JPH01266964A - 通電加熱部材 - Google Patents
通電加熱部材Info
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- JPH01266964A JPH01266964A JP9541288A JP9541288A JPH01266964A JP H01266964 A JPH01266964 A JP H01266964A JP 9541288 A JP9541288 A JP 9541288A JP 9541288 A JP9541288 A JP 9541288A JP H01266964 A JPH01266964 A JP H01266964A
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Landscapes
- Control Of High-Frequency Heating Circuits (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の目的コ
(産業上の利用分野)
本発明は、導電性物質に通電し、ジュール熱を発生させ
、リード線等の被加工物を加工する通電加熱部材に関す
る。
、リード線等の被加工物を加工する通電加熱部材に関す
る。
(従来の技術)
近年、ファクトリ−オートメーションの進歩は著しい。
その−例として集積回路(IC)を基板にはんだ付けを
する装置がある。この装置ではFe、Mo、W、Ta、
Cu、AI、ステンレスなとの導電性物質からなる母材
を加工した加熱部材に通電し、ジュール熱を発生させ、
前記加熱部材で一度に複数のリード線を基板に押付ける
ことにより、はんだ付けを行っている。通常、ICは三
方又は四方にリード線か出ているので、加熱部材は二個
又は四個を平行あるいは四方取囲むように設置され、電
気的に直列に接続されている。並列でもよいが、この場
合には、装置全体で必要な電流の容量が多くなる。
する装置がある。この装置ではFe、Mo、W、Ta、
Cu、AI、ステンレスなとの導電性物質からなる母材
を加工した加熱部材に通電し、ジュール熱を発生させ、
前記加熱部材で一度に複数のリード線を基板に押付ける
ことにより、はんだ付けを行っている。通常、ICは三
方又は四方にリード線か出ているので、加熱部材は二個
又は四個を平行あるいは四方取囲むように設置され、電
気的に直列に接続されている。並列でもよいが、この場
合には、装置全体で必要な電流の容量が多くなる。
(発明が解決しようとする課題)
しかし導電性物質からなる加熱部材を直接ICのリード
線に接触させてはんだ付けを行うと基板の配線が直列に
接続された加熱部材同志を結ぶ箇所では、加熱部材から
基板の配線への電流の分流が起こり、基板の配線か切れ
るという不具合があった。
線に接触させてはんだ付けを行うと基板の配線が直列に
接続された加熱部材同志を結ぶ箇所では、加熱部材から
基板の配線への電流の分流が起こり、基板の配線か切れ
るという不具合があった。
本発明では、加熱部材の少なくともICのリード線に接
する部分に絶縁性被膜を被覆し、加熱部材から基板の回
路配線への電流の分流による配線切れを防ぐことを課題
とした。
する部分に絶縁性被膜を被覆し、加熱部材から基板の回
路配線への電流の分流による配線切れを防ぐことを課題
とした。
[発明の構成コ
(課題を解決するだめの手段)
本発明の通電加熱部材は、導電性材料からなる母材の表
面で、少なくともリード線に接する部分に、比抵抗が前
記母材の100倍以上を有する被膜を被覆したことを特
徴とする。
面で、少なくともリード線に接する部分に、比抵抗が前
記母材の100倍以上を有する被膜を被覆したことを特
徴とする。
前記被膜の材料としてはより具体的には、硅素炭素、酸
素、窒素、ゲルマニウム等あるいは周期律第■族元素の
中から選ばれる少なくとも一種以上の元素を成分とする
ものが使われる。その理由は以下に述べる通りである。
素、窒素、ゲルマニウム等あるいは周期律第■族元素の
中から選ばれる少なくとも一種以上の元素を成分とする
ものが使われる。その理由は以下に述べる通りである。
ます前記絶縁性被膜は約150℃から300℃程度まで
のヒートサイクルにおいて母材から剥離しない材料で構
成されていなければならない。又、オートメーション化
されたはんだ伺は装置では、加熱部材は数秒程度の周期
で昇温、降温か行われるので、前記絶縁性被膜の材料は
熱伝導率の高いものでなければならない。従って前記被
膜の膜厚か1μmを越える場合には熱伝導率は1wm−
’に一’以上でなければならない。硅素、ゲルマニウム
、グラファイトは熱伝導率が高い。又、硅素、ゲルマニ
ウムの窒化物。
のヒートサイクルにおいて母材から剥離しない材料で構
成されていなければならない。又、オートメーション化
されたはんだ伺は装置では、加熱部材は数秒程度の周期
で昇温、降温か行われるので、前記絶縁性被膜の材料は
熱伝導率の高いものでなければならない。従って前記被
膜の膜厚か1μmを越える場合には熱伝導率は1wm−
’に一’以上でなければならない。硅素、ゲルマニウム
、グラファイトは熱伝導率が高い。又、硅素、ゲルマニ
ウムの窒化物。
炭化物では結晶では熱伝導率がより高いが非晶質でもか
なり高い。その他の前述した材料もすべて熱伝導率の高
い材料である。
なり高い。その他の前述した材料もすべて熱伝導率の高
い材料である。
又、加熱材料は接地電位に対し1〜IOV程度の電位差
を有するので、前記絶縁性被膜は、この電圧に対し絶縁
破壊が起こらない程度の膜厚を必要とする。
を有するので、前記絶縁性被膜は、この電圧に対し絶縁
破壊が起こらない程度の膜厚を必要とする。
従って絶縁性被膜の膜厚は500A以上好ましくは1.
