JPH01289909A - 走査光学装置 - Google Patents
走査光学装置Info
- Publication number
- JPH01289909A JPH01289909A JP12109088A JP12109088A JPH01289909A JP H01289909 A JPH01289909 A JP H01289909A JP 12109088 A JP12109088 A JP 12109088A JP 12109088 A JP12109088 A JP 12109088A JP H01289909 A JPH01289909 A JP H01289909A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- deflector
- angle
- plane
- lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 10
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 8
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、レーザ等を光源として、その光源からの光束
を利用して情報の記録又は再生を行う走査光学装置に関
するものである。
を利用して情報の記録又は再生を行う走査光学装置に関
するものである。
従来、走査光学装置で用いられる偏向器はポリゴンミラ
ーやガルバノミラ−が用いられてきた。
ーやガルバノミラ−が用いられてきた。
第11図より第14図は走査光学装置の一般的な構成を
示す概略図である。また、簡単のため、倒れ補正のため
の光学系は必要がないとして説明する。
示す概略図である。また、簡単のため、倒れ補正のため
の光学系は必要がないとして説明する。
第11図は偏向器としてガルバノミラ−を用いた例であ
る。光束は光源7を発した後、コリメーターレンズ8で
平行光にされ、ガルバノミラ−21のミラー面に入射し
、このミラー面で反射された後、arcsinθレンズ
10を通り、シリンドリカルレンズ18を通って被走査
面5に結像する。被走査面5の所には光源を記録するた
めの感光ドラム6が置かれている。ガルバノミラ−21
に入射する光束は被走査面5に垂直、で偏向器の回転軸
3を含む平面(以下、簡単のため図に示したような座標
系が与えられている即し′て、この平面を・・平面履呼
ぶ。)内でガルバノミラ−21に入射している。シリン
ドリカルレンズ18は走査される像面がミラー面の回転
につれて2方向に曲がるのを補正男る目的でみれられて
いる。また、11はガルバノミラ−21の駆動装置であ
る。
る。光束は光源7を発した後、コリメーターレンズ8で
平行光にされ、ガルバノミラ−21のミラー面に入射し
、このミラー面で反射された後、arcsinθレンズ
10を通り、シリンドリカルレンズ18を通って被走査
面5に結像する。被走査面5の所には光源を記録するた
めの感光ドラム6が置かれている。ガルバノミラ−21
に入射する光束は被走査面5に垂直、で偏向器の回転軸
3を含む平面(以下、簡単のため図に示したような座標
系が与えられている即し′て、この平面を・・平面履呼
ぶ。)内でガルバノミラ−21に入射している。シリン
ドリカルレンズ18は走査される像面がミラー面の回転
につれて2方向に曲がるのを補正男る目的でみれられて
いる。また、11はガルバノミラ−21の駆動装置であ
る。
第12図は偏向器としてポリゴンミラーを用いた例であ
る。光束は光源7を発した後、コリメーターレンズ8で
平行光にされ、ポリゴンミラー22のミラー面に入射し
、このミラー面で反射された後、fθレンズ14を通っ
て被走査面5に結像する。ポリゴンミラー22に入射す
る光束は被走査面5と偏向器の回転軸3に垂直な面内で
ポリゴンミラー22に入射している。
る。光束は光源7を発した後、コリメーターレンズ8で
平行光にされ、ポリゴンミラー22のミラー面に入射し
、このミラー面で反射された後、fθレンズ14を通っ
て被走査面5に結像する。ポリゴンミラー22に入射す
る光束は被走査面5と偏向器の回転軸3に垂直な面内で
ポリゴンミラー22に入射している。
第13図は偏向器としてポリゴンミラーを用いた例であ
る。光束は光源7を発した後コリメーターレンズ8で平
行光にされ、ポリゴンミラー22のミラー面に入射し、
このミラー面で反射された後、fθレンズ14を通りシ
リンドリカルレンズ18を通って被走査面5に結像する
。ポリゴンミラー22に入射するレーザー光はzx平面
内でポリゴンミラー22に入射している。シリンドリカ
ルレンズ18は走査される像面がミラー面の回転につれ
て、2方向に曲がるのを補正する目的で入れられている
。また、15はポリゴンミラー22の駆動装置である。
る。光束は光源7を発した後コリメーターレンズ8で平
