JPH01314940A - 加圧成形装置及び加圧成形方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は、微細構造分析用の試料をプラスチックのフロ
ック上に装着する場合等に好適に使用し得る加圧成形装
置及び加圧成形方法に関するものである。

［従来の技術］ 表面の微細構造分析の分野においては、金属、鉱物また
は任意の他の所望の表面を薄いウェハに切断し、プラス
チックのフロック上に載置し、研磨して顕微鏡的に分析
する。ウェハ状の試料をプラスチックに取付けるステッ
プは、物質の非常に薄いウェハの取扱いを容易にするも
ので、従来技術においては、例えば、イリノイ州レイク
・ブラック市のビューラー社から発売されている、供試
体成形プレス・シンプリメット（Ｓｉｍｐｌｉｍｅｔ）
　ＩＩによって行われている。この従来の供試体プレス
は円筒状の成形室を有し、その成形室には、ウェハ状の
試料の上に置かれたプラスチック材を加圧して試料と一
体化するために、成形室の長さ方向に沿って封止状態を
保ちながら移動できるラムヘッドかある。この従来技術
におけるユニットは、ピストン駆動のため手動によりポ
ンプされる空気圧を使用する一方て、プラスチックは熱
せられて溶融され、プラスチック材の一面に試料を担持
するように一体的に形成される。

このような手動システムは、成形の進行と共にプラスチ
ック成形混合物の体積が減少して圧力か降下するために
、所望の成形圧力よりも大きい圧力まで手動てポンプを
働かせる必要がある。従って、このような従来技術によ
るシステムは、多くの場合に有利であるか、注意深い連
続した監視なしては、しばしば必要とする圧力印加が正
確に行われない。

また、従来の供試体取付はプレスにおいては、研磨及び
成形室またはラムヘッドに対して起こり得る損傷を避け
るために、管状の成形室とラムヘッドとの間の同軸合せ
か正確に行われていることを確認する必要があった。

［発明か解決しようとする課題］ 本発明の課題は、成形の動的条件下における圧力の正確
な制御のみならず、成形時間及び成形温度の正確な制御
を行うことがてきる自動化された正確な供試体の取付け
に対する改良を施すことにある。同様に本発明は、成形
周期の長さか短縮できる一方、管状の成形室とラムの運
動軸の心ずれによる損傷または緊縛の起こり方を減少さ
せるような成形装置を提供することにある。

［課題を解決するための手段及び作用・効果］本発明の
成形装置は、管状の成形室を備え、この成形室の内部の
長さ方向に沿って封止状態て移動可能なラムヘッドを有
すると共に、成形室に沿ってラムヘッドを前進後退させ
るための流体圧力手段を有している。

本発明によれは、液圧室手段も設けられている。ラムヘ
ッドから液圧室の軸方向にシャフトか延び、液圧室内に
封止状態に配設された摺動ピストンに終端か連結されて
いる。これにより、液圧室はピストンを挟んて対向する
容積か可変の一対の小室に分割され、各小室の容積の変
化はピストンの場所に依存する。各々の小室は液圧流通
用管手段により加圧された液圧源に接続されていて、液
圧室内てのピストンの駆動運動か行われる。

ピストンに対しラムヘッドから距離を置いて位置してい
る方の小室に作動可能に接続された圧力検知手段か設け
られている。また、論理及び制御回路手段か圧力検知手
段及び液圧源に作動可能に接続されていて、上述の距離
をおいて設けた小室内の液圧流体の圧力を、圧力検知手
段からの信号に応する形で制御する。

このようにして、本発明の装置においては、管状の成形
室に置かれた成形混合物の塊に働く圧力を、表面分析用
の試料を担持する固形ユニットに成形する代表的な場合
においては、前置って決定された均一なものにすること
がてきる。論理及び制御回路手段は、圧力検知手段に作
用して、工程の途中で成形混合物か収縮すると、圧力を
実質的に一定に保つのに必要な圧力を成形室に付加する
。

