JPH0133018B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （技術分野） 本発明は電圧の印加により歪を発生する圧電素
子を用いた圧電継電器、詳述するならば複数個の
圧電素子を積層して縦効果歪を増加させる積層形
圧電駆動体を接点開閉駆動源とする圧電継電器に
関する。

（従来技術） 一般に、圧電素子は電気音響変換素子及びフイ
ルタなど振動素子として実用に供されている電気
エネルギ・機械エネルギ変換素子であるが、近年
非振動状態で数μｍ〜数100μｍの微小変位を電
気的に制御する駆動体にこの素子を応用すること
が推進されている。周知のとおり、圧電素子に電
界が印加されると圧電気逆効果により機械歪及び
応力を生じ圧電素子は変位する。ここで、電界と
平行方向に発生する圧電素子の機械歪は縦効果
歪、且つ電界と垂直方向に発生する機械歪は横効
界歪といわれている。この縦効果歪は一般に横効
果歪より大きく、従つて縦効果歪を利用する方が
エネルギ変換効率が高い。印加電圧が有効に働く
よう複数個の圧電素子をこれらの相互間に各内部
電極が位置するように一体的に積層し、電界によ
りこれら圧電素子が積層方向に機械歪を生じる圧
電駆動体を接点開閉駆動源とする圧電継電器が同
出願人による別出願特願昭58−049863号（特公昭
63−63096号）で提案されている。

従来の圧電継電器は特願昭58−049863号（特公
昭63−63096号）により提案されるように積層形
圧電駆動体を挾持体と一端部に可動接点を有し他
端部に前記挾持体の対面するそれぞれの端部に自
己の端部を連結し且つ段差をもつてほぼ平行な二
枚の薄板を有する可動接点部とを備え、その例で
は圧電駆動体中心軸に対象に薄板を配置し圧電駆
動体の機械歪の応力の効率より利用をはかつてい
る。

従来の一例について図面を参照して説明する。
第１図ａ及びｂは従来の圧電継電器の主要部の構
造の一例を示す側面断面斜視図及び変位動作説明
用側面図である。第１図ａ，ｂにおいて、圧電駆
動体１１は積層方向の一端を基板部１２を形成す
る基板１２１に固定する支持挾持体１２２に、一
方他端を駆動挾持体１３に固着する。又、支持挾
持体１２２及び駆動挾持体１３のそれぞれに一端
部を溶着により連結する支持ヒンジばね１４及び
駆動ヒンジばね１５の二枚のほぼ平行な薄板は圧
電駆動体１１の中心軸にほぼ平行に他端部をそれ
ぞれ支持点及び作用点として段差をもつて近接配
置する可動接点部１６は、一端部に支持ヒンジば
ね１４の支持点部及び駆動ヒンジばね１５の作用
点部を溶着した剛体部１６１を、他端部に基板部
１２に貼着した固定接点１２ｃに対向配置する可
動接点１６ｃを有する可動接点ばね１６２に連結
固着する。これら支持ヒンジばね１４、駆動ヒン
ジばね１５及び可動接点部１６は一組をなしこれ
らの中心線は圧電駆動体１１の中心軸とほぼ同一
平面上に配置し応力の伝達損失を防止すると共に
二組が圧電駆動体１１の中心軸の対象位置に配設
され圧電駆動体１１の駆動に対し平衡をとる。

圧電駆動体１１の機械歪により押圧点Ａの変位
は駆動挾持体１３の駆動点Ｂと共に駆動ヒンジば
ね１５の作用点ｃを押上げる。作用点ｃに近接し
た支持ヒンジばね１４の作用点Ｄは固定点Ｅと連
結し、従つて駆動点Ｂの変位は固定点Ｅとの距離
を拡げる引張応力を有し、支持及び駆動ヒンジば
ね１４及び１５のばね効果により点Ｂ，Ｃ，Ｄ，
Ｅを一直線になすべく働く。点Ｃ，Ｄ，Ｅが一直
線をなす運動は作用点Ｃが支持ヒンジばね１４の
支持点Ｄを中心の回転運動となり可動接点１６Ｃ
の可動点Ｆと一体化構造を持つ可動接点部１６を
回転させる。従つて、作用点Ｃと可動点Ｆとは支
持点Ｄに対し同一角度の同転となる。駆動点Ｂの
変位は小さいので、作用点Ｃ及び可動点Ｆのそれ
ぞれの変位は支持点Ｄからのそれぞれの距離にほ
ぼ比例すると共に押圧点Ａ、駆動点Ｂ及び作用点
Ｃの変位はほぼ等しく、従つて可動点Ｆの変位は
次式により求められる。

