JPH0138567Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は放射線環境下での目視検査を行なう際
に使用されるフアイバスコープを利用した検査装
置に於いて、放射線による伝送損失を補償する補
償装置に関する。

従来、高放射線下の目視検査には、耐放射線
ITVカメラ、或いは耐放射線型フアイバスコー
プ等が用いられていた。従来のこの種各検査装置
の構成及び問題点を第１図乃至第４図を参照して
説明する。第１図はITVカメラを用いた検査装
置の一部の構成を示したもので、被検査体１の検
査面２（被検査体１の部分的な面、或いは全域）
の目視検査を行なう場合、検査ツール３（対象に
より種々の機械要素より構成されるため、図では
簡略化して示す）によつて、ITVカメラ４を取
り付け、ミラー５等によつて投影される検査面２
を光源６により照射し、目視検査を実施する。

しかしながら、このような構成による従来の
ITVカメラを用いた検査装置においては、ITV
カメラ４の寸法、重量大によるところから、検査
ツール３の大きさ、及び強度面からの重量が増大
し、更には、ケーブル類７の引き廻し等によつて
装置構成がかなり大がかりになるという欠点を有
していた。すなわち、検査装置がかなり大きくな
つてしまうという欠点を有していた。

そこでITVカメラに代り、フアイバスコープ
を用いた検査装置が開発された。すなわち、第２
図に示す如く、検査ツール３に、ITVカメラに
代つてフアイバスコープ８を取り付けた構成とし
たもので、これにより、ITVカメラによつて生
じた上述の欠点を改善していた。

しかしながら、これら各検査装置においては、
高放射線環境下での影響により感度劣化等の不都
合が生じるという共通の問題があつた。即ち、具
体的な放射線環境下での影響として、第１図に示
したようなITVカメラを用いた場合も、又、第
２図に示したようなフアイバスコープを用いた場
合も同様に第３図に示す如く、検査時間ｈにより
累積される放射線の集積線量Ｒに対して、ITV
カメラ、或いはフアイバスコープの感度dB、或
いは検査信号上のＳ／Ｎが著しく損われるという
現象が生じる。このことは検査進行過程上、一定
した検査が事実上不可能であることを示す。

ここで、フアイバスコープを用いた検査装置に
ついて、第４図を参照して更に詳細な説明を行な
う。尚、第４図に於いて、上記した第１図及び第
２図と同一部分に対しては同一符号を付して示し
ている。フアイバスコープ８は、対物レンズ部１
１により検査面２を投影し、フアイバスコープ８
の対面上に設けられた対物レンズ部１２により、
撮像装置１３に検査面２を撮像する構成を採る。
そして撮像装置１３により、画像を電気信号（映
像信号）１４に変換した上で処理装置（一般的に
は画像処理装置）１５に入力し、信号処理して目
視検査を実施するシステムとなつている。このよ
うな構成に於いて、実際に放射線環境にさらされ
るのは、フアイバスコープ８自身と光源部６、及
び対物レンズ部１１である。故に、この部分６，
８，１１には放射線による影響から光学的な伝送
損失（主にレンズ透光率低下、フアイバスコープ
伝送損失量増加等）が発生し、目視検査性能上に
於いて著しい影響を与える。

本考案は上記実情に鑑みなされたもので、放射
線環境下での目視検査を行なう際に使用されるフ
アイバスコープを利用した検査装置において、前
記フアイバスコープと撮像装置との間にイメージ
インテンシフアイヤを設けるとともに、前記フア
イバスコープと等価な光伝送損失増加量を検出す
るためのフアイバ及び測定器と、該測定器の出力
信号にもとづいて前記イメージインテンシフアイ
ヤの光増幅度、及び光源部の光量を制御する制御
装置とを設け、前記イメージインテンシフアイヤ
の光増幅度及び光源部の光量を前記フアイバスコ
ープの伝送損失増加量に伴い自動制御する構成と
して、高放射線環境下における伝送損失増加量を
自動的に補償できるようにした補償装置を提供す
ることを目的とする。

以下第５図を参照して本考案の一実施例を説明
する。第５図は本考案の一実施例における要部の
構成を示すもので、図中、第４図と同一部分には
同一符号を付してその説明を省略する。ここで
は、フアイバスコープ８に取付けられた対物レン
ズ部１２と撮像装置１３の受光面との間に、フア
イバスコープ８等の伝送損失量を補償するための
光増幅装置としてイメージインテンシフアイヤ２
１を設け、該イメージインテンシフアイヤ２１の
出力光学像を対物レンズ２２を介し撮像装置１３
に入力する構成としている。又、撮像装置１３の
入力を補償するため、即ちフアイバスコープ８の
伝送損失増加量を補償するために、フアイバスコ
ープ８と同材質のフアイバ２３、及びこのフアイ
バ２３を用いて前記フアイバスコープ８と等価な
放射線による伝送損失増加量を検出するための伝
送損失測定器２４が設けられるとともに、上記伝
送損失測定器２４より得られる信号を参照信号Ｓ
として、光源部６の光量、及びイメージインテン
シフアイヤ２１の増幅度を制御する制御装置２５
が設けられる。上記フアイバ２３は、ここでは単
芯構造のものを用い、フアイバスコープ８と同様
に検査ツールに装着される。又、上記フアイバ２
３を用いて伝送損失増加量を測定する伝送損失測
定器２４は、光源とフオトセンサとを用いて構成
されるもので、具体的には例えば高出力レーザ光
（He−Neレーザ）とフオトセンサとが主な構成
要素となる。