行光にされ、ポリゴンミラー22のミラー面に入射し、
このミラー面で反射された後、fθレンズ14を通りシ
リンドリカルレンズ18を通って被走査面5に結像する
。ポリゴンミラー22に入射するレーザー光はzx平面
内でポリゴンミラー22に入射している。シリンドリカ
ルレンズ18は走査される像面がミラー面の回転につれ
て、2方向に曲がるのを補正する目的で入れられている
。また、15はポリゴンミラー22の駆動装置である。
以上3つの例ではミラー面は平面であるが、このミラー
面に曲率をもたせたことによりfθレンズをなくした例
として第14図の例がある。この例では偏向器はポリゴ
ンミラー23である。光束は光源7を発した後、コリメ
ーターレンズ8で平行光にされ、結像レンズ16で集束
光としてポリゴンミラー23のミラー面に入射し、ここ
で反射された後、シリンドリカルレンズ18を通って被
走査面5に結像する。ポリゴンミラー23に入射するレ
ーザー後はzx平面内でポリゴンミラー23に入射して
いる。シリンドリカルレンズ18は走査される像面がミ
ラー面の回転につれて、2方向に曲がるのを補正する目
的で入れられている。また、15はポリゴンミラーの駆
動装置である。
面に曲率をもたせたことによりfθレンズをなくした例
として第14図の例がある。この例では偏向器はポリゴ
ンミラー23である。光束は光源7を発した後、コリメ
ーターレンズ8で平行光にされ、結像レンズ16で集束
光としてポリゴンミラー23のミラー面に入射し、ここ
で反射された後、シリンドリカルレンズ18を通って被
走査面5に結像する。ポリゴンミラー23に入射するレ
ーザー後はzx平面内でポリゴンミラー23に入射して
いる。シリンドリカルレンズ18は走査される像面がミ
ラー面の回転につれて、2方向に曲がるのを補正する目
的で入れられている。また、15はポリゴンミラーの駆
動装置である。
以上のような従来の走査光学装置では、偏向器のミラー
面の回転によって光束を走査するために発生する像面の
曲りを補正し、さら+Lは偏向器の回転による被走査面
上の像の走査速度を一定にする必要があり、そのために
いくつものレンズ系を必要としている。これらのレンズ
系は、ミラー面で反射される光束の方向がミラー面の回
転によって変わっていくので、一般に設計が難しく、構
成が複雑で高価になるという欠点があった。このためミ
ラー面で反射される光束の方向は一平面内で対称である
ことが望まれる。
面の回転によって光束を走査するために発生する像面の
曲りを補正し、さら+Lは偏向器の回転による被走査面
上の像の走査速度を一定にする必要があり、そのために
いくつものレンズ系を必要としている。これらのレンズ
系は、ミラー面で反射される光束の方向がミラー面の回
転によって変わっていくので、一般に設計が難しく、構
成が複雑で高価になるという欠点があった。このためミ
ラー面で反射される光束の方向は一平面内で対称である
ことが望まれる。
前記従来例のうち第12図の例では光束が被走査面5と
偏向器の回転軸3に垂直な面内でミラー面に入射するの
で、反射される光束も同じ平面内で方向を変えている。
偏向器の回転軸3に垂直な面内でミラー面に入射するの
で、反射される光束も同じ平面内で方向を変えている。
しかし、ポリゴンミラー22の回転によって反射される
光束の方向は非対称形となり、走査される像面の曲りが
非対称となってしまうので、これを補正するレンズ系の
構成は複雑になってしまう。特にミラー面に曲率をつけ
たりすることは非対称性が著しくなるため困難である。
光束の方向は非対称形となり、走査される像面の曲りが
非対称となってしまうので、これを補正するレンズ系の
構成は複雑になってしまう。特にミラー面に曲率をつけ
たりすることは非対称性が著しくなるため困難である。
一方、第11図、第13図、第14図のように、光束を
zx平面内からミラー面に入射させた例では、反射され
る光束の対称性は得られている。しかし、ミラー面の回
転によって、走査される光束の像面は2軸方向に曲って
しまうので、これを補正するためにシリンドリカルレン
ズ18などを必要としていた。
zx平面内からミラー面に入射させた例では、反射され
る光束の対称性は得られている。しかし、ミラー面の回
転によって、走査される光束の像面は2軸方向に曲って
しまうので、これを補正するためにシリンドリカルレン
ズ18などを必要としていた。
このシリンドリカルレンズはミラー面の倒れ誤差補正の
目的でも使われているものであるが、この2方向の曲り
は上記従来例ではミラー面の角度の倒れによる影響より
も大きいので、通常その設計。
目的でも使われているものであるが、この2方向の曲り
は上記従来例ではミラー面の角度の倒れによる影響より
も大きいので、通常その設計。
製作、調整は困難であり、またシリンドリカルレンズ以
外のrθレンズ、 arc:sinθレンズなどの設
