JPH01301861A

JPH01301861A - 差圧シール装置

Info

Publication number: JPH01301861A
Application number: JP13167388A
Authority: JP
Inventors: Tsuneo Nagamine; 長嶺　恒夫; Fumihito Suzuki; 鈴木　文仁; Norio Takahashi; 憲男高橋; Shigefumi Katsura; 桂　重史
Original assignee: Kawasaki Steel Corp
Current assignee: JFE Steel Corp
Priority date: 1988-05-31
Filing date: 1988-05-31
Publication date: 1989-12-06

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）長尺薄帯、例えば冷延ないし熱延鋼帯の様な長尺材を連
続的に送給しつつこれに真空蒸着、イオンブレーティン
グ、スパッタリングなどのいわゆるドライブレーティン
グ法によって表面処理を施す際には複数の圧力差のある
空間領域相互によってドライブレーティング領域に至る
間に順次真空度を上げ、ついで下げていくエアー・トウ
・エアー　（／１ｉｒ−ｔｏ　Ａｉｒ）方式が用いられ
る。この発明はこの差圧室相互間の圧力差を維持しつつ
長尺薄帯の通過を誘導するのに好適な差圧シール装置に
関するものである。

（従来の技術）エアー・トウ・エア一方式に関しては、例えば米国特許
第２３８４５００号、同２９７２３３０号、同２９９６
４１０号明細書をはじめ、三菱重工技報Ｖｏｌ、　２１
　（１９８４）Ｎｏ、　６のｐｔ〜７などのように既に
多数の提案を見ることができる。

（発明が解決しようとする課題）ところで上記の技術は何れも一対のローラー間に長尺薄
帯を挟圧通板させる形式なので適用鋼種によっては該ロ
ーラーの面圧に起因して材料特性が劣化するという不利
があった。

なお長尺薄帯を巻がける単一のガイドロールにそれとの
間で微小すき間を形成する固定式のシールバーを組込み
差圧空間相互間の圧力差を維持する試みもあるが、装置
の製作あるいは装置の据付の際の精度上ロールが振れた
り、熱的要素（条件）の付加による膨張、収縮によりす
き間を、より高い差圧シールが実現できる限界値（例え
ば０．１ｍｍ以下）に設定するのが難しかった。長尺薄
帯の通板時に品質劣化の原因となる強い面圧を受けたり
、すき間の調整を要することなしにより高い差圧シール
が実現できる装置を提案することがこの発明の目的であ
る。

（課題を解決するための手段）この発明は圧力差のある空間領域相互間にわたり該圧力
差を維持しつつ長尺薄帯の連続的な通過を誘導する差圧
シールにおいて、上記空間領域相互間の境界にて長尺薄
帯の巻がけ案内を司る単一のガイドロールと、長尺薄帯
の巻がけ域およびこれと相対するロール外周面を取囲む
上下一対のシールカバーを備え、該カバー内にそれぞれ
ガイドロールの表面に密着して、該ガイドロールととも
に同期回転するシールベルトを配設してなる差圧シール
装置であり、ここに上記構成になる装置には、より高い
差圧シールを実現するためにガイドロールの外周面のほ
ぼ半周にわたって密着し該ガイドロールとともに同期回
転するシールベルトを備え、上シールカバーおよび下シ
ールカバーの各端部とそれぞれ係合する左右一対のサイ
ドシールカバーを配設するのがよい。

（作　用）以下この発明を図面に基づいて詳細に説明する。

第１図に、この発明に従う装置の一例を模式的に示す。

同図における番号１は長尺薄帯、２は例えば圧力Ｐ０に
なる空間（大気圧）と圧力Ｐ、になる空間の境界にて長
尺薄帯ｌの巻がけ案内を司るガイドロール、３は長尺薄
帯ｌの巻がけ域を取囲む上シールカバーであり、このシ
ールカバー３内にはベアリング４ａにて回転自在な複数
個のローラ４とこれらのローラ４に巻がけられ、ガイド
ロール２に巻がけられた長尺薄帯ｌを、覆いかくす例え
ばゴムの如き弾性部材よりなるシールベルト５と、さら
にガイドロール２の軸方向からの気体の流入を防止する
邪魔板６を設ける。

また７は上シールカバー３と相対するロール２の外周面
を取囲む下シールカバーであり、このシールカバー７内
にはベアリング８ａにて回転自在な複数個のローラ８と
これらのローラ８に巻がけられガイドロール２の外周面
に密着するシールベルト９と、さらにガイドロール２の
軸方向からの気体の流入を防止する邪魔板１０が設けら
れる。

