JPH0145221B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0145221B2 JPH0145221B2 JP55186038A JP18603880A JPH0145221B2 JP H0145221 B2 JPH0145221 B2 JP H0145221B2 JP 55186038 A JP55186038 A JP 55186038A JP 18603880 A JP18603880 A JP 18603880A JP H0145221 B2 JPH0145221 B2 JP H0145221B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- die
- wafer
- absence
- dies
- detection unit
- Prior art date
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 35
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 9
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 9
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Die Bonding (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は半導体ウエハーを細分割して所定ピツ
チで縦横に整列して粘着シートに貼付けた多数の
ダイを順にピツクアツプする装置におけるウエハ
ーの領域を自動判別するためのウエハーリミツト
検出方法に関するものである。
チで縦横に整列して粘着シートに貼付けた多数の
ダイを順にピツクアツプする装置におけるウエハ
ーの領域を自動判別するためのウエハーリミツト
検出方法に関するものである。
従来、ダイボンダーにおけるダイピツクアツプ
は第１図に示すような装置によつて行われる。即
ち、ダイ１ａはダイ供給リング２に取付けられた
粘着シート３上にウエハー１を細分割して所定ピ
ツチでXY方向に整列して貼付けられている。ダ
イ供給リング２は駆動部４によつてXY方向に駆
動されるXYテーブル５に固定されたリングホル
ダー６に位置決め固定されている。そして、コレ
ツト７によつて吸着されるダイ１ａがニードル８
上に位置すると、コレツト７と同位置に配置され
た検出ユニツト９によつてダイ１ａの良否及び有
無を検出し、ダイ１ａが存在し、しかも良品であ
ると判定されると、ダイ１ａの上方にコレツト７
が位置し、粘着シート３の裏面よりニードル８に
よりダイ１ａを突き上げ、このダイ１ａをコレツ
ト７によつて吸着してダイ位置修正ステージ又は
ダイボンデイング位置に移送する。粘着シート３
上よりダイを１個づつコレツト７により吸着する
毎に、次のダイがニードル８の真上に位置するよ
うに粘着シート３が取付けられたダイ供給リング
２はXYテーブル５によつてXY方向に移動させ
られる。移動後、次の吸着されるダイが前記した
ように検出ユニツト９により検出され、前記動作
を繰返す。
は第１図に示すような装置によつて行われる。即
ち、ダイ１ａはダイ供給リング２に取付けられた
粘着シート３上にウエハー１を細分割して所定ピ
ツチでXY方向に整列して貼付けられている。ダ
イ供給リング２は駆動部４によつてXY方向に駆
動されるXYテーブル５に固定されたリングホル
ダー６に位置決め固定されている。そして、コレ
ツト７によつて吸着されるダイ１ａがニードル８
上に位置すると、コレツト７と同位置に配置され
た検出ユニツト９によつてダイ１ａの良否及び有
無を検出し、ダイ１ａが存在し、しかも良品であ
ると判定されると、ダイ１ａの上方にコレツト７
が位置し、粘着シート３の裏面よりニードル８に
よりダイ１ａを突き上げ、このダイ１ａをコレツ
ト７によつて吸着してダイ位置修正ステージ又は
ダイボンデイング位置に移送する。粘着シート３
上よりダイを１個づつコレツト７により吸着する
毎に、次のダイがニードル８の真上に位置するよ
うに粘着シート３が取付けられたダイ供給リング
２はXYテーブル５によつてXY方向に移動させ
られる。移動後、次の吸着されるダイが前記した
ように検出ユニツト９により検出され、前記動作
を繰返す。
