JPH0274372U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0274372U JPH0274372U JP15147788U JP15147788U JPH0274372U JP H0274372 U JPH0274372 U JP H0274372U JP 15147788 U JP15147788 U JP 15147788U JP 15147788 U JP15147788 U JP 15147788U JP H0274372 U JPH0274372 U JP H0274372U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid phase
- epitaxial growth
- air valve
- phase epitaxial
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 claims 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
第1図は本考案の実施例1の概略図、第2図は
本考案の実施例2の概略図である。 1……反応管、2……カーボンボート、3……
エアーバルブ、4……ターボポンプ、5……エア
ーバルブ、6……ロータリーポンプ、7……エア
ーバルブ、8……エアーバルブ、9……エアーバ
ルブ、10……圧力調整弁、11……ガス分析装
置、12……ターボポンプ、13……エアーバル
ブ、14……ロータリーポンプ、15……ヒータ
ー、16……制御コントローラ、17……反応管
、18……カーボンボート、19……ヒーター、
20……エアーバルブ、21……ターボポンプ、
22……エアーバルブ、23……ロータリーポン
プ、24……エアーバルブ、25……圧力調整弁
、26……エアーバルブ、27……エアーバルブ
、28……ガス分析装置。
本考案の実施例2の概略図である。 1……反応管、2……カーボンボート、3……
エアーバルブ、4……ターボポンプ、5……エア
ーバルブ、6……ロータリーポンプ、7……エア
ーバルブ、8……エアーバルブ、9……エアーバ
ルブ、10……圧力調整弁、11……ガス分析装
置、12……ターボポンプ、13……エアーバル
ブ、14……ロータリーポンプ、15……ヒータ
ー、16……制御コントローラ、17……反応管
、18……カーボンボート、19……ヒーター、
20……エアーバルブ、21……ターボポンプ、
22……エアーバルブ、23……ロータリーポン
プ、24……エアーバルブ、25……圧力調整弁
、26……エアーバルブ、27……エアーバルブ
、28……ガス分析装置。
Claims (1)
- 液相エピタキシヤル成長用反応室内のガスを分
析するガス分析器を装備したことを特徴とする液
相エピタキシヤル成長装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15147788U JPH0274372U (ja) | 1988-11-21 | 1988-11-21 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15147788U JPH0274372U (ja) | 1988-11-21 | 1988-11-21 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0274372U true JPH0274372U (ja) | 1990-06-06 |
Family
ID=31425558
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15147788U Pending JPH0274372U (ja) | 1988-11-21 | 1988-11-21 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0274372U (ja) |
-
1988
- 1988-11-21 JP JP15147788U patent/JPH0274372U/ja active Pending