JPH0199300A - Substrate transfer device - Google Patents
Substrate transfer deviceInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
（イ） 産業上の利用分野
本発明は電子回路基板等の基板を加工する工程で用いる
基板搬送装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (a) Field of Industrial Application The present invention relates to a substrate transport device used in the process of processing a substrate such as an electronic circuit board.
（ロ）従来の技術
基板加工工程、例えば電子回路基板に電子部品を装着す
るといった工程においては、ＸＹテーブルのような基板
位置決め装置に基板を固定して、基板の任意の位置を加
工用工具（例えば電子部品装着用真空チャック）に相対
させる、という構成をとることが多い、基板位置決め装
置に基板を取り付けたり、あるいはそこから基板を取り
外したりする作業も最近では殆ど自動化されている。こ
の作業に関連してローディングブリッジとアンローディ
ングブリッジが用いられる。ローディングブリッジ、基
板位置決め装置、アンローディングブリッジは、この順
序に並んで基板の受け渡しを行なう、かかる装置の例は
、例えば特公昭５９−１２５６５号公報、特公昭６２−
１３８３７号公報に見ることができる。これらの例では
基板受け渡し時のみ３者が集合し、それ以外の時はロー
デインダブリッジとアンローディングブリッジが互の間
隔を広げて基板位置決め装置の移動空間を確保するので
あるが、両ブリッジの相互位置を不変に保ち、基板加工
作業は両ブリッジから脇にそれた場所で行ない、基板受
け渡し時のみ、基板位置決め装置が両ブリッジ間に帰っ
て来る、という構成をとることもある。(b) Conventional technology In a board processing process, such as mounting electronic components on an electronic circuit board, the board is fixed to a board positioning device such as an XY table, and a processing tool ( For example, the work of mounting a board on a board positioning device, which is often configured to be placed against a vacuum chuck for mounting electronic components, or removing the board from the same, has recently become almost automated. A loading bridge and an unloading bridge are used in connection with this task. A loading bridge, a substrate positioning device, and an unloading bridge are arranged in this order to transfer substrates.
It can be seen in the publication No. 13837. In these examples, the three parties gather together only when transferring the board, and at other times the loading/unloading bridge widens the distance between them to ensure movement space for the board positioning device. In some cases, the position remains unchanged, the substrate processing work is performed at a location away from both bridges, and the substrate positioning device returns between the bridges only when transferring the substrate.
ヒ記の如き基板条送装置において、基板位置決め装置に
乗り移った基板は、基板位置決め装置に対し一定の位置
を保つよう固定される。かかる位置決めと固定には、特
開昭５５−５６６８５号公報の例のように、基板の位置
決め穴にピンを挿入するという手法によることもあり、
また特公昭６２−１３８３７号公報の装置のように、前
後左右から基板を挾みつけるという手法によることもあ
る。後者の手法は、位置決め用穴を設けるスペースのな
い小型基板に多く適用される。In the substrate conveying device as described above, the substrate transferred to the substrate positioning device is fixed to the substrate positioning device so as to maintain a constant position. Such positioning and fixing may involve inserting pins into positioning holes in the board, as in the example of Japanese Patent Application Laid-Open No. 55-56685.
Alternatively, as in the device disclosed in Japanese Patent Publication No. 62-13837, a technique may be used in which the substrate is held from the front, back, left and right sides. The latter method is often applied to small substrates that do not have space to provide positioning holes.
（ハ） 発明が解決しようとする問題点基板位置決め装
置に送り込まれた基板を挾みつけて固定するに際しては
、基板の両側縁を支持するレール板それ自体を挾みっけ
手段として利用することが多い、この場合、可動側とな
ったレール板を開閉動させるのはエアシリンダであった
。しかしながら、基板位置決め装置は限られた領域内で
はあるが自在な、且つ敏速な動きを要求されるものであ
り、配管・配線を要するアクチユエータの類は搭載しな
いにこしたことはない、そこで本発明は、内蔵アクチュ
エータによらずして基板位置決め装置の可動レール板を
動作させることのできる装置を提供しようとするもので
ある。(c) Problems to be solved by the invention When clamping and fixing a board fed into a board positioning device, the rail plates themselves that support both sides of the board are often used as a clamping means. In this case, an air cylinder was used to open and close the movable rail plate. However, the board positioning device is required to be able to move freely and quickly even within a limited area, and it is inevitable to install an actuator that requires piping and wiring. Therefore, the present invention was developed. The object of the present invention is to provide a device capable of operating a movable rail plate of a substrate positioning device without using a built-in actuator.
（ニ）問題点を解決するための手段
本発明では、基板位置決め装置の可動レール板はばねに
より基板挾みっけ方向に附勢されている。また基板位置
決め装置には、ローディングブリッジないしアンローデ
ィングブリッジの少なくとも一方に設けられたアクチュ
エータにより動きを与えられ、この動きを可動レール板
の附勢力に抗する方向の動きに転換する運動伝達機構を
配置した。(d) Means for Solving the Problems In the present invention, the movable rail plate of the substrate positioning device is biased by a spring in the direction of the substrate clamping surface. In addition, the board positioning device is provided with a motion transmission mechanism that is given movement by an actuator provided on at least one of the loading bridge or the unloading bridge, and converts this movement into movement in a direction that resists the applied force of the movable rail plate. did.
