JPH01246894A - 無電解めっき方法 - Google Patents
無電解めっき方法Info
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- JPH01246894A JPH01246894A JP7412088A JP7412088A JPH01246894A JP H01246894 A JPH01246894 A JP H01246894A JP 7412088 A JP7412088 A JP 7412088A JP 7412088 A JP7412088 A JP 7412088A JP H01246894 A JPH01246894 A JP H01246894A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、耐電食性に優れた無電解めっき方法に関する
ものである。
ものである。
(従来の技術)
配線板として、経済的に優れた製造方法として無電解め
っきを析出させるためにパラジウム等の無電解めっき用
触媒を含有する接着剤層を表面に形成しその中にも同様
の無電解めっき用触媒を含有する絶縁板に回路部となる
べき箇所以外の部分に無電解めっき用レジストを設けク
ロム酸等の化学粗化液に浸漬してレジストが形成されて
いない箇所の表面を選択的に粗化し無電解めっき液に浸
漬して回路パターンを形成するいわゆるアディティブ法
がある。
っきを析出させるためにパラジウム等の無電解めっき用
触媒を含有する接着剤層を表面に形成しその中にも同様
の無電解めっき用触媒を含有する絶縁板に回路部となる
べき箇所以外の部分に無電解めっき用レジストを設けク
ロム酸等の化学粗化液に浸漬してレジストが形成されて
いない箇所の表面を選択的に粗化し無電解めっき液に浸
漬して回路パターンを形成するいわゆるアディティブ法
がある。
(発明が解決しようとする課題)
近年、電子機器の小型化、軽量化に伴い、配線板には配
線の高密度化が要求され、そのために配線板の両面の回
路導体を接続するためのスルーホールを設ける間隔を狭
めたり配線のための導体の幅を狭めたりしている。この
ような高密度の配線板においては、異なった電位の導体
が近接し、長時間の間にその導体を支持している絶縁板
の表面で異なった電位の導体の間にある領域で、イオン
性不純物による銅の移行(マイグレーション)のためか
あるいはアディティブ法による配線板の製造工程の各種
処理液による影響を受けるためか、多湿の条件下におい
てデンドライトと呼ばれる樹枝状の銅化合物が形成され
ることがある。このデンドライトは、同様の条件下にお
いて次第に成長し、最終的には導体間を短絡させるに至
る。
線の高密度化が要求され、そのために配線板の両面の回
路導体を接続するためのスルーホールを設ける間隔を狭
めたり配線のための導体の幅を狭めたりしている。この
ような高密度の配線板においては、異なった電位の導体
が近接し、長時間の間にその導体を支持している絶縁板
の表面で異なった電位の導体の間にある領域で、イオン
性不純物による銅の移行(マイグレーション)のためか
あるいはアディティブ法による配線板の製造工程の各種
処理液による影響を受けるためか、多湿の条件下におい
てデンドライトと呼ばれる樹枝状の銅化合物が形成され
ることがある。このデンドライトは、同様の条件下にお
いて次第に成長し、最終的には導体間を短絡させるに至
る。
したがって、従来のアディティブ法においては、導体の
間隔を0.15mm以下にすることができず、配線の高
密度化を行うには導体の幅のみを狭めなければならない
ので、配線密度を高める上で障害となっていた。
間隔を0.15mm以下にすることができず、配線の高
密度化を行うには導体の幅のみを狭めなければならない
ので、配線密度を高める上で障害となっていた。
本発明は、この電食による絶縁劣化の抑制に優れた無電
解めっき方法を提供するものである。
解めっき方法を提供するものである。
(課題を解決するための手段)
本発明は、無電解めっきを析出させるための接着剤層を
表面に形成した絶縁板に回路部となるべき箇所以外の部
分に無電解めっき用レジストを設け化学粗化液に浸漬し
てレジストが形成されていない箇所の表面を選択的に粗
化した後であって、無電解めっき液に浸漬して回路パタ
ーンを形成する前にトリアゾール化合物、トリアジン化
