JPH01292729A - Gas discharge display device - Google Patents

Gas discharge display device

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Publication number
JPH01292729A
JPH01292729A JP12171888A JP12171888A JPH01292729A JP H01292729 A JPH01292729 A JP H01292729A JP 12171888 A JP12171888 A JP 12171888A JP 12171888 A JP12171888 A JP 12171888A JP H01292729 A JPH01292729 A JP H01292729A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
display device
gas discharge
insulating material
inorganic insulating
discharge space
Prior art date
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Pending
Application number
JP12171888A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Akizo Toda
尭三 戸田
Kazushige Imagawa
今川 一重
Shigeo Kubota
重雄 窪田
Shinichi Shinada
品田 真一
Keiichi Kanebori
恵一 兼堀
Kuninori Imai
今井 邦典
Shigeo Kato
加藤 重雄
Shinsaku Nakamura
中村 進作
Masakazu Fukushima
正和 福島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP12171888A priority Critical patent/JPH01292729A/en
Publication of JPH01292729A publication Critical patent/JPH01292729A/en
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Abstract

PURPOSE:To improve the workability and the productivity of a thin plate of inorganic insulating material used for the constitution of gas discharge spaces by forming micro discharge spaces in the said plate with mechanical processes. CONSTITUTION:A ceramic thin plate in a mechanically workable state is proceed mechanically in high speed and high dimensional accuracy to make holes for micro discharge spaces in the said plate. For making holes mechanically in high speed and high dimensional accuracy, punching process or ultrasonic process able to form multiple processing jigs are suitable. As for mechanically workable inorganic insulating material ceramics before sintering, ceramics in incompletely solidified pre-sintered state, of glass precipitated with special crystals are suitable. Thereby insulating ceramic plate of high dimensional accuracy holes, of arbitrary variable hole pitches, of large area and thickness can be manufactured in high speed and high productivity to improve the quality and to reduce the cost.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ガス放電表示装置に係り、特に高解像度、高
輝度、大画面に好適なフルカラーガス放電表示装置に関
する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a gas discharge display device, and particularly to a full-color gas discharge display device suitable for high resolution, high brightness, and a large screen.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

ガス放電表示装置では、放電空間内で封入ガスを電離さ
せ、電離ガス自体の発光、あるいは電離ガスで励起され
た紫外線や電子を螢光体に照射したときに発生する螢光
によって情報を表示する。
Gas discharge display devices ionize the filled gas in a discharge space and display information using the light emitted by the ionized gas itself or the fluorescence generated when a phosphor is irradiated with ultraviolet rays or electrons excited by the ionized gas. .

したがって、ガス放電表示装置の性能向上や′In造に
当っては、その放電空間の作製技術が重要な位置を占め
る。
Therefore, in improving the performance of gas discharge display devices and manufacturing them using Indium, the technology for manufacturing the discharge space plays an important role.

第1図は、螢光体の発光を利用するガス放電表示装置の
断面模式図である。この装置は、放電セル1が隔壁2を
介してマトリックス状に配置され、これを陽極6が形成
されている面板4と、陰極7が形成されている基板5に
サンドイッチ状にはさまれた構造をもち、放電セル1の
内面には螢光体3が塗布されている。放電セル1の周囲
は気密封止され、その内部にはXs、Ne、あるいはそ
れらの混合ガスが放電ガスとして封入されている。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a gas discharge display device that utilizes light emission from a phosphor. This device has a structure in which discharge cells 1 are arranged in a matrix with partition walls 2 interposed between them, and are sandwiched between a face plate 4 on which an anode 6 is formed and a substrate 5 on which a cathode 7 is formed. The inner surface of the discharge cell 1 is coated with a phosphor 3. The circumference of the discharge cell 1 is hermetically sealed, and Xs, Ne, or a mixture thereof is sealed as a discharge gas inside.

この種のガス放電表示装置では陽極6と陰+@7との間
に電圧を印加して放電ガスに紫外線を発生させ、それに
よって螢光体から発する螢光を情報として表示する。
In this type of gas discharge display device, a voltage is applied between the anode 6 and the cathode +@7 to generate ultraviolet rays in the discharge gas, thereby displaying the fluorescence emitted from the phosphor as information.

また、隔壁2の表面に螢光体を塗布せず、単に、放電ガ
スの発光のみによって情報を表示する形式のガス放電表
示装置もある。
There is also a gas discharge display device that does not coat the surface of the partition wall 2 with a phosphor and displays information simply by emitting light from discharge gas.

