JPH01244642A - Semiconductor integrated circuit device - Google Patents

Semiconductor integrated circuit device

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Publication number
JPH01244642A
JPH01244642A JP7295388A JP7295388A JPH01244642A JP H01244642 A JPH01244642 A JP H01244642A JP 7295388 A JP7295388 A JP 7295388A JP 7295388 A JP7295388 A JP 7295388A JP H01244642 A JPH01244642 A JP H01244642A
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JP
Japan
Prior art keywords
input
basic cell
area
chips
gates
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP7295388A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Katsuji Satomi
勝治 里見
Kazuhiro Otani
一弘 大谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electronics Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electronics Corp filed Critical Matsushita Electronics Corp
Priority to JP7295388A priority Critical patent/JPH01244642A/en
Publication of JPH01244642A publication Critical patent/JPH01244642A/en
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  • Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)

Abstract

PURPOSE:To obtain a semiconductor integrated circuit device having the excellent efficiency of the usage of gates without preparing multikinds of master slices by cutting the master slice, in which basic cell blocks are arranged to a matrix shape, at a unit containing at least one basic cell block and forming chips. CONSTITUTION:Basic cell blocks in which regions 5 for cutting are shaped around regions 4 for forming input/output pads are arranged to a matrix shape to form a master slice 6, and the master slice 6 is cut at a unit including at least one basic cell block 1 according to the number of gates required, thus shaping chips. Contact holes and input/output cells and input/output pads in a selective manner through a metallic wiring process are formed to the cut chips, thus constituting chips having different gate scale. The cut chips correspond to the number of gates required, thus improving the efficiency of the usage of the gates.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はマスタスライス方式の半導体集積回路装置に関
するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to a master slice type semiconductor integrated circuit device.

従来の技術 従来のマスタスライス方式の半導体集積回路装置では、
ゲート規模の異なるマスタスライスを十数種類準備し、
異なる回路規模に対応して、それぞれのマスタスライス
を選択していた。
Conventional technology In the conventional master slice method semiconductor integrated circuit device,
Prepare more than ten types of master slices with different gate sizes,
Each master slice was selected to correspond to different circuit scales.

発明が解決しようとする課題 しかし、このような状態で、未使用ゲート数を減らし、
ゲートの使用効率を上げるためには、多種類のマスター
スライスを準備する必要があった。
Problems to be Solved by the Invention However, in this situation, it is possible to reduce the number of unused gates and
In order to increase the efficiency of gate usage, it was necessary to prepare many types of master slices.

本発明は上記従来の問題を解決するもので、多種類のマ
スタースライスを準備することなく、ゲートの使用効率
の良好な半導体集積回路装置を提供することを目的とす
るものである。
The present invention is intended to solve the above-mentioned conventional problems, and it is an object of the present invention to provide a semiconductor integrated circuit device with good gate usage efficiency without having to prepare many types of master slices.

課題を解決するための手段 上記課題を解決するため本発明は、切断用領域および入
出力パッド形成用領域を周辺に有する一定ゲート規模の
ベーシックセルブロックがマトリックス状に配列された
マスタスライスを、前記ベーシックセルブロックを少な
くとも1個含む単位で切断してチップを形成したもので
ある。
Means for Solving the Problems In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a master slice in which basic cell blocks of a constant gate size are arranged in a matrix, having a cutting area and an input/output pad forming area around the master slice. Chips are formed by cutting into units containing at least one basic cell block.

さらに、本発明は、上記チップにおいて、複数個のベー
シックセルブロック周辺の入出力パッド形成用領域のう
ち、実際に切断する部分に隣接する領域にのみ入出力パ
ッドを形成したものである。
Furthermore, in the present invention, the input/output pads are formed only in the area adjacent to the part to be actually cut out of the input/output pad forming areas around the plurality of basic cell blocks in the chip.

