JPH01281126A - 膜式気体分離装置 - Google Patents

膜式気体分離装置

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Publication number
JPH01281126A
JPH01281126A JP10976388A JP10976388A JPH01281126A JP H01281126 A JPH01281126 A JP H01281126A JP 10976388 A JP10976388 A JP 10976388A JP 10976388 A JP10976388 A JP 10976388A JP H01281126 A JPH01281126 A JP H01281126A
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JP
Japan
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support
gas
outlet
casing
hollow fiber
Prior art date
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Pending
Application number
JP10976388A
Other languages
English (en)
Inventor
Yasushi Ueda
上田 泰史
Naoaki Izumitani
泉谷 直昭
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Daikin Industries Ltd
Original Assignee
Daikin Industries Ltd
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Publication date
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Publication of JPH01281126A publication Critical patent/JPH01281126A/ja
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  • Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は模式気体骨m装置、詳しくは二つ以上の組成か
ら成る気体を、各組成の透過係数に差をもつ非多孔質膜
材を介して分離させるようにした膜式気体分離装置に関
する。
(従来の技術) 従来、例えば特開昭83−1414号公報に開示され、
又、第9図に概略的に示したごとく、気体取入口(12
)を備えたケーシング(11)の長さ方向両側に、それ
ぞれ第1取出口(13)と第2取出口(14)とを設け
ると共に、前記ケーシング(11)の内部に、多数の連
通孔(B)を形成した内管(A)を配設し、該内管(A
)の周りに、外表面に気体分子を透過させる性質をもつ
非多孔質膜材(16)をコーティングした多数の多孔質
中空糸(15)を配設し、この中空糸(15)における
前記非多孔If!1膜材(16)の透過側を前記第1取
出口(13)に、又、前記非多孔質膜材(16)の非透
過側を前記第2取出口(14)にそれぞれ連通させた膜
式気体分離装置が知られている。
ここで、本出願人が先に提案した特願昭61−3022
20号(昭和61年12月180提出)に記載したよう
に、前記非多孔質膜材(16)に含フツ素アクリレート
を用いると、この膜材(16)の透過側たる前記第1取
出口(13)には、酸素分子を多量に含む酸素富化空気
が、又、この膜材(16)の非透過側たる前記第2取出
口(14)には、窒素分子を多量に含む窒素富化空気が
それぞれ取出せることになる。
(発明が解決しようとする課題) ところが以上のような膜式気体分離装置では、前記取入
口(12)から前記ケーシング(11)内に取入れられ
た気体が、同図の実線矢印で示したように、前記中空糸
(15)に接触した後に、前記内管(A)の連通孔(B
)を経て速やかに前記第2取出口(14)から外部へと
排出され、前記ケーシング(11)内には新鮮な気体が
逐次供給されることから、この気体中の酸素分子が前記
中空糸(15)にコーティングされた前記非多孔質膜材
