10-acetylphenothiazine,
3.3- and sudimethylaminophenyl-6-dimethylaminophthalide (crystal violet lactone)
, 3.3-bis-dimethylaminophenyl phthalide (malachite green lactone), 3.3-bis-(1-ethyl-2-methylindol-3-yl)phthalide, 3
.. 3-bis-(1-butyl-2-methylindole-3
-yl)phthalide, 3,3-bis~(1-yl)phthalide, 3,3-bis~(1-yl)phthalide,
-methylindol-3-yl)phthalide, N-butyl-3-Fbis(4-(N-methylanilino)phenyl)
methyl]carbazole, 3-(4-diethylamino-2
-ethoxyphenyl)-3-(1-ethyl-2-methylindol-3-yl)-4-azaphthalide and the like.

本発明の第1及び第2の光感受性粘着シートにおいて、
発色層は、上記した光活性剤及び色素前駆体を、皮膜形
成性を有する高分子バインダー例えばエチルセルロース
、酢酸セルロース、ヒドロキシプロピルセルロース、ニ
トロセルロース三酢酸セルロース、セルロースアセテー
トブチレート、セルロースアセテートプロピオネート等
のセルロース誘導体、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル−B
:酸ビニル共重合体、塩化ビニル−ビニルアルコール共
重合体等の塩化ビニル共重合体類、エチレン−ビニルア
ルコール共重合体、エチレン−塩化ビニル共重合体等の
エチレン共重合体類、ポリスチレン、スチレン−ブタジ
ェン−アクリロニトリル共重合体等のスチレン重合体類
、ポリアクリル酸エステル、ポリメタクリル酸エステル
及びこれ等の共重合体等のアクリル樹脂、ブチラール樹
■ヨ、エポキシ樹脂、アルキッド樹脂、フェノール樹脂
、飽和共重合ポリエステル樹脂、フッ素樹脂等の塗料用
樹脂、ポリカーボネート、ボリアリレート、ポリサルホ
ン、ポリエーテルサルホン、芳香族ポリエステル、ポリ
フェニレンエーテル、アクリロニトリル−塩素化ポリエ
チレン−スチレン共重合体のようなエンジニアリングプ
ラスチックス等と共に、溶媒(例えば、水、メタノール
、エタノール、インゾロパノール、ベンゼン、トルエン
、キシレン、酢酸エチル、酢酸イソブチル、アセトン、
2−ブタノン、4−メチル−2−ペンタノン、シクロヘ
キサノン、テトラヒドロフラン、ジオキサン、塩化メチ
レン、クロロホルム、12−ジクロロエタン、i、 1
.1− トリクロロエタン、クロロベンゼン、ヘキサン
、ヘプタン、シクロヘキサン、ジメチルアセトアミド、
ジメチルスルホキシド)に分散、ン容解させ、得られた
塗布液を基体上に塗工することによって形成される。
In the first and second photosensitive adhesive sheets of the present invention,
The coloring layer combines the photoactive agent and dye precursor described above with a film-forming polymer binder such as ethyl cellulose, cellulose acetate, hydroxypropyl cellulose, nitrocellulose cellulose triacetate, cellulose acetate butyrate, cellulose acetate propionate, etc. cellulose derivative, polyvinyl chloride, vinyl chloride-B
: Acid vinyl copolymers, vinyl chloride copolymers such as vinyl chloride-vinyl alcohol copolymers, ethylene copolymers such as ethylene-vinyl alcohol copolymers, ethylene-vinyl chloride copolymers, polystyrene, styrene - Styrenic polymers such as butadiene-acrylonitrile copolymers, acrylic resins such as polyacrylic esters, polymethacrylic esters, and copolymers thereof, butyral resins, epoxy resins, alkyd resins, phenolic resins, saturated Along with coating resins such as copolyester resins and fluororesins, engineering plastics such as polycarbonates, polyarylates, polysulfones, polyethersulfones, aromatic polyesters, polyphenylene ethers, and acrylonitrile-chlorinated polyethylene-styrene copolymers. , solvents (e.g., water, methanol, ethanol, inzolopanol, benzene, toluene, xylene, ethyl acetate, isobutyl acetate, acetone,
2-butanone, 4-methyl-2-pentanone, cyclohexanone, tetrahydrofuran, dioxane, methylene chloride, chloroform, 12-dichloroethane, i, 1
.. 1- Trichloroethane, chlorobenzene, hexane, heptane, cyclohexane, dimethylacetamide,
It is formed by dispersing and dissolving it in dimethyl sulfoxide) and coating the resulting coating liquid on a substrate.