（ホ）作用
基板加工作業が終了すると基板位置決め装置はローディ
ングブリッジとアンローディングブリッジの間に復帰す
る。ここでアクチュエータが作動すると、運動伝達機構
が可動レール板を移動きせ、加工済の基板を釈放する。(e) When the working substrate processing work is completed, the substrate positioning device returns between the loading bridge and the unloading bridge. When the actuator is actuated, the motion transmission mechanism moves the movable rail plate and releases the processed board.
加工済基板と未加工基板が入れ替わった後、アクチュエ
ータが逆方向に動作すると可動レール板は再び基板を挾
みつける。After the processed board and the unprocessed board are exchanged, when the actuator moves in the opposite direction, the movable rail plate again clamps the board.
（へ）実施例
まず第１図に基き装置のアウトラインを説明する。同図
において、（１）は加工すべき基板、（３）は基板く１
）を加工位置に移動させる基板位置決め装置、（５）は
基板位置決め装置（３〉に未加工の基板（１）を送り込
むローディングブリッジ、く７）は基板位置決め装置（
３）から加工済基板を受け取るアンローディングブリッ
ジである。ローディングブリッジく５）とアンローディ
ングブリッジ（７）の相互距離は不変である。基板加工
作業は両ブリッジ（５）（７）の脇の方で行なわれ、作
業が終わると基板位置決め装置（３）が両ブリッジ（５
）（７）の間隙に入り込み、基板（１）の受け渡しが行
なわれるものである。(f) Example First, the outline of the apparatus will be explained based on FIG. In the same figure, (1) is the substrate to be processed, and (3) is the substrate to be processed.
) is a substrate positioning device that moves the substrate to the processing position, (5) is a loading bridge that feeds the unprocessed substrate (1) to the substrate positioning device (3), and 7) is a substrate positioning device (
This is an unloading bridge that receives processed substrates from 3). The mutual distance between the loading bridge (5) and the unloading bridge (7) remains unchanged. The board processing work is done on the sides of both bridges (5) and (7), and when the work is finished, the board positioning device (3)
) (7), and the substrate (1) is transferred.
次にローディングブリッジ（５）の構造を説明する。ロ
ーディングブリッジ（５）は、１対の平行する桁構造（
１０）（１１）により構成される。−・方の桁構造（１
１）は、桁構造（１０）に対し開閉動可能、つまり桁構
造（１０）からの距離を変えられるようになっている。Next, the structure of the loading bridge (5) will be explained. The loading bridge (5) consists of a pair of parallel girder structures (
10) Constructed by (11). −・digit structure (1
1) can be opened and closed relative to the girder structure (10), that is, the distance from the girder structure (10) can be changed.
開閉動を生じさせるのは、第１２図に模型的に示す電動
機（１２）と、これによって回転せしめられるねじ軸（
１３）である、以下の説明では、桁構造（１１）のこと
を特に可動桁構造と呼ぶことにする。The opening and closing movements are caused by an electric motor (12) schematically shown in Fig. 12 and a screw shaft (12) rotated by the electric motor (12).
13). In the following description, the girder structure (11) will be particularly referred to as the movable girder structure.
桁構造（１０）と可動桁構造（１１）の互に向かい合う
縁部には、基板（１）の側縁を落とし込んで支える段部
（１４）が形設されている０段部（１４）の底の部分は
、ローディングブリッジ（５）の出口に近い僅かな個所
を除いて、その殆どを基板搬送ベルト（１５）（第６図
）によって構成されている。そして桁構造（１０）及び
可動桁構造（１１）の内面には、基板搬送ベルト（１５
）によって運ばれて来た基板（１）のオーバーランを防
ぐためのストッパ〈１６）が設置される。The edge of the girder structure (10) and the movable girder structure (11) facing each other is provided with a step (14) into which the side edge of the board (1) is inserted and supports the zero step part (14). Most of the bottom part is made up of the substrate conveyance belt (15) (FIG. 6), except for a small area near the exit of the loading bridge (5). The inner surfaces of the girder structure (10) and the movable girder structure (11) are provided with a substrate conveying belt (15).
) is installed with a stopper <16) to prevent the board (1) carried by the board (1) from overrunning.