流体圧力手段は、第３導管手段て複動型バルブ手段に接
続された流体ポンプ（また、液圧流体源に接続されてい
る）を備えている。スイッチ手段（ハルツ手段）は次に
、液圧室のピストンの両側にある小室にそれぞれ接続さ
れた液圧流通用導管手段に接続されている。その結果、
ハルツ手段の切り換えにより小室の各々に交互に液圧を
給排し、ピストンを作動させて、管状成形室内のラムヘ
ッドを通じて所要の任意の圧力を印加することがてきる
。成形室は、代表的に別々に設けられた螺線状の加熱及
び冷却手段で囲まれており、加熱手段は代表的に電気ヒ
ータてあり、冷却手段は代表的に冷却用流体の管路であ
る。成形室の近傍には温度測定手段か設けられ、制御手
段は温度測定手段からの信号に応じて少なくとも上記加
熱手段を作動するために設けられている。代表的に螺線
状の加熱及び冷却手段は、両方共単一のスリーブに取付
けられていて、交互に作動する。その上、管状の成形室
はばね部材等の弾性手段上に取付けられる。この効果は
、ラムヘッドが成形室の長さ方向に動く時、成形室か自
然にラムヘッドに心合せされ、それにより前述したよう
に極めて精雀な心合せを不要にする。

更に、成形室はその一端において、ベース部材に螺合し
ている。成形室の他端にはハンドル部材が取付けられ、
このハンドル部材は、第１のスペース付き平坦部を周辺
に有する環状フランを備えている。成形室の他端は、適
切な回転位置にあるとき第１の平坦部と縦方向の位置合
せがてきるように、大きさか加減されている第２のスペ
ース付き平坦部を有する。ハンドル部材はまた、その内
側の環状面に第３の平坦部を有する環状レンチ部材を備
えている。レンチ部材は、フランジ及び成形室の前記他
端上を摺動して、第３の平坦部が第１及び第２の平坦部
に看かれるように大きさを調和させである。

その結果、レンチ部材が第１及び第２の平坦部と係合す
る位置にあるとき、ハンドル部材により成形室を回して
ベース部材から外し、は金型を開くことがてきる。その
他のときには、レンチ部材の前記係合を外し、ハンドル
部材を成形室他端との螺合を解除して成形室から取り外
すことがてきる。

本発明の装置は、広範囲の成形方法に使用できる。しか
し好ましくは、成形工程は成形室を熱伝導性金属、即ち
管状加熱スリーブと熱交換可能に囲んだ状態で行なわれ
る。この方法においては、成形室の温度をその中に設け
られた熱測定手段で監視しなから、成形室内のプラスチ
ック部材の所望最大成形温度を、少なくとも５０°Ｆた
け越える温度になるまで加熱スリーブを加熱する。そこ
て、成形室の温度か所望の最高成形温度に達する前に、
加熱スリーブの加熱を停止する。このことの効果は、成
形工程を迅速化するか、同時に所望の成形結果を達成す
るために所望の最大成形温度を確実に達成できる。

好ましくは、加熱スリーブは代表的に上述したタイプの
冷却手段を有している。冷却手段は、成形室か所望の最
高成形温度に達する前に起動される。この手法の使用に
より、成形周期は更に短縮される。代表的に、加熱スリ
ーブの最高温度は所望の最高成形温度を１００〜２００
°Ｆたけ越えるようになる。

［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。本発
明の成形装置は管状成形室１０を有し、この成形室には
、該成形室ｌＯの内部を長さ方向に沿って封止状態で移
動可能なラムヘッド１２かある。

第２図に示すように、成形室１０には、従来技術におけ
る対応する構造のものと同様な方法で、円錐台形の上部
ベース部材１８に対し、所定の距離だけ摺動可能に、ば
ねとシャフトの集合体により支持された第２の摺動部材
１４か設けられている。

