JPH01270502A - 硫化水素から水素を製造する方法 - Google Patents

硫化水素から水素を製造する方法

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JPH01270502A
JPH01270502A JP63095766A JP9576688A JPH01270502A JP H01270502 A JPH01270502 A JP H01270502A JP 63095766 A JP63095766 A JP 63095766A JP 9576688 A JP9576688 A JP 9576688A JP H01270502 A JPH01270502 A JP H01270502A
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reaction
hydrogen sulfide
hydrogen
sulfur
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JP63095766A
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Takehiko Takeda
武田 威彦
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    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E60/00Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
    • Y02E60/30Hydrogen technology
    • Y02E60/36Hydrogen production from non-carbon containing sources, e.g. by water electrolysis

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 十の1 ノ) 本発明は硫化水素から水素を製造する方法に関するもの
である。
【久立玉遣 製油所において製造され、水添脱硫装置て使用されてい
る水素の約半量以−Lは硫化水素に変換された後、硫黄
回収装置で硫黄を回収する過程て水に変えられてしまい
、その燃焼熱か回収されているにすぎないのて、省資源
の観点から好ましくなく、これらの硫化水素から水素を
回収して水添脱硫装置などに循環することか望まれてき
た。
したかって硫化水素を分解することによって水素を製造
する方法について検討かなされており、いくつかの提案
かなされているか、また技術的に可能で且つ経済性を有
しJL業化された方法は皆無である。
たとえば米国特許第3962409号に開示された方V
、では、モリフデン、タンクスデン、ルテニウムの硫化
物を触媒として使用し、450℃から800℃の温度て
純粋な硫化水素を接触反応で分解する方D、か提案され
ている。しかしこの反応温度範囲では平衡転化率か非常
に低いので、生成物である硫黄と水素を分離した後、大
Ji1の未反応硫化水素を循環することを余儀なくされ
ており、生成物の分離工程で消費されるエネルギーか多
くなり、この方法の経済性を低めている。さらに、この
方法は原料として硫化水素100%のガスを使用してお
り、水、炭酸ガス、アンモニア、炭化水素などの不純物
を含む耐性カスを直接原料にてきるかどうかについては
未知数である。
うで「□リリーレぐ)□JシL□マJし□」イ5−胛に
一□:y□□セ二□□J二□鷹ぐ1□土^1□Rf1−
d装本発明は、一般に製油所で得られ、現在は硫黄回収
装置の原料カスとなっている、硫化水素濃度80%以」
−て、水、炭酸ガス、アンモニア、炭化水素などの不純
物を含むガスを直接原料として、硫化水素の熱分解によ
り水素を製造する方法を提供することを[1的とする。
口、)i、明の構成 間J趙J短ノこ邊1決−ず−る−た−めノ生」L段床発
明に関わる硫化水素を含む原料ガスから水素を製造する
方法は、反応燃焼炉において80%以1−の硫化水素を
含む原料カスを80%以上の酸素を含む富酸素化空気て
燃焼することにより原料ガスに含まれる硫化水素の一部
を部分酸化して元素硫黄と木に変換すると同時に、その
反応熱により反応燃焼炉の温度を1400〜2000℃
にトy1させ、この温度て残りの硫化水素を熱分解して
、元素硫黄と水素を生成させる反応燃焼工程、反応燃焼
工程て得られた反応カスを急冷却1ノで元素硫黄の大部
分を該反応ガスから分離する硫黄分離工程、&i、黄分
離工程から(1すられるガスに含まれる亜硫酸ガスと残
留硫黄を接触水添反応により、また該カス中の有機硫黄
化合物類を接触加水分解反応により硫化水素に変換する