さて、かかるダイピツクアツプ装置において
は、粘着シート３に貼付けて細分割されたウエハ
ー１に等しい大きさ及び形状を備えた検出板１０
をXYテーブル５上に固定し、フオトセンサー１
１を固定部であるベース１２に固定し、検出板１
０がフオトセンサー１１の光軸から外れるとフオ
トセンサー１１が動作し、これによつてコレツト
７がウエハー１の領域外に出たことを検出するよ
うにし、ピツクアツプすべきダイ１ａがないと判
定するウエハーリミツトの検出方法が行われてい
た。しかしながら、このようなウエハーリミツト
の検出方法によれば、ウエハー１の大きさ、形状
が変る毎にそれと等しい大きさ、形状をもつ検出
板１０に変換する必要があり、しかも微妙な検出
板の位置調整を必要とするなど、非常に面倒な作
業を必要とした。
は、粘着シート３に貼付けて細分割されたウエハ
ー１に等しい大きさ及び形状を備えた検出板１０
をXYテーブル５上に固定し、フオトセンサー１
１を固定部であるベース１２に固定し、検出板１
０がフオトセンサー１１の光軸から外れるとフオ
トセンサー１１が動作し、これによつてコレツト
７がウエハー１の領域外に出たことを検出するよ
うにし、ピツクアツプすべきダイ１ａがないと判
定するウエハーリミツトの検出方法が行われてい
た。しかしながら、このようなウエハーリミツト
の検出方法によれば、ウエハー１の大きさ、形状
が変る毎にそれと等しい大きさ、形状をもつ検出
板１０に変換する必要があり、しかも微妙な検出
板の位置調整を必要とするなど、非常に面倒な作
業を必要とした。
本発明は上記従来技術の欠点を鑑みなされたも
ので、ウエハーの大きさ、形状に関係なく容易に
ウエハーリミツトを検出することができるウエハ
ーリミツト検出方法を提供することを目的とす
る。
ので、ウエハーの大きさ、形状に関係なく容易に
ウエハーリミツトを検出することができるウエハ
ーリミツト検出方法を提供することを目的とす
る。
以下、本発明を図示の実施例により説明する。
第２図は本発明になるウエハーリミツト検出方
法を実施するための一実施例を示す回路ブロツク
図である。説明の都合上、第１図のダイピツクア
ツプ装置を用いて説明する。但し、本発明におい
ては、検出板１０とフオトセンサー１１は不要で
ある。
法を実施するための一実施例を示す回路ブロツク
図である。説明の都合上、第１図のダイピツクア
ツプ装置を用いて説明する。但し、本発明におい
ては、検出板１０とフオトセンサー１１は不要で
ある。
まず構成について説明すると、検出ユニツト９
よりダイ１ａが無いことを検出するとダイ無しパ
ルス９ａが出力する。このダイ無しパルス９ａは
２個のカウンタ２０１，２０２を有するターンカ
ウント用シフトレジスタ２０に入力される。この
ターンカウント用シフトレジスタ２０のカウンタ
２０１，２０２はアンド回路２１を介してターン
記憶フリツプフロツプ回路２２に接続され、更に
Ｙ方向駆動パルス発生器２３を介して駆動部４に
接続されている。また前記ダイ無しパルス９ａは
前記ターン記憶フリツプフロツプ回路２２の出力
パルスと共にアンド回路２４を介して５個のカウ
ンタ２５１〜２５５よりなる終了カウント用シフ
トレジスタ２５に入力される。この終了カウント
用シフトレジスタ２５のカウンタ２５１〜２５５
はアンド回路２６に接続されており、このアンド
回路２６よりウエハー終了パルス２６ａが出力す
る。また検出ユニツト９がダイ１ａが有ることを
検出するとダイ有りパルス９ｂを出力し、このダ
イ有りパルス９ｂによつて前記ターンカウント用
シフトレジスタ２０のカウンタ２０１，２０２、
ターン記憶フリツプフロツプ回路２２及び終了カ
ウント用シフトレジスタ２５のカウンタ２５１〜
２５５をリセツトするようになつている。
よりダイ１ａが無いことを検出するとダイ無しパ
ルス９ａが出力する。このダイ無しパルス９ａは
２個のカウンタ２０１，２０２を有するターンカ
ウント用シフトレジスタ２０に入力される。この
ターンカウント用シフトレジスタ２０のカウンタ
２０１，２０２はアンド回路２１を介してターン
記憶フリツプフロツプ回路２２に接続され、更に
Ｙ方向駆動パルス発生器２３を介して駆動部４に
接続されている。また前記ダイ無しパルス９ａは
前記ターン記憶フリツプフロツプ回路２２の出力
パルスと共にアンド回路２４を介して５個のカウ
ンタ２５１〜２５５よりなる終了カウント用シフ
トレジスタ２５に入力される。この終了カウント