ここで、第５図に示す一実施例の作用を説明す
る。フアイバスコープ８を介して伝送された検査
面２上の光学像は、イメージインテンシフアイヤ
２１で増幅された後、対物レンズ２２を介して撮
像装置１３に入力される。一方、伝送損失測定器
２４は、内部光源で発生した測定光をフアイバ２
３に送出し、該フアイバ２３を伝送した測定光を
受けて、高放射線環境下にあるフアイバスコープ
８と等価の伝送損失増加量を測定し、その出力信
号を参照信号Ｓとして制御装置２５に送る。制御
装置２５は、入力された参照信号Ｓにもとづい
て、光源部６の光量、及びイメージインテンシフ
アイヤ２１の増幅度を制御し、撮像装置１３に入
力される光学像が常に最適状態となるよう、即
ち、撮像装置１３における受光感度を常に一定と
するよう、フアイバスコープ８等の伝送損失量に
対する自動補償を行なう。これにより、放射線環
境下におけるフアイバスコープ８等の光伝送損失
量が増加し、フアイバスコープ８より出力される
光学像の輝度（光強度）が低下しても、これをイ
メージインテンシフアイヤ２１にて伝送損失量に
応じた適度の増幅度をもつて十分に補償し得、撮
像装置１３に常に一定した光学像を入力できるこ
とから、安定した目視検査を実施できる。

ここで、実質的な伝送損失量から作用を説明す
ると、フアイバスコープ８は、その特性から、放
射線未照射状態でも〜20dB／100ｍ程度の伝送損
失を発生する。実質光源光量を１ルクスとする
と、（dB＝10logA）より、光電面照度は1/100ル
クスに低下している。従つて放射線による損失増
加量を30dB／100ｍとすれば、全体で〜50dB／
100ｍ程度となり、1/10⁵にまで低下する。よつて
光源光量の増大のみでは補償が不可能であるた
め、イメージインテンシフアイヤ２１を併用して
用いる。これにより、〜10^-5ルクス程度まで受光
感度が得られるため、光源６との組み合わせで十
分上記伝送損失に対しての補償が可能となる。具
体的には、 １ 光源光量の補償可能範囲 光源光量（平均照度）5000ルクスまで可、 被写体反射率 0.1〜0.2程度 故に、0.1〜5000ルクス〜0.2×5000ルクスが可
能。

２ インテンシフアイヤの補償可能範囲 10^-5ルクス程度まで可能（自動感度調整機能
付）。

この１），２）の実効値より、伝送損失による
補償が十分に可能であることが判る。

尚、上記した実施例ではフアイバ２３を単芯構
造としたが、これに限らず多芯構造であつてもよ
く、又、必ずしもフアイバスコープ８と同材質で
ある必要はなく、耐放射線特性が明確であれば他
のフアイバを用いてもよい。

以上詳記したように本考案の補償装置によれ
ば、放射線環境下での目視検査を行なう際に使用
されるフアイバスコープを利用した検査装置にお
いて、前記フアイバスコープと撮像装置との間に
イメージインテンシフアイヤを設けるとともに、
前記フアイバスコープと等価な光伝送損失増加量
を検出するためのフアバ及び測定器と、該測定器
の出力信号にもとづいて前記イメージインテンシ
フアイヤの光増幅度、及び光源部の光量を制御す
る制御装置とを設け、前記イメージインテンシフ
アイヤの光増幅度及び光源部の光量を前記フアイ
バスコープの伝送損失増加量に伴い自動制御する
構成としたことにより、高放射線環境下における
伝送損失増加量を自動的に補償でき、安定した画
像による目視検査が実施可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図及び第４図は、それぞれ従来の
検査装置の構成を示す図、第３図は上記第１図、
及び第２図の構成による検査装置の放射線集積線
量に対する伝送損失特性を説明するための図、第
５図は本考案の一実施例における要部の構成を示
す図である。 ６……光源部、８……フアイバスコープ、１
１，１２……対物レンズ部、１３……撮像装置、
２１……イメージインテンシフアイヤ、２２……
対物レンズ、２３……フアイバ、２４……伝送損
失測定器、２５……制御装置。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 放射線環境下での目視検査のためのフアイバス
   コープを用いた検査装置において、前記フアイバ
   スコープと該フアイバスコープを介して伝送され
   た被検査面の光学像を撮像する撮像装置との間に
   介在されたイメージインテンシフアイヤと、前記
   被検査面を照射する光源部と、前記フアイバスコ
   ープと等価な光伝送損失増加量を検出するための
   フアイバ及び測定器と、該測定器の出力信号にも
   とづいて、前記イメージインテンシフアイヤの光
   増幅度、及び前記光源部の光量を制御する制御装
   置とを具備し、前記制御装置の光増幅度制御及び
   光源光量制御により放射線環境下における光伝送
   損失増加量を補償することを特徴とした補償装
   置。