合物、イミダゾール化合物、テトラゾール化合物、芳香
族第2アミン化合物、又はオキシン化合物のうちから1
種を選択し又は2種以上を組み合わせ、水又は有機溶媒
に溶解又は懸濁させた溶液に浸漬処理することを特徴と
する無電解めっき方法である。
表面に形成した絶縁板に回路部となるべき箇所以外の部
分に無電解めっき用レジストを設け化学粗化液に浸漬し
てレジストが形成されていない箇所の表面を選択的に粗
化した後であって、無電解めっき液に浸漬して回路パタ
ーンを形成する前にトリアゾール化合物、トリアジン化
合物、イミダゾール化合物、テトラゾール化合物、芳香
族第2アミン化合物、又はオキシン化合物のうちから1
種を選択し又は2種以上を組み合わせ、水又は有機溶媒
に溶解又は懸濁させた溶液に浸漬処理することを特徴と
する無電解めっき方法である。
本発明に使用できる処理液は、トリアゾール化合物とし
ては、1,2.3 1−リアゾール、1,2.4 ト
リアゾール、又はこれらの誘導体、例えば1フェニル−
1,2,3トリアゾール、2フェニル−1,2,3トリ
アゾール、lフェニル−1,2,4)リアゾール、4フ
ェニル−1,2,41−リアゾール、3オキシ−1゜2
.4トリアゾール、3アミノ−1,2,4)リアゾール
、3−(Nサリチロイル)アミノ−1,2,4トリアゾ
ール、ベンゾトリアゾール、トリルトリアゾール、トリ
ルトリアゾールに塩、ベンゾトリアゾールに塩、ヘンシ
トリアゾール−2メチルイミダゾールアダクト等である
。
ては、1,2.3 1−リアゾール、1,2.4 ト
リアゾール、又はこれらの誘導体、例えば1フェニル−
1,2,3トリアゾール、2フェニル−1,2,3トリ
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.4トリアゾール、3アミノ−1,2,4)リアゾール
、3−(Nサリチロイル)アミノ−1,2,4トリアゾ
ール、ベンゾトリアゾール、トリルトリアゾール、トリ
ルトリアゾールに塩、ベンゾトリアゾールに塩、ヘンシ
トリアゾール−2メチルイミダゾールアダクト等である
。
トリアジン化合物としては、1,2.3 )リアジン
、1.2.4 1−リアジン、1,3.5 )リアジ
ン又はこれらの誘導体、例えば2ジブチルアミノ4,6
ジメルカブト1,3.5 )リアジン、2ビニル−4
,6ジアミノーL3,5 )リアジン、2.4 ジア
ミノ6(2°メ・チルイミダゾリル+11’ )エチル
1,3.5 )リアジン・イソシアヌル酸付加物等であ
る。
、1.2.4 1−リアジン、1,3.5 )リアジ
ン又はこれらの誘導体、例えば2ジブチルアミノ4,6
ジメルカブト1,3.5 )リアジン、2ビニル−4
,6ジアミノーL3,5 )リアジン、2.4 ジア
ミノ6(2°メ・チルイミダゾリル+11’ )エチル
1,3.5 )リアジン・イソシアヌル酸付加物等であ
る。
イミダゾール化合物としては、2メチルイミダゾール、
2エチル4メチルイミダゾール、1ベンジル2メチルイ
ミダゾール、2フエニル4メチルイミダゾール、ウンデ
シルイミダゾール又はこれらの誘導体、例えば2メルカ
プトベンツイミダゾール、2メルカプトベンツイミダゾ
ール等である。
2エチル4メチルイミダゾール、1ベンジル2メチルイ
ミダゾール、2フエニル4メチルイミダゾール、ウンデ
シルイミダゾール又はこれらの誘導体、例えば2メルカ
プトベンツイミダゾール、2メルカプトベンツイミダゾ
ール等である。
テトラゾール化合物としては、テトラゾール又はその誘
導体、例えばフェニルテトラゾール、メルカプトテトラ
ゾール、〔ビス(2エチルヘキシル)アミノメチレン)
1,2.3.4テトラゾール、〔ビス(nブチル)ア
ミノメチレン) 1,2,3.4テトラゾール、〔ビス
(nヘキシル)アミノメチレン〕1.2,3.4テトラ
ゾール、〔ビス(nオクチル)アミノメチレン) 1,
2.3.4テトラゾール等がある。
導体、例えばフェニルテトラゾール、メルカプトテトラ
ゾール、〔ビス(2エチルヘキシル)アミノメチレン)
1,2.3.4テトラゾール、〔ビス(nブチル)ア
ミノメチレン) 1,2,3.4テトラゾール、〔ビス
(nヘキシル)アミノメチレン〕1.2,3.4テトラ
ゾール、〔ビス(nオクチル)アミノメチレン) 1,
2.3.4テトラゾール等がある。
芳香族第2アミン化合物としては、オクチル化ジフェニ
ルアミン、P−(p)ルエンスルホニルアミド)ジフェ