ハンドル２０は、外側ハンドル部材２２と内外ハンドル
部材２４とがらなり、この内側ハンドル部材は、螺子２
６により外側ハンドル部材に螺合すると共に、溶接等に
より恒久的に固着されている。内側ハンドル部材２４は
、円錐台形の上部ベース部材１８を図示のように収容す
る円錐台シート２８を区画し、ベース部材１８は、シス
テムか開放のときにはシート２８から分離される。

成形室１０は、加熱及び冷却スリーブ３０内に密接して
摺動可能に取付けられている。スリーブ３０は、電線ア
レイ状に配設された抵抗加熱電線３２と、冷水等の冷却
流体か流れる螺線状に配置された冷却導管３４とを有し
、二つの螺線状の抵抗加熱電線３２及び冷却導管３４は
、図示されたように交互に位置するループをなしており
、それぞれ加熱源及び冷却流体源に通常の方法で接続さ
れている。

加熱及び冷却スリーブ３０の内側部分３６はアルミニュ
ーム酸て、内側の銅または真鍮製スリーフ３８は代表的
に高い熱伝達界面を提供し、且つ、各種の成形室１０を
システム内に挿入し、またそれから取り出すときの表面
の対摩耗性を与える。

第２図に示すように、成形室１０は、ベース部材として
の板４２と螺合部４０において移動可能に螺合し、板４
２は柱４６に大きな開口４４内において緩く取付けられ
ている。板４２及び成形室１０はプラットホームである
ベース５０に載っている通常の波形ばね４８の上に載せ
られている。その結果、成形室１０は自然にしかも精密
に前進してくるラムヘッド１２と心合せされ、仮に心ず
れがあっても成形室１ｏを支持する上記弾性手段によっ
て補償される。

本発明の装置においては、成形室１０は、異なる内径を
持った他の成形室等と取り換えたり、または、もし希望
するなら成形室１０を掃除したり修理したワするために
、取り外すことができる。しかし、使用後は、成形室１
０を回動させて、その板４２との螺合４２を解除するの
は時として困難な場合かある。これを容易にするために
、ハンドル２０と成形室１０との間の新しい接続法か提
供される。代表的に、成形室１０とハンドル２０とは螺
子５２によって共に接続されている。これにより、必要
なときにはハンドル２０を取り去°す、続いて部材１４
．Ｈ及び１８を取り除き、プラスチック材５６に取付け
るべき物質のウェハ５４を載せる。このウェハ５４はラ
ムヘッド１２の上に置かれるように挿入され、次いてプ
ラスチック材５６を入れ、その後て部材１４．１６及び
１８を取付けて、ハンドル２０を第２図に示すように螺
子合せされた状態にする。もし希望なら、同じ操作を再
び行ってプラスチック材５６を取り出すか、別法として
、ウェハ５４か担持されている成形されたプラスチック
材５６を簡単に取り出すために成形室１０全体を取り出
すと便利である。

環状レンチ部材５８は、ハンドル２０と成形室１０との
間の螺子５２による螺合にも拘らず、成形室１０と板４
２との間の螺合をハンドル２０の回動によって解除する
ことができるように、ハンドル２０に取付けられている
。第４図に特に示したように、ハンドル２０の下部の内
側ハンドル部材２４は、対向位置に二個のスペース状の
第１の周辺平坦部６２を有する環状フランジ６０を備え
ている。成形室１０の上端は、第３図に示すように、適
切な回動配置によって、第１の周辺平坦部６２と縦方向
に合致するように大きさが定められた第２のスペース状
の周辺平坦部６４を備えている。一方、環状レンチ部材
５８は、突出部６６を有し、この突出部は第３の平坦部
６８を備えている。平坦部６８は、平坦部６２及び６４
の上を摺動して、その結果、平坦部６８が平坦部６２及
び６４の上にくるように調整されている。従って、第３
図に示す配置においては、ハンドル２０と成形室１０と
の螺子５２に沿っての相対的回転かロックされる。そう
なると、ハンドル２０を使って成形室１０に強いトルク
を与えることにより、それを装置から取り外すために成
形室１０と板４２との螺合部４０における螺合関係を解
除することができる。

