JPH01295128A - 圧力センサー - Google Patents
圧力センサーInfo
- Publication number
- JPH01295128A JPH01295128A JP12536088A JP12536088A JPH01295128A JP H01295128 A JPH01295128 A JP H01295128A JP 12536088 A JP12536088 A JP 12536088A JP 12536088 A JP12536088 A JP 12536088A JP H01295128 A JPH01295128 A JP H01295128A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- piezoelectric elements
- vibrating membrane
- amplifier
- oscillation circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims abstract description 7
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 24
- 230000006835 compression Effects 0.000 abstract description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 abstract description 2
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- 239000000284 extract Substances 0.000 abstract 1
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- 239000012080 ambient air Substances 0.000 description 2
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- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
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- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は大気圧又は容器内その他の所定域内の圧力状態
を検出する圧力センサーに関する０ 〔従来の技術〕 この種圧力センサーとして圧電素子を利用することはす
でに周知であるが、その使用原理は該圧電素子に加えら
れるときの電荷を電圧に変換するものである。
を検出する圧力センサーに関する０ 〔従来の技術〕 この種圧力センサーとして圧電素子を利用することはす
でに周知であるが、その使用原理は該圧電素子に加えら
れるときの電荷を電圧に変換するものである。
上記従来手段によるものは急激に変化する動的な力の測
定には有利であるが、気圧等のように刻々に微細に変化
する圧力現象の検出に即応し得ない点に不都合があった
。
定には有利であるが、気圧等のように刻々に微細に変化
する圧力現象の検出に即応し得ない点に不都合があった
。
本発明は上記に鑑み、大気圧その他一定範囲内における
空気圧の変化に即応し得る圧力センサーを得ることを目
的とするもので、胴筐の開放面に、裏面に円形の負圧部
を形成して振動膜を張設し、該振動膜の張設部表面に一
対の圧電素子を取付け、両圧電素子間に増巾器を接続し
て振動膜と増巾器によシナイキス）１．Ｏ’に満足する
周波数発振回路を形成したことを特徴とする。
空気圧の変化に即応し得る圧力センサーを得ることを目
的とするもので、胴筐の開放面に、裏面に円形の負圧部
を形成して振動膜を張設し、該振動膜の張設部表面に一
対の圧電素子を取付け、両圧電素子間に増巾器を接続し
て振動膜と増巾器によシナイキス）１．Ｏ’に満足する
周波数発振回路を形成したことを特徴とする。
本発明において、胴筐（１）の開放面に張設した振動膜
（２）は、その裏面に負圧部（３）を形成したので、例
え、ばこれを大気中に位置させた場合、該振動膜（２）
は周囲の気圧によって負圧部（３）側に凹入彎曲し、そ
の凹大度はそのときの大気圧によって異なる。従って振
動膜（２）は該凹入彎曲度によって緊張度が変化し、該
緊張度の変化に比例して振動周波数に高低の変化を生ず
る。
（２）は、その裏面に負圧部（３）を形成したので、例
え、ばこれを大気中に位置させた場合、該振動膜（２）
は周囲の気圧によって負圧部（３）側に凹入彎曲し、そ
の凹大度はそのときの大気圧によって異なる。従って振
動膜（２）は該凹入彎曲度によって緊張度が変化し、該
緊張度の変化に比例して振動周波数に高低の変化を生ず
る。
該振動膜（２）の張設部表面に取付けた一対の圧電素子
の一方を入力側素子（４）とし、他方を出力側素子（５
）として、これらの間に形成した周波数発振回路（７）
によ多出力側素子（４）の振動は振動膜（２）を媒体と
して入力側素子（５）−に伝達されるが、振動膜（２）
は周囲気圧の変化に応じて刻々にその緊張度が変シ、こ
れに伴なって、振動周波数も変化するからこれを媒体と
する入力側素子（５）えの入力周波数も刻々に変動する
。従って入力側素子（５）からそのときの気圧に即応し
た振動周波数を電気信号として取出すことができ、これ
を変換して例えばそのときの気圧をデジタル表示等の適
宜の手段で直接観察し得る。
の一方を入力側素子（４）とし、他方を出力側素子（５
）として、これらの間に形成した周波数発振回路（７）
によ多出力側素子（４）の振動は振動膜（２）を媒体と
して入力側素子（５）−に伝達されるが、振動膜（２）
は周囲気圧の変化に応じて刻々にその緊張度が変シ、こ
れに伴なって、振動周波数も変化するからこれを媒体と
する入力側素子（５）えの入力周波数も刻々に変動する
。従って入力側素子（５）からそのときの気圧に即応し
た振動周波数を電気信号として取出すことができ、これ
を変換して例えばそのときの気圧をデジタル表示等の適
宜の手段で直接観察し得る。
本発明の実施態様を図面について説明する。
図面において（１）は大鼓形の胴筐を示し、その開放面
に周縁を気密に結着して振動膜（２）全緊張状態で張設
し、且つ裏面には円形の負圧部（３）を形成する。
に周縁を気密に結着して振動膜（２）全緊張状態で張設
し、且つ裏面には円形の負圧部（３）を形成する。
伺、胴筐（１）に対する振動膜（２）の張設作業を例え
ば真空域内で行うことにより簡易に該振動膜（２）の張
設部下面に負圧部（３）全形成し得られ張設後これを大
気中に取出せばそのときの気圧に応じて振動膜（２）の
張設部は負圧部（３）側に凹入彎曲し、且つ気圧の変化
に即応してその凹入彎曲度は変９緊張度は変動する。
ば真空域内で行うことにより簡易に該振動膜（２）の張
設部下面に負圧部（３）全形成し得られ張設後これを大