点Ｆの変位＝点Ａの変位×点Ｄ・Ｆ間の距離／点Ｄ・Ｃ
間の距離 ……(1) 上式によれば、可動点Ｆの変位すなわち可動接
点１６Ｃの移行距離は点Ｄ・Ｃ間の距離を小さく
して拡大率を上げることができる。このように、
従来の圧電継電器は一組の支持点及び駆動点の構
成による変位拡大機構だけを有するので可動接点
の移行距離を大きくし必要な接点間隔を確保し且
つ接点接触時の接触力を確保することが困難にな
るという問題があつた。

（発明の目的） 本発明の目的は、圧電駆動体に固着する駆動子
とこの駆動子に設けた突起に押接する駆動腕部と
この腕部の一端と基板部とを連結する第２の支持
ヒンジばねとで変位拡大機構を形成する駆動挾持
体を設けることにより上記問題点を解消し、可動
接点の移行距離を大にして必要な接点間隔を確保
し且つ十分な接点接触力を確保できる圧電継電器
を提供することにある。

（発明の構成） 本発明による圧電継電器の基本構成は、複数の
圧電素子をこれらの相互間に各内部電極が位置す
るように一体的に積層し電界によりこれら圧電素
子が積層方向に伸びの機械歪を生じる圧電駆動体
と；この圧電駆動体の積層方向の一端を固着した
基板部と；前記圧電駆動体の積層方向に並置し一
端部に第１の固定点を含み前記基板部と固着し他
端部に第１の支持点を有する第１の支持ヒンジば
ねと；この第１の支持ヒンジばねの第１の支持点
を第１の作用点に近接して固着した第１の剛体部
を一端部とし他端部に可動接点を有する第１の腕
部を連結して一体化構造とした可動接点部と；前
記圧電駆動体の基板部固着端に対する他端全面に
固着し且つ前記圧電駆動体の積層方向先端面上に
第１の駆動点として突起を有する駆動子と；前記
圧電駆動体に近接並置し一端部に第２の固定点を
含み前記基板部に固着し他端部に第２の支持点を
有する第２の支持ヒンジばねと；一端部を前記第
２の支持点を含んで第２の支持ヒンジばねに固着
し他端部に第２の駆動点を有し且つ前記第２の支
持点及び駆動点の間で前記第１の駆動点となる突
起を押接する剛体材の第２の腕部と；を少くとも
備え、前記第１の駆動点が前記圧電駆動体の機械
歪により変位したとき前記第２の駆動点か前記第
１の作用点を前記基板部から引離す方向に変位さ
せることを特徴とする。又、本発明の別の構成
は、前記第１の作用点が前記第１の剛体部の前記
基板部と対向する面にあり、前記第２の腕部先端
が第２の駆動点で前記第１の作用点を押接するこ
と、前記第１の支持ヒンジばねにほぼ平行に段差
をもつて近接配置し、一端部を前記第１の剛体部
の第１の作用点に又他端部を前記第２の腕部の第
２の駆動点にそれぞれ固着する第１の駆動ヒンジ
ばねを備え、前記第２の駆動点の変位で前記第１
の作用点を引張る応力が働くこと、前記圧電駆動
体の積層方向に並設し、一端部を第ｎ（ｎは３か
ら始まる正の整数）の固定点として前記基板部に
固着し他端部に第ｎの支持点を有する第ｎの支持
ヒンジばねと；この第ｎの支持ヒンジばねに対し
前記圧電駆動体とは反対側でほぼ平行に段差をも
つて近接配置し一端部に第ｎの作用点を有し他端
部が第（ｎ−１）の駆動点を含み固着した第（ｎ
−１）の駆動ヒンジばねと；前記圧電駆動体の積
層方向にほぼ垂直な方向に長さを有する剛体材か
らなり一先端面に前記第ｎの支持点で前記第ｎの
支持ヒンジばねを又段差をもつた第ｎの作用点で
前記第（ｎ−１）の駆動ヒンジばねをそれぞれ固
着し前記圧電駆動体から遠方の他端面には第ｎの
駆動点を有する第（ｎ−１）の剛体部と；を少く
とも一組（一組のときはｎ＝３）備え、第３から
第ｎまでの組を備えたとき第ｎの駆動点が前記第
１の作用点を前記基板部から引離す方向に駆動す
ること、前記第１の支持ヒンジばねにほぼ平行に
段差をもつて近接配置し、一端部を前記第１の剛
体部の第１の作用点に又他端部を前記第（ｎ−
１）の剛体部の第ｎの駆動点にそれぞれ固着する
第（ｎ−２）の駆動ヒンジばねを備え、前記第ｎ
の駆動点の変位で前記第１の作用点を前記基板部
に対し引張る応力が働くこと、又前記第１の作用
点が前記第１の剛体部の前記基板部と対向する面
にあり、前記第（ｎ−１）の剛体部の第ｎの駆動
点で前記第１の作用点を押接することをそれぞれ
特徴とする。

