JPH0143861B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0143861B2 JPH0143861B2 JP58250733A JP25073383A JPH0143861B2 JP H0143861 B2 JPH0143861 B2 JP H0143861B2 JP 58250733 A JP58250733 A JP 58250733A JP 25073383 A JP25073383 A JP 25073383A JP H0143861 B2 JPH0143861 B2 JP H0143861B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piston
- feed screw
- speed
- cylinder
- air
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 5
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 3
- TVEXGJYMHHTVKP-UHFFFAOYSA-N 6-oxabicyclo[3.2.1]oct-3-en-7-one Chemical compound C1C2C(=O)OC1C=CC2 TVEXGJYMHHTVKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000011017 operating method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/34—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission
- B23Q5/36—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission in which a servomotor forms an essential element
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16H—GEARING
- F16H25/00—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
- F16H25/18—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
- F16H25/20—Screw mechanisms
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16H—GEARING
- F16H25/00—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
- F16H25/18—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
- F16H25/20—Screw mechanisms
- F16H2025/2062—Arrangements for driving the actuator
- F16H2025/2075—Coaxial drive motors
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Actuator (AREA)
- Fluid-Pressure Circuits (AREA)
- Transmission Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［技術分野］
本発明はエアサーボシリンダおよびその作動方
法に関するものである。
法に関するものである。
［背景技術］
エアサーボシリンダは従来の油圧サーボシリン
ダの欠点である大型構造化を排除しうるものとし
て注目を集めている。
ダの欠点である大型構造化を排除しうるものとし
て注目を集めている。
この種のエアサーボシリンダの一例として、特
開昭54−33970号公報には、シリンダ内で螺合さ
れたピストンおよび送りねじを備え、送りねじを
電気サーボモータで駆動し、またシリンダ内に負
荷に応じた空気圧を印加してシリンダの位置決め
をする構造が開示されている。
開昭54−33970号公報には、シリンダ内で螺合さ
れたピストンおよび送りねじを備え、送りねじを
電気サーボモータで駆動し、またシリンダ内に負
荷に応じた空気圧を印加してシリンダの位置決め
をする構造が開示されている。
しかしながら、この従来構造では、ピストンの
移動はあくまでも電気サーボモータの回転数に依
存している。たとえばピストンの最高移動速度は
電気サーボモータの最高回転数によつて決まつて
しまい、それ以上の高速移動を得るためには増速
機を用いることも考えられるが、あくまでも電気
サーボモータの最高回転数を基本として増速機に
よつて得られる最高移動速度が限界である。
移動はあくまでも電気サーボモータの回転数に依
存している。たとえばピストンの最高移動速度は