第１図において、ラムヘッド１２は、液圧室７４内にあ
る摺動ピストン７２に終端が連結されたシャフト７０を
有している。それ故、摺動ピストン７２は、液圧室７４
をピストン７２の両側にそれぞれ位置する二つの容積可
変の小室７６及び７８に分割する。各小室７６及び７８
は、液圧流通ライン８０及び８２により複動型通液ハル
ツ８４に接続している。このような複動型通液バルブは
、レックスロス（Ｒｅｘｒｏｔｈ）社から入手すること
ができる。

モータ８６は液圧ポンプ８８を作動させて、ライン９２
及びフィルタ９４を通し液溜９０から液圧流体を吸引し
、ライン９６に沿ってハルツ８４を通し加圧された流体
として圧送する。ハルツ８４の切換位置により、加圧さ
れた流体は、ライン８０または８２のどちらかを通って
流れて、ラムヘッド１２が下方に引き込むように小室７
６に供給されるか、または成形室１０内のプラスチック
材５６を加圧するようにラムヘッド１２を前進させるた
めに小室７８に供給される。

ライン８０及び８２の一方がライン９６に接続されてい
るときには、他方のラインはハルツ８４を通じて排出ラ
イン９８に接続され、液圧流体はそのラインを通って液
溜９０に戻る。リリーフバルブ１００は、通常の液圧回
路設計て使われる再循環回路１０２か付いていて、ライ
ン９６、モータ８６及びポンプ８８のオーバーロードを
保護している。それ故、ポンプ８８はモータ８６により
連続的に作動させることができて、バルブ８４を必要に
応じて切換えることにより小室７６及び７８に所望の液
圧を提供することがてきる。パイロットで作動するチエ
ツク・ハルツ・システム１０４は、ラムヘッド１２か強
制的に成形プレス・モードになっているときの液漏れを
防止するためのものて、このシステムは液圧技術ては標
準的なものである。

トランスジューサ１０６は、液圧ライン８２の圧力を監
視して、導線１０８を通じて在来の論理及び制御回路手
段１１０へ電子信号を送る。論理及び制御回路手段１１
０は、所望の圧力及びそれを加える時間を守って、小室
を所望状態に保つための所定の命令に従って、導線１１
２を通じてモータ８６を制御する。その結果、プラスチ
ック材５６は、回路手段１１０に命令を下すコンソール
制御部により前景って定められた方法でラムヘッド１２
により加圧される。サーミスタ１１４は、図示のように
成形室に隣接して、好ましくはその内部に位置する温度
測定手段として使用するために、ラムヘッド１２の後方
側部に置かれている。従って、゛温度の測定は加熱及び
冷却スリーブ３０の内部で離れた場所て行うことがてき
る。それ故、この温度測定の結果は、加熱及び冷却スリ
ーブ３０に付けられている第２のサーミスタにより記録
される温度に対して比較的に独立に、プラスチック材５
６の実際の温度に近い値ン与える。　サーミスタ１１４
は、導線１１６（第１図）により、加熱及び冷却スリー
ブ３０と導線１２０によって通じている電子論理ユニッ
ト１１８に接続されている。従って、論理ユニット１１
８に制御コンソールから命令を下して、加熱電線３２の
温度の制御によりサーミスタ１１４からの所望測定温度
が維持されるようにすることができる。

