JPH02104328U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02104328U JPH02104328U JP1265189U JP1265189U JPH02104328U JP H02104328 U JPH02104328 U JP H02104328U JP 1265189 U JP1265189 U JP 1265189U JP 1265189 U JP1265189 U JP 1265189U JP H02104328 U JPH02104328 U JP H02104328U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- storage capacitor
- electrode
- insulating film
- film
- gate
- Prior art date
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- Granted
Links
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- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 12
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- 239000011521 glass Substances 0.000 claims 1
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
Description
第１図〜第５図は本考案の一実施例を示したも
ので、第１図および第２図はストレージキヤパシ
タ付きＴＦＴパネルの一部分の断面図および平面
図、第３図はストレージキヤパシタ付きＴＦＴパ
ネルの製造工程図、第４図は第３図ｃの平面図、
第５図は第３図ｆのＡ部分の拡大図である。第６
図は従来のストレージキヤパシタ付きＴＦＴパネ
ルの一部分の断面図、第７図および第８図は従来
の他のストレージキヤパシタ付きＴＦＴパネルの
一部分の断面図および平面図である。 ２１……基板、２２……ＳＯＧ膜、２２ａ……
ストレージキヤパシタ用電極（金属拡散層）、２
３……薄膜トランジスタ、２４……ゲート電極、
２４ａ……ゲートライン、２５……ゲート絶縁膜
、２６……ｉ−ａ−Ｓｉ半導体層、２７……ｎ＋
−ａ−Ｓｉ層、２８……ソース電極、２８ａ……
コンタクト電極、２９……ドレイン電極、２９ａ
……データライン、３０……ストレージキヤパシ
タ用絶縁膜、３１……上部ＳＯＧ膜、３１ａ……
画素電極（金属拡散層）。
ので、第１図および第２図はストレージキヤパシ
タ付きＴＦＴパネルの一部分の断面図および平面
図、第３図はストレージキヤパシタ付きＴＦＴパ
ネルの製造工程図、第４図は第３図ｃの平面図、
第５図は第３図ｆのＡ部分の拡大図である。第６
図は従来のストレージキヤパシタ付きＴＦＴパネ
ルの一部分の断面図、第７図および第８図は従来
の他のストレージキヤパシタ付きＴＦＴパネルの
一部分の断面図および平面図である。 ２１……基板、２２……ＳＯＧ膜、２２ａ……
ストレージキヤパシタ用電極（金属拡散層）、２
３……薄膜トランジスタ、２４……ゲート電極、
２４ａ……ゲートライン、２５……ゲート絶縁膜
、２６……ｉ−ａ−Ｓｉ半導体層、２７……ｎ＋
−ａ−Ｓｉ層、２８……ソース電極、２８ａ……
コンタクト電極、２９……ドレイン電極、２９ａ
……データライン、３０……ストレージキヤパシ
タ用絶縁膜、３１……上部ＳＯＧ膜、３１ａ……
画素電極（金属拡散層）。
Claims (1)
- 基板上に多数の画素電極とこの画素電極を選択
駆動する多数の薄膜トランジスタとを配列形成す
るとともに、前記画素電極の下に、ストレージキ
ヤパシタ用絶縁膜を介して前記画素電極と対向す
るストレージキヤパシタ用電極を設けたストレー
ジキヤパシタ付きＴＦＴパネルにおいて、前記基
板上にその全面にわたつてＳＯＧ（スピンオンガ
ラス）膜を設け、このＳＯＧ膜の上に、前記薄膜
トランジスタのゲート電極およびゲートラインと
、このゲート電極およびゲートラインをその幅よ
りも広く覆うゲート絶縁膜を形成し、このゲート
絶縁膜の上に前記薄膜トランジスタの半導体層お
よびソース、ドレイン電極を形成するとともに、
前記ＳＯＧ膜の上記ゲート絶縁膜で覆われていな
い部分の表面を、導電性金属の拡散により導電性
をもたせたストレージキヤパシタ用電極とし、こ
のストレージキヤパシタ用電極の上に、ストレー
ジキヤパシタ用絶縁膜を介して画素電極を形成し
たことを特徴とするストレージキヤパシタ付きＴ
ＦＴパネル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1265189U JPH0750736Y2 (ja) | 1989-02-07 | 1989-02-07 | ストレージキャパシタ付きｔｆｔパネル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1265189U JPH0750736Y2 (ja) | 1989-02-07 | 1989-02-07 | ストレージキャパシタ付きｔｆｔパネル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02104328U true JPH02104328U (ja) | 1990-08-20 |
| JPH0750736Y2 JPH0750736Y2 (ja) | 1995-11-15 |
Family
ID=31222280
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1265189U Expired - Lifetime JPH0750736Y2 (ja) | 1989-02-07 | 1989-02-07 | ストレージキャパシタ付きｔｆｔパネル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0750736Y2 (ja) |
-
1989
- 1989-02-07 JP JP1265189U patent/JPH0750736Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0750736Y2 (ja) | 1995-11-15 |