計も困難にしていた。さらに第14図のようにミラー面
に曲率をもたせることでfθレンズを用いない例でも像
面の2方向の曲りを補正するためにシリンドリカルレン
ズ18は必要であった。
外のrθレンズ、 arc:sinθレンズなどの設
計も困難にしていた。さらに第14図のようにミラー面
に曲率をもたせることでfθレンズを用いない例でも像
面の2方向の曲りを補正するためにシリンドリカルレン
ズ18は必要であった。
本発明の目的は、上記従来装置の欠点を解消し、偏向器
の反射面から被走査面までの間のレンズの設計が容易で
、または、レンズの省略することのできる走査光学装置
を提供することにある。
の反射面から被走査面までの間のレンズの設計が容易で
、または、レンズの省略することのできる走査光学装置
を提供することにある。
本発明の上記目的は、光源と、該光源から発生する光束
を走査面上で走査するための偏向器と、該光源から発生
する光束を走査面上に結像する結像レンズとを有する走
査光学装置にあって、前記光源から発生する光束は前記
走査面に垂直な方向で前記偏向器に入射し、前記偏向器
に入射する光束と前記偏向器から出射する光束が同一の
面内にある場合に、前記偏向器の回転軸を含み前記走査
面に垂直な面内において、それぞれ、前記偏向器の回転
軸と前記偏向器の反射面とのなす角をβ、前記偏向器の
反射面と前記走査面とのなす角をαとするとき、 0.5 X 2αくβ<1.2X2α なる条件を満たすことによって達成される。
を走査面上で走査するための偏向器と、該光源から発生
する光束を走査面上に結像する結像レンズとを有する走
査光学装置にあって、前記光源から発生する光束は前記
走査面に垂直な方向で前記偏向器に入射し、前記偏向器
に入射する光束と前記偏向器から出射する光束が同一の
面内にある場合に、前記偏向器の回転軸を含み前記走査
面に垂直な面内において、それぞれ、前記偏向器の回転
軸と前記偏向器の反射面とのなす角をβ、前記偏向器の
反射面と前記走査面とのなす角をαとするとき、 0.5 X 2αくβ<1.2X2α なる条件を満たすことによって達成される。
本発明は、光束をzx平面(偏向器の回転軸を含み走査
面に垂直な面)内より偏向器に入射させることで光束の
反射光を対称形にし、さらに光束の像面の2軸方向の曲
りが平面から許容量の範囲に収まるように、偏向器の回
転軸とミラー面を傾けた値に設定し、なおかつ偏向器の
回転軸をzx平而面で傾けて設定したことにより、光束
の像面のZ軸方向の曲りを平面から許容量の範囲に収ま
るようにしたものである。また、ここでは走査面とZ軸
方向は平行である。
面に垂直な面)内より偏向器に入射させることで光束の
反射光を対称形にし、さらに光束の像面の2軸方向の曲
りが平面から許容量の範囲に収まるように、偏向器の回
転軸とミラー面を傾けた値に設定し、なおかつ偏向器の
回転軸をzx平而面で傾けて設定したことにより、光束
の像面のZ軸方向の曲りを平面から許容量の範囲に収ま
るようにしたものである。また、ここでは走査面とZ軸
方向は平行である。
以下、図を使って詳しく説明する。
第1図は本発明の詳細な説明するための全体図であり、
図に示したように直行座標X、y、z座標をもつ。第2
図は第1図のzx平面での断面図であり、ミラーの走査
角が0のときを示している。つまり、ミラーに入射する
光束とミラーから出射する光束が同一の面内にある場合
である。第1図において、光源から出た光束は図には示
していないコリメーターレンズなどを通って入射光lと
して偏向器のミラー面2に入射し、このミラー面で反射
され、反射光4となって被走査面へ結像する。光束は光
源から被走査面に達するまでの間に必要に応じて用いら
れた図には示していないレンズ系を通ってもよい。
図に示したように直行座標X、y、z座標をもつ。第2
図は第1図のzx平面での断面図であり、ミラーの走査
角が0のときを示している。つまり、ミラーに入射する
光束とミラーから出射する光束が同一の面内にある場合
である。第1図において、光源から出た光束は図には示
していないコリメーターレンズなどを通って入射光lと
して偏向器のミラー面2に入射し、このミラー面で反射
され、反射光4となって被走査面へ結像する。光束は光
源から被走査面に達するまでの間に必要に応じて用いら
れた図には示していないレンズ系を通ってもよい。
偏向器のミラー面2は偏向器の回転軸3に固定されてお
り、この回転軸のまわりを回転し、それによって反射光
4を被走査面上で走査する。被走査面5のところは記録
を行うための感光ドラム6などが置かれる。次に第2図
で回転軸とミラー面の角度について説明する。まず入射
光はy軸より2αの角度で入射している。一方、ミラー
面は回転軸より0でないβの角度で固定されており、走
査角が0のときはミラー面はy軸よりαの角度をなすよ
うに設定されているので反射光はy軸と平行光になる。