桁構造（１０）の側のストッパ（１６）も可動桁構造（
１１）の側のストッパ（１６）も基本的な仕組は同一な
ので、ここでは可動桁構造（１１）のストッパ（１６）
についてその動作機構を説明する。ストッパ（１６〉そ
のものは、基板（１）の行く手に立ちはだかる板状の部
材であるが、これは、板金製レバー（１８）ノミｌ動端
に固定されている。レバー（１８）はストッパ退避動作
機構（１７）の−環をなすものであり、可動桁構造（１
１）に軸（１９）で取り付けられて、垂直面内で揺動可
能となっている。レバー（１８）には、可動桁構造（１
１）との間に張り渡した引張フィルばね（２０）により
、第６図において反時計まわりの回動力が付与きれてい
る。可動桁構造〈１１）の内面に固定した軸受ブロック
（２１）によりレバー（１８）は回転を止められるが、
この時ストッパ（１６）は、基板（１）の支持高さより
少し上に頭を出す、レバー（１８）の、軸（１９）に近
い部位には、ローラ（２２）が取り付けられている。
（２３）は、ローラ（２２）に向かい合う如く軸受ブロ
ック〈２１）を水平に貫通する押圧ロッドである。押圧
ロッド（２３）は圧縮コイルばね（２４）により第６図
において右方に押され、常時は第６図の位置を保ってい
る。押圧ロッド（２３）の、ローラ（２２）に面側る側
は、平たく面積の大きい頭部（２５）とな−）ている、
（２６）は基板（１）を送るためのつオーキングビー
ムで、３本の爪（２７）（２８）（２９）を下向きに突
出させている。爪（２７）は基板位置決め装置（３）か
ら加工済基板（１）を押し出すためのもの、爪（２８）
（２９）は、ローディングブリッジ（５）から基板位置
決め装置（３）へ、未加工の基板（１）を前後から挾ん
で送り込むためのものである。The stopper (16) on the side of the girder structure (10) also has a movable girder structure (
The basic structure of the stopper (16) on the side of 11) is the same, so here we will use the stopper (16) of the movable girder structure (11).
The operating mechanism will be explained below. The stopper (16) itself is a plate-shaped member that stands in the way of the board (1), but it is fixed to the chisel moving end of a sheet metal lever (18).The lever (18) is used to move the stopper away. It forms the ring of the mechanism (17), and the movable girder structure (1
1) with a shaft (19), and is swingable in a vertical plane. The lever (18) has a movable girder structure (1
1), the counterclockwise rotational force has been applied to the tension fill spring (20) in FIG. 6. The lever (18) can be stopped from rotating by the bearing block (21) fixed to the inner surface of the movable girder structure (11).
At this time, the stopper (16) projects its head slightly above the supporting height of the substrate (1), and a roller (22) is attached to a portion of the lever (18) near the shaft (19).
(23) is a pressing rod that horizontally penetrates the bearing block (21) so as to face the roller (22). The pressing rod (23) is pushed to the right in FIG. 6 by a compression coil spring (24) and normally maintains the position shown in FIG. The side of the pressing rod (23) facing the roller (22) has a flat head (25) with a large area.
(26) is an oaking beam for feeding the substrate (1), and has three claws (27), (28), and (29) projecting downward. The claw (27) is for pushing out the processed board (1) from the board positioning device (3), and the claw (28) is for pushing out the processed board (1) from the board positioning device (3).
(29) is for feeding the unprocessed substrate (1) from the loading bridge (5) to the substrate positioning device (3) by sandwiching it from the front and back.
アンローディングブリッジ（７）も、平行する１対の桁
構造（４０）（４１＞からなる。可動桁構造（１１）と
同じ側に位置する桁構造（４１）は、やはり桁構造（４
０）に対し開閉動可能となっている。そこで、桁構造〈
４１）も可動桁構造と呼ぶ、可動桁構造（４１）に開閉
動を生じさせるのは、第１２図に模型的に示す電動機（
４２）と、これによって回転せしめられるねし軸（４３
〉である、電動機（１２）（４２）は、可動桁構造（１
１）（４１）が、同時に、同方向へ、同速度で同距離だ
け移動するよう、制御装置り４４）により制御される０
桁構造（４０）と可動桁構造（４１）の互に向かい合う
縁部には、基板（１）の側縁を落とし込んで支える段部
（４５）が形設され、段部（４５）の底の部分は、アン
ローディングブリッジ（７）の入目に近い僅かな個所を
除いて、その殆どを基板搬送ベルト（４６）によって構
成されている０桁構造（４０〉及び可動桁構造（４１）
の内面にはブロック（４７）が固定され、ここからロー
ディングブリッジ（５）の方に向かってピン（４８）が
突出する。ピン（４８）の軸心は、これと同じ側にある
押圧ロッド（２３）の軸心に一致する。The unloading bridge (7) also consists of a pair of parallel girder structures (40) (41>. The girder structure (41) located on the same side as the movable girder structure (11) also
0) can be opened and closed. Therefore, the girder structure
41) is also called a movable girder structure.The electric motor (41) shown schematically in Fig. 12 causes the movable girder structure (41) to open and close.
42) and a screw shaft (43
>, the electric motors (12) (42) have a movable girder structure (1
1) (41) is controlled by the control device 44) so that it moves simultaneously in the same direction, at the same speed, and by the same distance.
A step part (45) is formed on the opposing edges of the girder structure (40) and the movable girder structure (41), into which the side edge of the board (1) is dropped and supported. The part consists of a zero-digit structure (40) and a movable-digit structure (41), which are mostly made up of the substrate conveyance belt (46), except for a few places near the entrance of the unloading bridge (7).
A block (47) is fixed to the inner surface of the block (47), from which a pin (48) projects toward the loading bridge (5). The axis of the pin (48) coincides with the axis of the pressing rod (23) on the same side.