発色層における各構成成分の量的割合については、特に
限定はされないが、好ましい例を以下に示す。
The quantitative ratio of each component in the coloring layer is not particularly limited, but preferred examples are shown below.

色素前駆体          10部光活性剤   
    o、i〜ioo部高分子バインダー    1
〜1000部本発明の第1.2及び4の光感受性粘着シ
ートにおいて用いられる基体としては、シート形状のも
のならば、特に限定はされない。例えば、セロファン、
ポリエチレン、ポリスチレン、ポリプロピレン、■PX
、三itt[セルロース、ポリ塩化ビニル、ポリエステ
ル、ポリカーボネート、ボリアリレート、ポリスルホン
、ポリエーテルスルホン、ポリ四フヅ化エチレン、ポリ
アミド、ポリイミド、ポリアミドイミド、シリコーン等
の高分子フィルム、紙、繊維の不繊布或いは織布、木質
シート。
Dye precursor 10 parts Photoactivator
o, i to ioo part polymer binder 1
~1000 parts The substrate used in the photosensitive adhesive sheets 1.2 and 4 of the present invention is not particularly limited as long as it is in the form of a sheet. For example, cellophane,
Polyethylene, polystyrene, polypropylene, ■PX
, 3itt [cellulose, polyvinyl chloride, polyester, polycarbonate, polyarylate, polysulfone, polyethersulfone, polytetrafluoroethylene, polyamide, polyimide, polyamideimide, silicone, and other polymer films, paper, and nonwoven fibers Or woven fabric or wood sheet.

ガラスシート、セラミックシート、アルミニウム箔、鉛
箔等の金属箔、アルミニウム、クロム、錫、インジウム
、金、銀、銅等の合間を蒸着した高分子フィルム、紙−
ポリエステル、アセテート布ポリエステル等の二種類の
材料を複合した複合シート材料等をあげることができる
。しかしながら、本発明においては、基体は、活性光に
対して透明であることが好ましい。
Glass sheets, ceramic sheets, metal foils such as aluminum foil and lead foil, polymer films and paper with deposits of aluminum, chromium, tin, indium, gold, silver, copper, etc.
Composite sheet materials made by combining two types of materials such as polyester, acetate cloth, and polyester can be mentioned. However, in the present invention, the substrate is preferably transparent to actinic light.

本発明の第3の光感受性粘着シートにおいては、基体と
して、上記のような光活性剤と色素前駆体とを含む組成
物を含有する発色性基体が用いられる。この発色性基体
は活性光に対して透明であることが好ましく、活性光の
照射によって発色するものである。
In the third photosensitive pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention, a color-forming substrate containing a composition containing a photoactive agent and a dye precursor as described above is used as the substrate. This color-forming substrate is preferably transparent to actinic light, and develops color upon irradiation with actinic light.

その櫟な発色性基体を作成するためには、シート形成性
を有する材料、例えばセロファン、ポリエチレン、ポリ
スチレン、ポリプロピレン、TPX、三酢酸セルロース
、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリエステル
、ポリカーボネート、ボリアリレート、ポリスルホン、
ポリエーテルスルホン、シリコーン等の高分子材料、或
いは、紙、繊維の不織布或いは織布、木質シート等のシ
ート状多孔質材料、紙−ポリエステル、アセテート布ポ
リエステル等の二種類の材料を複合した複合シート材料
等を用いることかできる。
In order to create the straight color-forming substrate, materials with sheet-forming properties such as cellophane, polyethylene, polystyrene, polypropylene, TPX, cellulose triacetate, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, polyester, polycarbonate, polyarylate, polysulfone,
Polymer materials such as polyether sulfone and silicone, sheet-like porous materials such as paper, non-woven or woven fabrics of fibers, and wood sheets, composite sheets made of two types of materials such as paper-polyester, acetate cloth polyester, etc. Materials etc. can be used.