ニレンジアミン、NN’ ジ2ナフチルP−フェニレン
ジアミン、NフェニルN°イソプロピルP−フェニレン
ジアミン、NN”;フェニルP−フェニレンジアミン等
である。
ルアミン、P−(p)ルエンスルホニルアミド)ジフェ
ニレンジアミン、NN’ ジ2ナフチルP−フェニレン
ジアミン、NフェニルN°イソプロピルP−フェニレン
ジアミン、NN”;フェニルP−フェニレンジアミン等
である。
オキシン化合物としては、オキシン(8オキシキノリン
)、7ビス(2エチルヘキシル)アミノメチレン8ヒド
ロキシキノリン、7ビス(nブチル)アミノメチレン8
ヒドロキシキノリン、7ビス(nヘキシル)アミノメチ
レン8ヒドロキシキノリン等である。
)、7ビス(2エチルヘキシル)アミノメチレン8ヒド
ロキシキノリン、7ビス(nブチル)アミノメチレン8
ヒドロキシキノリン、7ビス(nヘキシル)アミノメチ
レン8ヒドロキシキノリン等である。
これらの化合物のうちから1種を選択し又は2種以上を
組み合わせ、溶媒として、水又はメチルエチルケトン、
トルエン、キシレン、メタノール、エタノール、イソプ
ロパツール、セロソルブ、酢酸セロソルブ、ジメチルホ
ルムアミド、ジメチルスルフオキシド等の有機溶媒に溶
解し又は懸濁させ、無電解めっき前処理液とする。
組み合わせ、溶媒として、水又はメチルエチルケトン、
トルエン、キシレン、メタノール、エタノール、イソプ
ロパツール、セロソルブ、酢酸セロソルブ、ジメチルホ
ルムアミド、ジメチルスルフオキシド等の有機溶媒に溶
解し又は懸濁させ、無電解めっき前処理液とする。
そして、従来のアディティブ法による製造方法において
、無電解めっきを析出させるためにパラジウム等の無電
解めっき用触媒を含有する接着剤層を表面に形成しその
中にも同様の無電解めっき用触媒を含有する絶縁板に回
路部となるべき箇所以外の部分に無電解めっき用レジス
トを設けクロム酸等の化学粗化液に浸漬してレジストが
形成されていない箇所の表面を選択的に相化し無電解め
っき液に浸漬して回路パターンを形成する工程中、無電
解めっき液に浸漬する前にこの前処理液に浸漬する。
、無電解めっきを析出させるためにパラジウム等の無電
解めっき用触媒を含有する接着剤層を表面に形成しその
中にも同様の無電解めっき用触媒を含有する絶縁板に回
路部となるべき箇所以外の部分に無電解めっき用レジス
トを設けクロム酸等の化学粗化液に浸漬してレジストが
形成されていない箇所の表面を選択的に相化し無電解め
っき液に浸漬して回路パターンを形成する工程中、無電
解めっき液に浸漬する前にこの前処理液に浸漬する。
このときに、この前処理液の濃度は、0.1%以下であ
るとデンドライト抑制の効果が少なく、30%以上であ
ると処理が不均一になり好ましくない。最適条件は、1
〜10%である。
るとデンドライト抑制の効果が少なく、30%以上であ
ると処理が不均一になり好ましくない。最適条件は、1
〜10%である。
(作用)
銅のデンドライトは、電位差のある導体間において電位
の高い方の銅導体の溶解及び電位に低い方へのイオン移
動と電位の低い方の導体における析出現象であり、本発
明の前処理は、銅と接着剤界面の銅の溶解や溶出の抑制
又は溶出したイオンを捕捉して不活性化するものと推定
される。
の高い方の銅導体の溶解及び電位に低い方へのイオン移
動と電位の低い方の導体における析出現象であり、本発
明の前処理は、銅と接着剤界面の銅の溶解や溶出の抑制
又は溶出したイオンを捕捉して不活性化するものと推定
される。
実施例1
無電解めっき用触媒として塩化パラジウムを含有するガ
ラスクロス基材エポキシ樹脂積層板LE−168(日立
化成工業株式会社、商品名)に、同じ塩化パラジウムを
含有する接着剤でアクリロニトリルブタジェンゴムを主
成分としアルキルフェノール樹脂、エポキシ樹脂、無機
充填剤としてのシリカ、珪酸ジルコニウムを溶媒中で配
合した接着剤を塗布、乾燥し、加熱硬化して接着剤層を
形成した。
ラスクロス基材エポキシ樹脂積層板LE−168(日立
化成工業株式会社、商品名)に、同じ塩化パラジウムを
含有する接着剤でアクリロニトリルブタジェンゴムを主
成分としアルキルフェノール樹脂、エポキシ樹脂、無機
充填剤としてのシリカ、珪酸ジルコニウムを溶媒中で配
合した接着剤を塗布、乾燥し、加熱硬化して接着剤層を
形成した。
次いで、パンチプレスにより所定の位置に穴をあけた後