ピン（４８〉はブロックク４７）に対しスライド自在で
あり、桁構造（４０）及び可動桁構造（４１）の内面に
取り付けたアクチュエータ＜４９）（第１３図）によっ
て動きを与えられる。アクチュエータ（４９）として、
ここではエアシリンダを使用している。アクチュエータ
ク４９）は、常時はピン（４８）の先端をアンローディ
ングブリッジ（７〉の端とつらいもの位置に置いている
。The pin (48) is slidable relative to the block 47 and is given movement by an actuator (49) (FIG. 13) attached to the inner surface of the girder structure (40) and the movable girder structure (41). As an actuator (49),
An air cylinder is used here. The actuator 49) normally places the tip of the pin (48) in a position that is close to the end of the unloading bridge (7>).
基板位置決め装置ｔ（３）の構造は次のようになってい
る。ベース（５０）はいわゆるＸＹテーブルであって、
２次元の移動が可能である。この上にフレーム（５１）
が設置され、フレーム（５１）の上部には、ローディン
グブリッジ（５）及びアンローディングブリッジ（７）
の桁構造と並ぶように、１対のガイドレール構造（５２
）（５３）が設置される。ガイドレール構造（５３）は
ガイドレール構造（５２）に対し開閉動可能であり、可
動ガイドレール構造と呼ぶことにする。ガイドレール構
造り５２）のレール板〈５４）と、可動ガイドレール構
造（５３）のレール板（５５）には、向かい合う段部（
５６）が形設坊れ、ここで基板（１）の側縁を支持する
ようになっている。第２図に示すように、レール板（５
４）の内部には空洞（５７）を設け、ここにベルクラン
ク状のレバー（５８）ヲ、軸（５９）により、水平面内
で回動できるよう枢支している。レバー（５８）は、圧
縮コイルばね（６０）に押されて一端を僅かに段部（５
６）の中に突き出す、基板位置決め装置（３）に基板（
１）が到着すると、レバー（５８）は基板（１）に押さ
れて空ｉ′ｌ１ｉｉ（５７）の中へ引っ込む、この時の
レバー（５８）の動きを図示しないセンサ（例えばリミ
ットスイッチ、光電管〉で検知し、基板到着の信号を得
るものである。レール板（５５）については、段部（５
６）のところに多数のローラ（６１）を配置している。The structure of the substrate positioning device t(3) is as follows. The base (50) is a so-called XY table,
Two-dimensional movement is possible. Frame on this (51)
is installed, and a loading bridge (5) and an unloading bridge (7) are installed on the top of the frame (51).
A pair of guide rail structures (52
) (53) is installed. The guide rail structure (53) can be opened and closed relative to the guide rail structure (52), and will be referred to as a movable guide rail structure. The rail plate (54) of the guide rail structure (52) and the rail plate (55) of the movable guide rail structure (53) have opposing steps (
56) is formed to support the side edges of the substrate (1). As shown in Figure 2, the rail plate (5
4) is provided with a cavity (57), in which a bell crank-shaped lever (58) is pivotally supported by a shaft (59) so as to be rotatable in a horizontal plane. The lever (58) is pushed by the compression coil spring (60) and has one end slightly stepped (58).
6), place the board (
1), the lever (58) is pushed by the board (1) and retracts into the empty space i'l1ii (57). ) to obtain a signal indicating the arrival of the board.For the rail plate (55), the step part (55)
6), a large number of rollers (61) are arranged.
ローラ（６１）は１列に並んで基板（１）の縁部を誘導
するもので、各々が１個づつのスライドブロック（６２
）に支持され、互に独立して進退可能である。各スライ
ドブロック（６２〉は、第４図に見られるように一定距
離の進退が可能であって、圧縮コイルばね（６３）によ
り、ローラ（６１）を最大限に突出させる位置まで押し
出きれている。The rollers (61) are arranged in a row to guide the edge of the substrate (1), and each roller (61) guides the edge of the substrate (1).
), and can advance and retreat independently of each other. As shown in Fig. 4, each slide block (62) is capable of moving forward and backward a certain distance, and is pushed out by a compression coil spring (63) to a position where the roller (61) is maximally protruded. There is.
可動ガイドレール構造（５３）について更に詳しく述べ
る。レール板（５５）は左右１対のスライドブロック（
７０）に取り付ける。そこで以後、レール板（５５）を
可動レール板と呼ぶことにする。スライドブロック（７
０）はフレーム（５１）の上面に固定したし一ル（７１
）に直線移動のみ可能なる如く支持されている。レール
（７１）と、これを支えるフレーム（５１）の上部水平
ビーム（７２）とは、レール板（５５）と直角の方向に
延びる。 （７５）は上部水平ビーム（７２）に懸垂状
態で支持されるスライドベースである。スライドベース
（７５）は上部水平ビーム（７２）を挾む１対の側板（
７６）を有し、この１対の側板（７６）の間に、第４図
に見られるように２個のブロック（７７）（７８）を固
定し、及び２個のローラ（７９）を枢支し、ブロック（
７７）（７８）をレール（７１）に載置して重量を支え
、ローラ（７９）を上部水平ビーム（７２）の下面に接
触させて上方への動きを止める仕組としている。The movable guide rail structure (53) will be described in more detail. The rail plate (55) has a pair of left and right slide blocks (
70). Therefore, hereinafter, the rail plate (55) will be referred to as a movable rail plate. Slide block (7
0) is fixed to the top surface of the frame (51).