(16)で効率良く透過分離され、前記第1取出口(1
3)側からは、酸素分子を多量に含む酸素富化空気が得
られであるが、この反面、前記中空糸(15)の非多孔
質膜材(16)を透過することなく、前記第2取出口(
14)から取出される窒素富化空気は、前記取入口(1
2)から前記ケーシング(11)内へと逐次取入れられ
る新鮮な気体によって希釈され易いのであり、従って以
上の構造では、充分に濃縮された窒素富化空気を得るこ
とが出来なかったのである。
また、前記窒素富化空気の2−度を高めるためには、前
記多孔質中空糸(15)の長さを出来るだけ長くシ、該
中空糸(15)の気体に対する接触面積を増大させて、
前記酸素富化空気の濃度を高め、これに伴い前記窒素富
化空気の1度を高めるこ七が考えられたのであるが、斯
くするときには、前記中空糸(15)に対応して前記ケ
ーシング(11)の長さを長尺とする必要があるなどの
構造上の問題があり、また前記中空糸(15)の内部側
に透過された酸素富化空気量が多(なると、該中空糸(
15)を流れる酸素富化空気の抵抗が増大されて圧損が
大となり、これに伴い前記中空糸(15)の内外におけ
る圧力差及び圧力比が小となって、この中空糸(15)
の気体透過量が減少し、前記酸素富化空気ひいては窒素
富化空気の効率良い濃縮ができなかったのである。
本発明は以上のごとき各種問題に鑑みてなしたものであ
り、その目的は、小型のケーシングでもって、主として
上記窒素富化空気等を膜非透過側の気体を効率良< K
J縮することができる模式気体骨m装置を提供しようと
するものである。
(課題を解決するための手段) 上記目的を達成するために、本発明は、二つ以上の組成
から成る気体を、各組成の透過係数に差をもつ非多孔質
膜材(16)を介して分離させるようにした膜式気体分
離装置において、気体取入口(12)を備えたケーシン
グ(11)に、筒1犬支持体(17)を内装して、該支
持体(17)の周りに、前記非多孔質膜材(16)を用
いた多数本の多孔質中空糸(15)を配設し、該中空糸
(15)の内部を第1取出口(13)に連通させると共
に、前記支持体(17)に、該支持体(17)の内外を
連通させる連通孔(17a)を設けて、該支持体(17
)の内部を第2取出口(14)に連通させる一方、前記
中空糸(15)の長さ方向に、該中空糸(15)を複数
のブロック(B1)・・・に区画する区画壁(18)を
配設し、かつ、隣接する各ブロック(B1)・・φを相
互に連通させて、前記取入口(12)からの取入気体を
前記中空糸(15)の長さ方向に複数回反転誘導し、前
記連通孔(17a)へと導く流路(19)を形成したこ
とを特徴とするものである。
前記流路(19)を形成する区画壁(18)は、前記筒
状支持体(17)の放射方向に延び、前記中空糸(15
)を放射状に区画する放射壁(18a)で形成される。
また、前記区画壁(18)は、前記筒状支持体(17)
の放射方向に延び、前記中空糸(15)を放射状に区画
する放射壁(18a)と、前記支持体(17)の同心上
に配設されて、前記中空糸(15)を同心状に区画する
同心壁(18b)とから形成される。
(作用) 前記ケーシング(11)の気体取入口(12)から内部
側に取入れられた気体は、前記非多孔質膜材(16)に
対し高い透過係数をもつ第1気体の気体分子(例えば酸
素分子)の多くが前記多孔質中空糸(15)の外表面に
衿けたこの非多孔質膜材(16)で透過され、前記中空
糸(15)の内部を経て前記第1取出口(13)から外
部に濃縮化された第1気体(酸素富化空気)として取出
されるのであり、また前記非多孔質膜材(16)に対し
低い透過係数をもつ第2気体の気体分子(例えば窒素分
子)の多くは、前記非多孔質膜材(16)で透過される
ことなく、前記第2取出口(14)から外部に濃縮化さ
れた第2気体(窒素富化空気)として取出されるのであ
る。
ところで前記ケーシング(11)の内部には、前記区画
壁(18)により、前記多数本の多孔質中空糸(15)
をそれぞれ分離状態で収容する複数のブロック(B1)
・・・が形成され、該各ブロック(B1)・φ・間に、
前記取入口(12)から取入れた取入気体を前記支持体
(17)の連通孔(17a)へと複数回にわたって反転
誘導する流路(19)が形成されるのであり、従って前
記取入口(12)から前記ケーシング(11)の内部に
取入れられた新鮮な気体き、前記第2取出口(14)か