これ等のシート形成材料を用いて発色性基体を作成する
には、従来公知の技術を採用することができる4例えば
、シート形成性高分子材料を使用する場合、高分子材料
と色素前駆体及び光活性剤を、各種溶剤に溶解して得た
塗布液を、回転する平坦で均一な金属支持体上に流延し
て、薄いフィルムとする溶液流延法、高分子材料と色素
前駆体及び光活性剤を加熱溶融して得た溶融液を、Tタ
イ或いは円形タイから押出してフィルムに成形する溶融
押出法、高分子材料と色素前駆体及び光活性剤を充分に
混練した後、2本以上のロールの間で圧延してフィルム
とするカレンダー法等を用いることができる。
In order to create a color-forming substrate using these sheet-forming materials, conventionally known techniques can be adopted4.For example, when using a sheet-forming polymeric material, the polymeric material and the dye precursor and A solution casting method in which a coating solution obtained by dissolving a photoactivator in various solvents is cast onto a rotating flat and uniform metal support to form a thin film, and a polymer material, a dye precursor, and The melt extrusion method involves extruding the molten liquid obtained by heating and melting the photoactive agent through a T-tie or circular tie to form a film. After thoroughly kneading the polymer material, dye precursor, and photoactive agent, two A calender method or the like in which the film is rolled between the above rolls can be used.

高分子材料と色素前駆体及び光活性剤の量的割合は、特
に限定されないか、好ましい例を以下に示す。
The quantitative proportions of the polymer material, dye precursor, and photoactive agent are not particularly limited, and preferable examples are shown below.

シート形成性高分子材料     100部色素前駆体
         0.1〜10部光活性剤     
   0.001〜100部また、シート状多孔性材料
を使用する場合には、活性光の作用によって発色する組
成物及び必要に応じてフィルム形成性高分子バインダー
を各種溶剤に溶解して得た塗布液を、シート状多孔質材
料に塗工、浸漬或いは含浸させて、基体を形成すること
かできる。
Sheet-forming polymer material 100 parts Dye precursor 0.1 to 10 parts Photoactivator
0.001 to 100 parts When using a sheet-like porous material, a coating obtained by dissolving a composition that develops color by the action of actinic light and, if necessary, a film-forming polymer binder in various solvents. A substrate can be formed by coating, dipping or impregnating a sheet-like porous material with the liquid.

この場合、活性光の作用によって発色する組成物を構成
する各成分の量的割合については、特に限定はされない
が、好ましい例は次の通りである。
In this case, the quantitative ratio of each component constituting the composition that develops color by the action of actinic light is not particularly limited, but preferred examples are as follows.

色素前駆体          10部光活性剤   
    0.1〜100部高分子バインダー    1
〜1000部本発明の第1.2及び3の光感受性粘着シ
ートにおける、活性光の作用によって粘着力が低下する
粘着層としては、ヨーロッパ特許出9 EP46.08
3(1982)、画際特許出fAPcT81−00,3
09(1981)、Fr、Demande FR2,4
80,762(1981)等に記載の技術をそのまま適
用することかできる。例えば、3′−メトキシベンゾイ
ンオクタデカノエートの様な活性光の作用によって光分
解して界面活性剤を生成する化合物を配合した組成物を
使用するもの、グリシジルメタクリレート−イソオクチ
ルアクリレート共重合体のような長鎖アクリル系共重合
体と、トリフェニルスルホニウムへキサフルオロアンチ
モネート、ジフェニル(チオフェノキシフェニル)スル
ホニウムヘキサフルてロアンチモネート、4−クロロフ
ェニルジフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモ
ネートのような光イオン反応開始剤等との配合物を使用
するもの、炭素数8〜28個のエポキシ基含有ポリオレ
フィン化合物、34−エポキシシクロヘキシルメチル−
3,4−シクロヘキサンカーボキシレートのような指環
式エポキシ化合物、ジ−t−ブチル−4,4′−ジフェ
ニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネートの様な
光イオン反応開始剤等の配合1勿を使用するもの等をあ
けることができる。
Dye precursor 10 parts Photoactivator
0.1-100 parts polymer binder 1
~1000 parts In the photosensitive adhesive sheets 1.2 and 3 of the present invention, the adhesive layer whose adhesive strength is reduced by the action of active light is European Patent No. 9 EP46.08.
3 (1982), patent application fAPcT81-00, 3
09 (1981), Fr, Demande FR2,4
80, 762 (1981) etc. can be applied as is. For example, those using a composition containing a compound such as 3'-methoxybenzoin octadecanoate, which is photolyzed to produce a surfactant by the action of active light, and those using a composition containing a compound such as 3'-methoxybenzoin octadecanoate, which uses a composition containing a compound that is photolyzed to produce a surfactant by the action of active light; long-chain acrylic copolymers such as, and photoionic reaction initiators such as triphenylsulfonium hexafluoroantimonate, diphenyl(thiophenoxyphenyl)sulfonium hexafluorantimonate, 4-chlorophenyldiphenylsulfonium hexafluoroantimonate, etc. epoxy group-containing polyolefin compound having 8 to 28 carbon atoms, 34-epoxycyclohexylmethyl-
Compounds such as cyclic epoxy compounds such as 3,4-cyclohexane carboxylate, photoionic reaction initiators such as di-t-butyl-4,4'-diphenyliodonium hexafluoroantimonate, etc. etc. can be opened.