電気サーボモータの最高回転数によつて決まつて
しまい、それ以上の高速移動を得るためには増速
機を用いることも考えられるが、あくまでも電気
サーボモータの最高回転数を基本として増速機に
よつて得られる最高移動速度が限界である。
そこで、本発明者がサーボモータの回転数に依
存しないピストンの高速移動を可能とするため鋭
意研究したところ、次のような特異現象の有効利
用により良好な結果が得られることを見い出し
た。
存しないピストンの高速移動を可能とするため鋭
意研究したところ、次のような特異現象の有効利
用により良好な結果が得られることを見い出し
た。
すなわち、ピストンと螺合する送りねじのリー
ド角を適当な所定値に設定し、ねじの摩擦面の粗
さとねじ面の潤滑条件を適当に決めると、 送りねじが所定速度以下の低速で回転してい
る時はねじ面の摩擦力により逆転防止作用（自
己締付け作用）が働き、ピストンの移動方向に
外力が加わつても送りねじは回転せず、ピスト
ンは移動しない、 送りねじが所定速度以上の高速で回転してい
る時には前記逆転防止作用がなくなり、ピスト
ンの高速移動が可能となる、 という現象が発生する。
ド角を適当な所定値に設定し、ねじの摩擦面の粗
さとねじ面の潤滑条件を適当に決めると、 送りねじが所定速度以下の低速で回転してい
る時はねじ面の摩擦力により逆転防止作用（自
己締付け作用）が働き、ピストンの移動方向に
外力が加わつても送りねじは回転せず、ピスト
ンは移動しない、 送りねじが所定速度以上の高速で回転してい
る時には前記逆転防止作用がなくなり、ピスト
ンの高速移動が可能となる、 という現象が発生する。
［発明の目的］
本発明は前記知見に基づいてなされたもので、
その目的は、送りねじの回転数に依存することな
くピストンを高速移動させることのできるエアサ
ーボシリンダおよびその作動方法を提供すること
にある。
その目的は、送りねじの回転数に依存することな
くピストンを高速移動させることのできるエアサ
ーボシリンダおよびその作動方法を提供すること
にある。
［発明の概要］
本発明は、ピストンと螺合する送りねじのリー
ド角を特定のものとし、送りねじの低速回転時に
は送りねじを主としてサーボモータで駆動し、高
速回転時には空気圧系から印加される空気圧によ
り送りねじを駆動するようにすることにより、ピ
ストンをサーボモータの回転数に依存することな
く高速移動させうるものである。
ド角を特定のものとし、送りねじの低速回転時に
は送りねじを主としてサーボモータで駆動し、高
速回転時には空気圧系から印加される空気圧によ
り送りねじを駆動するようにすることにより、ピ
ストンをサーボモータの回転数に依存することな
く高速移動させうるものである。
［実施例］
第１図は本発明のエアサーボシリンダの一実施
例を示す断面図、第２図はその一端から見た図で
ある。
例を示す断面図、第２図はその一端から見た図で
ある。
このエアサーボシリンダ１は筒状のシリンダ本
体２と、その両端に各Ｏリング５，６を介して密
封結合された端板３．４とを有している。
体２と、その両端に各Ｏリング５，６を介して密
封結合された端板３．４とを有している。
シリンダ本体２内にはピストン７がＯリング８
を介して摺動自在に嵌合されている。ピストン７
の一方の側（第１図の右側）には、途中まで中空
軸状のピストンロツド９の一端（内端）がねじ部
１０で螺入されることにより一体結合されかつＯ
リング１１でシールされている。ピストンロツド
９の他端（外端）は端板４を貫通して外部に突出
し、先端部に図示しない他の機器やワークを取り
付けることができるようになつている。
を介して摺動自在に嵌合されている。ピストン７
の一方の側（第１図の右側）には、途中まで中空
軸状のピストンロツド９の一端（内端）がねじ部
１０で螺入されることにより一体結合されかつＯ
リング１１でシールされている。ピストンロツド
９の他端（外端）は端板４を貫通して外部に突出
し、先端部に図示しない他の機器やワークを取り
付けることができるようになつている。
一方ピストン７の反対側（第１図の左側）から
送りねじ１２が螺合され、該送りねじ１２の内端
側はピストン７を貫通してピストンロツド９の中
空部の中に入り込んでいる。したがつて、ピスト
ン７は送りねじ１２の回転によりシリンダ本体２
内で摺動する。そのため、送りねじ１２のねじれ
は台形ねじ山として形成されており、そのリード
角は、該送りねじ１２が所定速度以下の低速で回
転する時にはピストン７に対する逆転止め作用
（自己締付け作用）が働き、該送りねじ１２が所
定速度以上の高速で回転する時にはピストン７に
対する逆転止め作用が解除されるよう設定されて
いる。
送りねじ１２が螺合され、該送りねじ１２の内端
側はピストン７を貫通してピストンロツド９の中
空部の中に入り込んでいる。したがつて、ピスト
ン７は送りねじ１２の回転によりシリンダ本体２
内で摺動する。そのため、送りねじ１２のねじれ
は台形ねじ山として形成されており、そのリード
角は、該送りねじ１２が所定速度以下の低速で回
転する時にはピストン７に対する逆転止め作用
（自己締付け作用）が働き、該送りねじ１２が所
