RU2219617C2 - Быстродействующий газовый клапан низкого давления - Google Patents
Быстродействующий газовый клапан низкого давления Download PDFInfo
- Publication number
- RU2219617C2 RU2219617C2 RU2002106911A RU2002106911A RU2219617C2 RU 2219617 C2 RU2219617 C2 RU 2219617C2 RU 2002106911 A RU2002106911 A RU 2002106911A RU 2002106911 A RU2002106911 A RU 2002106911A RU 2219617 C2 RU2219617 C2 RU 2219617C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- grid
- valve
- anode
- cathode
- grids
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
Abstract
Изобретение относится к клапанам и предназначено преимущественно для быстрого и точного регулирования газовой среды накопительных камер инжекторов холодной плазмы, в реакторах для синтеза легких ядер, при давлении газа на входе клапана не более 10 мм ртутного столба. Быстродействующий газовый клапан низкого давления содержит цилиндрическую трубку, выполненную из термостойкого изолятора со встроенными внутрь полости трубки четырьмя металлическими сетками-электродами, служащими для ионизации частиц газа и ускорения их в направлении входа клапана, при этом сетка на входе клапана - катодная сетка - выполнена подогреваемой с целью эмиссии свободных электронов и соединена с минусом источника питания, следующая сетка - управляющая расположена в непосредственной близости от катодной сетки и управляет током ионизации частиц газа, третья от входа клапана сетка - анодная подключена к плюсу источника питания и служит для создания электрических полей в пространстве между катодной и анодной сетками, а также между анодной и экранной сеткой - четвертой сеткой клапана, соединенной с минусом источника питания, а управление клапаном осуществляется с помощью напряжений, подаваемых на сетки клапана. Технический результат - высокое быстродействие и надежность. 2 ил.
Description
Текст описания в факсимильном виде (см. графическую часть)
Claims (1)
- Быстродействующий газовый клапан низкого давления, отличающийся тем, что он представляет собой цилиндрическую трубку, выполненную из термостойкого изолятора (например, стекла или радиофарфора) с встроенными внутрь полости трубки четырьмя металлическими сетками-электродами, служащими для ионизации частиц газа и ускорения их в направлении входа клапана, в его закрытом состоянии, для уравновешивания давления на входе клапана, при этом сетка на входе клапана - катодная сетка выполнена подогреваемой с целью эмиссии свободных электронов и соединена с минусом источника питания, следующая сетка - управляющая расположена в непосредственной близости от катодной сетки и управляет током ионизации частиц газа, третья от входа клапана сетка - анодная подключена к плюсу источника питания и служит для создания электрических полей в пространстве между катодной и анодной сетками, а также между анодной и экранной сеткой - четвертой сеткой клапана, соединенной с минусом источника питания, а управление клапаном осуществляется с помощью напряжений, подаваемых на сетки клапана.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2002106911A RU2219617C2 (ru) | 2002-03-18 | 2002-03-18 | Быстродействующий газовый клапан низкого давления |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2002106911A RU2219617C2 (ru) | 2002-03-18 | 2002-03-18 | Быстродействующий газовый клапан низкого давления |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2002106911A RU2002106911A (ru) | 2003-11-27 |
| RU2219617C2 true RU2219617C2 (ru) | 2003-12-20 |
Family
ID=32066153
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2002106911A RU2219617C2 (ru) | 2002-03-18 | 2002-03-18 | Быстродействующий газовый клапан низкого давления |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2219617C2 (ru) |
-
2002
- 2002-03-18 RU RU2002106911A patent/RU2219617C2/ru not_active IP Right Cessation
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2495510C2 (ru) | Комбинированная насосная система, содержащая геттерный насос и ионный насос | |
| EP0095311B1 (en) | Ion source apparatus | |
| US4728862A (en) | A method for achieving ignition of a low voltage gas discharge device | |
| RU2219617C2 (ru) | Быстродействующий газовый клапан низкого давления | |
| US1863702A (en) | Gaseous conduction method and apparatus | |
| US3881132A (en) | Compact, high intensity arc lamp with internal magnetic field producing means | |
| US3983423A (en) | Thermionic converter | |
| EP0264709A2 (en) | Hollow-anode ion-electron source | |
| KR101442316B1 (ko) | 쇼트 아크형 방전 램프 | |
| US6323586B1 (en) | Closed drift hollow cathode | |
| CN100482030C (zh) | 用于产生远紫外线和软x射线的装置 | |
| JP2009283466A (ja) | 蛍光ランプ及びコンパクト蛍光ランプに関するグロースタータ並びにそれに関連する蛍光ランプ固定具 | |
| RU193580U1 (ru) | Вакуумная нейтронная трубка с инерциальным удержанием ионов | |
| EP1830387A3 (en) | Metal electrodes for electric plasma discharge devices | |
| RU195755U1 (ru) | Вакуумная нейтронная трубка с инерциальным удержанием ионов | |
| RU193506U1 (ru) | Вакуумная нейтронная трубка с инерциальным удержанием ионов | |
| RU195753U1 (ru) | Вакуумная нейтронная трубка с инерциальным удержанием ионов | |
| RU209870U1 (ru) | Вакуумная нейтронная трубка | |
| RU2002106911A (ru) | Быстродействующий газовый клапан низкого давления | |
| RU2401521C1 (ru) | Ускоритель плазмы с замкнутым холловским током (варианты) | |
| KR20030045540A (ko) | 선형 미세공음극 무전극 평판형광램프 | |
| GB1334527A (en) | Gas filled thyratron type switching discharge tubes | |
| SU1001817A1 (ru) | Плазменный источник ионов | |
| RU1400467C (ru) | Ускоритель заряженных частиц | |
| JP4534055B2 (ja) | イオン源 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20110319 |