本発明の第4の光感受性粘着シートにおいては、基体上
に、活性光の作用によって発色すると共に、粘着力が低
下する発色性粘着層か設けられる。このような発色性粘
着層は、上記した発色層と粘着層の構成成分を適宜混合
することによって形成することができる。
In the fourth photosensitive adhesive sheet of the present invention, a color-forming adhesive layer is provided on the substrate, which develops color under the action of actinic light and whose adhesive strength decreases. Such a color-forming adhesive layer can be formed by appropriately mixing the constituent components of the above-described color-forming layer and adhesive layer.

実施例 以下、本発明を実施例によって説明する。なお、部は全
て重量部を意味する。
EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be explained by examples. In addition, all parts mean parts by weight.

実施例1 厚さ75圃のポリエステルフィルムの一方の側に、下記
配合組成よりなる光発色性組成物塗布機を塗工して、膜
厚10a+の発色層を形成した6ビス(4−ジエチルア
ミノ−2−メチルフェニル)フェニルメタン     
8部1〜リメチルブロモフエニルスルホン  2部飽和
ポリエステル樹脂のトルエン/ 2−ブタノン(重量比80/20) 10重量%溶液          100部次に、ポ
リエステルフィルムの他の一方の側に、下記配合組成よ
りなる粘着層塗布液を塗工して、膜厚30−の粘着層を
形成し、光感受性粘着シート(以下、単にシートという
)を得た。
Example 1 A photochromic composition having the following composition was coated on one side of a polyester film with a thickness of 75 fields to form a coloring layer with a film thickness of 10a+. 2-methylphenyl)phenylmethane
8 parts 1-limethylbromophenyl sulfone 2 parts Saturated polyester resin toluene/2-butanone (weight ratio 80/20) 10% by weight solution 100 parts Next, on the other side of the polyester film, add the following composition. An adhesive layer coating liquid consisting of the following was applied to form an adhesive layer with a thickness of 30 mm, thereby obtaining a photosensitive adhesive sheet (hereinafter simply referred to as a sheet).

グリシジルメタクリレート 2−エチルへキシルアクリレート (20/80)共重合体        100部ジフ
ェニルチオフェノキシフェニル へ升すフルオロアンチモネート   3部内Y酸エチル
            40000部イソプロピルア
ルコール    100部2−ブタノン       
     200部得られたシートの活性光照射前の色
相は、無色透明であった。
Glycidyl methacrylate 2-ethylhexyl acrylate (20/80) copolymer 100 parts Fluoroantimonate to diphenylthiophenoxyphenyl 3 parts Ethyl acid 40000 parts Isopropyl alcohol 100 parts 2-butanone
The hue of the sheet obtained in 200 parts before irradiation with actinic light was clear and colorless.

このシートを、バターニング済みのシリコンウェハーの
裏面に貼り付け、高圧水銀灯(ウシオ電機■製、出力8
0−/■)を用いて、25CI11の距離から30秒間
活性光照射を行なった。
This sheet was pasted on the back side of the buttered silicon wafer, and a high-pressure mercury lamp (manufactured by Ushio Inc., output 8
Actinic light irradiation was performed for 30 seconds from a distance of 25CI11 using 0-/■).

照射の結果、シートの色相は鮮明な緑色になった6次い
で、シートに、テープ幅10mmの粘着テープを貼り付
け、30co/Secの剥離速度で180°剥離を行な
い、剥離強度を測定した。その結果、活性光未照射のシ
ートでは、剥離強度は300 g / c!11であっ
たが、照射後は10z/anに低下した。
As a result of the irradiation, the hue of the sheet became clear green.6 Next, an adhesive tape with a tape width of 10 mm was attached to the sheet, and 180° peeling was performed at a peeling speed of 30 co/Sec to measure the peel strength. As a result, the peel strength of the sheet that was not irradiated with active light was 300 g/c! 11, but it decreased to 10z/an after irradiation.

