JPH01172026U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01172026U JPH01172026U JP6868588U JP6868588U JPH01172026U JP H01172026 U JPH01172026 U JP H01172026U JP 6868588 U JP6868588 U JP 6868588U JP 6868588 U JP6868588 U JP 6868588U JP H01172026 U JPH01172026 U JP H01172026U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductive film
- electrode
- pixel electrode
- source
- exposed
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 11
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
Description
第１図および第２図は本考案の第１の実施例を
示す薄膜トランジスタの断面図および薄膜トラン
ジスタの製造工程図、第３図は本考案の第２の実
施例を示す薄膜トランジスタの断面図、第４図は
本考案の第３の実施例を示す薄膜トランジスタの
断面図、第５図は従来の薄膜トランジスタの断面
図である。 １……基板、Ｇ……ゲート電極、２……ゲート
絶縁膜、３……半導体層、４……コンタクト層、
Ｓ……ソース電極、Ｄ……ドレイン電極、５……
下層導電膜、６……上層導電膜、７……平坦化膜
、ａ……画素電極。
示す薄膜トランジスタの断面図および薄膜トラン
ジスタの製造工程図、第３図は本考案の第２の実
施例を示す薄膜トランジスタの断面図、第４図は
本考案の第３の実施例を示す薄膜トランジスタの
断面図、第５図は従来の薄膜トランジスタの断面
図である。 １……基板、Ｇ……ゲート電極、２……ゲート
絶縁膜、３……半導体層、４……コンタクト層、
Ｓ……ソース電極、Ｄ……ドレイン電極、５……
下層導電膜、６……上層導電膜、７……平坦化膜
、ａ……画素電極。
Claims (1)
- 液晶表示素子の画素電極形成基板に設けられて
前記画素電極を駆動する薄膜トランジスタにおい
て、前記基板面に形成したゲート電極と、このゲ
ート電極を覆うゲート絶縁膜と、このゲート絶縁
膜上に前記ゲート電極と対向させて形成された半
導体層と、この半導体層の上にそれぞれコンタク
ト層を介して形成されたソースおよびドレイン電
極とからなり、かつ前記ソースおよびドレイン電
極は、膜厚が薄い下層導電膜の上に膜厚が厚い上
層導電膜を形成した二層電極とするとともに、前
記ソースおよびドレイン電極のうち前記画素電極
を接続する電極の上層導電膜を、その下の下層導
電膜の外側部を露出させる幅に形成して、前記下
層導電膜の露出部分の上面を前記画素電極の接続
部としたことを特徴とする薄膜トランジスタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6868588U JPH01172026U (ja) | 1988-05-26 | 1988-05-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6868588U JPH01172026U (ja) | 1988-05-26 | 1988-05-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01172026U true JPH01172026U (ja) | 1989-12-06 |
Family
ID=31293989
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6868588U Pending JPH01172026U (ja) | 1988-05-26 | 1988-05-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01172026U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62210494A (ja) * | 1986-03-12 | 1987-09-16 | 株式会社日立製作所 | アクテイブマトリクス基板 |
-
1988
- 1988-05-26 JP JP6868588U patent/JPH01172026U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62210494A (ja) * | 1986-03-12 | 1987-09-16 | 株式会社日立製作所 | アクテイブマトリクス基板 |