用シフトレジスタ２５のカウンタ２５１〜２５５
はアンド回路２６に接続されており、このアンド
回路２６よりウエハー終了パルス２６ａが出力す
る。また検出ユニツト９がダイ１ａが有ることを
検出するとダイ有りパルス９ｂを出力し、このダ
イ有りパルス９ｂによつて前記ターンカウント用
シフトレジスタ２０のカウンタ２０１，２０２、
ターン記憶フリツプフロツプ回路２２及び終了カ
ウント用シフトレジスタ２５のカウンタ２５１〜
２５５をリセツトするようになつている。
次にかかる構成よりなる回路によるウエハーリ
ミツト検出の作用を第１図、第３図及び第４図を
参照しながら説明する。第３図は本発明になるウ
エハーリミツト検出方法の一実施例を示す説明
図、第４図はフローチヤート図である。第３図に
示すように、ダイ１ａはウエハー１を細分割して
縦（Ｙ方向）横（Ｘ方向）に整列している。駆動
部４によりXYテーブル５が移動することによつ
てダイ供給リング２が移動し、D1で示すダイ１
ａが検出ユニツト９の真下に位置すると、検出ユ
ニツト９はダイ１ａがD1点にありかつそのダイ
が良品であることを検出し、コレツト７が該ダイ
１ａをピツクアツプする。そして、１個のダイ１
ａをピツクアツプする毎にダイ供給リング２は一
定方向（第１図、第３図において右方向）にダイ
１ａの整列ピツチＰづつＸ方向送りされる。これ
により、D2で示すダイ１ａが検出ユニツト９の
真下に位置し、D1の場合と同様にダイ１ａをピ
ツクアツプする。そして、再度Ｘ方向送りされ、
D3で示す点が検出ユニツト９の真下にくると、
検出ユニツト９はD3点にダイ１ａが無いことを
検出し、第２図に示すようにダイ無しパルス９ａ
を出力する。このダイ無しパルス９ａはターンカ
ウント用シフトレジスタ２０に入力される。そこ
で、コレツト７はダイ１ａをピツクアツプしない
が、ダイ供給リング２は前記と同じＸ方向にもう
一度送られ、D4点が検出ユニツト９の真下に導
かれる。そして、D4点にもダイ１ａが無いこと
を検出して前記と同様にダイ無しパルス９ａがタ
ーンカウント用シフトレジスタ２０に入力され
る。このように、D3点、D4点とダイ無しパルス
９ａが２回続くと、ターンカウント用シフトレジ
スタ２０の２個のカウンタ２０１，２０２に記憶
され、アンド回路２１よりターン記憶フリツプフ
ロツプ回路２２に記憶させ、Ｙ方向駆動パルス発
生器２３より駆動部４にＹ方向駆動パルスが入力
され、XYテーブル５はＹ方向に１ピツチ移動
し、第３図に示すD5点が検出ユニツト９の真下
に位置する。
ミツト検出の作用を第１図、第３図及び第４図を
参照しながら説明する。第３図は本発明になるウ
エハーリミツト検出方法の一実施例を示す説明
図、第４図はフローチヤート図である。第３図に
示すように、ダイ１ａはウエハー１を細分割して
縦（Ｙ方向）横（Ｘ方向）に整列している。駆動
部４によりXYテーブル５が移動することによつ
てダイ供給リング２が移動し、D1で示すダイ１
ａが検出ユニツト９の真下に位置すると、検出ユ
ニツト９はダイ１ａがD1点にありかつそのダイ
が良品であることを検出し、コレツト７が該ダイ
１ａをピツクアツプする。そして、１個のダイ１
ａをピツクアツプする毎にダイ供給リング２は一
定方向（第１図、第３図において右方向）にダイ
１ａの整列ピツチＰづつＸ方向送りされる。これ
により、D2で示すダイ１ａが検出ユニツト９の
真下に位置し、D1の場合と同様にダイ１ａをピ
ツクアツプする。そして、再度Ｘ方向送りされ、
D3で示す点が検出ユニツト９の真下にくると、
検出ユニツト９はD3点にダイ１ａが無いことを
検出し、第２図に示すようにダイ無しパルス９ａ
を出力する。このダイ無しパルス９ａはターンカ
ウント用シフトレジスタ２０に入力される。そこ
で、コレツト７はダイ１ａをピツクアツプしない
が、ダイ供給リング２は前記と同じＸ方向にもう
一度送られ、D4点が検出ユニツト９の真下に導
かれる。そして、D4点にもダイ１ａが無いこと
を検出して前記と同様にダイ無しパルス９ａがタ
ーンカウント用シフトレジスタ２０に入力され
る。このように、D3点、D4点とダイ無しパルス
９ａが２回続くと、ターンカウント用シフトレジ
スタ２０の２個のカウンタ２０１，２０２に記憶
され、アンド回路２１よりターン記憶フリツプフ
ロツプ回路２２に記憶させ、Ｙ方向駆動パルス発
生器２３より駆動部４にＹ方向駆動パルスが入力
され、XYテーブル５はＹ方向に１ピツチ移動
