JPH01302649A - 光学輻射源 - Google Patents
光学輻射源Info
- Publication number
- JPH01302649A JPH01302649A JP62256148A JP25614887A JPH01302649A JP H01302649 A JPH01302649 A JP H01302649A JP 62256148 A JP62256148 A JP 62256148A JP 25614887 A JP25614887 A JP 25614887A JP H01302649 A JPH01302649 A JP H01302649A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- positive electrode
- hole
- cathode
- hollow anode
- hollow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 13
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 12
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 abstract description 7
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 5
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 abstract description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 abstract description 2
- 239000007773 negative electrode material Substances 0.000 abstract 1
- 239000007774 positive electrode material Substances 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 8
- 239000010406 cathode material Substances 0.000 description 2
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 2
- 241000218645 Cedrus Species 0.000 description 1
- 239000010405 anode material Substances 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 1
- 230000009291 secondary effect Effects 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/04—Electrodes; Screens; Shields
- H01J61/06—Main electrodes
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- X-Ray Techniques (AREA)
- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
- Discharge Lamp (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は光学輻射源、詳しくは光学、分光学、オプト
エレクトロニクスの分野で利用される中空陽極型光学輻
射源に関する。
エレクトロニクスの分野で利用される中空陽極型光学輻
射源に関する。
（技術背景）
この発明によって解決される重要な技術的問題は陽極ま
たは陰極材料のスペクトル線が存在しないガス状要素の
原子および／またはイオンスペクトルを得ることである
。
たは陰極材料のスペクトル線が存在しないガス状要素の
原子および／またはイオンスペクトルを得ることである
。
従来、ガス分光を得るには中空状陰極放電とか、グロー
、アークおよびキャピラリー放電等に基づく光学輻射源
が用いられてきた。この種の光学輻射源の欠点は、中空
状陰極である場合スペクトル中に当該ガスの基本的なス
ペクトル線と重複する陰極材料のスペクトル線が現れる
、イオンスペクトル線の強度が弱い、高電力を消費する
、光学輻射源の寿命が短い等である。
、アークおよびキャピラリー放電等に基づく光学輻射源
が用いられてきた。この種の光学輻射源の欠点は、中空
状陰極である場合スペクトル中に当該ガスの基本的なス
ペクトル線と重複する陰極材料のスペクトル線が現れる
、イオンスペクトル線の強度が弱い、高電力を消費する
、光学輻射源の寿命が短い等である。
（発明の目的）
この発明は新しい形式の放電、即ち中空状陽極における
ガス放電を用いて作用ガスの原子および／またはイオン
スペクトルを得ることを目的とする。この放電はＵＶか
ら弓視光を経てＩＣにいたる広範なスペクトル範囲にお
ける強力光学輻射源を代表するものである。
