JPS6156578U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6156578U JPS6156578U JP14061284U JP14061284U JPS6156578U JP S6156578 U JPS6156578 U JP S6156578U JP 14061284 U JP14061284 U JP 14061284U JP 14061284 U JP14061284 U JP 14061284U JP S6156578 U JPS6156578 U JP S6156578U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movable plate
- plate
- supporting part
- movable
- fixed plate
- Prior art date
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- Pending
Links
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Landscapes
- Measurement Of Current Or Voltage (AREA)
- Measuring Instrument Details And Bridges, And Automatic Balancing Devices (AREA)
Description
第１図ａ〜ｂは本考案の一実施例を示すもので
、ａは組立構成図、ｂは一部を断面で示す要部斜
視図、ｃはｂのＡ−Ａ断面図、第２図は検出部に
測定電圧を印加し、検出回路を設けた本考案の一
実施例を示す説明図、第３図は本考案の検出部に
電圧を印加したときの可動板の動きを示す説明図
、第４図は本考案の他の実施例を示す説明図、第
５図は可動板の他の実施例を示す平面図、第６図
は従来例を示す平面図である。 ４……固定板、５……スペーサ、６……可動板
、６３……支持部、７１，７１ａ，７２，７２ａ
……電極。
、ａは組立構成図、ｂは一部を断面で示す要部斜
視図、ｃはｂのＡ−Ａ断面図、第２図は検出部に
測定電圧を印加し、検出回路を設けた本考案の一
実施例を示す説明図、第３図は本考案の検出部に
電圧を印加したときの可動板の動きを示す説明図
、第４図は本考案の他の実施例を示す説明図、第
５図は可動板の他の実施例を示す平面図、第６図
は従来例を示す平面図である。 ４……固定板、５……スペーサ、６……可動板
、６３……支持部、７１，７１ａ，７２，７２ａ
……電極。
Claims (1)
- 固定板と、この固定板と僅かな間隙を保つて対
向配置された可動板と、前記可動板の重心を通る
直線上の２点で前記可動板を支持する支持部とか
ららり、前記可動板および支持部を異方性エツチ
ングのできる材料基板で構成し、前記可動部と支
持部の形成をホトリソグラフイとエツチングの技
術を利用して加工し、前記支持部の中心軸によつ
て２分される少なくとも一方の側の固定板および
可動板に一組の電極を対向して形成し、前記電極
に測定電圧を印加したことを特徴とする静電電圧
計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14061284U JPS6156578U (ja) | 1984-09-17 | 1984-09-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14061284U JPS6156578U (ja) | 1984-09-17 | 1984-09-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6156578U true JPS6156578U (ja) | 1986-04-16 |
Family
ID=30698964
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14061284U Pending JPS6156578U (ja) | 1984-09-17 | 1984-09-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6156578U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010156682A (ja) * | 2008-12-04 | 2010-07-15 | Kinki Univ | 帯電物の電位測定装置及び当該測定装置を使用した場合の測定方法 |
-
1984
- 1984-09-17 JP JP14061284U patent/JPS6156578U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010156682A (ja) * | 2008-12-04 | 2010-07-15 | Kinki Univ | 帯電物の電位測定装置及び当該測定装置を使用した場合の測定方法 |