000 A以上は必要であり、耐摩耗性も考慮すると2
μm程度は必要である。熱伝導率を考慮すると5μm以
上にすることは好ましくはないこれらの絶縁性被膜を母
料の表面に被覆する方法としては、スパッタリンク、イ
オンブレーティング、真空蒸着、プラズマCVD、EC
RプラズマCVD、熱CVD、光CVDなどかある。こ
の中でも、膜の密着性がよいこと、比較的低温で処理で
き膜の特性が損われないこと、膜の電気的特性が制御し
やすいことを考慮するとプラズマCvD法、ECRプラ
ズマCVD法か特に適当である。
000 A以上は必要であり、耐摩耗性も考慮すると2
μm程度は必要である。熱伝導率を考慮すると5μm以
上にすることは好ましくはないこれらの絶縁性被膜を母
料の表面に被覆する方法としては、スパッタリンク、イ
オンブレーティング、真空蒸着、プラズマCVD、EC
RプラズマCVD、熱CVD、光CVDなどかある。こ
の中でも、膜の密着性がよいこと、比較的低温で処理で
き膜の特性が損われないこと、膜の電気的特性が制御し
やすいことを考慮するとプラズマCvD法、ECRプラ
ズマCVD法か特に適当である。
(作用)
加熱部材の少なくともICのリード線に接する部分に絶
縁性被膜を被覆することにより、加熱部材から基板の回
路配線への電流の分流が起きなくなり、配線が切れると
いう不具合かなくなった。
縁性被膜を被覆することにより、加熱部材から基板の回
路配線への電流の分流が起きなくなり、配線が切れると
いう不具合かなくなった。
(実施例)
本発明は加熱部材は導電性物質を第1図に示すように加
工し、表面に絶縁性被膜を被覆してなる。
工し、表面に絶縁性被膜を被覆してなる。
オートメーション化されたはんだ付は装置にお−いては
この加熱部材を第2図に示すように四方を取囲むように
設置し、これらを電気的に直列に50Hzの交流電源へ
接続して使用される。
この加熱部材を第2図に示すように四方を取囲むように
設置し、これらを電気的に直列に50Hzの交流電源へ
接続して使用される。
加工工程は以下に示す通りである。基板上にICが乗せ
られ、自動搬送されてきた後、加熱部材が降りてきてI
Cのリード線を約2Kg重/Cm2の圧力で押付けるの
と同時に、加熱部材に約50OAの電流を供給し、30
0℃程度まで加熱する。
られ、自動搬送されてきた後、加熱部材が降りてきてI
Cのリード線を約2Kg重/Cm2の圧力で押付けるの
と同時に、加熱部材に約50OAの電流を供給し、30
0℃程度まで加熱する。
はんだが熔はリード線と基板の回路が接続された後、通
電を止め、はんだが固まったところで、加熱部利が」二
昇し、この−工程が終了する。
電を止め、はんだが固まったところで、加熱部利が」二
昇し、この−工程が終了する。
以下に、導電性物質からなる母材の表面に絶縁性被膜を
被覆することにより、本発明の加熱部材を製造する方法
について記載する。
被覆することにより、本発明の加熱部材を製造する方法
について記載する。
実施例、1
本実施例では、プラズマCVD法により第1表に示した
成分の絶縁性被膜を母材の表面に被覆した。第3図は平
行平板型の容量結合型プラズマCVD装置の略図である
。真空チャンバー6内には、平板状接地電極7と高周波
電極8が設置されている。平板状接地電極7にはヒータ
ー9が取付けられている。高周波電極8はマツチングボ
ックス10を介して高周波電極11に接続されている。
成分の絶縁性被膜を母材の表面に被覆した。第3図は平
行平板型の容量結合型プラズマCVD装置の略図である
。真空チャンバー6内には、平板状接地電極7と高周波
電極8が設置されている。平板状接地電極7にはヒータ
ー9が取付けられている。高周波電極8はマツチングボ
ックス10を介して高周波電極11に接続されている。
又、真空チャンバー6にはガス導入口12が設けられて
いる。
いる。
この装置により、導電性加熱部材に絶縁性被膜を被覆す
るには、まず導電性加熱部材13を接地電極7上に置き
、図示しない真空ポンプによってチャンバー6内を1O
−3Torr程度に排気した。
るには、まず導電性加熱部材13を接地電極7上に置き
、図示しない真空ポンプによってチャンバー6内を1O
