JPH0210124A - 洗浄装置 - Google Patents

洗浄装置

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Publication number
JPH0210124A
JPH0210124A JP15813388A JP15813388A JPH0210124A JP H0210124 A JPH0210124 A JP H0210124A JP 15813388 A JP15813388 A JP 15813388A JP 15813388 A JP15813388 A JP 15813388A JP H0210124 A JPH0210124 A JP H0210124A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid
tank
color
washing
washing liquid
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP15813388A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroki Sakamori
阪森 宏喜
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP15813388A priority Critical patent/JPH0210124A/ja
Publication of JPH0210124A publication Critical patent/JPH0210124A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、電子部品、機器の製造工程などにおいて多用
される洗浄装置に関し、特に洗浄に用いる液の汚れの程
度の管理を容易にした洗浄装置に関する。
(従来の技術) 従来、この種の洗浄装置の液汚れの管理は、液が汚れる
と液温か上昇することを利用して、温度センサによって
液の汚れを感知して液交換の目安とし管理している。
(発明が解決しようとする課題) 上述した従来の洗浄液の管理は、液が汚れたときの温度
上昇を温度センサで検知して行なっているが、一般にこ
の液の汚れによる温度上昇の巾は小さい。そこで、かな
り液が汚れないと感知できないという欠点がある。また
温度センサが故障したときは全く管理ができなくなると
いう欠点もある。
本発明の目的は、このような欠点を解消し、従来より液
の汚れの検知が容易で、検知不能になるおそれもない、
液の汚れの管理に便利な洗浄装置を提供することにある
(課題を解決するための手段) 前記の目的を達成するため、本発明の洗浄装置は、洗浄
用の液を収容する槽2,3.4の一部に透明なのぞき窓
S、S、Sを設け、のぞき窓5゜5.5に汚れにより変
化した前記液の色と比較して汚れの程度を判断するため
の色つきテープ6゜6.6を付した構造とする。
(実施例) 次に、本発明九ついて図面を参照して説明する。
第1図は、本発明の一実施例を示す正面図である。
第2図は、第1図のA−Aで断面して第1図の実施例の
要部を示す平面(断面)図である。
第1図および第2図に示すように、本実施例の洗浄装置
1は、蒸留槽2、煮沸[3、超音波槽4の8Fi1を有
している。
この蒸留槽2、煮沸槽3、超音波槽4にはそれぞれ蒸溜
、煮沸、超音波洗浄に使用する洗浄用の液が収容される
そして、それぞれの檀に透明なのぞき窓5,5゜5を設
け、そののぞき窓S、S、Sに液汚れ管理テープ6.6
.6が貼付されている。
この液汚れ管理テープ6.6.6は、蒸留槽2、煮沸+
113、超音波14に収容されるそれぞれの液の色と比
較して液の汚れが判るよう蒸留槽2ののぞき窓には、6
a、6b、6cの三段階の色に、また煮沸槽3ののぞき
窓には、6d、6e、6fの三段階の色に、また超音波
I′14ののぞき窓には、6g、ah、61の三段階の
色に分けて着色されている。
そこで使用者は、各種ごとだ異なる色の液汚れ管理テー
プ6の三段階の色と、それぞれの液の色と比較し、液の
汚れの程度を判定することができる。
(発明の効果) 以上説明したように本発明は、洗浄装置の橿の一部を透
明にし、透明な窓に液の汚れの程度に対応した色のテー
プを貼ることにより、洗浄液の色と比較して汚れの程度
を従来よりはるかに容易に判断することができるので、
液汚れの確実な管理が行なえるという効果がある。
また、従来のようにセンサ故障による管理不能になるお
それはない。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の一実施例を示す正面図である。 第2図は、第1図のA−Aで断面した平面(断lf])
図である。 ・洗浄装置 ・蒸留槽 ・煮沸槽 ・超音波槽 ・のぞき窓 ・液汚れ管理テープ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 洗浄用の液を収容する槽の一部に透明なのぞき窓を設け
    、前記のぞき窓に、汚れにより変化した前記液の色と比
    較して汚れの程度を判断するための色つきテープを付し
    たことを特徴とする洗浄装置。
JP15813388A 1988-06-28 1988-06-28 洗浄装置 Pending JPH0210124A (ja)

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JP15813388A JPH0210124A (ja) 1988-06-28 1988-06-28 洗浄装置

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JP15813388A JPH0210124A (ja) 1988-06-28 1988-06-28 洗浄装置

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JPH0210124A true JPH0210124A (ja) 1990-01-12

Family

ID=15664998

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JP15813388A Pending JPH0210124A (ja) 1988-06-28 1988-06-28 洗浄装置

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106459848A (zh) * 2014-03-26 2017-02-22 索豪瑟有限公司 用于清洁系统的方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106459848A (zh) * 2014-03-26 2017-02-22 索豪瑟有限公司 用于清洁系统的方法

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