作用 上記構成により、マスタスライスを、必要なゲート数に
応じて適当な切断用領域で切断して用いることにより、
異なるゲート規模のチップを容易に構成することが可能
となり、従来のように多種類のマスタスライスを準備す
る必要がなくなり、しかも切断したチップは必要なゲー
ト数に応じたものなので、ゲートの使用効率は良好であ
る。
Effect With the above configuration, by cutting the master slice in an appropriate cutting area according to the required number of gates,
It is now possible to easily configure chips with different gate sizes, eliminating the need to prepare multiple types of master slices as in the past, and since the cut chips correspond to the required number of gates, gate usage efficiency is improved. is in good condition.

さらに、入出力パッド形成用領域のうち、実際に切断す
る部分に隣接する領域のみ入出力パッドを形成すること
により、入出力パッドを形成しない入出力パッド形成用
領域はブロック間配線領域として使用することができ、
効率のよい配線を行うことができる。
Furthermore, by forming input/output pads only in the area adjacent to the part to be actually cut out of the area for forming input/output pads, the area for forming input/output pads where no input/output pads are not formed can be used as an inter-block wiring area. It is possible,
Efficient wiring can be performed.

実施例 以下、本発明の一実施例を図面に基づき説明する。Example Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described based on the drawings.

第1図は本発明の一実施例を示す半導体集積回路装置の
概略図、第2図は同半導体集積回路を構成する最小単位
のベーシックセルブロックのR略図である0本実施例に
おいてはCMOSマスタスライス方式半導体集積回路の
例について説明する。
FIG. 1 is a schematic diagram of a semiconductor integrated circuit device showing an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic diagram of a basic cell block, which is the minimum unit constituting the semiconductor integrated circuit. An example of a slice type semiconductor integrated circuit will be explained.

第2図において、1は最小単位のベーシックセルブロッ
クで、ベーシックセルが配線領域3を隔ててアレイ状に
並べられ、交互に配置されたベーシック配置領域2およ
び配線領域3の周辺に入出力パッド形成用領域4が設け
られている。そして、第3図に示すように、入出力パッ
ド形成用領i!!114の周辺に切断用領域5が設けら
れて形成されたベーシックセルブロックがマトリックス
状に配列されてマスタスライス6が形成され、このマス
タスライス6を、必要なゲート数に応じて、ベーシック
セルブロック1を少なくとも1個含む単位で切断してチ
ップが形成される。たとえば、必要なゲート規模が、ベ
ーシックセルブロック1に設けられたゲート数の4倍で
ある場合には、第3図に示すように、ベーシックセルブ
ロック1をB r l+B+i、B□、B22の位置の
4個を運択し、このB ll+ 812. B 21.
 B 22の位置のベーシックセルブロック1の周辺の
切断用領域5を切断線ρに沿って切断する。すなわち、
第1図において、切断用領域5のうち使用切断領域5a
に沿って切断し、ベーシックセルブロック1の間の未使
用切断領域5bは切断しない、そして、第1図において
、入出力パッド形成用領域4のうち、切断線ρに隣接す
る領域の使用入出力パッド形成領域4aにのみ入出力パ
ッドが形成され、その他の領域は未使用入出力パッド形
成領域4bとする。同様に、人出カバラドを形成した使
用入出力パッド形成領域4aに隣接するベーシックセル
配置領域2の入出力セル構成領域2aにのみ入出力セル
を形成し、残りの領域の内部マクロセル構成領域2bに
内部マクロセルを形成する。そして、ベーシックセルブ
ロック位置のB、、、 B、2. B2.、 B21間
の未使用パッド形成領域4bと未使用切断領域5bはブ
ロック間配線領域として使用する。
In FIG. 2, 1 is the minimum unit basic cell block, in which basic cells are arranged in an array across a wiring area 3, and input/output pads are formed around the basic placement area 2 and wiring area 3, which are arranged alternately. A storage area 4 is provided. Then, as shown in FIG. 3, the input/output pad forming area i! ! A master slice 6 is formed by arranging basic cell blocks formed by providing a cutting area 5 around the cell block 114 in a matrix, and this master slice 6 is divided into basic cell blocks 1 according to the required number of gates. Chips are formed by cutting into units containing at least one. For example, if the required gate scale is four times the number of gates provided in basic cell block 1, as shown in FIG. Select 4 of these B ll+ 812. B21.
The cutting area 5 around the basic cell block 1 at the position B22 is cut along the cutting line ρ. That is,
In FIG. 1, a used cutting area 5a of the cutting area 5 is shown.
The unused cutting area 5b between the basic cell blocks 1 is not cut along the line ρ, and in FIG. Input/output pads are formed only in the pad forming area 4a, and the other areas are unused input/output pad forming areas 4b. Similarly, input/output cells are formed only in the input/output cell configuration area 2a of the basic cell arrangement area 2 adjacent to the used input/output pad formation area 4a in which the crowded cabaret is formed, and the input/output cells are formed in the internal macro cell configuration area 2b of the remaining area. Forms an internal macrocell. Then, the basic cell block position B, , B, 2. B2. , B21, the unused pad forming area 4b and the unused cutting area 5b are used as an inter-block wiring area.