ら取出される濃縮第2気体(窒素富化空気)との混合に
よる該第2気体の濃度の希釈化が阻止されるのであり、
しかも、前記取入口(12)から取入れられた気体は、
前記流路(19)を複数回にわたって反転されながら、
前記支持体(17)の連通孔(17a)へと誘導される
ことから、中空糸(15)の長さひいては装置長さを大
形化することなく前記非常多孔質膜材(16)に対する
流通気体の接触時間を長く確保でき、該膜材(16)で
の十分な透過分離が行えて、前記第2気体の濃縮化が促
進できるのであり、従って、前記第2取出口(14)か
らは濃度の高い第2気体(窒素富化空気)が取出される
のである。
また、前記各ブロック(B1)・・・を形成する前記区
画壁(18)は、前記支持体(17)の外周部位から放
射状に延びる放射壁(18a)により形成され、又は該
放射壁(18a)と、この放射壁(18a)間に前記支
持体(17)と同心状に配設される同心壁(18b)と
から形成されるのであり、従って前記区画壁(18)を
簡単な構造でもって形成することができ、しかも前記区
画壁(18)を、前記放射壁(t8a)と同心壁(18
b)とで形成するときには、前記ケーシング(11)の
内部に多数のブロック(Bl)拳・・を設けることが可
能となり、前記流路(19)の総延長をより長尺に形成
することが可能となって、濃度の高い第2気体(窒素富
化空気)を取出し得るのである。
(実施例) 実施例について、図面を参照して説明する。
第1図は膜式気体分離装置(1)の全体構造を示してお
り、密閉構造としたケーシング(11)の長さ方向中間
部位に、気体取入口(12)を設けると共に、前記ケー
シング(11)の長さ方向−側に、酸素2口度の高い酸
素富化空気を取出す第1取出口(13)を、また他方側
に窒素1度の高い窒素富化空気を取出す第2取出口(1
4)をそれぞれ対称伏に設ける。
また、前記ケーシング(11)の中心内部には、筒状を
なす支持体(17)を設けて、この支持体(17)の外
周部位に、長尺細径とされた直管状をなす多孔質中空糸
(15)を配設するのであって、この中空糸(15)の
外表面には、第2図で明らかにしたごとく、酸素透過係
数が窒素透過係数よりも大とされた含フツ素アクリレー
トから成る非多孔質膜材(16)をコーティングするの
である。
前記多孔質中空糸(15)としては、例えば内径が10
0〜300μm1外径が200〜400μmで、0.0
5〜0.2μmの多数の細径孔をもったポリエチレン又
はポリプロピレンなどから成る多孔質中空体が使用され
る。
また、前記多孔質中゛学系(15)の外表面にコーティ
ングする前記非多孔質膜材(16)としては、酸素と窒
素との分離係数(酸素透過係数/窒素透過係数=α)が
約2.6〜4.1程度の含フツ素アクリレートを使用し
、この含フツ素アクリレートを、前記中空糸(15)の
外表面に、約0.1〜2μの厚みにコーティングする。
更に、前記含フツ素アクリレートとしては、例えばαF
8FO1αFSi2、aFNP系の化合物が使用される
のである。
但しnは0又は1,2 の整数 が使用され、この化合物の酸素と窒素との分離係数(α
)は3.1(ただしn=0)の場合であり、 また、前記aFSiz系の化合物としては、例えば ■ 一←CH2−CF+−COOCkSI(C1ts )2
05!(C[13)Sが使用され、この化合物の酸素と
窒素との分離係数(α)は2.6であり、 更に、前記aFNP系の化合物としては、例えば、 一←CH2−CF+C00CI’+2−C(CHs )
3が使用され、この化合物の酸素と窒素との分離係数(
α)は4.1である。
そして、前記支持体(17)の外周部に設ける前記各中
空糸(15)の長さ方向−側を、該各中学系(15)の
前記第1取出口(13)と対向する端部側を開放させた
状態で、合成樹脂などから成る集束体(15a)により
集束させ、該集束体(15a)で前記支持体(17)の
長さ方向−側を閉鎖させて、前記集束体(15a)を前
記ケーシング(11)内に気密状に挿嵌することにより
、前記各中空糸(15)の内部を前記第1取出口(13
)に連通させて、前記各中空糸(15)を透過された酸
素富化空気のみを、前記第1取出口(13)から外部に
取出すごとくなす。
また、前記支持体(17)の長さ方向他方側に、前記各
中空糸(15)の他端側を閉鎖する合成樹脂などから成
る閉鎖体(15b)を設けると共に、この閉鎖体(15
b)の内方側で前記支持体(17)の外周部位に、該支