以上の記述から明らかなように、ガス放電表示装置にお
いて、その表示の明るさ、解像度2画質は、放電セルの
形状の良否に大きく依存する。すなわち、ガス放電表示
装置においては、その放電セルの製造技術が重要な位置
を占める。特に高品位フルカラーガス放電テレビでは、
大画面、高輝度、高解像度が要求されるため、高精度の
放電セル形成技術が必要となる。
As is clear from the above description, in a gas discharge display device, the display brightness and resolution and image quality largely depend on the quality of the shape of the discharge cells. That is, in gas discharge display devices, the manufacturing technology of the discharge cells occupies an important position. Especially in high-definition full-color gas discharge televisions,
Since a large screen, high brightness, and high resolution are required, highly accurate discharge cell formation technology is required.

例えばここで、40インチサイズのフルカラーガス放電
テレビの放電セルの構造を想定すると、実用上十分な明
るさを持つ放電セルの形状は、約0.8m角、深さ1.
5〜2I11!!の直方体の空間であり、上記テレビ全
体の構造としては、放電セルを垂直方向に480セル、
水平方向に800セル配置したものとなる。
For example, assuming the structure of the discharge cell of a 40-inch full-color gas discharge television, the shape of the discharge cell with sufficient brightness for practical use is about 0.8 m square and 1.8 m deep.
5~2I11! ! It is a rectangular parallelepiped space, and the overall structure of the television is as follows: 480 discharge cells in the vertical direction;
800 cells are arranged horizontally.

また、このセル数などは、現用のN T S C標準モ
ードの画像の場合であるが、今後実用化されるI DT
V、EDTV、HDTVでは放電セ/L/(71微小化
に対応した高精度化、および放電セル数の増加が強く望
まわれており、高精度でかつ大面積の放電セルを形成す
る技術が上記テレビの実用化の鍵を握っている。
In addition, this number of cells is for images in the current NTS C standard mode, but it is for IDT images that will be put into practical use in the future.
In V, EDTV, and HDTV, there is a strong demand for higher precision in response to miniaturization and an increase in the number of discharge cells. It holds the key to the practical application of television.

従来のガス放電表示装置の放電セルは、大別すると以下
の3種の方法で形成されていた。
The discharge cells of conventional gas discharge display devices are formed by the following three methods.

第1の方法は、化学エツチングにより絶縁性ガラス板な
どの放電セル形成素材に貫通穴をあけ、この穴を放電セ
ルとして利用する方法である。この方法では、周知のよ
うにサイドエッチ現象が生ずるために、穴の断面形状が
不規則である。あるいは穴の寸法精度が低い、穴の出入
口と中心部との穴径の差が大きいなどの問題があった。
The first method is to make a through hole in a discharge cell forming material such as an insulating glass plate by chemical etching and use this hole as a discharge cell. In this method, the cross-sectional shape of the hole is irregular because of the well-known side etch phenomenon. Alternatively, there have been problems such as low dimensional accuracy of the hole and a large difference in hole diameter between the hole entrance and the center.

ガス放電表示装置を長寿命で動作させるには、深い穴の
放電セルが必要となるが、上述の方法によって厚板に深
穴を形成することは寸法精度上殆んど不可能に近い。し
たがって、化学エツチング法によって寸法精度の良い深
穴の形成された厚板を得るには、0.2〜0.3nm程
度の薄板にまず穴をあけ、これを複数枚積層溶着しなけ
ればならず、長寿命用の放電セルを製造する上で大きな
障害となっていた。
In order to operate a gas discharge display device with a long life, a discharge cell with a deep hole is required, but it is almost impossible to form a deep hole in a thick plate by the above-mentioned method due to dimensional accuracy. Therefore, in order to obtain a thick plate with deep holes formed with good dimensional accuracy using the chemical etching method, it is necessary to first drill holes in a thin plate of about 0.2 to 0.3 nm and then stack and weld multiple sheets. This has been a major obstacle in manufacturing long-life discharge cells.