) so that only linear movement is possible. The rail (71) and the upper horizontal beam (72) of the frame (51) that supports it extend in a direction perpendicular to the rail plate (55). (75) is a slide base supported in a suspended state by the upper horizontal beam (72). The slide base (75) has a pair of side plates (
76), between the pair of side plates (76), two blocks (77) and (78) are fixed as shown in FIG. 4, and two rollers (79) are fixed. Support, block (
77) and (78) are placed on the rails (71) to support their weight, and the rollers (79) are brought into contact with the lower surface of the upper horizontal beam (72) to stop their upward movement.
ブロック（７７）（７８）は間が広く開いており、スラ
イドブロック（７０）はここに位置する。スライドブロ
ック（７０）とスライドベース（７５〉とは、スライド
ブロック（７０〉から突出したロッド（８０）により連
結されている。すなわちロッド（８０）はブロック（７
８）をスライド自在に貫通しており、その先端には抜は
止め用ナットク８１）が固定されている。スライドブロ
ック（７０）とブロック（７８）の間には、ロッド（８
０）を取り巻く形で圧縮コイルばね（８２）が挿入され
ており、この圧縮フィルばね（８２）によりスライドブ
ロック（７０）と可動レール板（５５）は、レール板〈
５４〉に接近する方向に附勢されている。The blocks (77) and (78) are widely spaced, and the slide block (70) is located here. The slide block (70) and the slide base (75> are connected by a rod (80) protruding from the slide block (70>. That is, the rod (80) is connected to the block (75).
8), and a nut 81) for preventing removal is fixed to the tip thereof. A rod (8) is installed between the slide block (70) and the block (78).
A compression coil spring (82) is inserted to surround the slide block (70) and the movable rail plate (55) due to this compression fill spring (82).
54〉.
（８５）は左右のスライドベース（７５）を貫通する伝
達ロッドである。伝達ロッド（８５）は、ローディング
ブリッジ（５）、基板位置決め装置く３）、アンローデ
ィングブリッジ（７）の３者が整列した時、押圧ロッド
（２３）及びビン（４８）と−直線に並ぶ位置に設けら
れ、また押圧ロッド〈２３）及びビン（４８）と等しい
直径を有している。伝達ロッド（８５）の長さは左右の
スライドベース（７５）の外面間隔に等しい。(85) is a transmission rod passing through the left and right slide bases (75). The transmission rod (85) is positioned in line with the pressing rod (23) and the bottle (48) when the loading bridge (5), the substrate positioning device (3), and the unloading bridge (7) are aligned. and has the same diameter as the pressing rod (23) and the bottle (48). The length of the transmission rod (85) is equal to the distance between the outer surfaces of the left and right slide bases (75).
伝達ロッド（８５）は、途中に設けたストッパ（８６）
がアンローディングブリッジ（７）側に位置するスライ
ドベース（７５〉に当たるところまで、圧縮コイルばね
（８７）の断発力でアンローディングブリッジ（７５）
側に押すことにより、基板位置決め装置（３）の中に全
身を没する状態に常時維持されている。The transmission rod (85) has a stopper (86) provided in the middle.
The unloading bridge (75) is moved by the force of the compression coil spring (87) until it hits the slide base (75) located on the unloading bridge (7) side.
By pushing to the side, the state in which the whole body is immersed in the substrate positioning device (3) is maintained at all times.
これと同様の伝達口・ノドがガイドレール構造（５２）
の側にも設けられる。可動ガイドレール構造（５３）の
側の伝達ロッド（８５）にはくさび形のカム（８８）を
固定する。このカム（８８）は、可動レール板（５５）
の中央部に取り付けられたローラ（８９）（第５図、第
１０図２第１１図に図示）に関連づけられるもので、伝
達ロッド（８５）がローディングブリッジ（５）の方へ
移動した時にローラ（８９）を押し、可動レール板（５
５）及びスライドブロック（７０）を、圧縮コイルばね
（８２）の力に抗しレール板（５４）から遠ざかる方向
に移動きせる。The transmission port/nod has a guide rail structure (52) similar to this one.
It can also be installed on the side of A wedge-shaped cam (88) is fixed to the transmission rod (85) on the side of the movable guide rail structure (53). This cam (88) is connected to the movable rail plate (55)
(89) (shown in Figures 5, 10 and 11) mounted in the central part of the Press (89) and move the movable rail plate (5
5) and the slide block (70) are moved in a direction away from the rail plate (54) against the force of the compression coil spring (82).