定速度以上の高速で回転する時にはピストン７に
対する逆転止め作用が解除されるよう設定されて
いる。
送りねじ１２の外端（第１図の左端）は端板３
の外部まで突出し、その突出端には電気サーボモ
ータ１３が取り付けられている。サーボモータ１
３は送りねじ１２を回転駆動するもので、該サー
ボモータ１３にはその回転数を読むためのロータ
リエンコーダ１４が接続されている。
の外部まで突出し、その突出端には電気サーボモ
ータ１３が取り付けられている。サーボモータ１
３は送りねじ１２を回転駆動するもので、該サー
ボモータ１３にはその回転数を読むためのロータ
リエンコーダ１４が接続されている。
また、各端板３，４には、シリンダ本体２内の
ピストン７の各側の空気室１５，１６に対して空
気圧を供給、排出するための空気孔１７，１８が
それぞれ半径方向に形成されている。空気孔１
７，１８は空気圧系の切換弁機構１９，空気圧源
２０に接続されている。
ピストン７の各側の空気室１５，１６に対して空
気圧を供給、排出するための空気孔１７，１８が
それぞれ半径方向に形成されている。空気孔１
７，１８は空気圧系の切換弁機構１９，空気圧源
２０に接続されている。
なお、第１図において、符号２１はピストンロ
ツド９の回転止めのための止めピンであり、２２
はピン孔、２３はロツドブツシユ、２４，２５は
Ｖシールである。
ツド９の回転止めのための止めピンであり、２２
はピン孔、２３はロツドブツシユ、２４，２５は
Ｖシールである。
次に、このエアサーボシリンダ１の作動方法の
一実施例について説明する。その場合、説明を簡
単化するため、第１図のエアサーボシリンダ１を
第３図〜第６図の如く図式化し、かつ切換弁機構
１９として各種の弁を用いて説明する。
一実施例について説明する。その場合、説明を簡
単化するため、第１図のエアサーボシリンダ１を
第３図〜第６図の如く図式化し、かつ切換弁機構
１９として各種の弁を用いて説明する。
まず、第３図の場合、切換弁機構１９として、
四方弁２６、二方弁２７、減圧弁２８、絞り２
９，３０が用いられている。この場合、ピストン
７の両側の空気室１５と１６の空気圧をそれぞれ
P2，P1とし、シリンダ１の速度はｖとする。シ
リンダ１１の作動の時期において、送りねじ１２
が所定速度以下の低速で回転される間すなわち第
７図および第８図の時期A1，A2においては、、送
りねじ１２はサーボモータ１３の駆動力のみで駆
動される。この段階では、送りねじ１２はそのリ
ード角と摩擦面の機能により逆転止め作用（自己
締付け作用）が働いている。
四方弁２６、二方弁２７、減圧弁２８、絞り２
９，３０が用いられている。この場合、ピストン
７の両側の空気室１５と１６の空気圧をそれぞれ
P2，P1とし、シリンダ１の速度はｖとする。シ
リンダ１１の作動の時期において、送りねじ１２
が所定速度以下の低速で回転される間すなわち第
７図および第８図の時期A1，A2においては、、送
りねじ１２はサーボモータ１３の駆動力のみで駆
動される。この段階では、送りねじ１２はそのリ
ード角と摩擦面の機能により逆転止め作用（自己
締付け作用）が働いている。
次いで、送りねじ１２が所定速度以上の高速で
回転される時期B1，B2になると、送りねじ１２
の逆転止め作用はなくなるので、送りねじ１２、
ピストン７は空気圧源２０から空気室１５の中に
供給される空気圧P2と空気室１６内の空気圧P1
との差圧のみにより駆動される。すなわち、時期
B1，B2では、送りねじ１２の逆転止め作用が解
除されることにより、シリンダ１のピストン７は
空気圧のみにより高速で移動し、サーボモータ１
３の最高回転数には依存しない。
回転される時期B1，B2になると、送りねじ１２
の逆転止め作用はなくなるので、送りねじ１２、
ピストン７は空気圧源２０から空気室１５の中に
供給される空気圧P2と空気室１６内の空気圧P1
との差圧のみにより駆動される。すなわち、時期
B1，B2では、送りねじ１２の逆転止め作用が解
除されることにより、シリンダ１のピストン７は
空気圧のみにより高速で移動し、サーボモータ１
３の最高回転数には依存しない。
その後、時期C1，C2に達すると、空気圧P2と
P1の差圧は小さくされ、送りねじ１２、ピスト
ン７は減速される。そして、シリンダ１はサーボ
モータ１３と同期させて減速され、所定速度以下
の低速になると、送りねじ１２に逆転止め作用が
働くことにより、ピストン７の移動は停止され、
ブレーキ機構は必要としない。
P1の差圧は小さくされ、送りねじ１２、ピスト
ン７は減速される。そして、シリンダ１はサーボ
モータ１３と同期させて減速され、所定速度以下
の低速になると、送りねじ１２に逆転止め作用が
働くことにより、ピストン７の移動は停止され、
ブレーキ機構は必要としない。
本実施例（第３図）は第８図ａの場合の実施に
用いることができる。
用いることができる。
なお、第８図ａ，ｂは高い圧力領域で差圧を制
御しながらピストン７を移動させる場合（メータ
アウト）を示し、制御し易いという利点がある。
御しながらピストン７を移動させる場合（メータ
アウト）を示し、制御し易いという利点がある。
実施例 ２
第４図は本発明の方法を実施する他のシリンダ