ガス放電を用いて作用ガスの原子および／またはイオン
スペクトルを得ることを目的とする。この放電はＵＶか
ら弓視光を経てＩＣにいたる広範なスペクトル範囲にお
ける強力光学輻射源を代表するものである。
以丁にこの発明を実施例を示す添付図面とと６に説明ぼ
る。
る。
（実施例）
第ｍ１図に示すようなダイオード（二極管）における中
空状陽極でガス放電が発生せしめられる。
空状陽極でガス放電が発生せしめられる。
このダイオードは、たとえばガラスＧＴ内に配置された
中空状陽極ＨＡおよび陰極Ｃから涯二成される。このガ
ラス管の寸法は改装なことではなく、該寸法は適用対象
ζ４丁窓上て定められる。この実施例においては、管の
長さＩＯａｍ、内径４ｃｍとされる。陽極および陰極の
電極を有４゛るガラス管は−・般に放電管といわれる。
中空状陽極ＨＡおよび陰極Ｃから涯二成される。このガ
ラス管の寸法は改装なことではなく、該寸法は適用対象
ζ４丁窓上て定められる。この実施例においては、管の
長さＩＯａｍ、内径４ｃｍとされる。陽極および陰極の
電極を有４゛るガラス管は−・般に放電管といわれる。
」二足中空状陽極の１例として、中心部に穴を設けた、
たとえばアルミニコーム製円盤から形成され、該円盤の
陰極と対向する上面と絶縁され、紋穴の内面のみが４電
性とされる。原理的に、電極が内面のみを導電性とする
中空状陽極を形成１．さえずれば、円杉、矩形またはそ
の他の形状であ−、・でもよい。
たとえばアルミニコーム製円盤から形成され、該円盤の
陰極と対向する上面と絶縁され、紋穴の内面のみが４電
性とされる。原理的に、電極が内面のみを導電性とする
中空状陽極を形成１．さえずれば、円杉、矩形またはそ
の他の形状であ−、・でもよい。
」二足実施例において、円盤状陰極と対面する上面は第
１」図に破線で示すようにプラズマアークによって何首
されたセラミックの薄層を介１．て絶縁される。このよ
うにして当該陽極の穴の内面のみか導電性とされる。こ
の陽極における絶縁セラミック層を設けた穴部分を破線
円で囲んで第１−２図に示す。この中空状陽極における
磁界は電磁または永久磁石Ｍによって得られる。
１」図に破線で示すようにプラズマアークによって何首
されたセラミックの薄層を介１．て絶縁される。このよ
うにして当該陽極の穴の内面のみか導電性とされる。こ
の陽極における絶縁セラミック層を設けた穴部分を破線
円で囲んで第１−２図に示す。この中空状陽極における
磁界は電磁または永久磁石Ｍによって得られる。
上記ガラス管におけるもう一方の端部に配置されたアル
ミニューム円盤は陰極として機能する。
ミニューム円盤は陰極として機能する。
陰極は種々の形態、たとえば円板状、ロッド状、または
その他の形状のものを用いることができる。
その他の形状のものを用いることができる。
最も好ましくは、平板状とか陽極−陰極間距離に等しい
曲率半径を有する凹状陰極とする。本発明の陰極は種々
の半ｉｔ、形状のものが用いられるが、第１実施例Ｉで
は陽極−陰極Ｉａｌ距離より小さい直径の平板状または
凹状ド３極が用いられる。
曲率半径を有する凹状陰極とする。本発明の陰極は種々
の半ｉｔ、形状のものが用いられるが、第１実施例Ｉで
は陽極−陰極Ｉａｌ距離より小さい直径の平板状または
凹状ド３極が用いられる。
第２実施例口において、陰極は、第２図に示すように、
その曲率中心部に中空状陽極を配置した１ト球状とされ
る。中空状陽極およびその他の構成部分の符号は前記と
同一とされる。この実施例において、凹状陰極は中空状
陽極の穴に各エレクトロンを収束せしめてガスの励起お
よび電離効率を高める。
その曲率中心部に中空状陽極を配置した１ト球状とされ
る。中空状陽極およびその他の構成部分の符号は前記と
同一とされる。この実施例において、凹状陰極は中空状
陽極の穴に各エレクトロンを収束せしめてガスの励起お
よび電離効率を高める。
第３実施例■において、中空状陽極は、円形穴に代えて
矩形穴とすることができる。この場合、凹状陰極は第３
図（ａ）および（１））に示すように半円筒体とされる
。この実施例において中空状陽極は磁性または非磁性材
料から成る２つの部分）−ＩＡＩおよびｌ（Δ２から形
成される。磁界Ｂは第１例の第３図（ａ）に示すように
部分１−ＩＡＩおよびＨＡ２間の穴においてのみ得られ
るようにｒるか、第２例の第３図（ｂ）に示すように磁
力線が当該中空状陽極の穴に垂直な成分をＵするように
する。、きらには、中空状陽極部分！（Δ１おＪ、びｌ
ｌＡ２に同一または異なる電圧を印加することができる
。その他の構成部分には前記２つの実施例におけるもの
と同一の符号がイ・」される。
矩形穴とすることができる。この場合、凹状陰極は第３
図（ａ）および（１））に示すように半円筒体とされる
。この実施例において中空状陽極は磁性または非磁性材
料から成る２つの部分）−ＩＡＩおよびｌ（Δ２から形
成される。磁界Ｂは第１例の第３図（ａ）に示すように
部分１−ＩＡＩおよびＨＡ２間の穴においてのみ得られ
るようにｒるか、第２例の第３図（ｂ）に示すように磁
力線が当該中空状陽極の穴に垂直な成分をＵするように
する。、きらには、中空状陽極部分！（Δ１おＪ、びｌ
ｌＡ２に同一または異なる電圧を印加することができる
。その他の構成部分には前記２つの実施例におけるもの
と同一の符号がイ・」される。
上記放電管は高真空技術によって製造される。