、無電解めっき用フォトレジストフィルムであるフォテ
フク5R−3000(日立化成工業株式会社、商品名)
を真空ラミネータによってラミネートし、回路とならな
い箇所に露光し露光されなかった部分を現像して除去し
レジストを形成した。このとき、回路幅と導体間の間隔
は、いずれもO,15mmとした。
、無電解めっき用フォトレジストフィルムであるフォテ
フク5R−3000(日立化成工業株式会社、商品名)
を真空ラミネータによってラミネートし、回路とならな
い箇所に露光し露光されなかった部分を現像して除去し
レジストを形成した。このとき、回路幅と導体間の間隔
は、いずれもO,15mmとした。
レジストを形成した絶縁板を、Cr0255gと濃硫酸
210mlとを水で希釈し1eとしたクロム酸混液の温
度55℃の溶液の中に10分間浸漬し、回路部となる部
分を選択的に化学粗化して、水洗、中和した。
210mlとを水で希釈し1eとしたクロム酸混液の温
度55℃の溶液の中に10分間浸漬し、回路部となる部
分を選択的に化学粗化して、水洗、中和した。
この絶縁板を、7%の濃度の3アミノ1,2.4 ト
リアゾール水溶液に、室温で3分間浸漬した後、水洗し
た。
リアゾール水溶液に、室温で3分間浸漬した後、水洗し
た。
次いで、無電解めっき液としてCC−41めっき液(日
立化成工業株式会社、商品名)に70℃で浸漬し、約2
0μmの銅めっきを析出させた後、スルーホール以外の
基板表面にソルダレジストをスクリーン印刷法によって
印刷塗布し加熱硬化して試験用配線板とした。
立化成工業株式会社、商品名)に70℃で浸漬し、約2
0μmの銅めっきを析出させた後、スルーホール以外の
基板表面にソルダレジストをスクリーン印刷法によって
印刷塗布し加熱硬化して試験用配線板とした。
実施例2
前処理液として、2ビニル4,6ジアミノl。
3.5トリアジンであるVT(四国化成工業株式会社、
商品名)を70℃の熱水に約2%溶解懸濁させた溶液を
用い、温度70℃で3分間浸漬処理した後、さらに、活
性化するために、塩化パラジウム0.1gと塩酸100
mlと水1000m1からなる水溶液に室温で3分間浸
漬し7%の塩酸水溶液で洗浄し次亜りん酸ソーダ10%
水溶液で中和し、無電解めっきを行った。他は、実施例
1と同様とした。
商品名)を70℃の熱水に約2%溶解懸濁させた溶液を
用い、温度70℃で3分間浸漬処理した後、さらに、活
性化するために、塩化パラジウム0.1gと塩酸100
mlと水1000m1からなる水溶液に室温で3分間浸
漬し7%の塩酸水溶液で洗浄し次亜りん酸ソーダ10%
水溶液で中和し、無電解めっきを行った。他は、実施例
1と同様とした。
実施例3
前処理として、2エチル4メチルイミダゾールの5%水
溶液に室温で5分間浸漬し、さらに、トリルトリアゾー
ルの2%メタノール水溶液(メタノールと水の容量比を
1:lにした水溶液)に、室温で5分間浸漬した他は実
施例Iと同様とした。
溶液に室温で5分間浸漬し、さらに、トリルトリアゾー
ルの2%メタノール水溶液(メタノールと水の容量比を
1:lにした水溶液)に、室温で5分間浸漬した他は実
施例Iと同様とした。
実施例4
前処理液として、〔ビス(2nヘキシル)アミノメチレ
:/)1.2,3.4テトラゾール及び3−(Nサリチ
ロイル)アミノ1,2.4)リアゾールとを同量で濃度
を1%としたg4液を用い、処理条件及びその他は実施
例1と同様とした。
:/)1.2,3.4テトラゾール及び3−(Nサリチ
ロイル)アミノ1,2.4)リアゾールとを同量で濃度
を1%としたg4液を用い、処理条件及びその他は実施
例1と同様とした。
比較例1
実施例!において、前処理液への浸漬を行わない他は同
様とした。
様とした。
このようにして得られた試験用配線板の隣接する導体間
に連続して直流50Vを印加した状態で、雰囲気を65
℃でRh95%に保ち、一定時間毎に取り出して、導体
間の絶縁抵抗を測定し、また、デンドライトの発生の有
無を顕微鏡で観察して調べた。その結果を第1表に示す
。
に連続して直流50Vを印加した状態で、雰囲気を65
℃でRh95%に保ち、一定時間毎に取り出して、導体
間の絶縁抵抗を測定し、また、デンドライトの発生の有
無を顕微鏡で観察して調べた。その結果を第1表に示す
。
ただし、この第1表においてデンドライトの発生の評価
は、以下とする。
は、以下とする。
