JPH01283367A - スパッタリング用ターゲットの製造方法 - Google Patents
スパッタリング用ターゲットの製造方法Info
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- JPH01283367A JPH01283367A JP11227988A JP11227988A JPH01283367A JP H01283367 A JPH01283367 A JP H01283367A JP 11227988 A JP11227988 A JP 11227988A JP 11227988 A JP11227988 A JP 11227988A JP H01283367 A JPH01283367 A JP H01283367A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/3407—Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野ｊ
この発明は、スパッタリング用ターゲットの製造方法に
係わり、特に、ターゲット本体とバッキングプレートと
を強固に接合し得る製造方法に関する。
係わり、特に、ターゲット本体とバッキングプレートと
を強固に接合し得る製造方法に関する。
「従来の技術」
スパッタリングの方式には、直流二極スパッタリング、
高周波スパッタリング、マグネトロンスパッタリングな
どがあり、これらのいずれの方式においても、被膜形成
物質となるターゲットが使用されている。そして、この
ようなターゲットは、通常冷却板となるバッキングプレ
ートに単体金属や合金からなるターゲット本体が接合さ
れた構造になっている。
高周波スパッタリング、マグネトロンスパッタリングな
どがあり、これらのいずれの方式においても、被膜形成
物質となるターゲットが使用されている。そして、この
ようなターゲットは、通常冷却板となるバッキングプレ
ートに単体金属や合金からなるターゲット本体が接合さ
れた構造になっている。
ところで、上記のターゲットを製造するには、軟ろう祠
をターゲット本体とバッキングプレートとの間に挟み、
真空中で加熱・加圧することに」；す、ターゲット本体
とバッキングプレートとを接合している。そして、この
ようにして作製されたターゲットは、“スパッタリング
処理時において、アルゴン、窒素、メタンなどのガス中
でイオンの衝突を受（Ｊて発熱するため、バッキングプ
レートを介して冷却水で冷却されて使用される。
をターゲット本体とバッキングプレートとの間に挟み、
真空中で加熱・加圧することに」；す、ターゲット本体
とバッキングプレートとを接合している。そして、この
ようにして作製されたターゲットは、“スパッタリング
処理時において、アルゴン、窒素、メタンなどのガス中
でイオンの衝突を受（Ｊて発熱するため、バッキングプ
レートを介して冷却水で冷却されて使用される。
「発明が解決しようとする課題」
しかしながら、上記の製造方法により得られたターゲッ
トにあっては、軟ろう材のターゲット本体またはバッキ
ングプレートに対する濡れ性不足により、ターゲット本
体とバッキングプレートとの間に空隙等が生じてターゲ
ット本体とバッキングプレートとの間に十分な接合強度
が得られず、よってスパッタリング中にターゲット本体
がバッギンクプレートから剥離し脱落したり、バッキン
グプレー）・によろ冷却か十分になされず、これにより
ターケラト材が高熱になって破損しあるいは溶融オろど
いっノこ問題がある。
トにあっては、軟ろう材のターゲット本体またはバッキ
ングプレートに対する濡れ性不足により、ターゲット本
体とバッキングプレートとの間に空隙等が生じてターゲ
ット本体とバッキングプレートとの間に十分な接合強度
が得られず、よってスパッタリング中にターゲット本体
がバッギンクプレートから剥離し脱落したり、バッキン
グプレー）・によろ冷却か十分になされず、これにより
ターケラト材が高熱になって破損しあるいは溶融オろど
いっノこ問題がある。
この発明は上記問題を解決するためになされたしので、
ターゲット本陣とハノギノグプレー）・とを十分な強度
で接合し得ろスパッタリンク用ターゲットの製造方法を
提供することを１」的とオろものである。
ターゲット本陣とハノギノグプレー）・とを十分な強度
で接合し得ろスパッタリンク用ターゲットの製造方法を
提供することを１」的とオろものである。
［課題を解決するための手段 １
この発明では、ターゲット本陣とバッキングプレ−１・
とを、軟ろう、接着剤等の接合用＋Ａ Ｉｔを介するこ
となく直接接合ケることを」１記課題の解決手段とした
。