（実施例の説明） 次に、本発明の圧電継電器について実施例によ
り図面を参照して説明する。

第２図ａ及びｂはそれぞれ本発明の第１の実施
例の主要部を示す側面断面斜視図及び変位動作説
明図である。第２図ａにおいて、圧電駆動体２１
は積層方向の一端面を基板部２２に他端面を駆動
挾持体２３の駆動子２３１に挾持固着される。第
１の支持ヒンジばね２４は一端部を第１の固定点
として基板部２２に又他端部を第１の支持点とし
て可動接点部２６の第１の剛体部２６１にそれぞ
れ溶着し、圧電駆動体２１の積層方向に並置さ
れ、可動接点部２６を所定位置に保持する。可動
接点部２６は一端部に第１の剛体部２６１を固着
し他端部に基板部２２に固定した固定接点部２７
の固定接点２７Ｃに対向配置した可動接点２６Ｃ
を貼着した可動接点ばね２６２を第１の腕部とし
て有する。駆動挾持体２３は剛体材の駆動子２３
１及び第２の腕部２３２並びに第２の支持ヒンジ
ばね２３３を有し、駆動子２３１は圧電駆動体２
１の伸長方向に圧電駆動体２１の断面積内に突起
２３４を第１の駆動点として有し第２の腕部２３
２と係合し、第２の腕部２３２は一端部に第２の
駆動点２３５を有し他端部を第２の支持点として
第２の支持ヒンジばね２３３の一端部を熔着し、
また第２の支持ヒンジばね２３３の他端部は基板
部２２に熔着して第２の支持ヒンジばね２３３を
圧電駆動体２１に近接並置する。第２の腕部２３
２の端部の第２の駆動点２３５は可動接点部２６
の第１の剛体部２６１における第１の支持ヒンジ
ばね２４との熔着部である第１の支持点に近接し
且つ基板部２２に対向する面に押接する。第１及
び第２の支持ヒンジばね２４，２３３並びに可動
接点ばね２６２はそれぞれほぼ平行な薄板ばねで
それらの中心線は圧電駆動体２１の中心軸とほぼ
平行で同一平面上にある。

第２図ｂにおいて、圧電駆動体２１の駆動点
Ａ、駆動子２３１と第２の腕部２３２との接触点
であり駆動点Ａの変位をそのまま伝達する第１の
駆動点Ｇ、第２の支持ヒンジばね２３３の第２の
固定点Ｊ及び支持点Ｈをほぼ固定し駆動点Ｇの変
位を拡大して可動接点部２６を駆動する第２の駆
動点Ｂ、この駆動点Ｂを有する端部が押上げ応力
を伝達する係合接触点となる可動接点部２６の第
１の作用点Ｃ、並びに第１の支持ヒンジばね２４
の第１の固定点Ｅ及び支持点Ｄをほぼ固定して作
用点Ｃの変位を拡大して移行運動する可動接点Ｆ
をそれぞれ備える。これら点Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，
Ｅ，Ｆ，Ｇ，Ｈ及びＪはそれぞれ各部の中心線を
含むほぼ同一平面上にあり応力の伝達損失を防止
する。圧電駆動体２１の伸び歪による駆動点Ａの
変位はそのまま第１の駆動点Ｇの変位となり第２
の支持ヒンジばね２３３の第２の支持点Ｈをほぼ
固定させて第２の駆動点Ｂを拡大変位させる。拡
大率は支持点Ｈから第１及び第２の駆動点Ｇ及び
Ｂまでの距離に比例する。駆動点Ｂの変位は第１
の作用点Ｃに作用し第１の支持点Ｄを中心に可動
接点部２６を回転させ先端の可動接点Ｆを移行運
動させる。駆動点Ｇ，Ｂ及び作用点Ｃ・可動接点
Ｆはそれぞれ支持点Ｈ及びＤを中心に同一角度だ
け回転しこの回転角度は小さいので可動接点Ｆの
移行距離はほぼ次式で求める値になる。