第２図に、ローラ４に巻がけられたシールベルト５とロ
ーラ８に巻がけられたシールベルト９をガイドロール２
に配置した状態をわかりやすく図解した。

上記の構成になる装置において長尺薄帯１を例えば大気
圧Ｐ０から圧力Ｐ１に保持された真空室内へ搬送する際
、あるいはその逆において、ガイドロール２とシールベ
ルト５および９の間にはすき間が生じることは全くなく
有効な差圧シールが成就されることとなる。

なお上記各ベルトと各カバーとの間に形成されるすき間
ａおよび各ベルトと各邪魔板との間に形成されるすき間
すは、空気等の流入を抑制するためベルトの回転に支障
がないよう極力小さくするのが望ましく、この発明の装
置においては、上記のすき間ａおよびｂを何れも０．２
　ｍｎ＋以下に設定できる。また、各ベルトを収容する
上カバー３および下カバー７の側板の下端部（第１図Ａ
部参照）は、回転するガイドロール２と接触しない様に
配設する必要があるためベルトの厚みのほぼ半部くらい
まで覆いか（すよにする必要がある。

次に第３図にこの発明に従う差圧シール装置の他の好適
例を模式的に示す。同図における装置は、上掲第１図に
示した上シールカバー３と下シールカバー７の端部をそ
の両端において係合するサイカバー７の端部をその両端
において係合するサイドシールカバー１１を配設した例
であり、その内部には軸受を介して回転自在に保持され
たローラ１２に巻がけられガイドロール２の外周のほぼ
半周にわたって密着しガイドロール２とともに同期回転
するシールベルト１３を備える。なお、上記ローラ１２
はガイドロール２の回転に併せて駆動する形式としても
よいし、これに駆動装置を連結して独立して回転させる
形式としてもよい。第４図に上記の構成をわかりやす（
図解したが、このようなサイドシールカバー１１を配設
することでロール長手方向からの気体の流入は極力抑制
されるのでより高い差圧シールが実現される。

ここにシールベルト１３の幅は装置のサイズにもよるが
１０〜１００　ｏｈｍの範囲において設定するのが適当
である。

また、サイドシールカバー１１とシールベルト１３の間
に形成されるすき間Ｃについては、ベルトの回転に支障
がないように０．２〜０．５　ｍｍの間隔をもって設定
し、ガイドロール２に接したシールベルつ邪魔板１４を
設ける。

なお、シールヘルド５．９および１３の張力はそれらを
巻がける各ローラを上下左右に移動可能な構造としてお
きこれらを適宜変位させることにより調整することがで
きる。

（実施例）上掲第１図に示した構造になる装置を３つ連続して配設
した第５図の差圧シール装置を用い長尺薄帯１を、大気
圧Ｐ。から差圧室１５内へ導入し、その際の差圧状況に
ついて調整した結果、非常に高い差圧が維持できること
が確認できた。

（発明の効果）この発明によれば、品質劣化の原因となる強い血圧を受
けたり、長尺薄帯を巻がけするガイドロールの振れや該
ロールの熱膨張に起因したすき間の変化を生じることな
く、しかも排気ポンプの設置台数を少なくしてより有効
な差圧シールが実現できる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）、　　（ｂ）、　　（ｃ）は、この発明に
従う差圧シール装置の構成説明図、第２図は、要部の斜視図、第３図（ａ）、　　（ｂ）は、この発明に従う差圧シー
ル装置の他の例を示す図、第４図は、要部の斜視図、第５図は、実施例を示す断面模式図である。 ■・・・長尺薄帯　　　　　２・・・ガイドロール３・
・・上シールカバー　　　４・・・ローラ５・・・シー
ルベルト　　　　６・・・邪魔板７・・・下シールカバ
ー　　８・・・ローラ９・・・シールベルト１０・・・
邪魔板１１・・・サイドシールカバ゛− １２・・・ローラ　　　　　　１３・・・シールベルト
１４・・・邪魔板　　　　　　１５・・・差圧室区の　　　　　閃派　　　　− ４フ　　、

Claims

【特許請求の範囲】１、圧力差のある空間領域相互間にわたり該圧力差を維
持しつつ長尺薄帯の連続的な通過を誘導する差圧シール
において、上記空間領域相互間の境界にて長尺薄帯の巻がけ案内を
司る単一のガイドロールと、長尺薄帯の巻がけ域および
これと相対するロール外周面を取囲む上下一対のシール
カバーを備え、該カバー内にそれぞれガイドロールの表
面に密着して、該ガイドロールとともに同期回転するシ
ールベルトを配設してなる差圧シール装置。２、ガイドロールの外周のほぼ半周にわたって密着し該
ガイドロールとともに同期回転するシールベルトを備え
、上シールカバーおよび下シールカバーの各端部とそれ
ぞれ係合する左右一対のサイドシールカバーを配設した
請求項１記載の差圧シール装置。