し、第３図に示すD5点が検出ユニツト９の真下
に位置する。
このように、D4点にもダイ１ａが無いことを
検知してウエハー１の領域がコレツト７による吸
着点を既に脱しているものと判定する。前記D3
点でウエハー１の領域を脱したと判定しないの
は、ウエハー１の領域内中央部で時にダイ１ａの
欠落が見られることもあり、１回のダイ無し検知
だけでその判定を下すことは危険であるからであ
る。そこで、場合によつてはダイ無しが連続して
３回続いた場合にその判定をする必要が生じるこ
ともある。このような場合はターンカウント用シ
フトレジスタ２０のカウンタを３個とする。従つ
て、一般的にはｍ≧２なる整数ｍで示される回数
連続してダイ不良及びなしを検知した時、ウエハ
ー１の領域がコレツト７の吸着点を脱したと判定
するようにする。
検知してウエハー１の領域がコレツト７による吸
着点を既に脱しているものと判定する。前記D3
点でウエハー１の領域を脱したと判定しないの
は、ウエハー１の領域内中央部で時にダイ１ａの
欠落が見られることもあり、１回のダイ無し検知
だけでその判定を下すことは危険であるからであ
る。そこで、場合によつてはダイ無しが連続して
３回続いた場合にその判定をする必要が生じるこ
ともある。このような場合はターンカウント用シ
フトレジスタ２０のカウンタを３個とする。従つ
て、一般的にはｍ≧２なる整数ｍで示される回数
連続してダイ不良及びなしを検知した時、ウエハ
ー１の領域がコレツト７の吸着点を脱したと判定
するようにする。
前記のようにＹ方向に１ピツチ送つてD5点に
移り、ここでもダイ無しを確認すると、今度はこ
れまでと逆方向（ここでは左方向）にダイ供給リ
ング２を整列ピツチＰづつ横送りさせ、D6点を
同様に通過し、D7点で再びダイ１ａの有ること
を検知する。そして、それが良品であればコレツ
ト７は該ダイ１ａをピツクアツプし、引き続き同
様の動作を繰返して行く。
移り、ここでもダイ無しを確認すると、今度はこ
れまでと逆方向（ここでは左方向）にダイ供給リ
ング２を整列ピツチＰづつ横送りさせ、D6点を
同様に通過し、D7点で再びダイ１ａの有ること
を検知する。そして、それが良品であればコレツ
ト７は該ダイ１ａをピツクアツプし、引き続き同
様の動作を繰返して行く。
この動作を再び第２図で説明すると、前記のよ
うにD4点よりD5点にＹ方向に１回動作し、D5点、
D6点を検出してダイ無しパルス９ａが出力する
と、この２個のダイ無しパルス９ａは前記D4点
の検出によつてターン記憶フリツプフロツプ回路
２２の出力とでアンド回路２４より終了カウント
用シフトレジスタ２５のカウンタ２５１，２５２
に記憶されるが、前記のようにD7点でダイ有り
を検知すると、ダイ有りパルス９ｂによつてター
ンカウント用シフトレジスタ２０のカウンタ２０
１，２０２、ターン記憶フリツプフロツプ回路２
２及び終了カウント用シフトレジスタ２５のカウ
ンタ２５１，２５２はリセツトされるので、アン
ド回路２６からはウエハー終了パルス２６ａは出
力しない。
うにD4点よりD5点にＹ方向に１回動作し、D5点、
D6点を検出してダイ無しパルス９ａが出力する
と、この２個のダイ無しパルス９ａは前記D4点
の検出によつてターン記憶フリツプフロツプ回路
２２の出力とでアンド回路２４より終了カウント
用シフトレジスタ２５のカウンタ２５１，２５２
に記憶されるが、前記のようにD7点でダイ有り
を検知すると、ダイ有りパルス９ｂによつてター
ンカウント用シフトレジスタ２０のカウンタ２０
１，２０２、ターン記憶フリツプフロツプ回路２
２及び終了カウント用シフトレジスタ２５のカウ
ンタ２５１，２５２はリセツトされるので、アン
ド回路２６からはウエハー終了パルス２６ａは出
力しない。
以上の動作を繰返してダイ１ａを順次ピツクア
ツプし、今、第３図の下方に示すD1′点にあるダ
イ１ａをコレツト７がピツクアツプしたとする。
D1′点のダイ１ａをピツクアツプすると、右方向
のＸ方向に送りされてD2′点で再びダイ１ａをピ
ツクアツプし、再度横送りされてD3′でダイ１ａ
の不良を検出する。そして、同方向に横送りされ
てD4′点に至つてダイ１ａの無いことを検出する。
ここで、２回連続してダイ１ａの不良もしくはダ
イ無しの検出があつたわけで、Ｙ方向に行をかえ
て送られ、D5′点が検出ユニツト９の真下に送ら
れる。そして、再び前記と逆方向のＸ方向にウエ
ハ供給リング２は横送りされ、D5′、D6′、D7′、