接触反応上程、接触反応工程からのガスを冷却すること
によっ′C該ガスに含まれる水分の大部分を除去する水
分離工程、水分離工程からのカスから硫化水素を分離し
、分離された硫化水素を反応燃焼工程への原料ガスとし
て循環する硫化水素分離工程、及び硫化水素分離工程か
らの硫化水素を除去したガスから水素を分離する水素回
収工程からなることを急冷却するものである。
これを第1図により説明すると、原料ガス加熱器2て加
熱された80%以上の硫化水素を含む原料ガス51と富
醇素化空気発生装置lて生成し富酸素化空気加熱器3て
加熱された80%以1−の酸素を含む富酸素化空気53
とを反応燃焼炉4に送入して燃焼する。この際、富酸素
化空気送入部″又は原料ガス送大量を調節して反応燃焼
炉温度か1400〜2000℃の範囲になるようにする
反応燃焼炉ては原料ガスに含まれる硫化水素の一部か部
分酸化して元素硫黄と水に変換する反応2H2S+02
→2H20+Sz    [1]か進行する。この反応
は発熱反応てあり、宮酸素化空気送大量を多くするほど
[1]式の反応か多くなり、それに伴なって反応燃焼炉
の温度か」−昇する。
一方、反応燃焼炉の温度か高くなるほど、硫化水素を熱
分解して元素硫黄と水素を生成する反応2H2S→2H
2+S2   [2] が活発に進行するようになる。この反応は吸熱反応であ
る。
従って、硫化水素を含む原料ガス送入量を一定とした場
合には富酸素化空気送大量を調節することにより反応燃
焼炉温度か1400〜2000℃の範囲になるようにす
ることかできる。
反応燃焼工程で得られた反応ガスは排熱ホイラー5て急
冷却して硫黄凝縮器6て元素硫黄の大部分を反応ガスか
ら分離し、液体硫黄54として回収する。
硫黄分離工程から得られるガスはガス加熱器7て加熱し
た後触媒を充填した接触反応器8に送入し、ガス中の亜
硫酸ガスと残留硫黄は接触水添反応により、またガス中
の有機硫黄化合物類は接触加水分解反応により硫化水素
に変換する。
この接触反応工程からのガスは、ガス冷却塁9て冷却し
、更に水冷塔10に送ってガスに含まれる水分の大部分
を除去する。なお記号11は水冷塔の循環水ポンプ、記
号12は循環水クーラー、記号55は凝縮水である。
水分離工程からの粗水素ガス56は吸収塔13に送り硫
化水素を分離する。第1図にはアミン系吸収液な使用す
るフローを示してあり、記号14はリッヂアミンポンプ
、記号15はリーンアミンクーラー、記号16はリーン
アミンポンプ、記V)17はアミン熱交換器、記号18
は再生塔、記号19はリホイラー、記号20は塔頂クー
ラー、記号21はリフラックストラム、記号22はリフ
ラックスポンプである。
再生塔18の塔頂から放出された硫化水素カス52は反
応燃焼工程へ原料ガスとして循環する。
吸収塔13の塔頂から放出されたカスは、ガス溜23、
カスコンプレッサー24、ガスクーラー25.1〜レン
分#l−ラム26を経て水素回収装置27へ送り、水素
回収装置27て精製水素59を分離・回収する。記け5
7は1〜レン、記け58は刊ガスである。
以上各工程ごとにlll’i次1;1細に説明する。
■反応燃焼工程 反応燃焼炉において80%以上の硫化水素を含む原料ガ
スを80%以上の酸素を含む富酸素化空気で燃焼するこ
とによって原料ガスに含まれる硫化水素の一部を部分醇
化して元素硫黄と木に変換する。
2H2S+02→2H20+52    [1]それと
同時にこの酸化反応で得られる高温により残りの硫化水
素を熱分解して元素硫黄と水素を発生させる。
2H2S→2H2+S2    [2][2]の反応の
平衡転化率は低温域では低いのて、未反応の硫化水素の
循環昂を減少させるためには少なくとも1400℃以に
の高温域で[2]の反応を進行させる必要かある。
この高温は主に[1]の反応によって発生ずる熱により
て得られるため[2]の反応温度を」−―げて11衡転
化率を上げようとすると、[1]の反応によりて消費さ
れる硫化水素か増え、[2]の反応によ、って反応する
硫化水素の量か減り、結果として生成する水素の量が減
少する。従って反応燃焼炉の温度を著しく高めることは
得策てはなく、2000℃か」−眼となる。
原料ガス中に水分や二酸化炭素か存在する場合は、反応
燃焼炉の温度を1400〜2000℃にするために燃焼
させなければならない硫化水素の量を増やさなければな
らないので、水分や二酸化炭素の含有量は制限されなけ
ればならない。特に二酸化炭素は木D:によって得られ
る水素を回収する前のガス(粗水素ガス)中に含まれる
水素濃度をドけるのて好ましくない。
原料カス中に炭化水素か存在する場合は、硫化水素の部
分燃焼過程て同時に燃焼するのて、反応熱を系にIJ−
えるために燃焼させなげればならない硫化水素の量を減
らずことに効果かある点ては好ましいか、燃焼によっ゛
C二酸化炭素を生成させる点ては」−記した理由て好ま
