JPH01239427A - 受光素子評価用冷却容器 - Google Patents
受光素子評価用冷却容器Info
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- JPH01239427A JPH01239427A JP6649588A JP6649588A JPH01239427A JP H01239427 A JPH01239427 A JP H01239427A JP 6649588 A JP6649588 A JP 6649588A JP 6649588 A JP6649588 A JP 6649588A JP H01239427 A JPH01239427 A JP H01239427A
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- Japan
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- container
- light
- heater
- photodetector
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- Pending
Links
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Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は受光素子評価用冷却容器に関し、特に赤外領域
の受光可能な半導体固体受光素子を収容する真空冷却容
器に関する。
の受光可能な半導体固体受光素子を収容する真空冷却容
器に関する。
（従来の技術）
一般的な受光素子評価用窓付き真空冷却容器の断面図を
第２図に示す（たとえば株式会社東理社Ｃ８−Ｎ８００
（製品名））。金属製の真空容器１の内部を真空引き用
バルブ２を通して外部真空ポンプにより１Ｏ−４Ｐａ程
度に排気した後、断熱リング３によりつり下げられた冷
媒だめ４中に液体窒素等の冷媒５を貯ることにより、冷
媒だめ底部に取りつけられている銅ブロック６および受
光素子７を冷却している。
第２図に示す（たとえば株式会社東理社Ｃ８−Ｎ８００
（製品名））。金属製の真空容器１の内部を真空引き用
バルブ２を通して外部真空ポンプにより１Ｏ−４Ｐａ程
度に排気した後、断熱リング３によりつり下げられた冷
媒だめ４中に液体窒素等の冷媒５を貯ることにより、冷
媒だめ底部に取りつけられている銅ブロック６および受
光素子７を冷却している。
光１００は前記受光素子前面の窓８より入射される。
冷却時にガスを吸着し、真空度を高めるために、多孔質
のガス吸着剤９が装填されている。前記素子交換は窓８
の取り付は部分または底ブタ１ｏを開けて行う。受光素
子からの信号はコネクタを通して取り出される。
のガス吸着剤９が装填されている。前記素子交換は窓８
の取り付は部分または底ブタ１ｏを開けて行う。受光素
子からの信号はコネクタを通して取り出される。
微弱な赤外線を検出する受光素子、特に半導体受光素子
は検出時の熱乱雑音を減少させる必要がある。そのため
、低温（例えば−２４０〜−１５０’Ｃ）で動作させる
必要があり、上述した容器に収容して使用するのが通例
である。また赤外線受光素子に限らず、受光素子の低温
での動作試験を行う場合には第２図に示したのと同様の
容器に収容することが通例である。
は検出時の熱乱雑音を減少させる必要がある。そのため
、低温（例えば−２４０〜−１５０’Ｃ）で動作させる
必要があり、上述した容器に収容して使用するのが通例
である。また赤外線受光素子に限らず、受光素子の低温
での動作試験を行う場合には第２図に示したのと同様の
容器に収容することが通例である。
受光素子評価用冷却容器としては上述の冷媒を利用した
ものの他に、ジュール・トムソン効果（例えば窒素ガス
を用いたもの）を利用したもの、循環冷部器によるもの
などがあるがいずれも冷却方法が異なるだけで容器の全
体構成は同様の仕様となっている。
ものの他に、ジュール・トムソン効果（例えば窒素ガス
を用いたもの）を利用したもの、循環冷部器によるもの
などがあるがいずれも冷却方法が異なるだけで容器の全
体構成は同様の仕様となっている。
（発明が解決しようとする課題）
かかる構造の冷却容器は受光素子の変換作業が簡単に行
える利点がある反面、通常、交換時に容器内を大気圧に