り、この回転軸のまわりを回転し、それによって反射光
4を被走査面上で走査する。被走査面5のところは記録
を行うための感光ドラム6などが置かれる。次に第2図
で回転軸とミラー面の角度について説明する。まず入射
光はy軸より2αの角度で入射している。一方、ミラー
面は回転軸より0でないβの角度で固定されており、走
査角が0のときはミラー面はy軸よりαの角度をなすよ
うに設定されているので反射光はy軸と平行光になる。
従来例ではβがOであるため、ミラーが回転するにつれ
て、入射光の方向ベクトルとミラー面の法線ベクトルの
関係が変わり、反射光の方向ベクトルに2方向成分を生
じていた。また、ミラーの回転中心と入射光のミラー面
の位置が異なる場合、入射位置が2方向にずれて、結像
位置が変化していた。
て、入射光の方向ベクトルとミラー面の法線ベクトルの
関係が変わり、反射光の方向ベクトルに2方向成分を生
じていた。また、ミラーの回転中心と入射光のミラー面
の位置が異なる場合、入射位置が2方向にずれて、結像
位置が変化していた。
本発明ではミラー面と回転軸を0でないβという角度に
設定したので、ミラーが回転したときに生ずる結像面の
2方向の曲りは許容量の範囲に収まっている。したがっ
て、ミラー面で反射された後被走査面までの間の光線は
平面とみなせる範囲内に収まる。
設定したので、ミラーが回転したときに生ずる結像面の
2方向の曲りは許容量の範囲に収まっている。したがっ
て、ミラー面で反射された後被走査面までの間の光線は
平面とみなせる範囲内に収まる。
このβの値は入射光の角度、入射光の位置、ミラー面の
曲率、ミラー面の回転半径(走査角が0゜のときのミラ
ー面での光線の位置の回転軸からの距離)によって異な
った値をとることがわかった。
曲率、ミラー面の回転半径(走査角が0゜のときのミラ
ー面での光線の位置の回転軸からの距離)によって異な
った値をとることがわかった。
これらの条件をいろいろと変えて検討した結果、像面の
2方向の曲りが許容量に収まるβは、2αとの関係が0
.5 X 2α〈β<、1.2X2αとなることを得た
。
2方向の曲りが許容量に収まるβは、2αとの関係が0
.5 X 2α〈β<、1.2X2αとなることを得た
。
以下第1表から第22表にいくつかの入射光の方向に対
する本発明によるβの値とそのβのときのいくつかの走
査角での像面の2方向の位置と従来例による像面の2方
向の位置を示ず。
する本発明によるβの値とそのβのときのいくつかの走
査角での像面の2方向の位置と従来例による像面の2方
向の位置を示ず。
各表で2αは入射光がy軸となす角を意味し、βは本発
明による偏向器の回転軸とミラー面のなす角度、θはミ
ラーの回転角で、ここでは偏向器の回転軸のまわりを回
るミラー面の回転の角度を表わしており、θ=0°のと
きレーザー光はzx平面内に反射されることとする。像
位置はすべてミラ−の回転中心より200 m mの所
にあるとし、2方向の位置をmm単位で示している。ミ
ラー面と像面の間にレンズ系は含まない。
明による偏向器の回転軸とミラー面のなす角度、θはミ
ラーの回転角で、ここでは偏向器の回転軸のまわりを回
るミラー面の回転の角度を表わしており、θ=0°のと
きレーザー光はzx平面内に反射されることとする。像
位置はすべてミラ−の回転中心より200 m mの所
にあるとし、2方向の位置をmm単位で示している。ミ
ラー面と像面の間にレンズ系は含まない。
第1表から第4表までミラー面が平面でミラーの回転半
径が0の場合を示す。
径が0の場合を示す。
第5表から第8表まではミラー面が平面鏡で、ミラーの
回転半径aを変えた場合を示す。
回転半径aを変えた場合を示す。
第9表から第22表まではミラー面が曲率rをもち、球
面鏡と円筒面鏡である場合で、ミラーの回転半径aを変
えた場合を示す。
面鏡と円筒面鏡である場合で、ミラーの回転半径aを変
えた場合を示す。
第1表
2α=5゜
第2表
2α=10゜
第3表
2α=15゜
第4表
2α=208
第5表
a=0.5mm
第6表
a=10mm
2α=10° 2α=10゜
本発明 従来例 本発明 従来例β 4
.915° 0° 8.882° 0゜θ 0° o、ooo o、ooo
o、ooo o、oo。
.915° 0° 8.882° 0゜θ 0° o、ooo o、ooo
o、ooo o、oo。
5° −0,0080,248−0,0120,4
87100−0,0261,030−0,0392,0
24+*’ nnqg 9
AQ’) nnF+!; a
只6只第7表 a=15mm 第8表 a=20mm 第9表 r=100mm a=0.5mm 2 a =
10゜第10表 r=100mm a=0.5mm 2α=20
゜第11表 r=100mm a=10mm 2 a =10゜
第12表 r=100mm a=10mm 2 a =2