実施例2 下記配合組成よりなる配合物を用い、溶液流延法によっ
て、発色性基体である厚さ100加の光発色性シートを
得た。
Example 2 A photochromic sheet with a thickness of 100 mm, which is a color-forming substrate, was obtained by a solution casting method using a composition having the following composition.

3酢酸セルロースフレーク      50部メチルフ
タリルエチルグリコレート  5部リン酸トリフェニル
         10部塩化メチレン       
    200部エチルアルコール         
20部N−ブチル−3[ヒス+4−(N−メチルアニリ
ノ)フェニル)メチル] カルバゾール           5部24−ビス(
トリクロロメチル)−6−(ナフト−1−イル)−s−
トリアジン  1部次に、上記の光発色性シートの上に
、下記配合組成よりなる粘着層塗布液を塗工して、膜厚
25ジの枯@層を形成し、光感受性粘着シートを得た。
3 Cellulose acetate flakes 50 parts Methyl phthalylethyl glycolate 5 parts Triphenyl phosphate 10 parts Methylene chloride
200 parts ethyl alcohol
20 parts N-butyl-3[his+4-(N-methylanilino)phenyl)methyl] carbazole 5 parts 24-bis(
trichloromethyl)-6-(naphth-1-yl)-s-
Triazine 1 part Next, on the above photochromic sheet, an adhesive layer coating liquid having the following composition was applied to form a dry layer with a thickness of 25 mm to obtain a photosensitive adhesive sheet. .

グリシジルメタクリレート インオクチルアクリレート (25/75)共重合体        100部3.
4−エポキシシクロヘキシル メチル−3,4−シクロヘキサン カーボキシレート         10部(1−6−
η−クメン)(η−シクロ ペンタジェニル)鉄(1+) ヘキサフルオロフォスフェート   3部酢酸エチル 
           90部イソプロピルアルコール
      60部アントラセン          
 0.5部得られたシートの活性光照射前の色相は、無
色透明であった5 このシートを、パターニング済みのシリコンウェハーの
裏面に貼り付け、実施例1におけると同一の染件で、但
し照射時間を5秒間にして活性光照射を行なった。
Glycidyl methacrylate in octyl acrylate (25/75) copolymer 100 parts3.
4-epoxycyclohexylmethyl-3,4-cyclohexane carboxylate 10 parts (1-6-
η-cumene)(η-cyclopentadienyl)iron(1+) hexafluorophosphate 3-part ethyl acetate
90 parts isopropyl alcohol 60 parts anthracene
The hue of the obtained 0.5 part sheet before irradiation with actinic light was colorless and transparent.5 This sheet was pasted on the back side of a patterned silicon wafer, and the same dyeing as in Example 1 was applied. Active light irradiation was performed with an irradiation time of 5 seconds.

照射の結果、シートの色相は鮮明な青色になった0次い
で、実施例1と同様の手順で剥離強度の測定を行なった
。その結果、未照射時の剥離強度は250g/■であっ
たが、活性光照射により、剥離強度は5g/a11に低
下した。
As a result of the irradiation, the hue of the sheet became clear blue.Next, the peel strength was measured in the same manner as in Example 1. As a result, the peel strength before irradiation was 250 g/■, but after irradiation with actinic light, the peel strength decreased to 5 g/a11.

実施例3 下記配合組成の組成物を用いてTタイ溶融押出法によっ
て、発色性基体である厚さ125μmの光発色性シート
を得た ポリ塩化ビニル          100部ジオクチ
ルフタレート35部 ジオクチルアジペート        5部3−(N−
エチルート(2−オキソラニルメチルアミン)−6−メ
チル−7− アニリツフルオラン        10部ビス(4−
メトキシフェニル) フェニルスルホニウム ヘキサフルオロフォスフェート   2部次に、上記の
光発色性シートの上に、下記配合組成よりなる粘着層塗
布液を塗工して、膜厚15引の粘着層を形成し、光感受
性粘着シートを得た。
Example 3 A photochromic sheet with a thickness of 125 μm as a color-forming base was obtained by a T-tie melt extrusion method using a composition having the following composition: 100 parts of polyvinyl chloride, 35 parts of dioctyl phthalate, 5 parts of dioctyl adipate, 3- (N-
Ethyroot(2-oxolanylmethylamine)-6-methyl-7-anirithufluorane 10 parts bis(4-
methoxyphenyl) phenylsulfonium hexafluorophosphate (2 parts) Next, on the above photochromic sheet, an adhesive layer coating liquid having the following composition was applied to form an adhesive layer with a thickness of 15 mm, A photosensitive adhesive sheet was obtained.