持体(17)の内外を連通させる連通孔(17a)を設
け、この連通孔(17a)を介して前記ケーシング(1
1)の内部を前記第2取出口(14)に連通させ、前記
各中空糸(15)を透過しない窒素富化空気を、前記第
2取出口(14)から外部に取出すようになすのである
更に、第3図で明らかにしたごとく、前記ケーシング(
11)と前記支持体(17)との間には、前記各中空糸
(15)を例えば8個の第1〜第8ブロツク(B1)〜
(B8)に区画する8枚の区画壁(18)を設けると共
に、前記各ブロック(B1)・・・をそれぞれ隣接する
もの同士互いに連通させることにより、前記取入口(1
2)から取入れられた気体を、前記支持体(17)の連
通孔(17a)側に複数回にわたって反転誘導する流路
(19)を形成するのである。
また、前記各ブロック(Bl)@・・を形成する前記各
区画壁(18)は、例えば第4図で詳しく示したように
、前記支持体(17)の外周部位に、半径方向外方に向
かって一体状に突出する複数枚の放射壁(18a)で形
成するのであり、これら各放射壁(18a)の長さ方向
−側には、それぞれ隣接するもの同士交互に切欠部や開
口部などを設けることにより、前記各放射11(18a
)で形成された前記各ブロック(B1)・・・を互いに
連通させる連通口(18c)を形成し、この各連通口(
18c)で前記各ブロック(B1)・・・間を反転しな
がら、前記支持体(17)の連通孔(17a)へと至る
前記流路(19)を形成する。
しかして以上の構成とすることにより、前記気体取入口
(12)から前記ケーシング(11)内に取入れられた
気体は、第3図で明らかなごとく、先ず第1ブロツク(
B1)に導入されて、この第1ブロツク(B1)から同
図の点線矢印で示したごとく、前記放射壁(18a)の
奥内方側に形成した前記連通口(18c)を経て第2ブ
ロツク(B2)側へと移流され、また、該第2ブロツク
(B2)から次位放射壁(18a)の手前側に設けた連
通口(18c)を経て、同図の実線矢印で示したように
、第3ブロツク(B3)側に移流され、斯かる反転経路
を複数回繰り返して、最終の第8ブロツク(B8)に至
るのであり、これら各ブロック(Bl)〜(B8)に配
設した前記各中空糸(15)で透過されない窒素富化空
気は、前記ケーシング(1)に取入れられた新鮮な気体
と混合したりすることな(、前記流路(19)の通過時
に充分に凝縮されて、前記第8ブロツク(B8)から前
記支持体(17)の連通孔(17a)及び前記第2取出
口(14)を経て外部へと取出されるのである。
また、前記気体中の酸素分子は、前記各ブロック(B1
)〜(B8)の移流時に、これら各ブロック(B1)・
・拳に設けた各中空糸(15)で透過分離され、酸素濃
度の高い酸素富化空気として、前記ケーシング(11)
の第1取出口(12)から外部に取出されるのである。
また、前記各ブロック(B1)・拳・を形成する前記区
画壁(18)は、第5図及び第8図で明らかにしたごと
く、前記支持体(17)から放射方向に向けて延びる複
数枚の放射!(18a)と、これら各放射壁(18a)
の間に、前記支持体(17)と同心円状に配設された複
数枚の同心壁(18b)とから形成してもよいのである
そして、前記各同心壁(18b)と前記各放射壁(18
a)とで囲まれる空間に、前述したものと同様な多数の
ブロック(B1)・・拳を形成し、これら各ブロック(
B1)・・・の内部で、前記各放射壁(18a)の長さ
方向−側に、それぞれ隣接するもの同士交互に連通口(
18c)を形成し、この各連通口(18c)でもって前
記各ブロック(B1)・拳・を互いに連通させるように
なすのである。
斯くするときには、前記各放射壁(18a)と前記同心
壁(18b)とにより、前記ケーシング(11)の内部
に多数のブロック(B1)・・・が形成され、即ち該各
ブロック(B1)・・・間に、同図の点線及び実線矢印
で示したように、前記ケーシング(11)の取出口(1
2)から前記支持体(17)の連通孔(17a)に至る
極めて長尺な前記流路(19)が形成され、−層温度の
高い窒素富化空気が得られるのである。
次に、以上のごとく構成した膜式気体分離装置(1)を
使用した窒素発生装置の具体的例について説明する。
先ず、第7図は真空式のフローシートを示しており、前
記模式気体分m装置(1)の複数個を並列状に配設して
、これら各分離R1ff1(1)におけるケーシング(