の図式図である。
の図式図である。
この実施例２では、切換弁機構１９として、空
気圧P1とP2を同圧にする二方弁３１、四方弁３
２、二方弁３３、減圧弁３４、絞り３５，３６が
用いられている。
気圧P1とP2を同圧にする二方弁３１、四方弁３
２、二方弁３３、減圧弁３４、絞り３５，３６が
用いられている。
本実施例２（第４図）は第８図ｂの場合の実施
に用いることができる。この構造によれば、第８
図ｂの場合におけるピストン７の減速を早めるこ
とができる。
に用いることができる。この構造によれば、第８
図ｂの場合におけるピストン７の減速を早めるこ
とができる。
実施例 ３
第５図は本発明の方法を実施する他のシリンダ
の図式図である。
の図式図である。
この実施例３はいわゆる可変形三方弁よりなる
電空比例制御弁３７，３８、減圧弁３９を切換弁
機構１９として用いたもので、第７図、第８図の
両方の場合の実施に用いることができる。
電空比例制御弁３７，３８、減圧弁３９を切換弁
機構１９として用いたもので、第７図、第８図の
両方の場合の実施に用いることができる。
なお、第７図は低い圧力領域の差圧でピストン
７を移動させる場合（メータイン）を示し、空気
量の消費が少なくて済むという利点がある。
７を移動させる場合（メータイン）を示し、空気
量の消費が少なくて済むという利点がある。
実施例 ４
第６図は本発明の方法を実施する他のシリンダ
の図式図である。
の図式図である。
この実施例では、電空比例制御弁４０と減圧弁
４１が切換弁機構１９として用いられている。
４１が切換弁機構１９として用いられている。
この実施例は第７図および第８図の両方の実施
に用いることができるものである。
に用いることができるものである。
なお、本発明は前記実施例に限定されるもので
はなく、他の様々な変形が可能であり、シリンダ
や切換弁機構等としては他の構造のものを用いる
ことができる。
はなく、他の様々な変形が可能であり、シリンダ
や切換弁機構等としては他の構造のものを用いる
ことができる。
(1) 本発明のエアサーボシリンダによれば、送り
ねじのリード角が、該送りねじが所定速度以下
の低速で回転する時には前記ピストンに対する
逆転止め作用が働き、該送りねじが所定速度以
上の高速で回転する時には該ピストンに対する
逆転止め作用が解除されるよう設定されている
ことにより、ピストンを空気圧系からの空気圧
で所望どおりに制御することができる。
ねじのリード角が、該送りねじが所定速度以下
の低速で回転する時には前記ピストンに対する
逆転止め作用が働き、該送りねじが所定速度以
上の高速で回転する時には該ピストンに対する
逆転止め作用が解除されるよう設定されている
ことにより、ピストンを空気圧系からの空気圧
で所望どおりに制御することができる。
(2) また、本発明のエアサーボシリンダの作動方
法によれば、ピストンと螺合する送りねじのリ
ード角を特定のものとし、送りねじの低速回転
時には送りねじを主としてサーボモータで駆動
し、高速回転時には空気圧系から印加される空
気圧で送りねじを駆動するようにすることによ
り、ピストンをサーボモータの回転数に依存す
ることなく高速移動させることができる。
法によれば、ピストンと螺合する送りねじのリ
ード角を特定のものとし、送りねじの低速回転
時には送りねじを主としてサーボモータで駆動
し、高速回転時には空気圧系から印加される空
気圧で送りねじを駆動するようにすることによ
り、ピストンをサーボモータの回転数に依存す
ることなく高速移動させることができる。
第１図は本発明のエアサーボシリンダの一実施
例を示す断面図、第２図はその一端から見た図、
第３図〜第６図は本発明に用いられるサーボシリ
ンダの各種実施例を示す図式図、第７図と第８図
ａ，ｂは本発明における空気圧の差圧とシリンダ
の速度特性を示す図である。 １……エアサーボシリンダ、２……シリンダ本
体、３，４……端板、７……ピストン、９……ピ
ストンロツド、１２……送りねじ、１３……電気
サーボモータ、１４……ロータリエンコーダ、１
５，１６……空気室、１７，１８……空気孔、１
９……切換弁機構、２０……空気圧源。
例を示す断面図、第２図はその一端から見た図、
第３図〜第６図は本発明に用いられるサーボシリ
ンダの各種実施例を示す図式図、第７図と第８図
ａ，ｂは本発明における空気圧の差圧とシリンダ
の速度特性を示す図である。 １……エアサーボシリンダ、２……シリンダ本
体、３，４……端板、７……ピストン、９……ピ
ストンロツド、１２……送りねじ、１３……電気
サーボモータ、１４……ロータリエンコーダ、１
５，１６……空気室、１７，１８……空気孔、１
９……切換弁機構、２０……空気圧源。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ シリンダ内に摺動自在に嵌装したピストン
と、このピストンに連設されたピストンロツド
と、前記ピストンロツドとは反対方向から前記ピ
ストンに螺入された回転可能な送りねじと、この
送りねじを駆動するサーボモータと、前記ピスト
ンの両側に空気圧を供給する空気圧系とを備えた
エアサーボシリンダであつて、前記送りねじのリ