−3Torr程度に排気した。
次に接地電極7に取付けたヒーター9により、加熱部材
13を150℃から450℃程度に加熱しガス導入口1
2よりSi H4,N2.CH4等の原料ガスをチャン
バー6内に供給して、チャンバー6内の真空度を0.0
5〜1.0Torrに保つように排気した。高周波電極
8に電力を投入すると、電極間にてグロー放電が起こり
、原料ガスがプラズマ化し絶縁性薄膜が加熱部材13に
被覆された。原料ガス及び成膜条件は第1表に示す通り
である。例えばSt CN組成の被膜を成膜する場合に
は、原料ガスとしてS i H4100S CCM 。
13を150℃から450℃程度に加熱しガス導入口1
2よりSi H4,N2.CH4等の原料ガスをチャン
バー6内に供給して、チャンバー6内の真空度を0.0
5〜1.0Torrに保つように排気した。高周波電極
8に電力を投入すると、電極間にてグロー放電が起こり
、原料ガスがプラズマ化し絶縁性薄膜が加熱部材13に
被覆された。原料ガス及び成膜条件は第1表に示す通り
である。例えばSt CN組成の被膜を成膜する場合に
は、原料ガスとしてS i H4100S CCM 。
N 2500 S CCM 、 CH4400S C
CMをガス導入口12より導入し、チャンバー6内の反
応圧力を1.QTorrに保持し、高周波電極8に50
0Wの電圧を印加して成膜を行った。
CMをガス導入口12より導入し、チャンバー6内の反
応圧力を1.QTorrに保持し、高周波電極8に50
0Wの電圧を印加して成膜を行った。
この場合、成膜時間40分で3.0μmの膜厚の被膜が
形成された。
形成された。
以下、他成分の被膜でも同様に成膜された絶縁性被膜の
成分、原料ガスとその流量、チャンバー内の反応圧力、
高周波電極8に印加される電力。
成分、原料ガスとその流量、チャンバー内の反応圧力、
高周波電極8に印加される電力。
成膜時間、膜厚は第1表に示す通りである。
プラスマCVD法によれば、加熱部材を150°C乃至
450℃の比較的低温で処理できるため、加熱部材の特
性を損うことなく母料に密着した被膜が得られる。
450℃の比較的低温で処理できるため、加熱部材の特
性を損うことなく母料に密着した被膜が得られる。
一実施例、2−
本実施例では、スパッタリング法により第2表に示した
成分の被膜を成膜した。使用されるスパッタ装置は第4
図に示す通りである。真空チャンバー6内には平板状接
地電極7と高周波電極8とが対向して設置されており、
平板状接地電極7にはヒーター9が取付けられている。
成分の被膜を成膜した。使用されるスパッタ装置は第4
図に示す通りである。真空チャンバー6内には平板状接
地電極7と高周波電極8とが対向して設置されており、
平板状接地電極7にはヒーター9が取付けられている。
高周波電極8はマツチングボックス10を介して高周波
電極11に接続されている。真空チャンバー6の側壁に
はガス導入口12が設けられている。このようにスパッ
タリング装置は前述のプラスマCVD装置と類似してい
るが、高周波電極8に原料の固体をターゲット14とし
て設けている点のみが異なっている。この装置により絶
縁性被膜を成膜するには、まずターゲット14として原
料の固体を設置し、ガス導入口12よりArガス、場合
により反応ガスを同時に流入した。これらのガスがプラ
ズマ化しArイオンがターゲット14の物質を原子状あ
るいは分子状にしてたたき出した後、反応ガスのプラズ
マ中で反応しながら加熱部材13の表面に絶縁性被膜を
成膜した。第2表には成膜された被膜の成分、原料及び
成膜条件等か記載されている。例えば、非晶質シリコン
からなる被膜を成膜するには、ターゲットとして単結晶
又は多結晶シリコンを設置し、ガス導入口12よりAr
ガスIO8CCM、H2ガス11005CCを導入しチ
ャンバー内圧力をI X 10 ’−3Torrに保ち
高周波電極8に500Wの電圧をかけて成膜を行った。
電極11に接続されている。真空チャンバー6の側壁に
はガス導入口12が設けられている。このようにスパッ
タリング装置は前述のプラスマCVD装置と類似してい
るが、高周波電極8に原料の固体をターゲット14とし
