JPH01256143A - Ｃｃｄエリアセンサの測定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、ＣＣＤエリアセンサ製造工程のカラーフィル
タ接着の際、同カラーフィルタの接着位置精度を測定す
るＣＣＤエリアセンサの測定方法に関するものである。

従来の技術 従来のＣＣＤエリアセンサのカラーフィルタの位置精度
の測定方法について説明する。

第２図は、従来のＣＣＤエリアセンサのカラーフィルタ
の位置精度の検査装置を示す。第２図において、１は被
測定デバイス、２は光学系装置、３はデバイス駆動用の
信号を発生し印加する駆動回路、４は同期発生回路、６
は素子出力を、ビデオ出力に変換するための信号処理回
路、７はベクトルスコープである。光学系装置２及び駆
動回路３より入力信号を印加された被測定デバイス１の
ＣＣＤエリアセンサより出力された素子出力を、信号処
理回路６を通し、ビデオ信号に変換して、ベクトルスコ
ープ７で観察する。カラーフィルタの位置ずれは、その
フィルタの構成上から、飛越し走査時の第１フイールド
と第２フイールドとの色再現性の違いとして表われる。

それをベクトルスコープ７で測定する。光学系装置２を
制御し色と画面上の位置を変えて測定すれば、カラーフ
ィルタの位置精度は測定できる。

発明が解決しようとする課題 しかしながら上記の従来の構成では、素子出力を、ビデ
オ信号に変換するための信号処理回路が、被測定デバイ
スと測定ポイントとの間にあるため、同回路の特性の影
響を受けやすく、同一デバイスでも、使用した検査装置
によって測定データが異なるという欠点を有している。

本発明は上記従来の問題点を解決するもので、信号処理
回路の特１１の影響が、測定データにでないＣＣＤエリ
アセンサ測定方法を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段 この目的を達成するために本発明のＣＣＤエリアセンサ
の測定方法は、素子出力を、ビデオ信号に変換すること
な（、直接、データ処理装置内に取り込んでカラーフィ
ルタの位置精度を検査するものである。

作用 この方法によると、素子出力内に含まれる色再現のため
に必要な情報を、データ処理装置内でソフト的に処理す
ることにより抽出し、それを用いて、飛越し走査時の第
１フイールドと第２フイールドとの色再現性の差を測定
するので、信号処理回路を使用しないから、その影響を
受けることはなく、検査装置間のデータのバラツキも発
生しない。

実施例 以下、本発明の一実施例について、図面を参照しながら
説明する。

第１図は、本発明によるＣＣＤエリアセンサのカラーフ
ィルタの接着位置検査のための測定装置である。第１図
において、■は被測定デバイス、としてのＣＣＤエリア
センサ、２は光学系装置、３は駆動回路、４は同期信号
発生回路、これらは従来例の構成と同じである。５はデ
ータ処理装置である。

光学系装置２及び駆動回路３より入力信号を印加された
ＣＣＤエリアセンサ１の素子出力を同期信号発生回路４
より受けとったタイミング信号により、必要な部分のみ
、データとしてデータ処理装置に取り込む。そこで、ソ
フト的に処理し、飛越し走査時の第１フイールドと第２
フイールドとの色再現性の差を算出する。この作業を、
光学系装置を制御し、色２画面上の位置を変えて繰り返
し、それらの色再現性の差のデータをもとに、）１ラー
フイルタの位置精度を測定する。

以上のように本実施例によれば、信号処理回路を設けず
、素子出力をソフト的に処理することにより、ハード的
な特性の影響を受けることなく、カラーフィルタの位置
精度の測定ができる。

発明の効果 以上のように本発明によれば、素子出力を直接データ処
理することにより、ハード的な特性の影響を受けること
なく、カラーフィルタの位置精度を測定することができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の実施例におけるＣＣＤエリアセンサ
の測定系のブロック図、第２図は、従来例によるＣＣＤ
エリアセンサの測定系のブロック図である。 ■・・・・・・被測定デバイス、２・・・・・・光学系
装置、３・・・・・・駆動回路、４・・・・・・同期信
号処理回路、５・・・・・・データ処理装置、６・・・
・・・信号処理回路、７・・・・・・ベクトルスコープ
。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　被測定ＣＣＤエリアセンサからの素子出力を、直接、
   データ処理装置内に取り込んで信号処理するＣＣＤエリ
   アセンサの測定方法。