0゜第13表 r=80mm a=15mm 2 a =10
゜第14表 r=80mm a==15mm −2a =20
゜第15表 r=100mm a=15mm 2 a =1
0゜第16表 r=100mm a=15mm 2 a =20
゜第17表 r=150mm a=15mm 2α=10゜
第18表 r=150mm a=15mm 2 a =2
0゜第19表 r==100mm a=20mm 2 a =
10゜第20表 r=100mm a=20mm 2α=20゜
第21表 r=100mm a=25mm 2 α=lO
8第22表 r=100mm a=25mm 2α=20゜
第3図は本発明の第1の実施例であり、偏向器としてガ
ルバノミラ−を利用している。第4図は第3図のガルバ
ノミラ−のみを示した図である。第4図においてガルバ
ノミラ−のミラー9は回転軸3に対して本発明による角
度で傾けるために、図のようなフォーク型の支持具12
などで回転軸3に固定されている。ミラー9はこの回転
軸3のまわりをミラー駆動装置12によって正弦振動を
行う。
87100−0,0261,030−0,0392,0
24+*’ nnqg 9
AQ’) nnF+!; a
只6只第7表 a=15mm 第8表 a=20mm 第9表 r=100mm a=0.5mm 2 a =
10゜第10表 r=100mm a=0.5mm 2α=20
゜第11表 r=100mm a=10mm 2 a =10゜
第12表 r=100mm a=10mm 2 a =2
0゜第13表 r=80mm a=15mm 2 a =10
゜第14表 r=80mm a==15mm −2a =20
゜第15表 r=100mm a=15mm 2 a =1
0゜第16表 r=100mm a=15mm 2 a =20
゜第17表 r=150mm a=15mm 2α=10゜
第18表 r=150mm a=15mm 2 a =2
0゜第19表 r==100mm a=20mm 2 a =
10゜第20表 r=100mm a=20mm 2α=20゜
第21表 r=100mm a=25mm 2 α=lO
8第22表 r=100mm a=25mm 2α=20゜
第3図は本発明の第1の実施例であり、偏向器としてガ
ルバノミラ−を利用している。第4図は第3図のガルバ
ノミラ−のみを示した図である。第4図においてガルバ
ノミラ−のミラー9は回転軸3に対して本発明による角
度で傾けるために、図のようなフォーク型の支持具12
などで回転軸3に固定されている。ミラー9はこの回転
軸3のまわりをミラー駆動装置12によって正弦振動を
行う。
光束は光源7を発した後、コリメーターレンズ8で平行
光にされた後、ガルバノミラ−のミラー9に入射し、こ
のミラー面で反射された後、arcsinθレンズ10
を通り、被走査面に結像する。
光にされた後、ガルバノミラ−のミラー9に入射し、こ
のミラー面で反射された後、arcsinθレンズ10
を通り、被走査面に結像する。
従来例(第11図)と異なり、この実施例では像面の2
方向への曲りが少ないので、これを補正するためのシリ
ンドリカルレンズは必要としていない。
方向への曲りが少ないので、これを補正するためのシリ
ンドリカルレンズは必要としていない。
第5図は本発明の第2の実施例であり、偏向器としてポ
リゴンミラーを用いた例である。第6図は第5図のポリ
ゴンミラー13の拡大図であり、この図に示されている
ようにポリゴンミラー13のミラー面は回転軸3に対し
て平行にはされていない。
リゴンミラーを用いた例である。第6図は第5図のポリ
ゴンミラー13の拡大図であり、この図に示されている
ようにポリゴンミラー13のミラー面は回転軸3に対し
て平行にはされていない。
したがって、第5図のようにポリゴンミラーの回転軸3
は従来例とは違った角度に設定されている。
は従来例とは違った角度に設定されている。
第5図に示されたとうり光束は光源7を発したのち、コ
リメーターレンズ8で平行光にされた後、ポリゴンミラ
ー13のミラー面に入射し、このミラー面で反射された
後、fθレンズ14を通って被走査面に結像する。
リメーターレンズ8で平行光にされた後、ポリゴンミラ
ー13のミラー面に入射し、このミラー面で反射された
後、fθレンズ14を通って被走査面に結像する。
第7図は本発明の第3の実施例であり、第1の実施例の
ガルバノミラ−のミラーを平面鏡から凸球面鏡を用いた
ことで、arcsinθレンズを用いない例である。
ガルバノミラ−のミラーを平面鏡から凸球面鏡を用いた
ことで、arcsinθレンズを用いない例である。
光束は光源7を発した後、コリメーターレンズ8で平行
光にされた後、結像レンズ16で集束光としてガルバノ
ミラ−のミラー17に入則し、ここで反射された後、被
走査面5に結像する。
光にされた後、結像レンズ16で集束光としてガルバノ
ミラ−のミラー17に入則し、ここで反射された後、被
走査面5に結像する。