この放電管にガスがスタチックまたはダイナミック真空
条件で所定圧力をもって封入される。−・般に、該圧力
は０．１＝ Ｉ ｍｂ（ミリバール）とされる。
条件で所定圧力をもって封入される。−・般に、該圧力
は０．１＝ Ｉ ｍｂ（ミリバール）とされる。
このようなダイオードにおいてガス放電が確立されると
、中空状陽極に高輝度プラズマが得られる。
、中空状陽極に高輝度プラズマが得られる。
これには、放電電流が約１０ｍＡ、作用電圧がＵ＝４０
０〜５００Ｖ、磁界が１’３ ＝ ０−０．０５’ｌ’
（テスラ）とされる。
０〜５００Ｖ、磁界が１’３ ＝ ０−０．０５’ｌ’
（テスラ）とされる。
高輝度の中空陽極型光学（ｉ＋ｉ財源とするには中空状
陽極の大面積を小さく Ｌかっ放電電流密度を高くする
。放電電流を変化させることにより、当該スペクトル成
分を大きく変化させることができる。
陽極の大面積を小さく Ｌかっ放電電流密度を高くする
。放電電流を変化させることにより、当該スペクトル成
分を大きく変化させることができる。
上記光学輻射源は電力消費ｑが低く、二次効果もなくて
長寿命なものである。
長寿命なものである。
本出願人は種々の中空陽極型光学輻射隙を製作して試験
を行ったと、ころ、−Ｌ述（また結果を得ることが出来
た。
を行ったと、ころ、−Ｌ述（また結果を得ることが出来
た。
第１−１図は本発明の第１実施例の概略横断面図、
第１２図は上記第１実施例の中空状陽極の穴部分の拡大
断面図、 第２図は本発明の第２実施例の縦断面図、第３図（ａ）
および（ｂ）は本発明の第３実施例の主要部の斜視図で
、それぞれ中空状陽極の穴部に印加する磁界の態様を示
す図である。 ＨＡ・・・中空状陽極、 ＨＡＩ、ＨＡ２・・・中空状陽極部分 Ｃ・・・陰極、ＣＣ・・・凹状陰極、Ｍ・・・磁石。 特許出願人 インステイトウド・ザ・アトムスク・フィ
ジイク・つ・インステイトウ ラ・ザ・ヌウクレアーネ・ナウケ “ポリス・キデリック”〜ビンカ 代 理 人 弁理士 青 山 葆 ほかＩ名（Ｑ） Ｆｉｇ、 ３ （ｂ）
断面図、 第２図は本発明の第２実施例の縦断面図、第３図（ａ）
および（ｂ）は本発明の第３実施例の主要部の斜視図で
、それぞれ中空状陽極の穴部に印加する磁界の態様を示
す図である。 ＨＡ・・・中空状陽極、 ＨＡＩ、ＨＡ２・・・中空状陽極部分 Ｃ・・・陰極、ＣＣ・・・凹状陰極、Ｍ・・・磁石。 特許出願人 インステイトウド・ザ・アトムスク・フィ
ジイク・つ・インステイトウ ラ・ザ・ヌウクレアーネ・ナウケ “ポリス・キデリック”〜ビンカ 代 理 人 弁理士 青 山 葆 ほかＩ名（Ｑ） Ｆｉｇ、 ３ （ｂ）
Claims (4)
- （１）円形または矩形の穴を有しかつ該穴の内面のみを
導電性とした中空状陽極を形成し、該中空状陽極と陰極
間でガス放電を生起せしめることを特徴とする光学輻射
源。 - （２）陰極が凹状に形成され、該陰極の曲率中心部に穴
が位置するように中空状陽極を配置した特許請求の範囲
第１項記載の光学輻射源。 - （３）中空状陽極がそれぞれに同一または異なる電圧が
印加される導電性対向面を有する２つの矩形板状体から
形成され、陰極が半円筒形状を有する特許請求の範囲第
１項記載の光学輻射源。 - （４）磁石を設け、中空状陽極の穴部分に磁界を印加す
る特許請求の範囲第１項〜第３項のいずれかに記載の光
学輻射源。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| YU1735/86 | 1986-10-09 | ||
| YU173586A YU46727B (sh) | 1986-10-09 | 1986-10-09 | Izvor optičkog zračenja sa šupljom anodom |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01302649A true JPH01302649A (ja) | 1989-12-06 |
Family
ID=25555387
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62256148A Pending JPH01302649A (ja) | 1986-10-09 | 1987-10-08 | 光学輻射源 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4906890A (ja) |
| EP (1) | EP0264054A3 (ja) |
| JP (1) | JPH01302649A (ja) |
| YU (1) | YU46727B (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4881444B2 (ja) * | 2006-12-14 | 2012-02-22 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． | プラズマ放射源、プラズマ放射源を形成する方法、基板上にパターニングデバイスからのパターンを投影するための装置、およびデバイス製造方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4128336A (en) * | 1975-08-21 | 1978-12-05 | The South African Inventions Development Corporation | Spectroscopic apparatus and method |