て設けている点のみが異なっている。この装置により絶
縁性被膜を成膜するには、まずターゲット14として原
料の固体を設置し、ガス導入口12よりArガス、場合
により反応ガスを同時に流入した。これらのガスがプラ
ズマ化しArイオンがターゲット14の物質を原子状あ
るいは分子状にしてたたき出した後、反応ガスのプラズ
マ中で反応しながら加熱部材13の表面に絶縁性被膜を
成膜した。第2表には成膜された被膜の成分、原料及び
成膜条件等か記載されている。例えば、非晶質シリコン
からなる被膜を成膜するには、ターゲットとして単結晶
又は多結晶シリコンを設置し、ガス導入口12よりAr
ガスIO8CCM、H2ガス11005CCを導入しチ
ャンバー内圧力をI X 10 ’−3Torrに保ち
高周波電極8に500Wの電圧をかけて成膜を行った。
この場合、成膜時間60分て3,0μmの膜厚の非晶質
シリコン被膜か成膜された。又、原料ガスとしてArガ
ス、H2ガスと同時にB2H6ガスISCCM又はPH
3ガスISCCMを導入させてもよい。以下、他の成分
の被膜についても同様にターゲットの固体、原料ガスと
その流量。
シリコン被膜か成膜された。又、原料ガスとしてArガ
ス、H2ガスと同時にB2H6ガスISCCM又はPH
3ガスISCCMを導入させてもよい。以下、他の成分
の被膜についても同様にターゲットの固体、原料ガスと
その流量。
チャンバー6内の反応圧力、高周波電極8に印加された
電力、成膜時間及び被膜の膜厚さを第2表中に記載した
。
電力、成膜時間及び被膜の膜厚さを第2表中に記載した
。
スパッタリングによる成膜方法は、原料として固体が使
えるため扱いやすく、また、加熱部材の形状により装置
の形状を変える必要かないため般用的な方法と言える。
えるため扱いやすく、また、加熱部材の形状により装置
の形状を変える必要かないため般用的な方法と言える。
(以下余白)
一実施例、3−
本実施例では、ECRプラズマCVD法により絶縁性被
膜を成膜した。この方法に使われる装置は、第5図に示
す通りである。成膜室15の側壁にはガス導入口12が
設けられている。また、成膜室15上方にはプラズマ形
成室16が配設され、この成膜室15とプラズマ形成室
]6とは、仕切り板17に設けられたプラズマ導入口1
8によって連通している。プラズマ形成室16の上壁に
は石英板19が配設され、石英板19の上方にはマイク
ロ波導波管20が配設されている。また、プラズマ形成
室16上壁にはガス導入口21が設けられ、プラズマ形
成室16の周囲には、電磁石22が設けられている。
膜を成膜した。この方法に使われる装置は、第5図に示
す通りである。成膜室15の側壁にはガス導入口12が
設けられている。また、成膜室15上方にはプラズマ形
成室16が配設され、この成膜室15とプラズマ形成室
]6とは、仕切り板17に設けられたプラズマ導入口1
8によって連通している。プラズマ形成室16の上壁に
は石英板19が配設され、石英板19の上方にはマイク
ロ波導波管20が配設されている。また、プラズマ形成
室16上壁にはガス導入口21が設けられ、プラズマ形
成室16の周囲には、電磁石22が設けられている。
この装置により加熱部材に絶縁性被膜を被覆するには、
加熱部材13を成膜室15内底部に設置し以下の通り成
膜を行った。成膜室15内を真空ポンプにより排気し、
lXl0−4乃至5X10−3の真空度に保持した。導
入管12より成膜室15に原料ガス、導入管21よりプ
ラズマ形成室16に反応ガス(N2.02、CH4等)
または、それ自身は反応せずにエネルギを他に供給する
ガス(Ar、He、H2)をそれぞれ導入した。マイク
ロ波導波管20より2.45GHzのマイクロ波をプラ
ズマ形成室16に導入すると、このマイクロ波により、
電場Eが生じる。また、電磁石22に電流を流してプラ
ズマ形成室16内に875ガウスの磁場Bを形成する。
加熱部材13を成膜室15内底部に設置し以下の通り成
膜を行った。成膜室15内を真空ポンプにより排気し、
lXl0−4乃至5X10−3の真空度に保持した。導
入管12より成膜室15に原料ガス、導入管21よりプ