O:デンドライトが認められない
△:デンドライトの発生が僅かに認められる×:デンド
ライトの発生が著しい 第1表 (発明の効果)
ライトの発生が著しい 第1表 (発明の効果)
Claims (1)
- 1.無電解めっきを析出させるための接着剤層を表面に
形成した絶縁板に回路部となるべき箇所以外の部分に無
電解めっき用レジストを設け化学粗化液に浸漬してレジ
ストが形成されていない箇所の表面を選択的に粗化した
後であって、無電解めっき液に浸漬して回路パターンを
形成する前にトリアゾール化合物、トリアジン化合物、
イミダゾール化合物、テトラゾール化合物、芳香族第2
アミン化合物、又はオキシン化合物のうちから1種を選
択し又は2種以上を組み合わせ、水又は有機溶媒に溶解
又は懸濁させた溶液に浸漬処理することを特徴とする無
電解めっき方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7412088A JPH01246894A (ja) | 1988-03-28 | 1988-03-28 | 無電解めっき方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7412088A JPH01246894A (ja) | 1988-03-28 | 1988-03-28 | 無電解めっき方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01246894A true JPH01246894A (ja) | 1989-10-02 |
Family
ID=13538030
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7412088A Pending JPH01246894A (ja) | 1988-03-28 | 1988-03-28 | 無電解めっき方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01246894A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007150221A (ja) * | 2005-10-27 | 2007-06-14 | Fujitsu Ltd | 多層回路基板およびその製造方法 |
JP2009259900A (ja) * | 2008-04-14 | 2009-11-05 | Toyota Motor Corp | 表層に貴金属を固定させた樹脂基板、その製造方法、回路基板、及びその製造方法 |
WO2009157244A1 (ja) * | 2008-06-24 | 2009-12-30 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 透明導電性基板、透明導電性基板の製造方法、及び電気化学表示素子 |
JP2010168612A (ja) * | 2009-01-21 | 2010-08-05 | Fujitsu Ltd | 無電解めっき物の製造方法 |
-
1988
- 1988-03-28 JP JP7412088A patent/JPH01246894A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007150221A (ja) * | 2005-10-27 | 2007-06-14 | Fujitsu Ltd | 多層回路基板およびその製造方法 |
JP2009259900A (ja) * | 2008-04-14 | 2009-11-05 | Toyota Motor Corp | 表層に貴金属を固定させた樹脂基板、その製造方法、回路基板、及びその製造方法 |
WO2009157244A1 (ja) * | 2008-06-24 | 2009-12-30 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 透明導電性基板、透明導電性基板の製造方法、及び電気化学表示素子 |
JP2010168612A (ja) * | 2009-01-21 | 2010-08-05 | Fujitsu Ltd | 無電解めっき物の製造方法 |
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