第2の方法は、レーザ光照射などによって素材平板の一
部を溶かし、その溶融物を吹き飛ばしながら穿孔する方
法である。この方法は素材の一部がその溶融点以上に加
熱されるため、穴の周辺の材質が著しく変質したり、溶
融物が穴の周辺に付着したりするなどの問題があった。
The second method is to melt a part of the flat plate material by irradiating it with a laser beam or the like, and then drill the hole while blowing away the melted material. In this method, a part of the material is heated above its melting point, so there are problems such as significant deterioration of the material around the hole and molten matter adhering to the area around the hole.

また、化学エツチング法の場合と同様、加工上、下面の
穴径差が大きく、これが素材の厚さにほぼ比例すること
から、約2+In程度の平板に精度良く穴を形成するこ
とはできなかった。さらに、この方法は、マルチビーム
による多数の同時穿穴が困難なので加工時間が長く、4
0インチテレビのように約数十万個の放電セルをもつ大
面積ガス放電表示装置の放電セル形成には適していない
Also, as with the chemical etching method, due to processing, there is a large difference in hole diameter on the bottom surface, and this is almost proportional to the thickness of the material, so it was not possible to form holes with high accuracy in a flat plate of approximately 2+In. . Furthermore, this method requires a long machining time because it is difficult to simultaneously drill a large number of holes using multi-beams.
It is not suitable for forming discharge cells in a large-area gas discharge display device, such as a 0-inch television, which has approximately several hundred thousand discharge cells.

第3の方法は、厚膜印刷法により素材平板上に隔壁を形
成する方法である。この方法は、ガス放電表示装置の放
電セルと同じパターンを、印刷スクリーンを通して、隔
壁材となるガラスペーストを用いてガラス平板上に印刷
形成する方法である。
The third method is to form partition walls on a flat plate of material using a thick film printing method. This method is a method in which the same pattern as the discharge cells of a gas discharge display device is printed on a flat glass plate using a glass paste serving as a barrier rib material through a printing screen.

−回の印刷で形成可能な印刷膜厚の高さは、0.01〜
0.02閣程度で非常に低いので、高さの大きい隔壁を
得るには、印刷回数を非常に多くしなければならないと
いう問題があった1例えば、高さ1.5mの隔壁をもつ
放電空間を作るためには。
- The height of the printed film thickness that can be formed in one printing is 0.01~
Since the height is very low at around 0.02 m, there is a problem in that in order to obtain a partition wall with a large height, it is necessary to print an extremely large number of times.1 For example, in a discharge space with a partition wall 1.5 m high, In order to make.

印刷回数が100回にも及ぶことになる。印刷法では、
印刷ペーストのにじみや印刷だれ2位置合せずれ等、印
刷パターン精度を確保する上での根本的問題がある。こ
の問題は、印刷回数が増すほど当然大きくなるわけであ
るから、スクリーン印刷法によって放電セルを精度良く
形成することは非常に回連であった。また、印刷された
隔壁が後工程で焼成されて固化するときに、隔壁を形成
しているペーストが収縮するため、この点からも寸法精
度上の問題があった。
The number of printings will be as many as 100 times. In the printing method,
There are fundamental problems in ensuring print pattern accuracy, such as printing paste bleeding, printing sag, and misalignment. This problem naturally becomes more serious as the number of times of printing increases, so it has been extremely difficult to form discharge cells with high precision by screen printing. Further, when the printed partition walls are fired and solidified in a post-process, the paste forming the partition walls shrinks, which also poses a problem in terms of dimensional accuracy.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

上記従来技術は、フルカラーテレビを代表例とするよう
なガス放電表示装置の放電セルを形成する技術として十
分な配慮がされておらず、大画面。
The above-mentioned conventional technology does not give sufficient consideration as a technology for forming discharge cells of a gas discharge display device such as a full-color television, and a large screen.

高輝度、長寿命、高解像度、良画質を目的とした高寸法
精度の放電セルを作製する上で、加工性。
Machinability is essential for producing discharge cells with high dimensional accuracy for high brightness, long life, high resolution, and good image quality.

生産性の点で問題があった。There were problems in terms of productivity.

本発明の目的は、上記従来技術の問題点を解決すること
により、高輝度、長寿命、高解像度につながる放電セル
を有するガス放電表示装置を提供することにある。また
他の目的は上記ガス放電表示装置の生産性を向上し、低
価格で提供することにある。
An object of the present invention is to provide a gas discharge display device having a discharge cell that achieves high brightness, long life, and high resolution by solving the problems of the prior art described above. Another object is to improve the productivity of the gas discharge display device and provide it at a low price.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

上記目的は1機械加工が可能な状態にあるセラミックス
の薄板を、高速度、高寸法精度で機械的に穴加工するこ
とによって達成される。
The above object is achieved by mechanically drilling holes in a thin ceramic plate that is ready for machining at high speed and with high dimensional accuracy.