ラズマ形成室16に反応ガス(N2.02、CH4等)
または、それ自身は反応せずにエネルギを他に供給する
ガス(Ar、He、H2)をそれぞれ導入した。マイク
ロ波導波管20より2.45GHzのマイクロ波をプラ
ズマ形成室16に導入すると、このマイクロ波により、
電場Eが生じる。また、電磁石22に電流を流してプラ
ズマ形成室16内に875ガウスの磁場Bを形成する。
プラズマ形成室16内の電子が共鳴し励起されると、こ
の電子の共鳴により導入管21から導入されると、N2
、またはArガスにそのエネルギが供給され、これらの
ガスのプラズマを形成する。このプラズマは磁場の発散
に伴い、プラズマ導出管18より、成膜室15に引き出
される。成膜室15中に導入管12より導入された原料
ガスは前記プラズマにより分解され反応を起こす。これ
により原料ガスの成分が成膜室15内の平板状の加熱部
材13の表面に成膜された。各被膜について原料ガス、
成膜条件等を第3表に記載した。例えば、5iCN成分
の被膜成膜をする場合には、原料として5iH41O5
CCMをガス導入口により導入し、反応ガスとして、N
250SCCMをガス導入口により導入した。チャンバ
ー内の圧力は3 X 10−’Torrに保ちマイクロ
波電力を500Wとした。この場合、成膜時間40分て
膜厚3.0μmの被膜を得た。以下、他の成分の被膜に
ついても同様に第3表中に、原料ガスとその流量、チャ
ンバー6内の反応圧力、マイクロ波電力、成膜時間、膜
厚を記載した。このようにECRプラズマCVD法によ
れば加熱部材を加熱することなく処理でき、成分が均一
で部材に密着□した被膜か成膜できる。
の電子の共鳴により導入管21から導入されると、N2
、またはArガスにそのエネルギが供給され、これらの
ガスのプラズマを形成する。このプラズマは磁場の発散
に伴い、プラズマ導出管18より、成膜室15に引き出
される。成膜室15中に導入管12より導入された原料
ガスは前記プラズマにより分解され反応を起こす。これ
により原料ガスの成分が成膜室15内の平板状の加熱部
材13の表面に成膜された。各被膜について原料ガス、
成膜条件等を第3表に記載した。例えば、5iCN成分
の被膜成膜をする場合には、原料として5iH41O5
CCMをガス導入口により導入し、反応ガスとして、N
250SCCMをガス導入口により導入した。チャンバ
ー内の圧力は3 X 10−’Torrに保ちマイクロ
波電力を500Wとした。この場合、成膜時間40分て
膜厚3.0μmの被膜を得た。以下、他の成分の被膜に
ついても同様に第3表中に、原料ガスとその流量、チャ
ンバー6内の反応圧力、マイクロ波電力、成膜時間、膜
厚を記載した。このようにECRプラズマCVD法によ
れば加熱部材を加熱することなく処理でき、成分が均一
で部材に密着□した被膜か成膜できる。
(以下余白)
以上の実施例1乃至3に示した成膜法を行う前にArイ
オンボンバード処理を行うと、被膜と母材の密着強度を
高くすることができる。この処理を行うにはプラズマC
VD法、ECRプラズマCVD法の場合は、被膜となる
原料ガスを供給せずにArを流してプラズマを形成すれ
ばよく、スパッタリング法の場合には、ターゲットでは
なく母材に電力を印加すればよい。
オンボンバード処理を行うと、被膜と母材の密着強度を
高くすることができる。この処理を行うにはプラズマC
VD法、ECRプラズマCVD法の場合は、被膜となる
原料ガスを供給せずにArを流してプラズマを形成すれ
ばよく、スパッタリング法の場合には、ターゲットでは
なく母材に電力を印加すればよい。
更に被膜と母材との密着強度を高めるには、被膜と母材
の界面に、窒素、炭素、酸素等を母材より多く含有する
領域を形成するとよい。そのためには予めイオン窒化、
浸炭処理等を行った母材に絶縁性被膜を被覆させたり、
前記イオンボンバードの際にArガスにN2.0゜、C
H4等のガスを混合してもよい。また、N2.02 、
CH4等のガスのイオンホンバードを行ってもよい。
の界面に、窒素、炭素、酸素等を母材より多く含有する
領域を形成するとよい。そのためには予めイオン窒化、
浸炭処理等を行った母材に絶縁性被膜を被覆させたり、