その結果、温度、成形の時刻及び成形圧力の全てか制御
コンソールからシステムにセットされ、要求される適切
な成形サイクルに対する信頼性の高い成形システムが提
供できるようになる。特に、本発明によれば、加熱及び
冷却ス“リーブ３０を、プラスチック材の所望の最高成
形温度よりも代表的に約１００°から１５０°Ｆたけ高
い最高温度に加熱するのか好ましい。例えば、代表的に
最高温度３００°Ｆで成形されるフェノール・プラスチ
ック材を使用する場合には、スリーブは約４５０°Ｆま
で加熱する。本発明により通常の大きさのプラスチック
材に供試体を取付けるだめの代表的装置においては、温
度が４５０°Ｆになるまで約３〜４分間連続加熱し、続
いて加熱電線３２による加熱を中止し、冷却水を冷却導
管３４に注入する。加熱及び冷卸段階を含めた全成形工
程は約８〜９分間てあり、その間、加熱電線３２により
所望の成形温度をオーバーシュートするまで加熱した後
、それを遮断し、成形室１０内の最高温度が、サーミス
タ１１４て監視されて所望の成形温度に上昇する。冷却
過程完了後、バルブ８４を作動させてラムヘッド１２を
後退させることにより圧力を下げる。次いて、ハンドル
２０を使って、取付けられたウェハ５４を取り出すため
にシステムを開放する。上述の記述は説明の目的のみに
なされたもので、特許請求の範囲において定義されてい
る本発明の応用を限定するためのものではない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の成形装置の概略図であり、特にその液
圧回路及び成る電子回路を示す；第２図は、第１図の装
置の管状成形室、ラムヘッド、及び加熱及び冷却手段の
縦方向断面図；第３図は、環状レンチ部材の係止された
作動位置にある状態を示す部分断面図： 第４図は、第２図の装置の一部の拡大斜視図である。 １０・・成形室　　　　　１２・・ラムヘッド１４・・
第２の摺動部材　１６・・部材１８・・上部ベース部材
　２０・・ハンドル２２・・外側ハンドル部材 ２４・・内側ハンドル部材 ２６・・螺子山　　　　　２８・・シート３０・・スリ
ーブ　　　　３２・・抵抗加熱電線３４・・冷却導管　
　　　３６・・内側部分３８・・スリーフ　　　　４０
・・螺合部４２・・板　　　　　　４４・・開口 ４６・・柱　　　　　　　４８・・波形はね５０・・ベ
ース　　　　　５２・・螺子５４・・ウェハ　　　　　
５６・・プラスチック材５８・・レンチ部材　　　６０
・・環状フランジ６２・・第１の平坦部　　６４・・第
２の平坦部６６・・突出部　　　　　６８・・第３の平
坦部７０・・シャフト　　　　７２・・ピストン７４・
・液圧室　　　　　７δ、７８・・小室！３０．８２・
・液圧流通ライン ８４・・バルブ　　　　　８６・・モータ８８・・液圧
ポンプ　　　９０・・液溜９２、９６・・ライン　　　
９４・・フィルタ９８・・排出ライン　　　１０口・・
リリーフバルブ１０２・・再循環回路 １０４・・チエツクバルブシステム １０６・・トランスジューサ １０８、１１２．１ｌｌｌｉ、　１２０　・・導線１１
０−・制御回路手段 １１４・・サーミスタ　　　１１８・・ユニット（外１
名） −９・

