JPH0193723U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0193723U JPH0193723U JP18876287U JP18876287U JPH0193723U JP H0193723 U JPH0193723 U JP H0193723U JP 18876287 U JP18876287 U JP 18876287U JP 18876287 U JP18876287 U JP 18876287U JP H0193723 U JPH0193723 U JP H0193723U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- core tube
- furnace core
- wafer
- vapor phase
- phase growth
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Description
第1図a,bおよびcは本考案減圧気相成長装
置の一実施例を示す動作順序図、第2図は本考案
の他の実施例を示す減圧気相成長装置の断面構造
図、第3図は従来の気相成長装置の一例を示す断
面構造図である。 1……ヒーター、2……炉芯管、3……ウエハ
ー、4……ウエハーボート、5……ハツチ、6,
13……真空バルブ、7……真空ポンプ、8……
ガス導入口、9……ベローズ、10……シールプ
レート、11……ボート駆動部、12……炉口シ
ールリング。
置の一実施例を示す動作順序図、第2図は本考案
の他の実施例を示す減圧気相成長装置の断面構造
図、第3図は従来の気相成長装置の一例を示す断
面構造図である。 1……ヒーター、2……炉芯管、3……ウエハ
ー、4……ウエハーボート、5……ハツチ、6,
13……真空バルブ、7……真空ポンプ、8……
ガス導入口、9……ベローズ、10……シールプ
レート、11……ボート駆動部、12……炉口シ
ールリング。
Claims (1)
- 加熱された炉芯管内にボートに載せられたウエ
ハーを入れ、減圧下にて、気相成長を行なう減圧
気相成長装置において、前記炉芯管内炉口付近に
、ウエハーが酸化されない温度に保たれた少なく
ともウエハーボートの置ける長さをもつた低温部
と、炉芯管内を真空に保つたまま前記ウエハーボ
ートを炉芯管内で移動することのできる機構とを
設けることを特徴とする減圧気相成長装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18876287U JPH0193723U (ja) | 1987-12-11 | 1987-12-11 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18876287U JPH0193723U (ja) | 1987-12-11 | 1987-12-11 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0193723U true JPH0193723U (ja) | 1989-06-20 |
Family
ID=31479835
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18876287U Pending JPH0193723U (ja) | 1987-12-11 | 1987-12-11 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0193723U (ja) |
-
1987
- 1987-12-11 JP JP18876287U patent/JPH0193723U/ja active Pending