駆動点Ａの変位×点Ｈ・Ｂ間の距離／点Ｈ
・Ｇ間の距離×点Ｄ・Ｆ間の距離／点Ｄ・Ｃ間の距離…
…(2) この式は従来例による第(1)式に対し中間部の変
位拡大項が多い。この変位拡大率を増加するため
駆動子２３１の突起２３４が第２の腕部２３２に
押接する第１の駆動点Ｇを第２の支持点Ｈに近接
させる位置に配設される。

この第１の実施例では駆動子の突起は第２の支
持ヒンジばねの薄板に平行な直線として図示した
が、応力の伝達効率を配慮したもので突起の位置
が圧電駆動体の積層方向に対する横断面積内であ
れば形状には限定されない。第２の腕部の第２の
駆動点を突起状に図示したが上記同様応力の伝達
効率を配慮したもので突起がなくてもよく、形状
は限定しない。支持ヒンジばねは一枚の板ばねで
図示したが、これは動作の安定をはかつたもので
伸びの生じないばね材であれば線材でもよく形状
材質は問わない。可動接点ばねを使用すると説明
したが固定接点部か弾性を有するときは剛体材で
あつてもよく、ヒンジばね同様形状・材質は機能
が発揮できるものであれば上記説明に限定されな
い。可動接点ばねが第１の支持ヒンジばねとほぼ
平行に位置すると説明したがそれぞれの中心線が
ほぼ同一平面上にあり、それぞれの面が同一平面
にほぼ垂直であれば応力伝達効果は最も大きい。
第２の腕部及び支持ヒンジばねの関係も同様であ
る。各部が熔接により固着すると説明したが放電
加工により一体構造に成形可能であり、他方各部
の分割は上記説明に限定されず変位応力に耐える
構造と固着手段であればよい。又、電気回路につ
いては図面及び説明を省略した。

次に、第３図ａ，ｂを参照して第２の実施例に
ついて説明する。第３図ａ，ｂにおいて、第２図
ａ，ｂと同一の構成要素に対しては同一符号番号
を付与し説明を省略する。第２図ａ，ｂにおける
第２の駆動点は第２の腕部の一端部が第１の剛体
部の一面と係合押接し第１の駆動点より大きい変
位により摺動を生ずるので磨耗が激しいという問
題点がある。この解決策として第２の実施例があ
る。

第３図ａにおいて、第２図ａと相違する構成要
素は駆動挾持体３３の第２の腕部３３２の変更と
第１の駆動ヒンジばね３５の追加である。第２の
腕部３３２の一端部に有する第２の駆動点は第１
の剛体部２６１と係合せず第１の駆動ヒンジばね
３５の一端部を熔着する。第１の駆動ヒンジばね
３５の他端部は第１の作用点で可動接点部２６の
第１の剛体部２６１に熔着し、第１の駆動ヒンジ
ばね３５と支持ヒンジばね２４とはほぼ平行に配
置されそれぞれ第１の作用点と第１の支持点とを
近接し段差をもつて配置される。

第３図ｂにおいて、第２図ｂとの相違は前記構
成要素により第２の駆動点Ｂと第１の作用点Ｃと
の位置が他の点に対して逆位置となり、従つて駆
動点Ａの変位により作用点Ｃは基板部２２に対し
引張応力が働き点Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅが一直線をなす
べく変位を生じる。可動接点Ｆの移行距離は前記
第(2)式と同一である。

この第２の実施例も、第１の駆動ヒンジばねを
他のヒンジばねと同様に扱い前記第１の実施例の
効果を適用しここでの説明を省略する。又、相互
に段差をもつて近接する駆動ヒンジばねと支持ヒ
ンジばねとの圧電駆動体に対する相対位置を逆に
形成したときは、直結される可動接点部が逆回転
し可動接点が逆方向に移行運動するのでメーク接
点・ブレーク接点が逆転する。

第４図ａ及びｂは第３図ａ及びｂに更に一段の
変位拡大機構を追加した圧電継電器の主要部の第
３の実施例を示した側面断面図及び変位動作説明
用側面図である。第４図ａ，ｂにおいて、第３図
ａ，ｂと同一の構成要素には同一の符号番号を付
与し説明を省略する。