一般にセラミックスは硬いために通常の機械加工による
穴あけは殆んど不可能に近い、しかし。
However, since ceramics are generally hard, it is almost impossible to drill holes using normal machining.

完全に緻密化する前の状態のセラミックス、すなわちセ
ラミックスグリーンシートや仮焼セラミックシートは1
通常の機械加工が可能である。また。
Ceramics before being completely densified, i.e. ceramic green sheets and calcined ceramic sheets, are
Normal machining is possible. Also.

7’/素雲母ガラスやYxOa −Ca O−A (i
 zoa −8iOz系の結晶化ガラスは緻密質である
と同時に機械加工が可能である。セラミックスグリーン
シートは穴加工後に緻密化焼結させることによりガス放
電空間形成用素材となり、仮焼セラミックシートは穴加
工後にガラスなどをコーテングあるいは含浸させてから
使用される。
7'/ mica glass or YxOa -Ca O-A (i
The zoa-8iOz-based crystallized glass is dense and machinable. Ceramic green sheets are made into a material for forming gas discharge spaces by being densified and sintered after drilling holes, and calcined ceramic sheets are used after drilling holes and coating or impregnating them with glass or the like.

一方、高速度でかつ高寸法精度で機械的に穴加工するた
めにはマルチの加工治具形成が可能なポンチ加工や超音
波加工が適しており、これを用いて上記セラミックスを
穴加工する。
On the other hand, punching and ultrasonic machining, which can form multiple processing jigs, are suitable for mechanically drilling holes at high speed and with high dimensional accuracy, and are used to drill holes in the ceramics.

〔作用〕[Effect]

機械加工可能な無機質絶縁材料としては、上述のように
焼結前のセラミック、すなわち仮焼結状態でまだ十分に
固化していないセラミック、あるいは特殊な結晶を析出
させたガラスなどが適している。これらのマシナブルな
セラミックスは1通常の機械加工用工具材料、例えばダ
イス鋼、高速度鋼、あるいは超硬合金を用いて加工でき
る。完全に緻密化焼結された従来のセラミックスが、ダ
イヤモンドのような高価な工具でなければ加工できない
のは、このセラミックスの硬度が非常に高く、通常材質
の工具を用いると加工時の摩耗が多く精度良く、かつ実
用レベルでの加工ができないからである。
As the inorganic insulating material that can be machined, suitable materials include ceramics before sintering, that is, ceramics that have not yet solidified in a pre-sintered state, or glass on which special crystals have been precipitated, as described above. These machinable ceramics can be processed using conventional machining tool materials such as die steel, high speed steel, or cemented carbide. Conventional ceramics that have been completely densified and sintered cannot be processed without expensive tools such as diamonds because they are extremely hard, and tools made of normal materials cause a lot of wear during processing. This is because it cannot be processed with high precision and at a practical level.

前述のマシナブルセラミックスの硬さは通常の工具材料
のそれよりも低いので、工具摩耗などの問題がほとんど
ない。また、ポンチや超音波加工工具によるマシナブル
セラミックスの加工機構を見ると、このセラミックスを
構成している数μm以下の微粒子が、加工エネルギーに
よって母材から脱落除去されたことによって加工が進行
するので、被加工材、および工具の双方に対する加工応
力が非常に小さいという特徴がある。それ故、複数の加
工工具をもつ穴あけ装置を使用することが可能となり、
大面積のセラミックシートに高速度で穴加工することが
できる。また加工精度は、セラミックスを構成している
微粒子の大きさによってほぼ決るので、数μm程度の仕
上げ精度が期待できる。この精度は、ガス放電セルの放
電空間の径を1mとすると、非常な高精度であることを
示している。
Since the hardness of the aforementioned machinable ceramics is lower than that of ordinary tool materials, there are almost no problems such as tool wear. In addition, when looking at the processing mechanism of machinable ceramics using punches and ultrasonic processing tools, processing progresses as fine particles of several micrometers or less that make up the ceramic are removed from the base material by processing energy. , the machining stress on both the workpiece and the tool is extremely small. Therefore, it is possible to use a drilling device with multiple processing tools,
Capable of drilling holes in large area ceramic sheets at high speed. Furthermore, since the processing accuracy is almost determined by the size of the fine particles that make up the ceramic, finishing accuracy on the order of several μm can be expected. This accuracy indicates extremely high accuracy when the diameter of the discharge space of the gas discharge cell is 1 m.