とを、軟ろう、接着剤等の接合用＋Ａ Ｉｔを介するこ
となく直接接合ケることを」１記課題の解決手段とした
。
この発明の製造方法において（Ｊ、ターゲット本体とバ
ッキングプレ−１〜とを接合リーろにあたり、軟ろうや
接着剤等の接合ＪＴ口Ａ Ｉｔを用いろことなく、ター
ゲット本陣とバッキングプレ−１・とを直接接合ずろこ
とによってスパッタリンク用ターゲットを作製するよう
にした。ここで、ターゲット本体とバッキングプレート
とを直接接合する方法としては、圧接法が採用される。
ッキングプレ−１〜とを接合リーろにあたり、軟ろうや
接着剤等の接合ＪＴ口Ａ Ｉｔを用いろことなく、ター
ゲット本陣とバッキングプレ−１・とを直接接合ずろこ
とによってスパッタリンク用ターゲットを作製するよう
にした。ここで、ターゲット本体とバッキングプレート
とを直接接合する方法としては、圧接法が採用される。
圧接法（Ｊ、接続すべき両金属を粘性状態あるいは溶融
に近い状態において機械的＋−■撃または圧力を加えて
圧着する方法であり、これに属する方法として（」例え
ば爆圧接（爆着）や、抵抗溶接、熱間ロール圧延、拡散
接合などの方法か挙げられろ。
に近い状態において機械的＋−■撃または圧力を加えて
圧着する方法であり、これに属する方法として（」例え
ば爆圧接（爆着）や、抵抗溶接、熱間ロール圧延、拡散
接合などの方法か挙げられろ。
爆圧接は、火薬が爆発するときに発生ずる強力なエネル
ギーを利用して２枚の板を圧接する方法であって、例え
ばターゲット素材とバンキングプレート素（２のそれぞ
れの背面に火薬を装填し、この火薬を爆発させて両者を
激突さＵ′、その際の強圧によって接合する方法である
。
ギーを利用して２枚の板を圧接する方法であって、例え
ばターゲット素材とバンキングプレート素（２のそれぞ
れの背面に火薬を装填し、この火薬を爆発させて両者を
激突さＵ′、その際の強圧によって接合する方法である
。
抵抗溶接は、抵抗発熱によって被溶接伺の局部温度を上
げ、加圧力の作用下に、溶接部を溶融させあるいは溶融
させることなく接合する方法である。
げ、加圧力の作用下に、溶接部を溶融させあるいは溶融
させることなく接合する方法である。
熱間［１−ル圧延は、ターゲット素祠およびバッキング
プレー１〜素材を加熱した状態で回転ロール間に通し、
ターゲット素祠およびバッキングプレ−ト素材を圧接す
る方法である。
プレー１〜素材を加熱した状態で回転ロール間に通し、
ターゲット素祠およびバッキングプレ−ト素材を圧接す
る方法である。
拡散接合としては、例えば励振された超音波振動エネル
ギーを、ある加圧のもとに被接合部に与えてターゲット
素１４とバノキンクプレート素材とを接合する超音波溶
接法や、ターケノト素＋Ａとバソキンクプレート素祠と
を重ね合わＵ″、適当な治具て加圧固定し、アルゴンや
水素なとの無酸化状態の気流中で加熱しながら接合■し
める炉中圧接法などが挙げられろ。
ギーを、ある加圧のもとに被接合部に与えてターゲット
素１４とバノキンクプレート素材とを接合する超音波溶
接法や、ターケノト素＋Ａとバソキンクプレート素祠と
を重ね合わＵ″、適当な治具て加圧固定し、アルゴンや
水素なとの無酸化状態の気流中で加熱しながら接合■し
める炉中圧接法などが挙げられろ。
「作用 ］
このＪ′、うな製造方法によれば、ターゲット本体とバ
ッキングプレ−１−とを、ろう祠、接着剤等の接合用材
料を介することなく直接接合ずろので、接合用＋Ｊ Ｅ
＋のターゲット本陣なとに対する濡れ性不足に起因する
接合不良か防止され、ターゲット本陣とバッキングプレ
ートとの間に強固な接合強度が得られろ。
ッキングプレ−１−とを、ろう祠、接着剤等の接合用材
料を介することなく直接接合ずろので、接合用＋Ｊ Ｅ
＋のターゲット本陣なとに対する濡れ性不足に起因する
接合不良か防止され、ターゲット本陣とバッキングプレ
ートとの間に強固な接合強度が得られろ。
「実施例」
以下、実施例によりこの発明の製造方法を具体的に説明
４−ろ。
４−ろ。
（実施例１ ）
爆圧接法によってスパッタリンク用ターゲットを作製し
た。
た。
ます、パラキンクプレート累月として幅６５０ｍ次、長
さ１２５０ｍｍ、厚さ２２ｍｍの無酸素銅板を用意した
。また、ターゲット素材として幅６８０ｍｙｈ、長さ１
２８０ｎｍ１厚さ６７１ｍのニッケル板を用意した。次
に、これら無酸素銅板およびニッケル板のそれぞれの接
合面をパフ研磨仕上げし、さらに脱脂洗ａトを施した。
さ１２５０ｍｍ、厚さ２２ｍｍの無酸素銅板を用意した
。また、ターゲット素材として幅６８０ｍｙｈ、長さ１
２８０ｎｍ１厚さ６７１ｍのニッケル板を用意した。次
に、これら無酸素銅板およびニッケル板のそれぞれの接