飽和ポリエステル樹脂(T(1=−20℃)の酢酸エチ
ル/トルエン (重量比80/20)10重量%溶液   100部3
′−メトキシベンゾインオクタ テカノエート           5部得られたシー
トの活性光照射前の色相は、無色透明であった。
10% by weight solution of saturated polyester resin (T (1=-20°C) in ethyl acetate/toluene (weight ratio 80/20) 100 parts 3
5 parts of '-Methoxybenzoin octatecanoate The hue of the obtained sheet before irradiation with actinic light was clear and colorless.

このシートを、パターニング済みのシリコンウェハーの
裏面に貼り付け、実施例1におけると同一の条件で、但
し照射時間を60秒間にして活性光照射を行なった。
This sheet was attached to the back side of a patterned silicon wafer, and irradiated with actinic light under the same conditions as in Example 1, except that the irradiation time was 60 seconds.

照射の結果、シートの色相は鮮明な黒色になった6次い
で、実施例1と同様の手順でに■離強度の測定を行なっ
た。その結果、未照射時の剥!強度は250 z / 
anであったが、活性光照射により、剥離強度は10g
/■に低下した。
As a result of the irradiation, the hue of the sheet became clear black.Next, the peeling strength was measured in the same manner as in Example 1. As a result, peeling when not irradiated! The intensity is 250 z /
However, by irradiation with actinic light, the peel strength was reduced to 10 g.
/■ decreased.

実施例4 実施例1において光発色性組成物の色素前駆体として、
3.3−ヒス(1−オクチル−2−メチルインドール−
3−イル)フタリドを用いた以外は、実施例1における
と同様の手順にしたがって光感受性粘着シートを得た。
Example 4 As the dye precursor of the photochromic composition in Example 1,
3.3-His(1-octyl-2-methylindole-
A photosensitive adhesive sheet was obtained according to the same procedure as in Example 1 except that 3-yl)phthalide was used.

このシートの色相は無色透明であった。The hue of this sheet was colorless and transparent.

次いで、実施例1におけると同様の手順にしたがって、
活性光照射を行なった。照射の結果、シートは鮮明な赤
色に発色した。次いで、実施例1と同様の手順で剥離強
度の測定を行なった。その結果、実施例1におけると同
じ剥離強度が得られた。
Then, following the same procedure as in Example 1,
Active light irradiation was performed. As a result of the irradiation, the sheet developed a bright red color. Next, peel strength was measured in the same manner as in Example 1. As a result, the same peel strength as in Example 1 was obtained.

実施例5 実施例2において、色素前駆体として3−シクロへキシ
ルアミノ−6−クロロフルオランを含有する塗布液を使
用し、また、粘着層塗布液として下記配合組成のものを
用いた以外は、実施例2におけると同様にして光感受性
粘着シートを得た。
Example 5 In Example 2, except that a coating solution containing 3-cyclohexylamino-6-chlorofluorane was used as the dye precursor, and the following formulation was used as the adhesive layer coating solution, A photosensitive adhesive sheet was obtained in the same manner as in Example 2.

ヒスフェノールA型エポキシ樹脂  50部1.2−エ
ポキシ−16−オクタデセン    50部3.4−エ
ポキシシクロヘキシルメチル−3,4−シクロヘキサン カーボキシレート         20部ジフェニル
チオフェノキシフェニル スルホニウムへキサフルオロ フォスフェート          20部ペリレン 
            1部このシートの活性光照射
前の色相は無色透明であった。
Hisphenol A type epoxy resin 50 parts 1,2-epoxy-16-octadecene 50 parts 3,4-epoxycyclohexylmethyl-3,4-cyclohexane carboxylate 20 parts diphenylthiophenoxyphenylsulfonium hexafluorophosphate 20 parts perylene
One part of this sheet was colorless and transparent before irradiation with actinic light.