D8′、D9′の各点にダイ１ａが無いことを検出しな
がら横送りを続ける。そして、D9′点に至つても
やはりダイ無しを検知するが、これはもはやウエ
ハー１の領域にダイ１ａが残つていないことに他
ならない。ここで、D1′〜D6′点までの動作は前記
D1〜D6点までの動作と全く同じ動作であるので、
D5′点からの動作を第２図によつて再び説明する
と、D5′、D6′、D7′、D8′、D9′点のダイ無しパル
ス９ａが順次アンド回路２４を通して終了カウン
ト用シフトレジスタ２５のカウンタ２５１〜２５
５に記憶されると、アンド回路２６よりウエハー
終了パルス２６ａが出力して機械は停止する。即
ち、Ｙ方向に移動した（D4′からD5′）条件のもと
でダイ無しパルス９ａが５回（D5′〜D9′）連続す
ると、ウエハー１のダイ１ａの全数のピツクアツ
プが終了したものと判定される。本実施例では５
回連続した場合について例示したが、この回数ｎ
はウエハー１とダイ１ａの形状関係やダイ１ａの
欠落の比率等から適当な数値に決定すればよい。
しかしながら、少なくとも前記したＹ方向送り前
のダイ無し検知回数ｍより２回多い回数、即ちｎ
≧ｍ＋２にとる必要がある。
ツプし、今、第３図の下方に示すD1′点にあるダ
イ１ａをコレツト７がピツクアツプしたとする。
D1′点のダイ１ａをピツクアツプすると、右方向
のＸ方向に送りされてD2′点で再びダイ１ａをピ
ツクアツプし、再度横送りされてD3′でダイ１ａ
の不良を検出する。そして、同方向に横送りされ
てD4′点に至つてダイ１ａの無いことを検出する。
ここで、２回連続してダイ１ａの不良もしくはダ
イ無しの検出があつたわけで、Ｙ方向に行をかえ
て送られ、D5′点が検出ユニツト９の真下に送ら
れる。そして、再び前記と逆方向のＸ方向にウエ
ハ供給リング２は横送りされ、D5′、D6′、D7′、
D8′、D9′の各点にダイ１ａが無いことを検出しな
がら横送りを続ける。そして、D9′点に至つても
やはりダイ無しを検知するが、これはもはやウエ
ハー１の領域にダイ１ａが残つていないことに他
ならない。ここで、D1′〜D6′点までの動作は前記
D1〜D6点までの動作と全く同じ動作であるので、
D5′点からの動作を第２図によつて再び説明する
と、D5′、D6′、D7′、D8′、D9′点のダイ無しパル
ス９ａが順次アンド回路２４を通して終了カウン
ト用シフトレジスタ２５のカウンタ２５１〜２５
５に記憶されると、アンド回路２６よりウエハー
終了パルス２６ａが出力して機械は停止する。即
ち、Ｙ方向に移動した（D4′からD5′）条件のもと
でダイ無しパルス９ａが５回（D5′〜D9′）連続す
ると、ウエハー１のダイ１ａの全数のピツクアツ
プが終了したものと判定される。本実施例では５
回連続した場合について例示したが、この回数ｎ
はウエハー１とダイ１ａの形状関係やダイ１ａの
欠落の比率等から適当な数値に決定すればよい。
しかしながら、少なくとも前記したＹ方向送り前
のダイ無し検知回数ｍより２回多い回数、即ちｎ
≧ｍ＋２にとる必要がある。
以上の説明から明らかな如く、本発明になるウ
エハーリミツト検出方法によれば、ウエハーの大
きさ、位置に変更がでた場合でもその領域を容易
に判別し得る。
エハーリミツト検出方法によれば、ウエハーの大
きさ、位置に変更がでた場合でもその領域を容易
に判別し得る。
第１図は従来のダイピツクアツプ装置の一部断
面正面図、第２図は本発明になるウエハーリミツ
ト検出方法を実施するための一実施例を示す回路
ブロツク図、第３図は本発明になるウエハーリミ
ツト検出方法の一実施例を示す説明図、第４図は
フローチヤート図である。 １……ウエハー、１ａ……ダイ、２……ダイ供
給リング、３……粘着シート、４……駆動部、５
……XYテーブル、７……コレツト、９……検出
ユニツト、９ａ……ダイ無しパルス、９ｂ……ダ
イ有りパルス、２０……ターンカウント用シフト
レジスタ、２２……ターン記憶フリツプフロツプ
回路、２３……Ｙ駆動パルス発生器、２４……ア
ンド回路、２５……終了カウント用シフトレジス
タ、２６……アンド回路。
面正面図、第２図は本発明になるウエハーリミツ
ト検出方法を実施するための一実施例を示す回路
ブロツク図、第３図は本発明になるウエハーリミ
ツト検出方法の一実施例を示す説明図、第４図は
フローチヤート図である。 １……ウエハー、１ａ……ダイ、２……ダイ供