また、最小単位のベーシックセルブロック1のゲート数
で構成可能な回路を形成する場合には、パッド形成用領
域4に隣接するベーシックセルで入出力セルを構成し、
かつ全てのパッド形成用領域4にパッドを形成し、切断
用領域5は全て切断して1チツプに最小単位ブロックが
1つ含まれた構成の半導体集積回路装置とする。そして
、最小単位のベーシックセルブロック1のゲート数より
大きい回路を形成する場合には、ベーシックセルブロッ
ク位置のB、、、8.2の2ブロック位置を1チツプに
含めるように切断をする。さらにより大きなゲート数を
必要とする場合には、所要のゲート数が得られるように
ベーシックセルブロック1を1チツプ中にn1xn2個
含むように切断を行う、この場合、ベーシックセルブロ
ックはB1.。
In addition, when forming a circuit that can be configured with the number of gates in the minimum unit basic cell block 1, input/output cells are configured with basic cells adjacent to the pad formation area 4,
Pads are formed in all pad forming regions 4, and all cutting regions 5 are cut to obtain a semiconductor integrated circuit device having a structure in which one minimum unit block is included in one chip. When forming a circuit with a larger number of gates than the minimum unit basic cell block 1, cutting is performed so that two block positions B, . . . , 8.2 of the basic cell block positions are included in one chip. If a larger number of gates is required, the basic cell block 1 is cut so that n1xn2 are included in one chip to obtain the required number of gates. In this case, the basic cell block is B1. .

B10・・・、 B1m1 、 B211・・・、kt
 +・・・+ B m 21・・・18ml*2の位置
のものが使用される。そして、切断した領域に沿った部
分に入出力パッドを形成し、入出力セルを構成する。
B10..., B1m1, B211..., kt
+...+B m 21...18ml*2 is used. Then, input/output pads are formed along the cut areas to configure input/output cells.

入出力セルを構成する方法としては、次のような方法が
有効である。たとえば、入出力保護回路素子、入力スレ
ッショルドレベルを決めるのに必要な特殊サイズのトラ
ンジスタなどをパッド形成用領域内に専用回路として持
つ方法がある。この場合、単に論理やバッファ能力を実
現するトランジスタは、パッド形成用領域に隣接するベ
ーシックセルトランジスタを使用し、前記専用回路と合
わせて入出力バッフγを横1戊する。
The following method is effective as a method for configuring input/output cells. For example, there is a method in which an input/output protection circuit element, a specially sized transistor necessary for determining an input threshold level, and the like are provided as a dedicated circuit in the pad forming area. In this case, a basic cell transistor adjacent to the pad formation area is used as a transistor that simply realizes logic or buffer capability, and together with the dedicated circuit, the input/output buffer γ is horizontally cleared.

また、入出力バッファ用の特殊サイズのトランジスタを
得る方法としては、第4図(a)に示すような構成のベ
ーシックセルを用いる方法がある。
Further, as a method of obtaining a special size transistor for an input/output buffer, there is a method of using a basic cell having a structure as shown in FIG. 4(a).