次いで、実施例1におけると同様の手順で活性光照射を
行ない、色相及び剥離強度の測定を行なった。その結果
、活・1光照射によって、シートは鮮明な橙色に発色し
た。また、剥離強度の値は、活性光照射前は350g/
■、照射後は10g/a!Iであった。
Next, activating light irradiation was performed in the same manner as in Example 1, and the hue and peel strength were measured. As a result, the sheet developed a clear orange color upon irradiation with active light. In addition, the peel strength value was 350g/before irradiation with active light.
■, 10g/a after irradiation! It was I.

実施例6 実施例3において、色素前駆体として3,6−ジニチル
アミノフルオランーω−叶二トロフェニルイミドラクタ
ムを使用し、また、粘着層塗布液として下記配合組成の
ものを用いた以外は、実施例3におけると同様にして光
感受性粘着シートを得た。
Example 6 Example 3 except that 3,6-dinithylaminofluorane-ω-kanonitrophenylimidolactam was used as the dye precursor, and the following formulation was used as the adhesive layer coating liquid. A photosensitive adhesive sheet was obtained in the same manner as in Example 3.

イソオクチルアクリレート−アクリル アミド共重合体(共重合比90/10)  20部2−
ニトロペンジルヘキサテカン スルホネート           2部酢酸エチル 
           40部トルエン       
      40部このシートの活性光照射前の色相は
無色透明であった。
Isooctyl acrylate-acrylamide copolymer (copolymerization ratio 90/10) 20 parts 2-
Nitropenzyl hexatecan sulfonate 2-part ethyl acetate
40 parts toluene
40 parts The hue of this sheet before irradiation with actinic light was clear and colorless.

次いで、実施例3におけると同様の手、順で活性光照射
を行ない、色相及び剥離強度の測定を行なった。その結
果、活性光照射によって、シートは鮮明な桃色に発色し
た。また、剥離強度の値は、活性光照射前は400 g
/ an 、 照射後は15g/cmであった。
Next, irradiation with actinic light was performed in the same manner as in Example 3, and the hue and peel strength were measured. As a result, the sheet developed a clear pink color upon irradiation with actinic light. In addition, the peel strength value was 400 g before irradiation with active light.
/an was 15 g/cm after irradiation.

実施例7 実施例1において、粘着層塗布液をポリエステルフィル
ムの他の側に塗工する代わりに、発色層の上に塗工した
以外は、実施例1と同様にして光感受性粘着シートを作
成した。このシートの活性光照射前の色相は無色透明で
あった。
Example 7 A photosensitive adhesive sheet was prepared in the same manner as in Example 1, except that the adhesive layer coating solution was applied on the coloring layer instead of on the other side of the polyester film. did. The hue of this sheet before irradiation with actinic light was clear and colorless.

次いで、実施例1におけると同様の手順にしたかって、
活・注光照射を行なった。照射の結果、シートは鮮明な
緑色に発色した。また、実施例1と同様の手順で剥離強
度の測定を行なった結果、実施例1におけると同じ剥離
強度が得られた。
Next, following the same procedure as in Example 1,
Active/focus irradiation was performed. As a result of the irradiation, the sheet developed a bright green color. Furthermore, as a result of measuring the peel strength using the same procedure as in Example 1, the same peel strength as in Example 1 was obtained.

実施例8 厚さ75mのポリエステルフィルムに、実施例1におけ
る光発色性組成物塗布液と粘着層塗布液とを等量混合し
て得た発色性粘着層形成用塗布層を塗工して、膜厚30
層の発色性粘着層を形成し、光感受性粘着シートを得た
。このシートの活性光照射前の色相は無色透明であった
Example 8 A coating layer for forming a color-forming adhesive layer obtained by mixing equal amounts of the photochromic composition coating liquid and the adhesive layer coating liquid in Example 1 was applied to a 75 m thick polyester film. Film thickness 30
A color-forming adhesive layer was formed to obtain a photosensitive adhesive sheet. The hue of this sheet before irradiation with actinic light was clear and colorless.

次いで、実施例1におけると同様の手、順にしたかって
、活性光照射を行なった。照射の結果、シートは鮮明な
緑色に発色した。また、実施例1と同様の手IINで剥
離強度の測定を行なった結果、実施例1におけると同じ
剥離強度が得られた。
Next, activating light irradiation was performed in the same manner as in Example 1. As a result of the irradiation, the sheet developed a bright green color. Further, as a result of measuring the peel strength using the same manual IIN as in Example 1, the same peel strength as in Example 1 was obtained.