以上のように5本発明は、マシナブルセラミックスのも
つ個有の被削性を活用することによって、通常の材質で
かつマルチタイプの加工工具を用いて高速度で加工する
点に特徴がある。
As described above, the present invention is characterized in that by utilizing the unique machinability of machinable ceramics, machining is performed using ordinary materials and multi-type machining tools at high speed.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明の実施例を詳細に説明する。 Examples of the present invention will be described in detail below.

[実施例1] Sio2.AQzOs、MgO,KzO,Fなどを成分
とするフッ素系雲母ガラスは、フッ素金雲母とアルミノ
ケイ酸塩ガラスがそれぞれほぼ等置台まれている結晶化
ガラスで、フッ素金雲母の存在のために機械加工が可能
な材料で、マシナブルセラミックスの一種として知られ
ている。
[Example 1] Sio2. Fluorine-based mica glass containing AQzOs, MgO, KzO, F, etc. as a component is a crystallized glass in which fluorine-phlogopite and aluminosilicate glass are placed in approximately equal positions, and machining is difficult due to the presence of fluorine-phlogopite. It is known as a type of machinable ceramic.

第2図は、このマシナブルセラミックスの板に超音波加
工によって微細な穴を多数、同時に形成する本発明の説
明図である。第2図において、超音波工具11の先端に
は、2000本の細い超音波ホーン12が取りつけられ
ている。このホーンの材質は高速度鋼で、1mX0.8
mm+長さ15Iである0次に、上下、左右可動ステー
ジ15の上に、バックアツプ材14を敷き、さらにその
上に2m厚さ、10100X100の前記マシナブルセ
ラミックス13を固定し、その上方から、超音波発振器
16によって作動する超音波ホーン12を押しつけ、A
QzOa砥粒のスラリーと共に超音波加工を行う、加工
時間約5分で、マシナブルセラミックス板3には1m角
の穴が2000穴形成される。次にステージ15を水平
方向に移動し、マシナブルセラミックスの別の個所に同
様の穴加工を行う。このようにして超音波加工を4回行
うと、IQO■角、2m厚さのマシナブルセラミックス
全面に8000ケの穴が形成される。
FIG. 2 is an explanatory diagram of the present invention in which a large number of fine holes are simultaneously formed in this machinable ceramic plate by ultrasonic processing. In FIG. 2, 2000 thin ultrasonic horns 12 are attached to the tip of an ultrasonic tool 11. The material of this horn is high speed steel, 1m x 0.8
mm + length 15I Next, a back-up material 14 is laid on the vertically and horizontally movable stage 15, and the machinable ceramics 13 with a thickness of 2 m and 10100 x 100 is fixed on top of it, and from above, Pressing the ultrasonic horn 12 operated by the ultrasonic oscillator 16,
Ultrasonic machining is performed with a slurry of QzOa abrasive grains, and 2,000 1 m square holes are formed in the machinable ceramic plate 3 in a machining time of about 5 minutes. Next, the stage 15 is moved in the horizontal direction, and a similar hole is drilled at another location on the machinable ceramic. By performing ultrasonic machining four times in this manner, 8,000 holes are formed on the entire surface of the IQO square, 2 m thick machinable ceramic.

この穴の寸法、及び穴ピッチの精度は、超音波ホーンの
精度に依存するが、このホーンは金属製であるため高精
度機械加工が容易であるので、出来上ったマシナブルセ
ラミックスの穴の寸法精度も当然、非常に良い。また、
ホーンの長さを自由に変えられるので、本実施例よりも
厚いセラミックスに穴をあけることも容易である。さら
に、ホーンの数も任意に変えることができるので、多数
の穴を同時に形成でき、穴形成の高速化が可能である。
The dimensions of this hole and the accuracy of the hole pitch depend on the accuracy of the ultrasonic horn, but since this horn is made of metal, it is easy to perform high-precision machining. Naturally, the dimensional accuracy is also very good. Also,
Since the length of the horn can be changed freely, it is easier to drill holes in ceramics that are thicker than in this embodiment. Furthermore, since the number of horns can be changed arbitrarily, a large number of holes can be formed at the same time, making it possible to speed up hole formation.