しくない。
アンモニアは燃焼熱を系に与える点や粗水素ガスの水素
濃度を下げる点て炭化水素と同し影響を与える。
しかしなから、これらの成分をその合計て最大20容量
%程度含む一般の製油所て得られる酸性カスを本状の原
料ガスにすることは可f七である。
この酸性ガスの他に、廃水処理装置などから得られるア
ンモニアを多情に含んだ酸性ガスを本状の原料ガスとし
て併用するときは、反応燃焼炉の入「Iて原料カスに加
えることなく、原料ガスの部分燃焼て発生した高温域に
混合する方法か好ましい。なぜならばアンモニアか高温
によって熱分解し水素か生成するからである。
燃焼に必要な酸素を供給する空気は酸素濃度を高めた富
酸素化したものでなければならない。すなわち燃焼系に
導入される窒素の量を減らずことによってはじめて[2
]の反応の転化率を実用的な値とし得る高温か得られ、
且つ分解の原料となる未燃の硫化水素を多量に残すこと
かてきるからである。
また、系内に導入された大量の窒素は上記のように粗水
素ガス中の水素濃度を著しく下げ木方法の経済性を損な
う。しかしなから純粋な酸素ガスを使用する必然性はな
く、一般に80容量%から95容量%の富酸素化空気か
本状に経済性を与える。この濃度範囲の富酸素化空気は
近年膜分離や吸着技術の進歩により安価に得られるよう
になってきた。
原料ガス中の硫化水素の部分燃焼性をてきるたけ下げ且
つ残りの硫化水素の熱分解に要する高温を得るために、
原料ガスや富酸素化空気を予熱す1す ることか好ましい。
■硫黄分離工程 ■の工程て得られた反応ガス(反応燃焼炉の出「1ガス
)を急冷却することによって元素硫黄の大部分を分離す
る。反応燃焼炉で生成した元素硫黄はこの工程て分離さ
れ、本状の製品の一つとして取り出される。冷却温度は
硫黄の固化温度以上てなければならない。冷却温度か高
いことは分離されたガス中に残留する元素硫黄か増える
ことを意味するのて、通常180℃から135℃の範囲
内て選ばれる。
この工程て重要な点は、反応炉出11ガスを急冷却しな
ければならないことである。これは出口ガスを冷却する
M熱ボイラーでのガス滞留時間を制限することによって
行なわれる。すなわち700℃まてにガスを冷却する時
間を0.3秒以内に制限する。好ましくは0.1秒以内
である。もし緩慢に冷却すると[2]式の逆反応か進行
し、生成した水素か一部消失するからである。
急冷却する方法として本工程ての硫黄を分離し1 ま た冷ガスの一部な■における反応燃焼炉の出口近くに循
環する方法も考えられる。この方法は原料ガスの量か低
下した減量運転時に特にその効果を発揮する。
■接触反応工程 前記■の工程で液体硫黄を分離したガス中には水素、水
、窒素、炭酸ガス、未反応硫化水素のほか、残留元素硫
黄、二酸化硫黄、二硫化炭素及び硫化カルボニルを少量
含んているので、これらの硫黄化合物類を硫化水素に還
元する必要かある。
残留元素硫黄及び二酸化硫黄はガス中に含まれる水素に
よる水添反応により、また二硫化炭素及び硫化カルボニ
ルは加水分解により、硫化水素に変換される。これらの
反応は接解的に行われ、コバルト・モリブテン触媒やニ
ッケル・モリブテン触媒か使用される。
■水分離工程 ■の接触反応工程からのガスは冷却して該ガスに含まれ
る大部分の水分を除去する。この水分は■の反応燃焼工
程て生成した水分である。この冷却は通常2段階て行な
われる。すなわち高温冷却段階ては排熱ボイラーによっ
てスチームを発生することによって冷却か行なわれ、低
温冷却段階では水クエンチによる直接冷却方式かとられ
る。
■硫化水素分離工程 ■の水分離工程からの冷却されたガス中から硫化水素の
大部分を分離し該硫化水素を反応燃焼工程の原料ガスと
して循環する。本分離工程ては通常有機アミン水溶液に
よる吸収法か採用される。
吸収前のガスには硫化水素の他二酸化炭素も含まれてい
るため、シブロバノールアミンやメチルジェタノールア
ミンなどのように二酸化炭素の吸収に対して選択性を有
する有機アミンを吸収剤として使用することか望ましい
。すなわち大部分の二酸化炭素か硫化水素とともに吸収
されると、0項て述べたような不都合か生しるばかりで
なく、系内に大量の二酸化炭素か蓄積されてくる。
■、■及び■の工程て通常採用される方法はスコツト法
と呼ばれている硫黄回収装置のテールガス処理法に採用
されている方法とほぼ同一なので実装置での¥績も多く
、確立された技術なので詳細な運転条件などの説明は省
略する。
■水素回収工程 ■の工程において硫化水素の大部分を除去したカスは水
素、窒素、二酸化炭素及び小量の水を含んているのて、
この粗水素ガスから水素を回収する必要かあり回収前に
必要に応し昇圧、水分離などの前工程か必要となる。
水素回収方法としては製品水素の要求される純度にもよ
るか通常、圧力差吸着法[PSAI膜分離法及び深冷分