このベーシックセルは、第4図(b)に示す一般的な内
部ベーシックセルのゲート幅を分割して、トランジスタ
数を2倍の8個とし、NMO8,PMO8のゲートを分
離している。このため、第4図(b)のNMO8,PM
OSゲート共通のベーシックセルよりもコンタクトホー
ルおよび金属配線の工程でより柔軟に回路が構成できる
。ゲートの分割比は入出力バッファ用特殊サイズトラン
ジスタが構成できるように取り、入出力バッファ構成時
にこの特殊サイズトランジスタを使用する。内部マクロ
セルを構成する場合には、分割したゲート・ソースまた
はドレインをコンタクトホールおよび金属配線で接続し
第4図(b)に示すものと同様のトランジスタサイズと
して使用する。
In this basic cell, the gate width of the general internal basic cell shown in FIG. 4(b) is divided, the number of transistors is doubled to eight, and the gates of NMO8 and PMO8 are separated. For this reason, NMO8, PM in Fig. 4(b)
The circuit can be configured more flexibly in the contact hole and metal wiring process than in the case of a basic cell that is common to OS gates. The gate division ratio is set so that a special size transistor for the input/output buffer can be constructed, and this special size transistor is used when constructing the input/output buffer. When constructing an internal macrocell, the divided gates, sources, or drains are connected through contact holes and metal wiring, and used as a transistor size similar to that shown in FIG. 4(b).

このように、同一のマスタスライスから必要なゲート数
に応じてベーシックセルブロック1を1個または複数個
を含む単位で切断し、この切断したチップにおいてコン
タクトホールおよび金属配線工程で選択的に入出力セル
および入出力パッド形成を行うことにより、ゲート規模
の異なるチップを構成することができる。また、切断し
たチップは必要なゲート数に応じたものなので、ゲート
の使用効率は良好である。′&た未使用人力パッド形成
領域と未使用切断領域とをブロック間配線領域として使
用するので効率のよい配線ができる。
In this way, the basic cell block 1 is cut into units containing one or more cells according to the required number of gates from the same master slice, and the input/output is selectively performed in the cut chips through the contact hole and metal wiring process. By forming cells and input/output pads, chips with different gate sizes can be configured. In addition, since the cut chips correspond to the number of required gates, the gate usage efficiency is good. Since the unused manual pad forming area and the unused cutting area are used as the inter-block wiring area, efficient wiring can be achieved.

発明の効果 以上、本発明によれば、切断用領域および人出カパッド
形成用領域を周辺に有する一定ゲート規模のベーシック
セルブロックがマトリックス状に配列されたマスタスラ
イスを、前記ベーシックセルブロックを少なくとも1個
含む単位で切断してチップを形成しなので、ゲート規模
に応じて複数種類のチップを構成することができる。し
たがって、ゲート規模に応じた多種類のマスタスライス
を準備する必要はなくなり、マスタスライスの在1車ロ
スが減る。また同一のマスタスライスのみ製造するため
、量産効果によりチップの製造歩留が向上する。さらに
、ゲート規模の異なるベーシックセルブロックのマスタ
スライスを2〜3種類準Omするだけできめ細かなゲー
ト規模対応が容易となる。
As described above, according to the present invention, a master slice in which basic cell blocks of a constant gate size having a cutting area and a capacitor pad forming area around the periphery are arranged in a matrix, and at least one of the basic cell blocks is Since the chips are formed by cutting into units containing the same number of gates, it is possible to construct multiple types of chips depending on the gate scale. Therefore, there is no need to prepare many types of master slices depending on the gate size, and the loss of master slices for one car is reduced. Furthermore, since only the same master slice is manufactured, the chip manufacturing yield is improved due to the mass production effect. Further, fine-grained support for gate scales can be easily achieved by simply creating two or three types of master slices for basic cell blocks with different gate scales.

さらに、入出力パッド形成用gn域のうち、実際に切断
する部分に隣接する領域にのみ入出力パッドを形成する
ことにより、未使用の入出力パッド形成用領域をブロッ
ク間配線領域として使用でき、効率のよい配線ができる
Furthermore, by forming input/output pads only in the area adjacent to the part to be actually cut out of the GN area for forming input/output pads, the unused area for forming input/output pads can be used as an inter-block wiring area. Enables efficient wiring.