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、管状の成形室、前記成形室の長さ方向に移動可能な
   ラムヘッド、及び前記成形室に沿ってラムヘッドを前進
   及び後退させるための流体圧力手段より成る加圧成形装
   置において、 前記ラムヘッドにシャフトで連結された摺動ピストンを
   液圧室内に備え、この液圧室は前記ピストンによってそ
   の両側に位置する容積可変の二つの小室に分割され、各
   小室は液圧流通用の導管手段により液圧源に接続され、
   前記ピストンを液圧室内において駆動可能である液圧室
   手段；前記ピストンにより分割された小室のうちラムヘ
   ッドから離間している方の小室に作動可能に接続された
   圧力検知手段；及び前記圧力検知手段からの信号に応じ
   て前記離間している小室における液圧流体の圧力を制御
   するために、前記圧力検知手段及び前記液圧源に接続さ
   れた論理及び制御回路手段；を備えていることを特徴と
   する加圧成形装置。 ２、前記流体圧力手段は、液圧流通用導管手段によって
   容積可変の小室にそれぞれ接続された複動型通液バルブ
   手段と、この通液バルブ手段に第３の導管手段により接
   続された液圧流体ポンプを備え、前記バルブ手段の切り
   換えにより前記小室の各々に交互に液圧を給排可能であ
   ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の加圧成
   形装置。 ３、前記成形室は螺線状の加熱及び冷却手段により囲ま
   れており；温度測定手段は前記成形室に隣接して置かれ
   ており；更に、少なくとも前記加熱コイルを前記温度測
   定手段からの信号に応じて制御可能な制御手段を有する
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の加圧成形
   装置。 ４、前記螺線状加熱及び冷却手段は、両者共単一のスリ
   ーブに取付けられていることを特徴とする特許請求の範
   囲第３項記載の加圧成形装置。 ５、成形装置に前記管状成形室を取付けるため、成形室
   の長さ方向にラムヘッドが移動するときに該成形室とラ
   ムヘッドとの心合せを自然に行わせるための弾性手段を
   設けたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の加
   圧成形装置。 ６、前記成形室はその一端においてベース部材に螺合し
   ており、成形室の他端にはハンドル部材があり、前記ハ
   ンドル部材は、第１のスペース付き平坦部を周囲に有す
   る環状フランジを備え、成形室の前記他端には、適切な
   回動位置において第１の平坦部と縦方向に位置合せされ
   る第２のスペース付き平坦部を備え；前記ハンドル部材
   は、第３の平坦部を内面に有するレンチ部材を有し、前
   記レンチ部材は前記フランジと成形室端部との上を摺動
   可能な大きさに形成され、第３平坦部が第１及び第２の
   平坦部の上に位置しているとき、前記ハンドル部材によ
   り成形物を解放するために成形室を前記ベース部材との
   螺合から解除可能であることを特徴とする特許請求の範
   囲第１項記載の加圧成形装置。 ７、成形室の他端が前記ハンドル部材に着脱自在に螺合
   していることを特徴とする特許請求の範囲第６項記載の
   加圧成形装置。 ８、管状の成形室；前記成形室の長さ方向に封止状態で
   移動可能なラムヘッド；及び前記ラムヘッドを前記成形
   室に沿って前進及び後退させる流体圧力手段から成る加
   圧成形装置において；前記ラムヘッドにシャフトで連結
   された摺動ピストンを液圧室内に備え、この液圧室は前
   記ピストンによってその両側に位置する容積可変の二つ
   の小室に分割され、各小室は液圧流通用の導管手段によ
   り液圧源に接続され、前記ピストンを液圧室内において
   駆動可能である液圧室手段；前記ピストンにより分割さ
   れた小室のうちラムヘッドから離間している方の小室に
   作動可能に接続された圧力検知手段；及び前記圧力検知
   手段からの信号に応じて前記離間している小室における
   液圧流体の圧力を制御するために、前記圧力検知手段及
   び前記液圧源に接続された論理・制御手段；成形装置に
   前記管状成形室を取付けるため、成形室の長さ方向にラ
   ムヘッドが移動するときに該成形室とラムヘッドとの心
   合せを自然に行わせるための弾性手段；を備え、前記成
   形室はその一端においてベース部材に螺合しており、成
   形室の他端にはハンドル部材があり、前記ハンドル部材