合面をパフ研磨仕上げし、さらに脱脂洗ａトを施した。
次いで、ごれら無酸素銅板とニッケル板のそれぞれの背
面に火薬を装填し、この火薬を爆発させて両者を激突さ
せ、その際の強圧によって無酸素銅板とニッケル板とを
接合せしめた。その後、接合された画板を直径５インチ
の円板状に切り出し、スパッタリンク用ターゲットＡと
した。
面に火薬を装填し、この火薬を爆発させて両者を激突さ
せ、その際の強圧によって無酸素銅板とニッケル板とを
接合せしめた。その後、接合された画板を直径５インチ
の円板状に切り出し、スパッタリンク用ターゲットＡと
した。
このような−回の接合加工により、４５枚のスパッタリ
ンク用ターゲットＡが得られた。
ンク用ターゲットＡが得られた。
（実施例２ ）
抵抗溶接法の−・種であるンーム溶接によってスバッタ
リング用ターゲットを作製した。
リング用ターゲットを作製した。
まず、バッキングプレート素材として幅１５０１、長さ
２０００ ｍｍ、厚さ２０ｍｍの無酸素銅板を用意した
。また、ターゲット素材として幅１６０ｍ屑、長さ２０
５０ｍ屑、厚さ６ｚｉのニッケル板を用意した。次に、
これら無酸素銅板およびニッケル板のそれぞれの接合面
をハフ研磨性」−げし、さらに脱脂洗浄を施した。次い
で、第１図に示したように」−記無酸素銅板ｌとニッケ
ル板２とを重ね合わせ、電源３に接続されたローラ電極
４．４により、連続的にノーム溶接を行って無酸素銅板
ｌとニッケル板２とを接合した。その後、接合されノー
画板を直径５インヂの円板状に切り出し、スパッタリン
グ用ターゲットＢとした。
２０００ ｍｍ、厚さ２０ｍｍの無酸素銅板を用意した
。また、ターゲット素材として幅１６０ｍ屑、長さ２０
５０ｍ屑、厚さ６ｚｉのニッケル板を用意した。次に、
これら無酸素銅板およびニッケル板のそれぞれの接合面
をハフ研磨性」−げし、さらに脱脂洗浄を施した。次い
で、第１図に示したように」−記無酸素銅板ｌとニッケ
ル板２とを重ね合わせ、電源３に接続されたローラ電極
４．４により、連続的にノーム溶接を行って無酸素銅板
ｌとニッケル板２とを接合した。その後、接合されノー
画板を直径５インヂの円板状に切り出し、スパッタリン
グ用ターゲットＢとした。
上記実施例１．２て作製したスパッタリング用ターゲッ
トＡ、Ｈの、ターゲット本体とバッキングプレートとの
接合強度を測定し、さらにこれらをターゲットとしてス
パッタリングに使用した際の使用出力限界を測定し、そ
の結果を第１表に示した。
トＡ、Ｈの、ターゲット本体とバッキングプレートとの
接合強度を測定し、さらにこれらをターゲットとしてス
パッタリングに使用した際の使用出力限界を測定し、そ
の結果を第１表に示した。
また、熱間ロール圧延法および拡散接合法によ−、てそ
れぞれ作製したスパッタリング用ターゲットＣ，Ｄの接
合強度および使用出力限界も同様に測定し、その結果を
第１表に示した。
れぞれ作製したスパッタリング用ターゲットＣ，Ｄの接
合強度および使用出力限界も同様に測定し、その結果を
第１表に示した。
さらに、比較のため、直径５インヂ、厚さ３ｍｍのニッ
ケル製ターゲット本体と、直径５インチ、厚さ３ｕの無
酸素銅製のバッキングプレートとの間にろう）Ａを挟み
、加熱・加圧を施して接合ずろ従来のろう付は法によっ
てスパッタリング用ターゲットを作製し、接合強度およ
び使用出力限界を測定してその結果を第１表に示した。
ケル製ターゲット本体と、直径５インチ、厚さ３ｕの無
酸素銅製のバッキングプレートとの間にろう）Ａを挟み
、加熱・加圧を施して接合ずろ従来のろう付は法によっ
てスパッタリング用ターゲットを作製し、接合強度およ
び使用出力限界を測定してその結果を第１表に示した。
以下余白
第１表
第１表に示した結果より、本発明の製造方法によるスパ
ッタリング用ターゲットは、いずれも従来法によるター
ゲットに比較して接合強度および使用出力限界に優れて
いることか確認された。
ッタリング用ターゲットは、いずれも従来法によるター
ゲットに比較して接合強度および使用出力限界に優れて
いることか確認された。
また、本発明方法によるスパッタリンク用ターゲットＡ
、Ｂと、ろう付は法による従来品とを透過Ｘ線で観察し
たところ、従来品ではターゲット本体とバッキングプレ
ートとの間に空隙が形成されているのが確認されたが、
本発明方法によるスパッタリング用ターゲットＡ、Ｂ、
Ｃ，Ｄでは全く空隙が観察されず、ターゲット本体とバ
ッキングプレートとが良好に接合していることが確認さ
れた。
、Ｂと、ろう付は法による従来品とを透過Ｘ線で観察し
たところ、従来品ではターゲット本体とバッキングプレ
ートとの間に空隙が形成されているのが確認されたが、
本発明方法によるスパッタリング用ターゲットＡ、Ｂ、