発明の効果 本発明の光感受性粘着シートは、上記の構成を有するか
ら、活性光を照射した場合に、粘着層の粘着力の低下に
対応して、着色層の色相が変化し、粘着層の粘着力の変
化が容易に検知できる。したかつて、本発明の光感受性
粘着シートは、作業工程の途中で粘着層の粘着力の低下
か望まれる用途。
Effects of the Invention Since the photosensitive adhesive sheet of the present invention has the above configuration, when irradiated with actinic light, the hue of the colored layer changes in response to a decrease in the adhesive strength of the adhesive layer, and the color of the adhesive layer changes. Changes in adhesive strength can be easily detected. Previously, the photosensitive adhesive sheet of the present invention was used in applications where it was desired that the adhesive strength of the adhesive layer decrease during the working process.

例えば半導体チップその他の電子部品をフレーム等に組
み込む際に使用する粘着テープ、或いはグイシングテー
プとして極めて有用である。即ち、本発明の光感受性粘
着シートを使用すると、紫外線等の活性光出力の低下な
どにより、粘着層の粘着力が所定の粘着力にまで低下し
ていない場合に、色相の変化によって簡単に検知するこ
とができるので、作業工程に支障を来すことがなくなる
For example, it is extremely useful as an adhesive tape or guising tape used when assembling semiconductor chips and other electronic components into frames or the like. That is, when the photosensitive adhesive sheet of the present invention is used, if the adhesive strength of the adhesive layer has not decreased to a predetermined adhesive strength due to a decrease in the output of active light such as ultraviolet rays, it can be easily detected by a change in hue. This eliminates any hindrance to the work process.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図ないし第4図は、それぞれ本発明の光感受性粘着
シートの実施例の模式的断面図である。 1・・・基体、2・・・発色層、3・・・粘着層、4・
・・発色性基体、5・・・発色性粘着層。 1・・・基イ本 2・・・発色1 3・・・オ占着層 4・・・発色性基イ本 特許出頼人  株式会社巴川製紙所 代理人    弁理士  液部 剛 第1図 第2図 第3図 第4図
1 to 4 are schematic cross-sectional views of examples of the photosensitive adhesive sheet of the present invention, respectively. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1...Substrate, 2...Coloring layer, 3...Adhesive layer, 4...
... Color-forming substrate, 5... Color-forming adhesive layer. 1...Basics 2...Color development 1 3...O-occupation layer 4...Color development basics Patent originator Tomogawa Paper Mills Co., Ltd. Agent Patent attorney Tsuyoshi Liquidbe Figure 1 Figure 2 Figure 3 Figure 4

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)基体上に、活性光の作用によって発色する組成物
よりなる発色層、及び該活性光の作用によって粘着力が
低下する粘着層を積層してなることを特徴とする光感受
性粘着シート。
(1) A photosensitive adhesive sheet characterized by laminating, on a substrate, a coloring layer made of a composition that develops color under the action of active light, and an adhesive layer whose adhesive strength decreases under the action of the active light.
(2)基体の一面に活性光の作用によって発色する組成
物よりなる発色層を設け、他面に該活性光の作用によっ
て粘着力が低下する粘着層を設けてなることを特徴とす
る光感受性粘着シート。
(2) Photosensitive, characterized in that a color-forming layer made of a composition that develops color under the action of actinic light is provided on one side of the substrate, and an adhesive layer whose adhesive strength is reduced by the action of the actinic light is provided on the other side. adhesive sheet.
(3)活性光の作用によって発色する組成物を含有する
基体上に、該活性光の作用によって粘着力が低下する粘
着層を設けてなることを特徴とする光感受性粘着シート
(3) A photosensitive adhesive sheet comprising an adhesive layer whose adhesive strength is reduced by the action of actinic light on a substrate containing a composition that develops color by the action of actinic light.
(4)基体上に、活性光の作用によって発色すると共に
、粘着力が低下する発色性粘着層を設けてなることを特
徴とする光感受性粘着シート。
(4) A light-sensitive adhesive sheet comprising a color-forming adhesive layer that develops color under the action of actinic light and whose adhesive strength decreases on a substrate.
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