前記イオンボンバードの際にArガスにN2.0゜、C
H4等のガスを混合してもよい。また、N2.02 、
CH4等のガスのイオンホンバードを行ってもよい。
このように、導電性物質からなる母材の表面に絶縁性被
膜を被覆することにより、加熱部材から基板の回路への
電流の分流がなくなり、良好な加工を施すことができる
。また、上述の絶縁性被膜一 1 6 − は耐摩耗性、耐酸化性にすぐれているため、数万回の使
用にも耐えることかでき、はんだも加熱部材に付着しに
くいなど多くの利点を有する。
膜を被覆することにより、加熱部材から基板の回路への
電流の分流がなくなり、良好な加工を施すことができる
。また、上述の絶縁性被膜一 1 6 − は耐摩耗性、耐酸化性にすぐれているため、数万回の使
用にも耐えることかでき、はんだも加熱部材に付着しに
くいなど多くの利点を有する。
[発明の効果]
以上詳述したように、本発明の絶縁性被膜を被覆した加
熱部材によれば、加熱部材から基板の回路配線への電流
の分流がなくなり、配線が切れるという問題か解消され
た。
熱部材によれば、加熱部材から基板の回路配線への電流
の分流がなくなり、配線が切れるという問題か解消され
た。
第1図は、1個の加熱部材の斜視図、
第2図は、4個の加熱部材を直列につないだ様子を示し
た模式図である。 第3図は、プラズマCVD法に用いられる装置の概略図
、 第4図は、スパッタリング法に用いられる装置の概略図
、 第5図は、ECRプラズマCVD法に用いられる装置の
概略図、 13・・・加熱部材 第3図 第4図 4づト)( 第5図
た模式図である。 第3図は、プラズマCVD法に用いられる装置の概略図
、 第4図は、スパッタリング法に用いられる装置の概略図
、 第5図は、ECRプラズマCVD法に用いられる装置の
概略図、 13・・・加熱部材 第3図 第4図 4づト)( 第5図
Claims (1)
- 導電性物質からなる母材に通電することで加熱せしめ被
加工物に加工を施す部材において、少なくとも被加工物
と接する部分は比抵抗が母材の100倍以上を有する被
膜で被覆されていることを特徴とする通電加熱部材。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9541288A JPH01266964A (ja) | 1988-04-20 | 1988-04-20 | 通電加熱部材 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9541288A JPH01266964A (ja) | 1988-04-20 | 1988-04-20 | 通電加熱部材 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01266964A true JPH01266964A (ja) | 1989-10-24 |
Family
ID=14136964
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9541288A Pending JPH01266964A (ja) | 1988-04-20 | 1988-04-20 | 通電加熱部材 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01266964A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0572168U (ja) * | 1992-02-28 | 1993-09-28 | 日本電気株式会社 | ボンディングツール装置 |
-
1988
- 1988-04-20 JP JP9541288A patent/JPH01266964A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0572168U (ja) * | 1992-02-28 | 1993-09-28 | 日本電気株式会社 | ボンディングツール装置 |
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