大面積のマシナブルセラミックスに穴を形成するときは
、第2図のような縦横はぼ同寸法の超音波工具11を使
用せずとも、例えば、被加工材マシナブルセラミックス
の一辺に相当する長さで、かつ数列程度に並べたホーン
を用い、被加工材をのせたステージ14を順次移動させ
れば、その移動距離に応じた面積の材料に穴を形成する
ことができる。
When forming a hole in a large area of machinable ceramics, for example, it is possible to form a hole with a length equivalent to one side of the workpiece machinable ceramics without using the ultrasonic tool 11 with approximately the same vertical and horizontal dimensions as shown in FIG. By using horns arranged in several rows and sequentially moving the stage 14 on which the workpiece is placed, a hole can be formed in the material with an area corresponding to the moving distance.

以上のように、本発明によれば、大面積の板に寸法精度
良く、微細な穴を、はぼ任意の深さで。
As described above, according to the present invention, fine holes can be formed in large-area plates with high dimensional accuracy and at almost any depth.

高速に形成することができる。Can be formed at high speed.

[実施例2] 微細なAQzOs粉92wt%と焼結助剤粉末(AQx
Os、S iOz、MgO)8wt%の組成をもつ混合
粉に、ポリビニルブチラールのような有機結合剤とトリ
クロルエチレンのような溶剤の適当量を加え、これらを
十分混合後、ドクターブレード法により厚さ2IIIm
のグリーンシートを作製する。このグリーンシートは無
機セラミック粉末が有機物で結合された状態にあるので
5機械加工性に富んでいる。
[Example 2] 92wt% fine AQzOs powder and sintering aid powder (AQx
Appropriate amounts of an organic binder such as polyvinyl butyral and a solvent such as trichlorethylene are added to a mixed powder having a composition of 8 wt% (Os, SiOz, MgO), and after thoroughly mixing these, the thickness is 2IIIm
Create a green sheet. This green sheet has high machinability because the inorganic ceramic powder is bonded with organic matter.

第3図は、上記グリーンシートにポンプ打抜き加工によ
って微細な穴を多数、高速で形成するための本発明によ
る説明図である。第3図において、上型41には直径1
+mの工具鋼製ポンチ42が500本取りつけられてお
り、これに対応して下型43には抜き穴44が形成され
ている。被加工材のグリーンシート45は、この上下型
の間にセットされ、上型41が下降することによってグ
リーンシートに穴があけられる。グリーンシートを水平
方向に移動することにより、任意のピッチで大面積のグ
リーンシートに穴加工ができる。
FIG. 3 is an explanatory diagram according to the present invention for forming a large number of fine holes in the green sheet at high speed by pump punching. In FIG. 3, the upper die 41 has a diameter of 1 mm.
500 +m tool steel punches 42 are attached, and corresponding punch holes 44 are formed in the lower die 43. A green sheet 45 as a workpiece is set between the upper and lower dies, and as the upper die 41 descends, a hole is made in the green sheet. By moving the green sheet in the horizontal direction, it is possible to drill holes in a large area of the green sheet at any desired pitch.

穴加工を施したグリーンシートを1580℃。Heat the green sheet with holes to 1580℃.

1時間、空気中で加熱すると、グリーンシート中の有機
結合剤が揮散すると共に、グリーンシートは約15%収
縮し、完全に緻密質の穴あき焼結板となる0以上のよう
にして作製したアルミナ系セラミックスの穴あき板は、
穴径、穴ピツチ共にガス放電表示装置用放電空間として
適している。また、マルチポンチにより100ヒツト/
分の速度で加工できるので、大面積板の高速穴加工がで
きた。
When heated in air for 1 hour, the organic binder in the green sheet evaporates and the green sheet shrinks by about 15%, becoming a completely dense perforated sintered plate. The perforated plate of alumina ceramics is
Both the hole diameter and hole pitch are suitable as a discharge space for a gas discharge display device. Also, with multi-punch, 100 hits/
Since it can be processed at a speed of 1 minute, it is possible to perform high-speed hole processing on large-area plates.