第8図は本発明の第4の実施例であり、第3の実施例に
対して、さらにシリンドリカルレンズを加えることによ
ってミラー面の倒れ誤差を補正した例である。
対して、さらにシリンドリカルレンズを加えることによ
ってミラー面の倒れ誤差を補正した例である。
この例ではシリンドリカルレンズを用いているが、像面
の2方向の曲りが強くでる従来例に比べて、像面の2方
向の曲りは少ないのでシリンドリカルレンズの設計、製
作、調整などは従来例より楽になっている。
の2方向の曲りが強くでる従来例に比べて、像面の2方
向の曲りは少ないのでシリンドリカルレンズの設計、製
作、調整などは従来例より楽になっている。
第9図は本発明の第5の実施例であり、第2の実施例の
ポリゴンミラーのミラーを平面から凸球面にしたことで
、fθレンズを用いない例である。
ポリゴンミラーのミラーを平面から凸球面にしたことで
、fθレンズを用いない例である。
光束は光源7を発した後、コリメーターレンズ8で平行
光にされた後、結像レンズ16で集束光としてポリゴン
ミラー19のミラー面に入射し、ここで反射された後、
被走査面5に結像する。
光にされた後、結像レンズ16で集束光としてポリゴン
ミラー19のミラー面に入射し、ここで反射された後、
被走査面5に結像する。
第1O図は本発明の第6の実施例であり、第5の実施例
に対して、さらに球面レンズを一枚加えることによって
、fθ特性の悪化を補正した例である。
に対して、さらに球面レンズを一枚加えることによって
、fθ特性の悪化を補正した例である。
以上説明したように、本発明によれば、偏向器からの反
射光は一平面内で対称形とみなせるようになるので、ミ
ラー面から被走査面までの間のレンズの設計を容易にし
、または省略することができる。
射光は一平面内で対称形とみなせるようになるので、ミ
ラー面から被走査面までの間のレンズの設計を容易にし
、または省略することができる。
第1図は本発明の原理を示した全体図、第2図は本発明
の原理を示した断面図、第3図から第10図は本発明に
よる実施例を示す図、第11図から第14図は従来例を
示す図である。
の原理を示した断面図、第3図から第10図は本発明に
よる実施例を示す図、第11図から第14図は従来例を
示す図である。
Claims (1)
- (1)光源と、該光源から発生する光束を走査面上で走
査するための偏向器と、該光源から発生する光束を走査
面上に結像する結像レンズとを有する走査光学装置にあ
って、 前記光源から発生する光束は前記走査面に垂直な方向で
前記偏向器に入射し、前記偏向器に入射する光束と前記
偏向器から出射する光束が同一の面内にある場合に、前
記偏向器の回転軸を含み前記走査面に垂直な面内におい
て、それぞれ、前記偏向器の回転軸と前記偏向器の反射
面とのなす角をβ、前記偏向器の反射面と前記走査面と
のなす角をαとするとき、 0.5×2α<β<1.2×2α なる条件を満たすことを特徴とする走査光学装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63121090A JPH0670688B2 (ja) | 1988-05-17 | 1988-05-17 | 走査光学装置 |
EP89303382A EP0336743B1 (en) | 1988-04-05 | 1989-04-05 | Scanning optical system |
DE68919886T DE68919886T2 (de) | 1988-04-05 | 1989-04-05 | Optisches Abtastsystem. |
US07/639,386 US5066083A (en) | 1988-04-05 | 1991-01-11 | Scanning optical system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63121090A JPH0670688B2 (ja) | 1988-05-17 | 1988-05-17 | 走査光学装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01289909A true JPH01289909A (ja) | 1989-11-21 |
JPH0670688B2 JPH0670688B2 (ja) | 1994-09-07 |
Family
ID=14802625
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63121090A Expired - Lifetime JPH0670688B2 (ja) | 1988-04-05 | 1988-05-17 | 走査光学装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0670688B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04298770A (ja) * | 1991-03-28 | 1992-10-22 | Sharp Corp | 画像形成装置の回転多面鏡及びその製造方法 |
