JPH0180756U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0180756U JPH0180756U JP1987152540U JP15254087U JPH0180756U JP H0180756 U JPH0180756 U JP H0180756U JP 1987152540 U JP1987152540 U JP 1987152540U JP 15254087 U JP15254087 U JP 15254087U JP H0180756 U JPH0180756 U JP H0180756U
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- JP
- Japan
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- micro
- piezoelectric element
- positioning mechanism
- element body
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- Prior art date
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- Granted
Links
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 8
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 4
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
第１図は本考案の第１実施例微小位置決め機構
を示す斜視図、第２図は第１実施例微小位置決め
機構の断面図、第３図ａ及び第３図ｂは第１実施
例微動素子体の電極配置展開平面図、第４図は微
動素子を組み込んだ系の第１の概略側面図、第５
図は第２実施例微小位置決め機構を示す斜視図、
第６図は微動素子を組み込んだ系の第２の概略側
面図、第７図は従来の中空円筒状微小位置決め機
構を示す斜視図、第８図ａ及び第８図ｂは中空円
筒状微動機構の曲げ動作を示す側面図である。 １……つば部付中空円筒状圧電素子体、２……
絶縁材、３……検出探針台、４……検出探針ホル
ダー、５……検出探針、６……内側共通電極（Ｇ
ＮＤ）、７１，７２……Ｘ軸動作用電極、８１，
８２……Ｙ軸動作用電極、９……Ｚ軸動作用電極
、１１……つば部付中空円錐状圧電素子体、２１
……従来の中空円筒状圧電素子体。
を示す斜視図、第２図は第１実施例微小位置決め
機構の断面図、第３図ａ及び第３図ｂは第１実施
例微動素子体の電極配置展開平面図、第４図は微
動素子を組み込んだ系の第１の概略側面図、第５
図は第２実施例微小位置決め機構を示す斜視図、
第６図は微動素子を組み込んだ系の第２の概略側
面図、第７図は従来の中空円筒状微小位置決め機
構を示す斜視図、第８図ａ及び第８図ｂは中空円
筒状微動機構の曲げ動作を示す側面図である。 １……つば部付中空円筒状圧電素子体、２……
絶縁材、３……検出探針台、４……検出探針ホル
ダー、５……検出探針、６……内側共通電極（Ｇ
ＮＤ）、７１，７２……Ｘ軸動作用電極、８１，
８２……Ｙ軸動作用電極、９……Ｚ軸動作用電極
、１１……つば部付中空円錐状圧電素子体、２１
……従来の中空円筒状圧電素子体。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 検出探針部と試料間を微小に位置決めする
微小位置決め機構において、一端につば部を設け
た中空円筒状に形成された圧電素子体に少なくと
も一軸動作用の電極を設けたことを特徴とする圧
電素子微小位置決機構。 (2) 前記、圧電素子体が中空円錐状に形成され
たことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１
項記載の圧電素子微小位置決め機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987152540U JPH0755444Y2 (ja) | 1987-10-05 | 1987-10-05 | 圧電素子微小位置決め機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987152540U JPH0755444Y2 (ja) | 1987-10-05 | 1987-10-05 | 圧電素子微小位置決め機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0180756U true JPH0180756U (ja) | 1989-05-30 |
| JPH0755444Y2 JPH0755444Y2 (ja) | 1995-12-20 |
Family
ID=31427560
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987152540U Expired - Lifetime JPH0755444Y2 (ja) | 1987-10-05 | 1987-10-05 | 圧電素子微小位置決め機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0755444Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-10-05 JP JP1987152540U patent/JPH0755444Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0755444Y2 (ja) | 1995-12-20 |