ード角は、該送りねじが所定速度以下の低速で回
転する時には前記ピストンに対する逆転止め作用
が働き、該送りねじが所定速度以上の高速で回転
する時には該ピストンに対する逆転止め作用が解
除されるよう設定されていることを特徴とするエ
アサーボシリンダ。 ２ シリンダ内に摺動自在に嵌装したピストン
と、このピストンに連設されたピストンロツド
と、前記ピストンロツドとは反対方向から前記ピ
ストンに螺入された回転可能な送りねじと、この
送りねじを駆動するサーボモータと、前記ピスト
ンの両側に空気圧を供給する空気圧系とを備えた
エアサーボシリンダであつて、前記送りねじのリ
ード角は、該送りねじが所定速度以下の低速で回
転する時には前記ピストンに対する逆転止め作用
が働き、該送りねじが所定速度以上の高速で回転
する時には該ピストンに対する逆転止め作用が解
除されるよう設定され、前記送りねじの低速回転
時には主として前記サーボモータにより該送りね
じを駆動し、高速回転時には前記空気圧系から印
加される空気圧により該送りねじを駆動すること
を特徴とするエアサーボシリンダの作動方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58250733A JPS60146955A (ja) | 1983-12-30 | 1983-12-30 | エアサーボシリンダおよびその作動方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58250733A JPS60146955A (ja) | 1983-12-30 | 1983-12-30 | エアサーボシリンダおよびその作動方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60146955A JPS60146955A (ja) | 1985-08-02 |
| JPH0143861B2 true JPH0143861B2 (ja) | 1989-09-22 |
Family
ID=17212226
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58250733A Granted JPS60146955A (ja) | 1983-12-30 | 1983-12-30 | エアサーボシリンダおよびその作動方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60146955A (ja) |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0641771B2 (ja) * | 1985-12-09 | 1994-06-01 | 松下電器産業株式会社 | 移動テ−ブル |
| JPS6330655U (ja) * | 1986-08-12 | 1988-02-29 | ||
| JPH01247810A (ja) * | 1988-03-29 | 1989-10-03 | Matsumura Seisakusho:Kk | 金型駆動用の油圧シリンダ装置 |
| NL8801948A (nl) * | 1988-08-04 | 1990-03-01 | Haan Mechatronics | Lineaire actuator. |
| JP2923581B2 (ja) * | 1991-04-30 | 1999-07-26 | 和夫 藤田 | 回転式アクチュエータ |
| JPH07217607A (ja) * | 1994-02-03 | 1995-08-15 | Smc Corp | 負荷の位置決め装置 |
| FR2739428B1 (fr) * | 1995-10-03 | 1997-10-24 | Thomson Csf | Verin de puissance a frottements secs reduits |
| US7207177B2 (en) | 2004-07-28 | 2007-04-24 | Festo Ag & Co. | Position control device for an electrical-fluid power drive and a method of positioning |
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| JP4573051B2 (ja) * | 2005-09-08 | 2010-11-04 | Ｓｍｃ株式会社 | シリンダ装置の駆動制御方法 |
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-
1983
- 1983-12-30 JP JP58250733A patent/JPS60146955A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60146955A (ja) | 1985-08-02 |
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