可動ガイドレール構造（５３）はブレーキ機構（９５）
を有する。ブレーキ機構（９５）はスライドベース（７
５）の動きを止めるためのもので、ロッド（９７）を上
に向けた形でスライドベース（７５）に固定されたエア
シリンダ（９６）と、ロッド（９７）の先端に固定した
ブレーキパッド（９８）と、ロッド（９７）を押し上げ
てブレーキパッド（９８）を上部水平ビーム（７２）の
下面に圧接させる圧縮フィルばね（９９）とにより構成
される。エアシリンダ（９６）に圧縮空気を送り込むと
、ロッド（９７）が引っ込み、ブレーキパッド（９８）
が上部水平ビーム（７２）から離れ、スライドベース（
７５）のロックは解除される。The movable guide rail structure (53) is a brake mechanism (95)
has. The brake mechanism (95) is attached to the slide base (7
The air cylinder (96) is fixed to the slide base (75) with the rod (97) facing upward, and the brake pad (97) is fixed to the tip of the rod (97). 98) and a compressed fill spring (99) that pushes up the rod (97) and presses the brake pad (98) against the lower surface of the upper horizontal beam (72). When compressed air is sent into the air cylinder (96), the rod (97) retracts and the brake pad (98)
separates from the upper horizontal beam (72) and slides away from the sliding base (
75) is unlocked.
（１０５）は基板位置決め装置（３）に送り込まれた基
板（１）を下から支えるエレベータである。エレベータ
（１０５）は、基板（１）を支える位置まで、エアシリ
ンダ（１０６）によって上昇せしめられる。この他基板
位置決め装置く３）には、特公昭６２−１３８３７号公
報におけると同様、レール板及び可動レール板（５４）
（５５）と直角の方向から基板〈１）を挾みつける位置
決め爪が設置されるが、ここでは図示しない。(105) is an elevator that supports the substrate (1) sent into the substrate positioning device (3) from below. The elevator (105) is raised by an air cylinder (106) to a position where it supports the substrate (1). In addition, the board positioning device 3) includes a rail plate and a movable rail plate (54) as in Japanese Patent Publication No. 62-13837.
Positioning claws are installed to clamp the substrate (1) from a direction perpendicular to (55), but are not shown here.
本発明装置は次のように動作する。基板位置決め装置（
３）上の基板（１）を加工している間に、ローディング
ブリッジ（５）においては基板搬送ベルト（１５）によ
り未加工の基板（１）が運ばれて来て、ストッパ（１６
）に当たり待機している。基板加工終了後、第１０図に
示すようにローディングブリッジ（５〉とアンローディ
ングブリッジ（７）の間へ基板位置決め装置（３）が帰
って来る。基板位置決め装置（３）がローディングブリ
ッジ（５）とアンローディングブリッジ（７）に整列し
、静止した時点で、アクチュエータ（４９）が動作し、
基板位置決め装置（３）の方へピン＜４８）を突出させ
る。第７図に示すように、突出したピン〈４８）はスラ
イドベース（７５）の中に入り込み、圧縮コイルばね（
８７）の弾発力に抗して伝達ロッド（８５）を押す、押
された伝達ロッド（８５）は第７図及び第１１図におい
て基板位置決め装置（３〉の左側に突出し、ローディン
グブリ７ジ（５）の押圧ロッド（２３）を押す、押圧ロ
ッド〈２３）はレバー（１８）のローラ（２２）を押し
、レバー（１８）は引張コイルばね（２０〉の張力に抗
し第７図において時計まわりに回動し、ストッパ〈１６
）は待機中の基板（１）から離れる。これと同時に、カ
ム（８８）は可動レール板（５５）のローラ（８９）を
押し、レール板及び可動レール板（５４）（５５）によ
る基板（１）の挾みっけを解除する。勿論この時、レー
ル板及び可動レール板（５４）（５５）と直角の方向か
ら基板（１）を挾みつける図示しない位置決め爪、及び
エレベータ（１０５）も、完全に基板（１）から離れて
いる。ここでウオーキングビーム（２６）が動き、基板
位置決め装置（３）から加工済基板（１）をアンローデ
ィングブリッジ〈７）へと押し出し、また未加工基板（
１）をローディングブリッジ（５）から基板位置決め装
置（３）へ移す、ウオーキングビーム（２６）の動作中
は、基板搬送ベルト（１５）（４６）は静止している。The device of the present invention operates as follows. Board positioning device (
3) While the upper substrate (1) is being processed, the unprocessed substrate (1) is carried by the substrate conveyor belt (15) to the loading bridge (5) and is stopped by the stopper (16).
) is waiting. After the substrate processing is completed, the substrate positioning device (3) returns between the loading bridge (5) and the unloading bridge (7) as shown in Fig. 10.The substrate positioning device (3) returns to the loading bridge (5). and the unloading bridge (7), and when it comes to rest, the actuator (49) operates,
Protrude the pin <48) towards the substrate positioning device (3). As shown in Figure 7, the protruding pin (48) enters the slide base (75) and the compression coil spring (
The pushed transmission rod (85) pushes the transmission rod (85) against the elastic force of the substrate positioning device (3) in FIGS. The pressure rod (23) of (5) is pushed, the pressure rod (23) pushes the roller (22) of the lever (18), and the lever (18) resists the tension of the tension coil spring (20) as shown in Fig. 7. Rotate clockwise and stopper <16
) leaves the waiting board (1). At the same time, the cam (88) pushes the roller (89) of the movable rail plate (55) and releases the clamping of the board (1) by the rail plate and the movable rail plates (54) and (55). Of course, at this time, the positioning claws (not shown) that clamp the board (1) from the direction perpendicular to the rail plate and movable rail plates (54) and (55), and the elevator (105) are also completely separated from the board (1). . Here, the walking beam (26) moves and pushes the processed substrate (1) from the substrate positioning device (3) to the unloading bridge (7), and also pushes the processed substrate (1) from the substrate positioning device (3) to the unloading bridge (7).