給リング、３……粘着シート、４……駆動部、５
……XYテーブル、７……コレツト、９……検出
ユニツト、９ａ……ダイ無しパルス、９ｂ……ダ
イ有りパルス、２０……ターンカウント用シフト
レジスタ、２２……ターン記憶フリツプフロツプ
回路、２３……Ｙ駆動パルス発生器、２４……ア
ンド回路、２５……終了カウント用シフトレジス
タ、２６……アンド回路。
Claims (1)
- １ ウエハーを細分割して貼付けられた粘着シー
トと、この粘着シートが取付けられたダイ供給リ
ングと、このダイ供給リングをXY方向に移動さ
せるXYテーブルと、前記ダイの上方に配設され
ダイを１個づつピツクアツプするコレツトと、こ
のコレツトによつてダイをピツクアツプする時に
ダイを突き上げるニードルと、各ダイの良否及び
有無をそれぞれ順次検出する唯一の検出ユニツト
とを備えたダイピツクアツプ装置において、前記
検出ユニツトにより前記ダイが有ることを検出し
てこのダイを前記コレツトでピツクアツプする毎
か、もしくは前記ダイが無いことを検出する毎に
前記XYテーブルをダイの所定ピツチづつ一定方
向に横移動させ、前記検出ユニツトがダイ無しを
複数回連続して検出することを条件に前記XYテ
ーブルを前記送り方向と直角の縦方向にダイの所
定ピツチ分だけ移動させ、その後前記XYテーブ
ルを前記と逆方向に横移動させてダイの有無を検
知してダイピツクアツプを継続すると共に、前記
検出ユニツトが少なくとも前記縦方向の移動前の
ダイ無し検知回数より２回多いダイ無しを連続し
て検出することを条件に前記ダイの全数のピツク
アツプが終了したことを判定するウエハーリミツ
ト検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18603880A JPS57110912A (en) | 1980-12-27 | 1980-12-27 | Detection of limit of wafer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18603880A JPS57110912A (en) | 1980-12-27 | 1980-12-27 | Detection of limit of wafer |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57110912A JPS57110912A (en) | 1982-07-10 |
| JPH0145221B2 true JPH0145221B2 (ja) | 1989-10-03 |
Family
ID=16181306
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18603880A Granted JPS57110912A (en) | 1980-12-27 | 1980-12-27 | Detection of limit of wafer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57110912A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59189240U (ja) * | 1983-06-03 | 1984-12-15 | 東芝精機株式会社 | ダイボンデイング装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55108745A (en) * | 1979-12-17 | 1980-08-21 | Toshiba Corp | Die-bonding device |
-
1980
- 1980-12-27 JP JP18603880A patent/JPS57110912A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55108745A (en) * | 1979-12-17 | 1980-08-21 | Toshiba Corp | Die-bonding device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57110912A (en) | 1982-07-10 |
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