[実施例3] 実施例2で用いたアルミナ系グリーンシートを1250
’C,1時間、空気中で加熱すると仮焼セラミック板が
得られる。この仮焼体は、まだ十分に緻密化していない
状態にあるため、仮焼体を構成している無機粉末間の結
合が余り強くないので、機械加工が容易な状態にある。
[Example 3] The alumina green sheet used in Example 2 was
'C, a calcined ceramic plate is obtained by heating in air for 1 hour. Since this calcined body is not yet sufficiently densified, the bond between the inorganic powders constituting the calcined body is not very strong, so that machining is easy.

この仮焼セラミックシートを、実施例1と同様、第2図
の超音波加工装置にセットし、印加パワー1.2KW、
送り0.1m/分の速度で穴加工した。その結果、1m
口の穴、2000ケが501m口の仮焼セラミック板に
形成された。この仮焼セラミックス板は十分に緻密化し
ていないので若干多孔質であり、仮焼体中に約35%の
気孔を持っている。
As in Example 1, this calcined ceramic sheet was set in the ultrasonic processing apparatus shown in Fig. 2, and the applied power was 1.2 KW.
Holes were drilled at a feed rate of 0.1 m/min. As a result, 1m
2000 holes were formed in a calcined ceramic plate with a diameter of 501 m. This calcined ceramic plate is not sufficiently densified and is therefore slightly porous, with approximately 35% pores in the calcined body.

そこで、この穴あき仮焼セラミック板をt too℃に
保持した溶融ガラス中に浸漬し、仮焼セラミック板中の
気孔にガラスを浸透させる処理を行った。
Therefore, this perforated calcined ceramic plate was immersed in molten glass maintained at ttoo°C, and a treatment was performed to allow the glass to penetrate into the pores in the calcined ceramic plate.

この処理により、仮焼セラミック板は気密質となり、ガ
ス放電表示装置用放電空間としての機能をもつようにな
る。なお、本実施例では被加工材としてアルミナ仮焼体
の例を示したが、多孔質のマシナブルセラミックスやガ
ラス等を用いても同様の効果を発揮することは当然であ
る。
Through this treatment, the calcined ceramic plate becomes airtight and functions as a discharge space for a gas discharge display device. In this embodiment, an example of an alumina calcined body is shown as the workpiece material, but it goes without saying that the same effect can be achieved by using porous machinable ceramics, glass, or the like.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上述べたように、本発明によれば穴の寸法精度が良く
、穴ピッチが任意に変えられ、大面積でかつ厚さの大き
い絶縁性セラミック板を高速に生産性高く製造すること
ができるので、ガス放電表示装置用放電空間の高品質化
、低コスト化の効果が著しく大きい。
As described above, according to the present invention, the dimensional accuracy of the holes is good, the hole pitch can be changed arbitrarily, and insulating ceramic plates with large areas and large thickness can be manufactured quickly and with high productivity. , the effects of improving the quality and reducing the cost of the discharge space for gas discharge display devices are significant.

なお、本発明の効果は上記ガス放電表示装置の放電空間
に対するものばかりではなく、多層セラミック回路基板
のスルーホール形成に対しても大きい効果がある。すな
わち、実施例1に示した穴あきマシナブルセラミックス
の穴の中に1回路基板に用いられる導体金属を充填し、
さらに平面方向の配線を施した後に、これらを複数枚積
層すれば、立体配線の施された多層の回路基板を寸法精
度良く、かつ大面積で作ることができる。
The effects of the present invention are not limited only to the discharge space of the gas discharge display device, but also have a great effect on the formation of through holes in multilayer ceramic circuit boards. That is, the holes of the perforated machinable ceramic shown in Example 1 were filled with a conductive metal used for one circuit board,
Furthermore, by layering a plurality of these after wiring in a planar direction, a multilayer circuit board with three-dimensional wiring can be manufactured with high dimensional accuracy and a large area.