離法などか採用てきる。
実j1例」工 第1図に示した工程図に従って、第1表に示す原料ガス
及び富酸素化空気を使用し、原料ガス及び富酸化空気の
両方をそれぞれ加熱器2.3により240℃まて加熱し
、反応燃焼炉の温度(排熱ボイラー5の入口温度)か1
700 ’Cになるように富酸素化空気の流量を調整し
、且つこの反応ガスか0.1〜0.15秒て700 ’
C以下になるようにした場合のデータを第2表に示す。
なお第2表に示した水素取得率は、製品水素と原料H2
Sのモル比である。
第  1  表 実施例1と同し条件て、富酸素化空気の流量を反応燃焼
炉の温度(胡熱ホイラ−5の入口温度)か1600℃に
なるようにした場合のデータを第2表に示す。
支案負J 実施例1と同し条件で、富酸素化空気の流量か反応燃焼
炉の温度(排熱ボイラー5の人口温度)か1800 ’
Cになるようにした場合のデータを第2表に示す。
支亙直A 富酸素化空気中の酸素濃度を80%にした他は実施例1
と回し条件とした場合のデータを第2表に示す。
ル較〕 実施例1と回し条件て富酸素化空気の流量を反応燃焼炉
の温度(#熱ボイラー人IZ+温度)か1200℃にな
るようにした場合のデータを第2表に示す。
第2表から明らかなように、反応燃焼炉での燃焼温度か
1200℃と低い比較例では、実施例1〜4に比へて水
素取得率は高いか、循環H2S−1i4か著しく多く導
入H2S量とばぼ凹穴になり、硫化水素分離上程の消費
エネルギー及び設備能力を3〜4倍必要とするほか、反
応燃焼炉や反応ガスの急冷機構の設備能力も増やさなけ
ればならないのて、経済的でない。
(以下余白) 第2表 従来クラウス型硫黄回収装置て処理I7てぃた硫化水素
を含有する耐性カスを原料として水素を製造することか
できる。
また同時にクラウス型i黄回収装置と回し機部を達成す
ることかてき元素状硫黄も回収することかできる。
【図面の簡単な説明】 第1図は本発明を実施するだめのプロセスフローの一例
を説明するための図である。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 反応燃焼炉において80%以上の硫化水素を含む原
    料ガスを80%以上の酸素を含む富酸素化空気で燃焼す
    ることにより原料ガスに含まれる硫化水素の一部を部分
    酸化して元素硫黄と水に変換すると同時に、その反応熱
    により反応燃焼炉の温度を1400〜2000℃に上昇
    させ、この温度で残りの硫化水素を熱分解して元素硫黄
    と水素を生成させる反応燃焼工程、反応燃焼工程で得ら
    れた反応ガスを急冷却して元素硫黄の大部分を該反応ガ
    スから分離する硫黄分離工程、硫黄分離工程から得られ
    るガスに含まれる亜硫酸ガスと残留硫黄を接触水添反応
    により、また該ガス中の有機硫黄化合物類を接触加水分
    解反応により硫化水素に変換する接触反応工程、接触反
    応工程からのガスを冷却することによって該ガスに含ま
    れる水分の大部分を除去する水分離工程、水分離工程か
    らのガスから硫化水素を分離し、分離された硫化水素を
    反応燃焼工程への原料ガスとして循環する硫化水素分離
    工程、及び硫化水素分離工程からの硫化水素を除去した
    ガスから水素を分離する水素回収工程からなることを特
    徴とする硫化水素を含む原料ガスから水素を製造する方
    法。 2 反応燃焼工程で得られた反応ガスを0.3秒以内に
    700℃以下に急冷却する特許請求の範囲第1項記載の
    方法。 3 硫黄分離工程から得られるガスの一部を反応燃焼炉
    の出口近くに循環することにより反応燃焼炉で発生する
    ガスを急冷却する特許請求の範囲第1項記載の方法。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0747318A1 (de) * 1995-06-08 1996-12-11 Metallgesellschaft Aktiengesellschaft Verfahren und Vorrichtung zum schnellen Kühlen eines Wasserstoff und Elementarschwefel enthaltenden heissen Gasgemisches
WO2004024622A1 (en) * 2002-09-12 2004-03-25 Amer Sarssam A process for the recovery of sulphur from gas streams containing hydrogen sulphide