11)の気体取入口(12)に、フィルター(2)で濾
過された気体を送風ファン(3)により吹出供給するよ
うになすと共に、前記ケーシング(11)の第1取出口
(13)に、緩衝槽(4)を介して真空ポンプ(5)を
接続させる。
斯くすることにより前記真空ポンプ(5)の作動に伴い
、前記ケーシング(11)の内部が負圧状態に保持され
て、前記送風ファン(3)からの吹出気体が、前記気体
取入口(12)から前記ケーシング(11)の内部へと
取入れられ、該ケーシング(11)内に配設した各中空
糸(15)の非多孔質膜材(16)で窒素富化空気と酸
素富化空気とに分離され、この酸素富化空気は、前記ケ
ーシング(11)の第1取出口(13)から前記真空ポ
ンプ(5)を介して外部に取出され、また窒素富化空気
は同ケーシング(11)の第2取出口(14)から外部
へと取出されるのである。
また、前記窒素発生装置は、加圧式とすることも可能で
あり、即ち第8図のフローシートで示したように、前記
模式気体骨W1装ff (1)の複数個を並列状に配設
して、これら各分離装置(1)におけるケーシング(1
1)の気体取入口(12)に、コンプレッサー(6)と
冷却器(7)とを接続すると共に、前記コンプレッサー
(6)で圧縮された気体を前記冷却器(7)で冷却して
、前記ケーシング(11)の第1取出口(13)に供給
するようになす一方、前記各ケーシング(11)の第1
取出口(13)に緩衝槽(8)を接続させるのである。
斯くすることにより前記コンプレッサー(6)の作動に
伴い、高圧高温にされた気体が、前記冷却器(7)で温
度のみ常温に冷却された後、前記気体取入口(12)か
ら前記ケーシング(11)の内部へと取入れられ、該ケ
ーシング(11)内に配設した各中空糸(15)の非多
孔質膜材(16)で窒素富化空気と酸素富化空気とに分
離され、この酸素富化空気は、前記ケーシング(11)
の第1取出口(13)から前記緩衝槽(8)を介して外
部に取出され、また窒素富化空気は同ケーシング(11
)の第2取出口(14)から外部へと取出されるのであ
る。
更に、第1図の実施例においては、前記ケーシング(1
1)の長さ方向−側で、前記第2取出口(14)の形成
側に半径方向外方に向かって延びる第1フランジ(ll
a)を設けると共に、前記第2取出口(14)をもった
蓋体(flb)側に、前記第1フランジ(lla)と対
向する第2フランジ(llc)を設ける一方、これら各
フランツ(lla)(llc)の対向部位間に、前記各
中空糸(15)の他方側を閉鎖する前記閉鎖体(15b
)を、シール部材(S)を介して挟持させた状態で、前
記各フランジ(11a)(11C)間を固定ボルト(l
id)で締付けることにより、前記閉鎖体(15b)と
前記蓋体(1!b)との間に形成される窒素富化空気の
吐出チャンバー(lie)を、前記ケーシング(11)
の内部と気密状に区画して、該ケーシング(11)内の
気体が前記吐出チャンバー(lie)に取出された窒素
富化空気に混入して、この窒素富化空気を希釈したりす
るのを確実に阻止するようにしている。
また、同図の実施例においては、前記各中空糸(15)
を集束する前記集束体(15a)を前記ケーシング(1
1)の内部に、複数のシールリング(0)を介して気密
状に挿嵌させ、前記集束体(15a)と前記ケーシング
(11)の他方側を閉鎖する蓋体(llf)との間に形
成される酸素富化空気の吐出チャンバー(l1g)を気
密状に区画して、該チャンバー(fig)に取出された
酸素富化空気に、前記ケーシング(11)内の気体が混
入して、前記酸素富化空気を希釈したりするのを確実に
阻止するようにしている。
(発明の効果) 本発明の膜式気体分離装置では、以上説明したように、
気体取入口(12)をもったケーシング(11)に、筒
状支持体(17)を内装して、該支持体(17)の周り
に、非多孔質膜材(1θ)を用いた多数本の多孔質中空
糸(15)を配設し、該中空糸(15)の内部を第1取
出口(13)に連通させると共に、前記支持体(17)
に、該支持体(17)の内外を連通させる連通孔(17
a)を設けて、該支持体(17)の内部を第2取出口(
14)に連通させる一方、前記中空糸(15)の長さ方
向に、該中空糸(15)を複数のブロック(B1)・・
・に区画する区画壁(18)を配設し、かつ、隣接する
各ブロック(B1)・・・を相互に連通させて、前記取
入口(12)からの取入気体を前記中空糸(15)の長