第４図ａにおいて、基板部４２で第３の固定点
に一端部を熔着された第３の支持ヒンジばね４７
１、第２の腕部３３２の第２の駆動点に一端部を
熔着された第２の駆動ヒンジばね４７２並びにこ
れらヒンジばね４７１及び４７２のそれぞれを一
端面に段差をつけて熔着し他端面に第３の駆動点
を有する第２の剛体部４７３を有する一組の変位
拡大機構４７が駆動挾持部３３と可動接点部４６
との間に設けられる。これら第３の支持ヒンジば
ね４７１及び第２の駆動ヒンジばね４７２はそれ
ぞれほぼ平行に配置され、第３の支持点と第２の
作用点とを近接して段差をもつて配設される。
又、可動接点部４６は第１の剛体部４６１、第１
の腕部４６２及び可動接点４６Ｃを有し、第１の
支持及び駆動ヒンジばね２４及び３５にほぼ垂直
に配設される。

第４図ｂにおいて、追加された変位拡大機構は
第３の固定点Ｍ及び支持点Ｌ、第２の駆動点Ｂに
対する第２の作用点Ｋ、並びに第１の作用点Ｃに
対する第３の駆動点Ｎを有する。これらの点Ｍ，
Ｌ，Ｂ，Ｋ，Ｃ及びＮはほぼ同一平面上にあり応
力伝達効率を最大にし点Ｌ，Ｋ，Ｎはこの順序で
圧電駆動体から遠方に位置し圧電駆動体の伸びの
変位に対し駆動点Ｎが固定点Ｅに対し点Ｃ，Ｄを
引張る応力を示す。このとき、可動接点Ｆの移行
距離は次式により求められる。

駆動点Ａの変位×点Ｈ・Ｂ間の距離／点Ｈ・Ｇ間
の距離×点Ｌ・Ｎ間の距離／点Ｌ・Ｋ間の距離×点Ｃ・
Ｆ間の距離／点Ｃ・Ｄ間の距離……(3) 上記第３の実施例では、前記第(2)式に対し変位
拡大項が更に一つ増加する。変位応力伝達効率の
点から各ヒンジばねが線材のときは点Ｊ，Ｈ，
Ｇ，Ｂ，Ｋ、点Ｍ，Ｌ，Ｂ，Ｋ，Ｎ，Ｃ及び点
Ｅ，Ｄ，Ｃ，Ｎ，Ｆがそれぞれほぼ同一平面上に
あるとよい。第１の駆動及び支持ヒンジばねの相
対位置が逆のときは可動接点が逆に移行する。可
動接点ばねが圧電駆動体の積層方向にほぼ垂直に
配置させると説明したが可動接点Ｆが点Ｎ，Ｃ，
Ｄ，Ｅとほぼ同一平面上であればどこでもよい。
又、前記第１・第２の実施例の補足説明が同様に
適用される。