US6780396B2 (en) * 2001-04-30 2004-08-24 Institut Francais Du Petrole Process for the production of a gas that contains hydrogen from hydrogen sulfide
WO2012154043A1 (en) * 2011-05-06 2012-11-15 Stamicarbon B.V. Acting Under The Name Of Mt Innovation Center Zero emissions sulphur recovery process with concurrent hydrogen production

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55140704A (en) * 1979-04-14 1980-11-04 Davy International Ag Production of hydrogen and sulfur from hydrogen sulfide

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55140704A (en) * 1979-04-14 1980-11-04 Davy International Ag Production of hydrogen and sulfur from hydrogen sulfide

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0747318A1 (de) * 1995-06-08 1996-12-11 Metallgesellschaft Aktiengesellschaft Verfahren und Vorrichtung zum schnellen Kühlen eines Wasserstoff und Elementarschwefel enthaltenden heissen Gasgemisches
US6780396B2 (en) * 2001-04-30 2004-08-24 Institut Francais Du Petrole Process for the production of a gas that contains hydrogen from hydrogen sulfide
WO2004024622A1 (en) * 2002-09-12 2004-03-25 Amer Sarssam A process for the recovery of sulphur from gas streams containing hydrogen sulphide
WO2012154043A1 (en) * 2011-05-06 2012-11-15 Stamicarbon B.V. Acting Under The Name Of Mt Innovation Center Zero emissions sulphur recovery process with concurrent hydrogen production
EP2704988A1 (en) * 2011-05-06 2014-03-12 Stamicarbon B.V. acting under the name of MT Innovation Center Zero emissions sulphur recovery process with concurrent hydrogen production
EA032087B1 (ru) * 2011-05-06 2019-04-30 СТАМИКАРБОН Б.В. ЭКТИНГ АНДЕР ДЗЕ НЕЙМ ОФ ЭмТи ИННОВЕЙШН СЕНТЕР Способ извлечения серы с одновременным получением водорода и нулевыми выбросами
US10654719B2 (en) 2011-05-06 2020-05-19 Stamicarbon B.V. Acting Under The Name Of Mt Innovation Center Zero emissions sulphur recovery process with concurrent hydrogen production
EP2704988B1 (en) * 2011-05-06 2023-06-07 Stamicarbon B.V. acting under the name of MT Innovation Center Zero emissions sulphur recovery process with concurrent hydrogen production

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