   は、第１のスペース付き平坦部を周囲に有する環状フラ
   ンジを備え、成形室の前記他端には、適切な回動位置に
   おいて第１の平坦部と縦方向に位置合せされる第２のス
   ペース付き平坦部を備え；前記ハンドル部材は、第３の
   平坦部を内面に有するレンチ部材を有し、前記レンチ部
   材は前記フランジと成形室端部との上を摺動可能な大き
   さに形成され、第３平坦部が第１及び第２の平坦部の上
   に位置しているとき、前記ハンドル部材により成形物を
   解放するために成形室を前記ベース部材との螺合から解
   除可能である； ことを特徴とする加圧成形装置。 ９、前記成形室は単一のスリーブに取付けられた螺線状
   の加熱及び冷却手段により囲まれ；温度測定手段は、前
   記成形室に隣接して配置され；且つ、少なくとも前記加
   熱コイルを前記温度測定手段からの信号に応じて制御可
   能な制御手段を有することを特徴とする特許請求の範囲
   第８項記載の加圧成形装置。 １０、前記流体圧力手段は、液圧流通用導管手段によっ
   て容積可変の小室にそれぞれ接続された複動型通液バル
   ブ手段と、この通液バルブ手段に第３の導管手段により
   接続された液圧流体ポンプを備え、前記バルブ手段の切
   り換えにより前記小室の各々に交互に液圧を給排可能で
   あることを特徴とする特許請求の範囲第９項記載の加圧
   成形装置。 １１、前記ベース部材は、プラットホームに緩く取付け
   られ、前記管状成形室の取付け及び前記ラムヘッドとの
   自然な心合せを行うための弾性手段を構成する波形ばね
   部材上に支持されていることを特徴とする特許請求の範
   囲第１０項記載の加圧成形装置。 １２、成形室の他端は前記ハンドル部材に着脱自在に螺
   合していることを特徴とする特許請求の範囲第１１項記
   載の加圧成形装置。 １３、管状の成形室、前記成形室の長さ方向に封止状態
   で移動可能なラムヘッド、及び前記ラムヘッドの駆動手
   段より成る加圧成形装置において；成形装置の管状成形
   室を取付けるため、ラムヘッドが成形室の長さ方向に移
   動するときこのラムヘッドと成形室とを自然に心合せさ
   せる弾性部材を設けたことを特徴とする加圧成形装置。 １４、前記成形室はその一端においてベース部材に螺合
   しており、成形室の他端にはハンドル部材があり、前記
   ハンドル部材は、第１のスペース付き平坦部を周囲に有
   する環状フランジを備え、成形室の前記他端には、適切
   な回動位置において第１の平坦部と縦方向に位置合せさ
   れる第２のスペース付き平坦部を備え；前記ハンドル部
   材は、第３の平坦部を内面に有するレンチ部材を有し、
   前記レンチ部材は前記フランジと成形室端部との上を摺
   動可能な大きさに形成され、第３平坦部が第１及び第２
   の平坦部の上に位置しているとき、前記ハンドル部材の
   操作により成形物を解放するために成形室を前記ベース
   部材との螺合から解除可能であることを特徴とする特許
   請求の範囲第１３項記載の加圧成形装置。 １５、成形室の他端は前記ハンドル部材に螺合している
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１４項記載の加圧成
   形装置。 １６、前記成形室は螺線状の加熱及び冷却手段により囲
   まれていることを特徴とする特許請求の範囲第１４項記
   載の加圧成形装置。 １７、前記ベース部材は、成形室がラムヘッドと心合せ
   されるとき、ベース部材と成形室とが変位できるように
   プラットホームに緩く取付けられていることを特徴とす
   る特許請求の範囲第１４項記載の加圧成形装置。 １８、プラスチック部材を管状成形室内で成形する方法
   であって、前記成形室が熱伝導性金属からなる管状加熱
   スリーブにより熱交換可能に囲まれていて； 前記加熱スリーブを、前記プラスチック部材の所望最高
   成形温度を少なくとも５０°Ｆ越える最高温度まで加熱
   する一方、前記成形室の温度をその中に置かれた熱測定
   手段で監視し、且つ、前記成形室の温度が所望の最高成
   形温度に達する前に前記加熱スリーブの加熱を終結する
   、ことを特徴とする加圧成形方法。 １９、前記加熱スリーブはまた冷却手段を含み、前記冷
   却手段は、前記成形室の温度が所望の最高成形温度に達
   する前に起動されることを特徴とする特許請求の範囲第
   １８項記載の加圧成形方法。 ２０、加熱スリーブの最高温度は所望の最高成形温度を
   １００°から２００°Ｆを越えることを特徴とする特許
   請求の範囲第１８項記載の加圧成形方法。