【図面の簡単な説明】 第1図はガス放電表示装置の断面模式図、第2図は本発
明による放電空間形成の一実施例の説明図、第3図は本
発明による放電空間の形成模式図である。 1・・・放電セル、2・・・隔壁、3・・・螢光体、4
・・・面板、5・・・基板、6.陽極、7・・・陰極、
11・・・超音波工具、12・・・ホーン、13・・・
マシナブルセラミックス、14・・・バックアツプ材、
15・・・ステージ、16・・・超音波発振器、41・
・・上型、42・・・ポンチ、43・・・下型、44・
・・抜き穴、45・・・被加工材。 第 1  図 1 族電乞ル 4面級 5 基版 6 揚極 7 壁地 第2 図 (幻 lL5.flF7[7エ載
[Brief Description of the Drawings] Figure 1 is a schematic cross-sectional view of a gas discharge display device, Figure 2 is an explanatory diagram of an embodiment of discharge space formation according to the present invention, and Figure 3 is a schematic diagram of discharge space formation according to the present invention. It is a diagram. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Discharge cell, 2... Partition wall, 3... Fluorescent material, 4
. . . Face plate, 5. Substrate, 6. anode, 7... cathode,
11... Ultrasonic tool, 12... Horn, 13...
Machinable ceramics, 14...backup material,
15... stage, 16... ultrasonic oscillator, 41...
... Upper die, 42... Punch, 43... Lower die, 44.
...Drilling hole, 45...Work material. 1st figure 1 Zokudenbeguru 4th level grade 5 base plate 6 Yogoku 7 wall ground figure 2 (illustration lL5.flF7 [7 e.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、放電空間内で封入ガスを電離させ、電離ガス自体の
発光、あるいは電離ガスによつて発生した紫外線や電子
を螢光体に照射したときに発生する螢光によつて情報を
表示するガス放電表示装置において、ガス放電空間の形
成に無機質絶縁材料を用い、該材料の薄板を機械加工す
ることによつて形成された微細放電空間を有することを
特徴とするガス放電表示装置。 2、上記無機質絶縁材料として気密質のマシナブルセラ
ミックスを用いたことを特徴とする請求項1記載のガス
放電表示装置。 3、上記無機質絶縁材料として多孔質のマシナブルセラ
ミックスを用い、これを機械加工して微細放電空間を形
成し、その表面に無機質絶縁材を含浸、あるいはコーテ
ングすることによつて形成された放電空間を有すること
を特徴とする請求項1記載のガス放電表示装置。 4、超音波加工により形成された上記無機質絶縁材料の
放電空間を有することを特徴とする請求項1記載のガス
放電表示装置。 5、ポンチ加工により形成された上記無機質絶縁材料の
放電空間を有することを特徴とする請求項1記載のガス
放電表示装置。 6、上記気密質マシナブルセラミックスとして、フッ素
金雲母を主成分とした焼結体、あるいは結晶化ガラスを
用いることを特徴とする請求項2記載のガス放電表示装
置。 7、上記多孔質マシナブルセラミックスとして、セラミ
ック仮焼体、あるいは多孔質ガラスを用いることを特徴
とする請求項3記載のガス放電表示装置。 8、上記無機質絶縁材料としてセラミックスグリーンシ
ートを用い、これを機械加工して微細放電空間を形成し
、該グリーンシートを焼結することによつて形成された
放電空間を有することを特徴とする請求項1記載のガス
放電表示装置。
[Scope of Claims] 1. Ionization of the filled gas in the discharge space and emission of light by the ionized gas itself, or by fluorescence generated when a fluorescent body is irradiated with ultraviolet rays or electrons generated by the ionized gas. A gas discharge display device for displaying information by using an inorganic insulating material for forming the gas discharge space, and having a fine discharge space formed by machining a thin plate of the material. Display device. 2. The gas discharge display device according to claim 1, wherein airtight machinable ceramics are used as the inorganic insulating material. 3. A discharge space formed by using porous machinable ceramics as the inorganic insulating material, machining it to form a fine discharge space, and impregnating or coating the surface with an inorganic insulating material. The gas discharge display device according to claim 1, characterized in that it has: 4. The gas discharge display device according to claim 1, further comprising a discharge space of the inorganic insulating material formed by ultrasonic machining. 5. The gas discharge display device according to claim 1, further comprising a discharge space of the inorganic insulating material formed by punching. 6. The gas discharge display device according to claim 2, wherein a sintered body containing fluorine phlogopite as a main component or crystallized glass is used as the airtight machinable ceramic. 7. The gas discharge display device according to claim 3, wherein a ceramic calcined body or porous glass is used as the porous machinable ceramic. 8. A claim characterized in that a ceramic green sheet is used as the inorganic insulating material, the fine discharge space is formed by machining the same, and the discharge space is formed by sintering the green sheet. Item 1. Gas discharge display device according to item 1.
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WO2002086935A2 (en) * 2001-02-07 2002-10-31 Plasmion Displays, Llc High efficiency plasma display panel device and method of fabricating the same

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