JPH01246882A - ガスレーザ発振装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、ガスレーザ発振装置に係り、特に放電部のガ
ス通風路を改良したガスレーザ発振装置に関する。

（従来の技術） 既に提案されているガスレーザ発振装置について第４図
を参照して説明する。１は円筒形の風洞ｌａを形成し、
その内部にレーザガスが充填されるガスレーザ本体であ
り、このガスレーザ本体１の内部には角筒体１ｂと基盤
２が空隙３を存して設けられている。そしてこの基盤２
には、半円柱状の一対の放電電極６が風洞１ａ外部に設
けられた高電圧電源（図示せず）に接続されている。

また上記ガスレーザ本体１の風洞１ａには、冷却器４及
びレーザガスの循環用として送風機５が設けられており
、この送風機５には、駆動モータ７が接続されている。

この駆動モータ７を作動することにより送風機５が回転
し、風洞１ａのレーザガスが風洞ｌａ内を循環して放電
電極６に流れ込む。そしてこの流れ込んだレーザガスは
放電により励起される。この放電により励起されたエネ
ルギーはレーザビームとしてレーザガスの流れる循環流
路８に直行して。

上記風洞ｌａ内を直進して外部に取出されて仕事をする
ようになっている。他方、レーザ発振したレーザガスは
放電により得たエネルギーの大部分を熱として保持して
いる。これはレー゛ザ発振にとって有害な作用をするの
で、上記冷却器４により熱交換をして冷却し、更に送風
機５により循環流路８へ圧送される。

（発明が解決しようとする課題） このように放電電極６が空隙３に突出していると、空Ｖ
Ｘ３を流れるレーザガスに対して通風抵抗が大きくなり
、所定のレーザガスを流すために送風機５によるレーザ
ガス突出圧力が高く必要になり、駆動モータの出力も大
きくなる。このことはレーザ発振器全体の効率を悪くす
ることになる。

また、レーザビームの安定性は放電の安定性に大きく依
存しており、放電電極６の空隙３における放電の安定性
は、空隙３に流れるレーザガスの流速分布に大きく依存
する。

放電電極６が空隙３に突出していると、前記圧力損失と
ともにレーザガスの流速分布を乱し、空隙３における放
電の安定性が悪くなり、この結果レーザビームの安定性
が悪くなるという問題点があった。

そこで本発明は、上記の問題点を解決するために、ガス
レーザ発振装置の高効率化、および安定したレーザビー
ムを発生できるガスレーザ発振装置を提供することを目
的とする。

〔発明の構成〕

（課題を解決するための手段） 上記目的を達成するため本発明のガスレーザ発振装置は
放電部の放電電極の陽極及び陰極を基盤に埋め込み、放
電部のレーザガス流入口に円弧状（ベルマウス形状）の
縮流路を設けるとともに、放電部のレーザガス流出口に
ディフューザー形状の拡大流路を設けた構成とする。

（作　用） 本発明は上記のように構成されているので、放電部の空
隙内に突起物が無いため、レーザガスが放電部を流れる
ときの圧力損失が小さくなり、送風機を駆動するモータ
の出力を小さくできる。また、放電部に流れるレーザガ
スの放電部内の流速分布が均一になり、レーザビームを
安定且つ均一に発振することが可能となる。

（実施例） 以下、本発明によるガスレーザ発振装置の一実施例につ
いて第１図ないし第３図を参照して説明する。なお第４
図と同一部分には、同一符号を用い説明は省略する。

第１図において、風洞ｌａ内の放電部９には基盤１０に
埋め込まれた放電電極１１が設けられている。

放電部９のレーザガス流入口１２には円弧状の縮流路１
３が設けられている。また、レーザガス流出口にはディ
フューザー形状の拡大路１４が設けられている。

ここで、放電部９の詳細を、第２図および第３図を参照
して説明する。

放電部９のレーザガス流入口１２の縮流路１３は取付は
板１５ａに取付けられており、縮流路１３は側板１５ｂ
により一体物となっており同様に基盤１０、放電電極１
１、拡大路１４も一体となっている。基盤１゜は、第２
図に示すように勾配となっており、さらに第３図に示す
ように、第２図の　ｉｆ断面ではお互いに平行になって
いる。その延長線１６ａ、１６ｂは放電電極１１ａ、ｌ
ｌｂの頂点１７ａ、　１７ｂと結ばれるようになってい
る。また拡大路１４はディフューザー形状をしており、
角度１４ａは８°〜１３°の角度がとられている。なお
縮流路１３、拡大路１４は１図面に直角方向には同一形
状をしている。１８はレーザガス流、１９は○リング、
２０は防風板である。

このような構成において、駆動モータ７を作動し送風機
を回転させることにより風洞ｌａ内のレーザガスは風洞
ｌａ内を循環し放電電極に流れ込む。

放電部に流れ込んだレーザガスは励起されそのエネルギ
ーはレーザガスの流れる循環流路に直行し、風洞ｌａ内
を直進し外部に取り出されて仕事をする。

本実施例では放電電極６は空隙３に突出していないため
１通風抵抗は小さくなり、送風機５による突出圧力は低
くなり従って駆動モータの出力を小さくすることができ
る。

尚１本実施例では放電電極の頂点を基盤ｉｏの延長線と
結ばれるようにしたが必ずしもこのような位置をする必
要はなく放電部を流れるレーザガスの流速分布が均一と
なるような位置であれば良い。

また縮流路１３、拡大路１４を形成する材質は、Ｗ！を
板を曲げたもの、あるいは、ブロック状のものにしても
効果は同じである。さらに取付は板１５ａは、風洞１と
取外しができるようにすることにより、放電部９全体を
取外しができるようになり、保守点検が容易になる。

〔発明の効果〕

以上説明したように１本発明によれば、放電電極を基盤
より突出しないようにして設けたことにより、放電部を
通過するレーザガスによる圧力損失を低減して、送風機
の出力を小さくし、送風機駆動モータの出力を少なく出
来ることにより、レーザ発振器の総合効率を向上するこ
とができる。

又、放電部の空隙を流れるレーザガスの流速分布を均一
にでき、放電を安定させることができ、安定したレーザ
ビームを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例によるガスレーザ発振装置の
概略図、第２図は第１図の放′電部断面図、第３図は第
２図の　１−１断面図、第４図は従来のガスレーザ発振
装置を示す概略図である。 １・・・ガスレーザ本体、１ａ・・・風洞、６．１１・
・・放電電極、　１０・・・基盤、１３・・・縮流路、
　　　　１４・・・拡大路。 代理人　弁理士　　則　近　憲　借 間　　　第子丸　健 第１図 ■ 第２図 第３図 第４図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. レーザガスが封入された風洞内に、前記レーザガスを励
   起する放電電極を有する放電部と、前記風洞内のレーザ
   ガスを循環させる送風機と、前記レーザガスを冷却する
   冷却器とを備えたガスレーザ発振装置において、前記放
   電部の放電電極を放電部の空隙部に突出しないように配
   設するとともに前記放電部のレーザガス流入口に円弧状
   の縮流路をレーザガス流出口にディフューザー形状の拡
   大路を設けたことを特徴とするガスレーザ発振装置。