気中に取出せばそのときの気圧に応じて振動膜（２）の
張設部は負圧部（３）側に凹入彎曲し、且つ気圧の変化
に即応してその凹入彎曲度は変９緊張度は変動する。
（４） （５）は一対の圧電素子を示し、その一方を入
力側とし、他方を出力側とし、第２図では一対の素子（
４） （５） ’に夫々１個づつ設けた場合を示すが、
出力側素子（５）は、原則的に１個であるが入力側素子
（４）は同図で仮線で示すように複数設けて、これらを
並列に接続して用いてもよく、又第３図で示すようにそ
の形態を変形させる場合もある。
力側とし、他方を出力側とし、第２図では一対の素子（
４） （５） ’に夫々１個づつ設けた場合を示すが、
出力側素子（５）は、原則的に１個であるが入力側素子
（４）は同図で仮線で示すように複数設けて、これらを
並列に接続して用いてもよく、又第３図で示すようにそ
の形態を変形させる場合もある。
（６） ｆ′ｉ両圧電素子（４） （５）間に接続した
増巾器を示し、該増巾器（６）と振動膜（２）とによシ
両圧電素子（４） （５）間でナイキストの１，０を満
足する周波数発振回路（７）を形成した。
−（８）はバッファー、（９）は検出周波数による気圧
表示部を示す。
増巾器を示し、該増巾器（６）と振動膜（２）とによシ
両圧電素子（４） （５）間でナイキストの１，０を満
足する周波数発振回路（７）を形成した。
−（８）はバッファー、（９）は検出周波数による気圧
表示部を示す。
尚、振動膜（２）としては温度影響の小さい材質例えば
石英、エリンバ等の薄膜を使用し、圧電素子（４） （
５）は水晶その他周知のものを使用する。
石英、エリンバ等の薄膜を使用し、圧電素子（４） （
５）は水晶その他周知のものを使用する。
本発明によるときは適当に緊張させ且つ周辺の気圧に即
応してその緊張度を変化させ得るように設けた振動膜面
に一対の圧電素子を設け、両圧電素子間に周波数発振回
路を形成させることによシ一方の入力側素子で生ずる振
動を振動膜を媒体として他方の出力側素子から取出すよ
うにしたので、出力側圧電素子側では周辺気圧の変化に
即応する振動膜の緊張度又は圧縮度に比例した周波数を
取出すことができ、従って刻々に変化する大気圧或いは
容器内等の一定範囲内における圧力の変化を敏感緻密に
検出し得られ特に振動膜内外の圧力差が小さいときに感
度が高い特徴を有し、その構成も至極簡潔である効果を
有する。
応してその緊張度を変化させ得るように設けた振動膜面
に一対の圧電素子を設け、両圧電素子間に周波数発振回
路を形成させることによシ一方の入力側素子で生ずる振
動を振動膜を媒体として他方の出力側素子から取出すよ
うにしたので、出力側圧電素子側では周辺気圧の変化に
即応する振動膜の緊張度又は圧縮度に比例した周波数を
取出すことができ、従って刻々に変化する大気圧或いは
容器内等の一定範囲内における圧力の変化を敏感緻密に
検出し得られ特に振動膜内外の圧力差が小さいときに感
度が高い特徴を有し、その構成も至極簡潔である効果を
有する。
図面は本発明の実施例を示すもので、第１図は圧力セン
サーの裁断側面図と作動回路図、第２図は圧力センサー
の平面図、第３図は他の実施例を示す圧力センサーの平
面図である。
サーの裁断側面図と作動回路図、第２図は圧力センサー
の平面図、第３図は他の実施例を示す圧力センサーの平
面図である。
Claims (1)
- 胴筐（１）の開放面に、裏面に円形の負圧部（３）を形
成して振動膜（２）を張設し、該振動膜の張設部表面に
一対の圧電素子（４）（５）を取付け、両圧電素子（４
）（５）間に増巾器（６）を接続して振動膜（２）と増
巾器（６）によりナイキストの１、０を満足する周波数
発振回路（７）を形成したことを特徴とする圧力センサ
ー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12536088A JPH01295128A (ja) | 1988-05-23 | 1988-05-23 | 圧力センサー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12536088A JPH01295128A (ja) | 1988-05-23 | 1988-05-23 | 圧力センサー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01295128A true JPH01295128A (ja) | 1989-11-28 |
Family
ID=14908210
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12536088A Pending JPH01295128A (ja) | 1988-05-23 | 1988-05-23 | 圧力センサー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01295128A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008076053A (ja) * | 2006-09-19 | 2008-04-03 | Shinka Jitsugyo Kk | 気圧センサ及びこれを搭載したハードディスクドライブ、気圧センサの製造方法、気圧計測方法 |
| JP2013504765A (ja) * | 2009-09-21 | 2013-02-07 | ロベルト・ボッシュ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング | 旋回素子を備える作業装置の高さを決定するための方法および制御装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5039392A (ja) * | 1973-08-14 | 1975-04-11 |
-
1988
- 1988-05-23 JP JP12536088A patent/JPH01295128A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5039392A (ja) * | 1973-08-14 | 1975-04-11 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008076053A (ja) * | 2006-09-19 | 2008-04-03 | Shinka Jitsugyo Kk | 気圧センサ及びこれを搭載したハードディスクドライブ、気圧センサの製造方法、気圧計測方法 |
| JP2013504765A (ja) * | 2009-09-21 | 2013-02-07 | ロベルト・ボッシュ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング | 旋回素子を備える作業装置の高さを決定するための方法および制御装置 |
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