第５図は第４図ｂにおける第１の駆動ヒンジば
ね３５を削除し第２図ｂの第１の実施例のように
駆動点と作用点とを直接係合させた第４の実施例
を示す側面図である。

又、第６図は第４図ｂの第３の実施例に更に一
段の変位拡大機構を付加した第５の実施例を示す
側面図である。このように変位拡大機構の多段化
が可能である。

（発明の効果） 以上説明したように、本発明によれば圧電駆動
体に固着する駆動子とこの駆動子に設けた突起に
押接する腕部とこの腕部の一端と基板部とを連結
する支持ヒンジばねとで変位拡大機構を形成する
と共に駆動点と作用点とを結ぶ駆動ヒンジばね及
び固定点と支持点とを結ぶ支持ヒンジばねのそれ
ぞれを段差をもつて近接配置し剛体部に固着して
変位拡大機構を形成し多段増幅を可能にすること
により可動接点の移行距離を大にして必要な接点
間隔を確保し且つ接点接触力を確保可能とする効
果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図ａ，ｂは従来の圧電継電器の主要部の一
例を示す側面断面斜視図及び変位動作説明用側面
図、第２図ａ，ｂ及び第３図ａ，ｂはそれぞれ本
発明の主要部の第１及び第２の実施例を示す側面
断面図及び説明用側面図、第４図ａ，ｂは第３の
実施例を示す側面断面図及び説明用側面図、第５
図及び第６図はそれぞれ第４及び第５の実施例を
示す説明用側面図である。 ２１……圧電駆動体、２２，４２……基板部、
２３，３３……駆動挾持体、２４，２３３，４７
１……支持ヒンジばね、２６，４６……可動接点
部、２７……固定接点部、３５，４７２……駆動
ヒンジばね、２３１……駆動子、２３２，３３２
……（第２の）腕部、２３４……突起、２６１，
４６１，４７３……剛体部、２６２，４６２……
可動接点ばね（第１の腕部）、２６Ｃ，４６Ｃ…
…可動接点。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 複数の圧電素子をこれらの相互間に各内部電
   極が位置するように一体的に積層し電界によりこ
   れら圧電素子が積層方向に伸びの機械歪を生じる
   圧電駆動体と；この圧電駆動体の積層方向の一端
   を固着した基板部と；前記圧電駆動体の積層方向
   に並置し一端部に第１の固定点を含み前記基板部
   と固着し他端部に第１の支持点を有する第１の支
   持ヒンジばねと；この第１の支持ヒンジばねの第
   １の支持点を第１の作用点に近接して固着した第
   １の剛体部を一端部とし他端部に可動接点を有す
   る第１の腕部を連結して一体化構造とした可動接
   点部と；前記圧電駆動体の基板部固着端に対する
   他端全面に固着し且つ前記圧電駆動体の積層方向
   先端面上に第１の駆動点として突起を有する駆動
   子と；前記圧電駆動体に近接並置し一端部に第２
   の固定点を含み前記基板部に固着し他端部に第２
   の支持点を有する第２の支持ヒンジばねと；一端
   部を前記第２の支持点を含んで第２の支持ヒンジ
   ばねに固着し他端部に第２の駆動点を有し且つ前
   記第２の支持点及び駆動点の間で前記第１の駆動
   点となる突起を押接する剛体材の第２の腕部と；
   を少くとも備え、前記第１の駆動点が前記圧電駆
   動体の機械歪により変位したとき前記第２の駆動
   点が前記第１の作用点を前記基板部から引離す方
   向に変位させることを特徴とする圧電継電器。 ２ 前記第１の作用点が前記第１の剛体部の前記
   基板部と対向する面にあり、前記第２の腕部先端
   が第２の駆動点で前記第１の作用点を押接するこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の圧電
   継電器。 ３ 前記第１の支持ヒンジばねにほぼ平行に段差
   をもつて近接配置し、一端部を前記第１の剛体部
   の第１の作用点に又他端部を前記第２の腕部の第
   ２の駆動点にそれぞれ固着する第１の駆動ヒンジ
   ばねを備え、前記第２の駆動点の変位で前記第１
   の作用点を引張る応力が働くことを特徴とする特
   許請求の範囲第１項記載の圧電継電器。 ４ 前記圧電駆動体の積層方向に並設し、一端部
   を第ｎ（ｎは３から始まる正の整数）の固定点と
   して前記基板部に固着し他端部に第ｎの支持点を
   有する第ｎの支持ヒンジばねと；この第ｎの支持
   ヒンジばねに対し前記圧電駆動体とは反対側でほ
   ぼ平行に段差をもつて近接配置し一端部に第ｎの
   作用点を有し他端部が第（ｎ−１）の駆動点を含
   み固着した第（ｎ−１）の駆動ヒンジばねと；前
   記圧電駆動体の積層方向にほぼ垂直な方向に長さ
   を有する剛体材からなり一先端面に前記第ｎの支
   持点で前記第ｎの支持ヒンジばねを又段差をもつ
   た第ｎの作用点で前記第（ｎ−１）の駆動ヒンジ
   ばねをそれぞれ固着し前記圧電駆動体から遠方の
   他端面には第ｎの駆動点を有する第（ｎ−１）の
   剛体部と；を少くとも一組（一組のときはｎ＝
   ３）備え、第３から第ｎまでの組を備えたとき第
   ｎの駆動点が前記第１の作用点を前記基板部から
   引離す方向に駆動することを特徴とする特許請求
   の範囲第１項記載の圧電継電器。 ５ 前記第１の支持ヒンジばねにほぼ平行に段差
   をもつて近接配置し、一端部を前記第１の剛体部
   の第１の作用点に又他端部を前記第（ｎ−１）の
   剛体部の第ｎの駆動点にそれぞれ固着する第（ｎ
   −２）の駆動ヒンジばねを備え、前記第ｎの駆動
   点の変位で前記第１の作用点を前記基板部に対し
   引張る応力が働くことを特徴とする特許請求範囲
   第４項記載の圧電継電器。 ６ 前記第１の作用点が前記第１の剛体部の前記
   基板部と対向する面にあり、前記第（ｎ−１）の
   剛体部の第ｎの駆動点で前記第１の作用点を押接
   することを特徴とする特許請求の範囲第４項記載
   の圧電継電器。