JPH0191943U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0191943U JPH0191943U JP1987188502U JP18850287U JPH0191943U JP H0191943 U JPH0191943 U JP H0191943U JP 1987188502 U JP1987188502 U JP 1987188502U JP 18850287 U JP18850287 U JP 18850287U JP H0191943 U JPH0191943 U JP H0191943U
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- JP
- Japan
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- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Position Input By Displaying (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示すマスクパター
ンデータ入力編集装置の構成図、第２図は第１図
に示す装置の動作を説明するためのフローチヤー
ト、第３図は従来のマスクパターンデータ入力編
集装置の構成図である。 １０……（Ｘ１，Ｙ１）座標点への圧力、１１
……ＣＲＴグラフイツク表示装置、１２……制御
装置、１３……タツチパネル、１４……ＸＹ座標
解読装置、１５……磁気テープ装置、１６……磁
気デイスク装置、３１……表示装置、３２……キ
ーボード、３３……タブレツト、３４……タブレ
ツトペン、３５……カーソル、３６……大型デジ
タイザ、３７……磁気デイスク装置、３８……磁
気テープ装置。
ンデータ入力編集装置の構成図、第２図は第１図
に示す装置の動作を説明するためのフローチヤー
ト、第３図は従来のマスクパターンデータ入力編
集装置の構成図である。 １０……（Ｘ１，Ｙ１）座標点への圧力、１１
……ＣＲＴグラフイツク表示装置、１２……制御
装置、１３……タツチパネル、１４……ＸＹ座標
解読装置、１５……磁気テープ装置、１６……磁
気デイスク装置、３１……表示装置、３２……キ
ーボード、３３……タブレツト、３４……タブレ
ツトペン、３５……カーソル、３６……大型デジ
タイザ、３７……磁気デイスク装置、３８……磁
気テープ装置。
Claims (1)
- 半導体集積回路の製造等に使用するフオトマス
ク等のような極めて微細なパターンデータを扱う
パターンデータ入力編集装置において、パターン
データ入力及び／又は作図編集コマンド入力等の
ために、このパターンデータ入力編集装置のパタ
ーン表示画面の前面部に、透明性を有するＸＹ座
標入力パネル装置を設けたことを特徴とするパタ
ーンデータ入力装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987188502U JPH0191943U (ja) | 1987-12-11 | 1987-12-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987188502U JPH0191943U (ja) | 1987-12-11 | 1987-12-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0191943U true JPH0191943U (ja) | 1989-06-16 |
Family
ID=31479590
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987188502U Pending JPH0191943U (ja) | 1987-12-11 | 1987-12-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0191943U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002231621A (ja) * | 2001-11-19 | 2002-08-16 | Canon Inc | 露光装置およびそのユニットの駆動方法 |
-
1987
- 1987-12-11 JP JP1987188502U patent/JPH0191943U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002231621A (ja) * | 2001-11-19 | 2002-08-16 | Canon Inc | 露光装置およびそのユニットの駆動方法 |
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