JPH0195740U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0195740U JPH0195740U JP19172287U JP19172287U JPH0195740U JP H0195740 U JPH0195740 U JP H0195740U JP 19172287 U JP19172287 U JP 19172287U JP 19172287 U JP19172287 U JP 19172287U JP H0195740 U JPH0195740 U JP H0195740U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- opening
- wafer
- suction pad
- transfer arm
- end portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第1,2図はこの考案の一実施例によるウエハ
吸着部を示す平面図及び断面図、第3,4図は他
の実施例を示す平面図及び断面図、第5,6図は
従来装置の平面図及び断面図である。図中、1は
ウエハ搬送アーム、2は第1吸着パツド、3は排
気道、4は吸着口、5はウエハ、6は第1吸着パ
ツドである。なお、各図中同一符号は同一または
相当部分を示す。
吸着部を示す平面図及び断面図、第3,4図は他
の実施例を示す平面図及び断面図、第5,6図は
従来装置の平面図及び断面図である。図中、1は
ウエハ搬送アーム、2は第1吸着パツド、3は排
気道、4は吸着口、5はウエハ、6は第1吸着パ
ツドである。なお、各図中同一符号は同一または
相当部分を示す。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 先端平面部に第1の開口部を有すると共に
、この第1の開口部に連通してこの第1の開口部
で真空引きする通路を有するウエハを搬送するウ
エハ搬送アーム及びこのウエハ搬送アームの上記
第1の開口部に対向して上記先端平面部に吸着さ
れ、上記第1の開口部より小さい面積の第2の開
口部を有し、この第2の開口部で上記ウエハを吸
着する吸着パツドを備えたウエハ真空吸着装置。 (2) 上記吸着パツドは、上記ウエハ搬送アーム
の上に第1の開口部に対向して開口した第2の開
口部を有する第1の吸着パツドと、この第1の吸
着パツドに接着され、上記第2の開口部に対向し
て上記第3の会口部よりも小さい面積に形成され
た第3の開口部を有する第2の吸着パツドで構成
されていることを特徴とする実用新案登録請求の
範囲第1項記載のウエハ真空吸着装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19172287U JPH0195740U (ja) | 1987-12-16 | 1987-12-16 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19172287U JPH0195740U (ja) | 1987-12-16 | 1987-12-16 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0195740U true JPH0195740U (ja) | 1989-06-26 |
Family
ID=31482620
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19172287U Pending JPH0195740U (ja) | 1987-12-16 | 1987-12-16 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0195740U (ja) |
-
1987
- 1987-12-16 JP JP19172287U patent/JPH0195740U/ja active Pending
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