付加的効果として、既に設計開発済のチップ複数個使用
して1チツプ化する場合には、開発済のマスクデータを
そのまま使用し、開発済チップブロック間の配線だけで
構成できるため開発期間を短縮することができ、かつ特
性も保証されており信頼性の高い設計となる。
As an additional effect, when combining multiple chips that have already been designed and developed into one chip, the developed mask data can be used as is, and the development period can be shortened because it can be configured only by wiring between the developed chip blocks. The design is highly reliable, with guaranteed characteristics.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の半導体集積回路装置の一実施例を示す
概略図、第2図は同半導体集積回路装置を構成する最小
単位のベーシックセルブロックの概略図、第3図は同半
導体集積回路装置のマスタスライスの概略図、第4図(
a)は同半導体集積回路に使用される入出力セルを構成
可能なベーシックセルのトランジスタレベルの構成図、
第4図(b)は−船釣なCMOSベーシックのトランジ
スタレベルの構成図である。 1・・・ベーシックセルブロック52・・・ベーシック
セル配置領域、2a・・・入出力セル構成領域、2b・
・・内部マクロセル構成領域、3・・・配線9i域、4
・・・入出力パッド形成用領域、4a・・・使用入出力
パッド形成領域、4b・・・未使用入出力パッド形成領
域、5・・・切断用領域、5a・・・使用切断領域、5
b・・・未使用切断領域、6・・・マスタスライス。 代理人   森  本  義  弘 第1図 r・−・ベージ−/7も」し丁o −772−・−人血
力tル4成臂U八 lb −8部マフロゼル構底有+A 3・−配本艮侑jへ 、rb−−・【便唱四町4μへ 第2図
FIG. 1 is a schematic diagram showing an embodiment of the semiconductor integrated circuit device of the present invention, FIG. 2 is a schematic diagram of a basic cell block, which is the minimum unit constituting the semiconductor integrated circuit device, and FIG. 3 is a schematic diagram of the semiconductor integrated circuit device. Schematic diagram of the master slice of the device, Figure 4 (
a) is a transistor level configuration diagram of a basic cell that can configure input/output cells used in the semiconductor integrated circuit;
FIG. 4(b) is a transistor level configuration diagram of a basic CMOS. 1... Basic cell block 52... Basic cell arrangement area, 2a... Input/output cell configuration area, 2b...
... Internal macrocell configuration area, 3... Wiring 9i area, 4
... Input/output pad formation area, 4a... Used input/output pad formation area, 4b... Unused input/output pad formation area, 5... Cutting area, 5a... Used cutting area, 5
b...Unused cutting area, 6...Master slice. Agent Yoshihiro Morimoto 1st Figure R・-・Bage-/7” Shio-772-・-Human Blood Power Tru 4 Arms U8 LB-8 Parts Mafrozel Structure + A 3・- Handout To Ayuuj, rb--・[To Bensho Shimachi 4μ Figure 2

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、切断用領域および入出力パッド形成用領域を周辺に
有する一定ゲート規模のベーシックセルブロックがマト
リックス状に配列されたマスタスライスを、前記ベーシ
ックセルブロックを少なくとも1個含む単位で切断して
チップを形成した半導体集積回路装置。 2、複数個のベーシックセルブロック周辺の入出力パッ
ド形成用領域のうち、実際に切断する部分に隣接する領
域にのみ入出力パッドを形成した請求項1記載の半導体
集積回路装置。
[Scope of Claims] 1. A master slice in which basic cell blocks of a constant gate size having a cutting area and an input/output pad forming area around the periphery are arranged in a matrix, a unit including at least one basic cell block. A semiconductor integrated circuit device that is cut into chips. 2. The semiconductor integrated circuit device according to claim 1, wherein the input/output pads are formed only in the area adjacent to the portion to be actually cut out of the input/output pad forming areas around the plurality of basic cell blocks.
JP7295388A 1988-03-25 1988-03-25 Semiconductor integrated circuit device Pending JPH01244642A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7295388A JPH01244642A (en) 1988-03-25 1988-03-25 Semiconductor integrated circuit device

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006521684A (en) * 2002-12-18 2006-09-21 イージック コーポレーション Manufacturing method of semiconductor device

Cited By (1)

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