1) from the loading bridge (5) to the substrate positioning device (3), the substrate transport belts (15) (46) are stationary during the operation of the walking beam (26).
基板（１）の受け渡しを終えた後、アクチュエータ（４
９）が元の状態に復帰してピン（４８）を引っ込めると
、伝達ロッド（８５）は旧位置に復し、可動レール板（
５５）は圧縮フィルばね（８２）の力で、ローラ（６１
）を介して基板（１）をレール板（５４〉に押しつける
。ローディングブリッジ（５）においてはストッパ（１
６）が旧位置に復元し、このストッパ（１６）めがけて
基板撤退ベルト〈１５）が基板（１）を運んで来るもの
である。アンローディングブリッジ（７）では、つオー
キングビーム（２６）が加工済基板（１）を移し終える
と同時に基板搬送ベルト（４６）が動作を始めてこの基
板く１）を運び去る。After completing the transfer of the board (1), the actuator (4)
9) returns to its original state and retracts the pin (48), the transmission rod (85) returns to its old position and the movable rail plate (
55) is a roller (61) under the force of a compressed fill spring (82).
) to press the board (1) against the rail plate (54).In the loading bridge (5), the stopper (1)
6) is restored to its old position, and the substrate withdrawal belt (15) carries the substrate (1) toward this stopper (16). At the unloading bridge (7), as soon as the oaking beam (26) finishes transferring the processed substrate (1), the substrate conveyor belt (46) starts operating and carries away the processed substrate (1).
基板搬送部の幅調節は、第１２図のように、ローディン
グブリッジ（５）、基板位置決め装置！（３’）、アン
ローディングブリッジ（７）の３者が一直線に並んだ状
態で行なう、ここで、可動桁構造（４１）から連結構造
体が進出し、可動ガイドレール構造（５３）の運動伝達
体に連結する。この場合ピン（４８）が連結構造体であ
り、これを受け入れるスライドベース（７５）が運動伝
達体である。ピン（４８）によって押し出された伝達ロ
ッド（８５）は軸受ブロック（２１）に入り込み、可動
桁構造（１１）と可動ガイドレール構造（５３）との連
結もここにおいて生じる。このようにして可動桁構造＜
４１）（１１）と可動ガイドレール構造（５３）を連結
した上で、ブレーキ機構（９５）による可動ガイドレー
ル構造（５３）のロックを解除し、この状態で電動Ｉｎ
（１２）（４２）を駆動し−Ｃ１可動桁構造（１１）（
４１＞と可動ガイドレール構造（５３）の位置を変更す
る０位置変更終了後、ブレーキ機構（９５）で再び可動
ガイドレール構造（５３）にロックをかけ、新しい撤退
幅に見合う幅の基板（１）の加ｒを開始する。The width of the substrate transport section can be adjusted using the loading bridge (5) and substrate positioning device as shown in Figure 12. (3') and the unloading bridge (7) are lined up in a straight line. At this point, the connecting structure advances from the movable girder structure (41) and transfers the motion of the movable guide rail structure (53). Connect to the body. In this case, the pin (48) is the connecting structure, and the slide base (75) that receives it is the motion transmitting body. The transmission rod (85) pushed out by the pin (48) enters the bearing block (21), and the connection between the movable girder structure (11) and the movable guide rail structure (53) also occurs here. In this way, the movable girder structure <
41) After connecting (11) and the movable guide rail structure (53), unlock the movable guide rail structure (53) by the brake mechanism (95), and in this state,
(12) (42) is driven -C1 movable girder structure (11) (
41> and the position of the movable guide rail structure (53). After the 0 position change is completed, the brake mechanism (95) locks the movable guide rail structure (53) again, and the board (1) with a width corresponding to the new withdrawal width is ).
（ト）発明の効果
本発明によれば、基板位置決め装置において基板を挾み
つけていた可動レール板は、ローディングブリッジない
しアンローディングブリッジの少なくとも一方に設けら
れたアクチュエータから動力を得て基板釈放位置へ移動
するようにしたから、可動レール板のためのアクチュエ
ータを基板位置決め装置に設けずとも良く、基板位置決
め装置に対する配線・配管をそれだけ少なくでき、基板
位置決め装置の故障頻度を低下させられるものである。(g) Effects of the Invention According to the present invention, the movable rail plate that clamps the board in the board positioning device moves to the board releasing position by receiving power from the actuator provided on at least one of the loading bridge or the unloading bridge. Since it is movable, there is no need to provide an actuator for the movable rail plate in the board positioning device, the wiring and piping for the board positioning device can be reduced accordingly, and the frequency of failure of the board positioning device can be reduced.