Ｃ，Ｄでは全く空隙が観察されず、ターゲット本体とバ
ッキングプレートとが良好に接合していることが確認さ
れた。
同様の結果はターゲット用素材として、チタン板を、又
、バッキングプレート素材として銅合金板を用いた場合
にも得られた。
、バッキングプレート素材として銅合金板を用いた場合
にも得られた。
「発明の効果」
以上説明したように、この発明のスパッタリング用ター
ゲットの製造方法は、ターゲット本体とバッキングプレ
ートとを、ろう材、接着剤等の接合用材料を介すること
なく直接接合するものであるから、接合用材料のターゲ
ット本体などに対する濡れ性不足に起因する接合不良を
防止することができ、ターゲット本体とバッキングプレ
ートとの間に強固な接合強度を有ずろターゲソ１、を作
製ずろことかできろ。
ゲットの製造方法は、ターゲット本体とバッキングプレ
ートとを、ろう材、接着剤等の接合用材料を介すること
なく直接接合するものであるから、接合用材料のターゲ
ット本体などに対する濡れ性不足に起因する接合不良を
防止することができ、ターゲット本体とバッキングプレ
ートとの間に強固な接合強度を有ずろターゲソ１、を作
製ずろことかできろ。
また、この発明によるスパッタリンク用ターケットを用
いれば、ターゲット本体とハノギングプレートとか強固
に接合しているため、スパッタリンク中にターケラ１〜
本体かバソギングプレ−１・から剥離し脱落するといっ
た不都合を防止することができ、さらにバソギングプレ
−１・と空隙を介することなく良好に接合していること
から、ターゲット本体が高熱になって破損しあるい（」
溶融するといった不都合をも防止することができろ。
いれば、ターゲット本体とハノギングプレートとか強固
に接合しているため、スパッタリンク中にターケラ１〜
本体かバソギングプレ−１・から剥離し脱落するといっ
た不都合を防止することができ、さらにバソギングプレ
−１・と空隙を介することなく良好に接合していること
から、ターゲット本体が高熱になって破損しあるい（」
溶融するといった不都合をも防止することができろ。
さらに、ろう材等の接合用Ｉ）Ｉｔ−’ｌを使用してい
ないため、接合用飼料の溶解に起因するターゲンＩ・本
体の剥離か起こらず、よって高出力のスパッタリンクが
可能となる。
ないため、接合用飼料の溶解に起因するターゲンＩ・本
体の剥離か起こらず、よって高出力のスパッタリンクが
可能となる。
第１図はこの発明のスパッタリンク′用ターゲソ１〜の
製造方法に係わる図であって、抵抗溶接法の一種として
のノーム溶接の原理図を示４−図である。 １ 無酸素銅板、２ ニッケル板、３ トランス
、４ ローラ電極
製造方法に係わる図であって、抵抗溶接法の一種として
のノーム溶接の原理図を示４−図である。 １ 無酸素銅板、２ ニッケル板、３ トランス
、４ ローラ電極
Claims (1)
- ターゲット本体とバッキングプレートとを、接合用材料
を介することなく直接接合することを特徴とするスパッ
タリング用ターゲットの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63112279A JP2831356B2 (ja) | 1988-05-09 | 1988-05-09 | スパッタリング用ターゲットの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63112279A JP2831356B2 (ja) | 1988-05-09 | 1988-05-09 | スパッタリング用ターゲットの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01283367A true JPH01283367A (ja) | 1989-11-14 |
| JP2831356B2 JP2831356B2 (ja) | 1998-12-02 |
Family
ID=14582722
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63112279A Expired - Lifetime JP2831356B2 (ja) | 1988-05-09 | 1988-05-09 | スパッタリング用ターゲットの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2831356B2 (ja) |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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