| JPS52129278A (en) * | 1976-03-09 | 1977-10-29 | Naoyuki Maeda | Method and apparatus for parallelly connecting plurality of transistors |
-
1986
- 1986-10-09 YU YU173586A patent/YU46727B/sh unknown
-
1987
- 1987-10-06 US US07/105,713 patent/US4906890A/en not_active Expired - Fee Related
- 1987-10-07 EP EP87114572A patent/EP0264054A3/en not_active Withdrawn
- 1987-10-08 JP JP62256148A patent/JPH01302649A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4881444B2 (ja) * | 2006-12-14 | 2012-02-22 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． | プラズマ放射源、プラズマ放射源を形成する方法、基板上にパターニングデバイスからのパターンを投影するための装置、およびデバイス製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| YU46727B (sh) | 1994-04-05 |
| EP0264054A2 (en) | 1988-04-20 |
| YU173586A (en) | 1988-08-31 |
| US4906890A (en) | 1990-03-06 |
| EP0264054A3 (en) | 1990-01-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5495143A (en) | Gas discharge device having a field emitter array with microscopic emitter elements | |
| JPS63141256A (ja) | 放電ランプ | |
| JP4783074B2 (ja) | 誘電体バリア放電ランプ | |
| Tang et al. | Planar lenses for field‐emitter arrays | |
| JPH01289051A (ja) | イオン電子源装置 | |
| JPH01302649A (ja) | 光学輻射源 | |
| KR980005142A (ko) | 평판 디스플레이에서 사용하는 자기적으로 접속된 전계 에미터 소자 | |
| EP1094498A8 (en) | Method and device for generating optical radiation | |
| US3991336A (en) | Xenon lamp having magnets around the electrodes thereof | |
| US4514662A (en) | Magnetic arc spreading fluorescent lamps | |
| JPH07288106A (ja) | 重水素放電管 | |
| JPH0449222B2 (ja) | ||
| US4075529A (en) | Xenon lamp containing magnetic adsorbers inside the tube thereof | |
| RU2209483C2 (ru) | Электронно-ионный источник | |
| US4965491A (en) | Plasma generator | |
| JPS61179052A (ja) | 水素発光管 | |
| RU2143766C1 (ru) | Эмиттер заряженных частиц | |
| RU195755U1 (ru) | Вакуумная нейтронная трубка с инерциальным удержанием ионов | |
| Miljevic | Cylindrical hollow anode ion source | |
| JPH11256315A (ja) | 蒸着源及び蒸着装置 | |
| JPS60136155A (ja) | キセノンフラツシユランプ | |
| RU2219617C2 (ru) | Быстродействующий газовый клапан низкого давления | |
| JPS60189842A (ja) | 電界電離型イオン源 | |
| JPS6022621Y2 (ja) | ガスレ−ザ放電管 | |
| JPS61269848A (ja) | 平板状低圧放電ランプ |