図は本発明の一実施例を示し、第１図は装置の概Ｍ構成
を示す斜視図、第２図は基板位置決め装置の部分的に破
断した上面図、第３図は基板位置決め装置の部分斜視図
、第４図は基板位置決め装置の部分垂直断面図、第５図
は可動レール板の部分垂直断面図、第６図及び第７図は
本発明装置の部分垂直断面図にして異なる動作状態時に
おけるもの、第８図はローディングブリッジの部分水平
断面図、第９図はローディングラリ・７ジの部分斜視図
、第１０図及び第１１図は基板受け渡し動作説明用の上
面図にして、一部破断したもの、第１２図は基板搬送幅
変更動作説明用の上面図、第１３図はアクチュエータ設
置状況を示す一部断面部分正面図である。
〈１）・・・基板、（３）・・・基板位置決め装置、（
５）・・・ローディングブリッジ、（７）・・・アンロ
ーディングブリッジ、（５４）・・・レール板、（５５
）・・・可動レール板、（８２）・・・ばね、（８５）
（８８）（８９）・・・運動伝達機構を構成する伝達ロ
ッド、カム、及びローラ、（４９）・・・アクチュエー
タ。The drawings show an embodiment of the present invention, in which Fig. 1 is a perspective view showing the general configuration of the device, Fig. 2 is a partially cutaway top view of the substrate positioning device, and Fig. 3 is a portion of the substrate positioning device. 4 is a partial vertical sectional view of the substrate positioning device, FIG. 5 is a partial vertical sectional view of the movable rail plate, and FIGS. 6 and 7 are partial vertical sectional views of the device of the present invention, showing different operating states. 8 is a partial horizontal sectional view of the loading bridge, FIG. 9 is a partial perspective view of the loading lary 7, and FIGS. 10 and 11 are top views for explaining the board transfer operation. FIG. 12 is a top view for explaining the substrate conveyance width changing operation, and FIG. 13 is a partial front view in partial section showing the actuator installation situation. <1)...Substrate, (3)...Substrate positioning device, (
5) Loading bridge, (7) Unloading bridge, (54) Rail plate, (55
)...Movable rail plate, (82)...Spring, (85)
(88) (89)...Transmission rod, cam, and roller constituting a motion transmission mechanism, (49)...Actuator.
Claims (1)
せる基板位置決め装置と、この基板位置決め装置に未加
工の基板を送り込むローディングブリッジと、基板位置
決め装置から加工済基板を受け取るアンローディングブ
リッジとを備え、ローディングブリッジとアンローディ
ングブリッジとは相互距離不変に設置され、基板受け渡
し時には、基板位置決め装置が両ブリッジ間に入り込む
ようにしたものにおいて、前記基板位置決め装置に下記
の構造を備えさせたことを特徴とする基盤搬送装置。 （ａ）基板の両側縁を支持し、且つこれを挾みつける、
少なくとも一方が可動レールとなった１対のレール板 （ｂ）前記可動レール板を基板挾みつけ方向に附勢する
ばね （ｃ）前記ローディングブリッジないしアンローディン
グブリッジの少なくとも一方に設けられたアクチュエー
タより動きを与えられ、この動きを、前記可動レール板
の附勢力に抗する方向の動きに転換する運動伝達機構。[Claims] 1) A substrate positioning device that supports and moves the substrate to a desired position for substrate processing, a loading bridge that feeds unprocessed substrates to this substrate positioning device, and a processed substrate that is transferred from the substrate positioning device to the substrate positioning device. The loading bridge and the unloading bridge are installed at a constant distance from each other, and the board positioning device is inserted between both bridges when transferring the board, and the board positioning device is equipped with the following: A substrate conveyance device characterized by having a structure. (a) Supporting both sides of the board and sandwiching it;
A pair of rail plates, at least one of which is a movable rail (b) A spring that urges the movable rail plate in the board clamping direction (c) Movement by an actuator provided on at least one of the loading bridge or unloading bridge a motion transmission mechanism that converts this movement into a movement in a direction that resists the biasing force of the movable rail plate.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62257818A JPH0199300A (en) | 1987-10-13 | 1987-10-13 | Substrate transfer device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62257818A JPH0199300A (en) | 1987-10-13 | 1987-10-13 | Substrate transfer device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0199300A true JPH0199300A (en) | 1989-04-18 |
Family
ID=17311551
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62257818A Pending JPH0199300A (en) | 1987-10-13 | 1987-10-13 | Substrate transfer device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0199300A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106494867A (en) * | 2016-12-27 | 2017-03-15 | 郑州搜趣信息技术有限公司 | A kind of mobile model material transfer of product production line |
| US9751443B2 (en) | 2013-07-04 | 2017-09-05 | Tachi-S Co., Ltd. | Seat cushion |
-
1987
- 1987-10-13 JP JP62257818A patent/JPH0199300A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9751443B2 (en) | 2013-07-04 | 2017-09-05 | Tachi-S Co., Ltd. | Seat cushion |
| CN106494867A (en) * | 2016-12-27 | 2017-03-15 | 郑州搜趣信息技术有限公司 | A kind of mobile model material transfer of product production line |
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