さ方向に複数回反転誘導し、前記連通孔(17a)へと
導く流路(19)を形成したから、前記気体取入口(1
2)から前記ケーシング(11)内に取入れられた気体
が、前記膜材(16)を透過しない側に取出す気体に混
入して、この膜非透過側気体の濃度が希釈化されるのを
確実に阻止することができ、しかも前記取入口(12)
から取入れられた気体は、前記流路(19)を複数回に
わたって反転されながら、前記支持体(17)の連通孔
(17a)から前記第2取出口(14)へと誘導される
ことから、装置を小形にできながら、前記非多孔質膜材
(16)に対する流通気体の接触峙間が長く確保でき、
前記非多孔質膜材(16)での分離が十分に促進されて
前記第2取出口(14)からは濃縮化の進んだ膜非透過
側気体を取出し得るに至ったのである。
また、前記区画壁(18)は、前記支持体(17)の外
周部位から放射伏に延びる放射壁(18a)により形成
され、又は該放射壁(18a)と、この放射壁(L8a
)間に前記支持体(17)と同心状に配設される同心壁
(18b)とから形成されるのであり、従って前記区画
壁(18)による前記各ブロック(Bl)−・・を簡単
な構造でもって区画形成することが可能となり、しかも
前記区画壁(18)を、前記放射壁(18a)と同心壁
(18b)とで形成するときには、前記ケーシング(1
1)内に多数のブロック(B1)・・・を設けることが
可能となり、より長尺な流路(19)を形成することが
可能となって、濃縮化の一居進んだ膜非透過側気体を取
出し得るのである。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明にかかる膜式気体分離装置を示す側断面
図、第2図は同校式気体分離V装置に使用される多孔質
中空糸の拡大斜視図、第3図は同膜式気体分離装置の縦
断面図、第4図は区画壁を示す拡大斜視図、第5図及び
第6図は他の実施例を示す図面、第7図は同膜式気体分
離装置を利用した真空式窒素発生装置のフローシート図
、第8図は同加圧式窒素発生装置のフローシート図、第
9図は従来例を説明する側断面図である。 (11)・・・1ケーシング (12)−・・・・気体取入口 (13)会・・・・第1取出口 (14)・・・拳・第2取出口 (16)・・O・・多孔質中空糸 (1B)・・・・・非多孔質膜材 (17)・・・・・支持体 (17a)・φ・・連通孔 (1B)−−−−−区画壁 (18a)・・・・放射壁 (18b)・・・・同心壁 (19)・・・・・流路 (B1)・拳・・・ブロック

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)二つ以上の組成から成る気体を、各組成の透過係数
    に差をもつ非多孔質膜材(16)を介して分離させるよ
    うにした膜式気体分離装置であって、気体取入口(12
    )を備えたケーシング(11)に、筒状支持体(17)
    を内装して、該支持体(17)の周りに、前記非多孔質
    膜材(16)を用いた多数本の多孔質中空糸(15)を
    配設し、該中空糸(15)の内部を第1取出口(13)
    に連通させると共に、前記支持体(17)に、該支持体
    (17)の内外を連通させる連通孔(17a)を設けて
    、該支持体(17)の内部を第2取出口(14)に連通
    させる一方、前記中空糸(15)の長さ方向に、該中空
    糸(15)を複数のブロック(B1)・・・に区画する
    区画壁(18)を配設し、かつ、隣接する各ブロック(
    B1)・・・を相互に連通させて、前記取入口(12)
    からの取入気体を前記中空糸(15)の長さ方向に複数
    回反転誘導し、前記連通孔(17a)へと導く流路(1
    9)を形成したことを特徴とする膜式気体分離装置。 2)区画壁(18)が、筒状支持体(17)の放射方向
    に延びて中空糸(15)を放射状に区画する放射壁(1
    8a)から成る請求項1記載の膜式気体分離装置。 3)区画壁(18)が、筒状支持体(17)の放射方向
    に延びて中空糸(15)を放射状に区画する放射壁(1
    8a)と、前記支持体(17)の同心上に配されて中空
    糸(15)を同心状に区画する同心壁(18b)とから
    成る請求項1記載の膜式気体分離装置。
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