JP2011197575A (ja) * | 2010-03-23 | 2011-10-06 | Toyota Central R&D Labs Inc | 光走査装置及び距離測定装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63287816A (ja) * | 1987-05-20 | 1988-11-24 | Konica Corp | 光走査装置 |
-
1988
- 1988-05-17 JP JP63121090A patent/JPH0670688B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63287816A (ja) * | 1987-05-20 | 1988-11-24 | Konica Corp | 光走査装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04298770A (ja) * | 1991-03-28 | 1992-10-22 | Sharp Corp | 画像形成装置の回転多面鏡及びその製造方法 |
JP2011197575A (ja) * | 2010-03-23 | 2011-10-06 | Toyota Central R&D Labs Inc | 光走査装置及び距離測定装置 |
US9001312B2 (en) | 2010-03-23 | 2015-04-07 | Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho | Light scanning apparatus and separation distance measurement apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0670688B2 (ja) | 1994-09-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3072061B2 (ja) | 光走査装置 | |
JP3164232B2 (ja) | 光ビームを走査するための平らなフィ−ルドの、テレセントリック光学システム | |
JP2502314B2 (ja) | ポストオブジェクティブ型光偏向器 | |
JPH0535406B2 (ja) | ||
JPH077151B2 (ja) | 走査装置 | |
JPS59147316A (ja) | 光走査装置 | |
JPH01289909A (ja) | 走査光学装置 | |
JPS6080819A (ja) | 1つの面上の2回の反射によるボウを生じない動揺の修正装置 | |
JPH04233867A (ja) | サブミクロンの揺動補正を有する光学的走査システム | |
JPH0862492A (ja) | 走査レンズ系 | |
JP3421704B2 (ja) | 走査結像レンズおよび光走査装置 | |
JP2773593B2 (ja) | 光ビーム走査光学系 | |
EP0336743B1 (en) | Scanning optical system | |
JP3381333B2 (ja) | 光走査装置 | |
JPH112769A (ja) | 光走査装置 | |
JPH01200220A (ja) | 光ビーム走査光学系 | |
JPH01300217A (ja) | 光ビーム走査光学系 | |
JPS63189822A (ja) | 光走査装置 | |
JPH01300218A (ja) | 光ビーム走査光学系 | |
JPS6321619A (ja) | 面倒れ補正走査光学系 | |
JPH06289308A (ja) | 光走査装置 | |
JPS5837617A (ja) | 光走査装置 | |
JP3386164B2 (ja) | 光走査装置 | |
JPS5837616A (ja) | 光ビ−ム走査装置 | |
JPH01200219A (ja) | 光ビーム走査光学系 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070907 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080907 Year of fee payment: 14 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080907 Year of fee payment: 14 |