した際に容器内壁および窓材に必ず水分が付着する。ま
た、受光素子自身にも水分が付着している。素子の評価
をする場合、収納する容器等による外部要因により評価
結果の信頼性を低下させないよう細心の注意をはられな
ければならないのはもちろんのことであるが、また、素
子交換および真空引きなどに要する時間を短縮して評価
作業の効率化を計ることも重要である。従来の容器では
、前述の付着水分を取りのぞくことが困難である。容器
の窓材または受光素子表面に付着した水分は特定の赤外
光を吸収する性質がある。そのため、外部から入射した
光のうち特定の赤外光については見積った光量よりも少
ない光量しか受光素子に致達しない。また、前述の吸収
の他にも光の散乱による影響等が考えられ、評価結果の
信頼性を低下させてしまう。前述の付着水分は長時間の
真空引きにより一部取りのぞくことができるが、作業が
長時間化してしまう。
える利点がある反面、通常、交換時に容器内を大気圧に
した際に容器内壁および窓材に必ず水分が付着する。ま
た、受光素子自身にも水分が付着している。素子の評価
をする場合、収納する容器等による外部要因により評価
結果の信頼性を低下させないよう細心の注意をはられな
ければならないのはもちろんのことであるが、また、素
子交換および真空引きなどに要する時間を短縮して評価
作業の効率化を計ることも重要である。従来の容器では
、前述の付着水分を取りのぞくことが困難である。容器
の窓材または受光素子表面に付着した水分は特定の赤外
光を吸収する性質がある。そのため、外部から入射した
光のうち特定の赤外光については見積った光量よりも少
ない光量しか受光素子に致達しない。また、前述の吸収
の他にも光の散乱による影響等が考えられ、評価結果の
信頼性を低下させてしまう。前述の付着水分は長時間の
真空引きにより一部取りのぞくことができるが、作業が
長時間化してしまう。
本発明は容器内および受光素子上の水分による吸収の影
響を取りのぞき、受光素子の正確な評価を短時間で行う
ことを目的とする。
響を取りのぞき、受光素子の正確な評価を短時間で行う
ことを目的とする。
（課題を解決するための手段）
本発明の受光素子評価用冷却容器は、容器の外壁または
外壁から断熱された受光素子のとりつけられた冷却部分
あるいはその両方に加熱装置を設けている。
外壁から断熱された受光素子のとりつけられた冷却部分
あるいはその両方に加熱装置を設けている。
（作用）
このような構成にしであることによって、真空引き中に
容器を加熱することができる。これにより、真空引き中
に容器内の水分を効率良く取りのぞくことができ、素子
評価時に容器内の水分による光の吸収の影響を受けるこ
となく、正しい結果を再現性良く得ることができる。
容器を加熱することができる。これにより、真空引き中
に容器内の水分を効率良く取りのぞくことができ、素子
評価時に容器内の水分による光の吸収の影響を受けるこ
となく、正しい結果を再現性良く得ることができる。
（実施例）
第１図は本発明の受光素子評価用冷却容器の一実施例を
説明するための断面構造図である。外付はヒータ１１お
よび内部ヒータ１２が付加されている。
説明するための断面構造図である。外付はヒータ１１お
よび内部ヒータ１２が付加されている。
受光素子７の交換の際に容器内に付着した水分は容器を
真空引きする間、外付はヒータ１１および内部ヒータ１
２により加熱（８０６Ｃ〜２００°Ｃ）することで取り
のぞくことができる。最適加熱温度、最適加熱時間は冷
却容器の構造および材質によって異る。
真空引きする間、外付はヒータ１１および内部ヒータ１
２により加熱（８０６Ｃ〜２００°Ｃ）することで取り
のぞくことができる。最適加熱温度、最適加熱時間は冷
却容器の構造および材質によって異る。
その−例として、真空容器１と冷媒だめ４が金属（例え
ばアルミニウム、ステンレス）の場合、外部ポンプで９
０分間の真空引きをする時、まず、外付はヒータ１１お
よび内部ヒータ１２により、冷媒だめ４を１２０°Ｃ１
真空容器１を１５０°Ｃに加熱する。２０分が経過した
時点で内部ヒータ１２による加熱をやめ、５０分経過後
に外付はヒータ１１の加熱をやめる。真空引きを終了し
た時点で、冷媒５を注ぎ、受光素子７が十分に冷やされ
た時点から、素子の評価を行う。
ばアルミニウム、ステンレス）の場合、外部ポンプで９
０分間の真空引きをする時、まず、外付はヒータ１１お
よび内部ヒータ１２により、冷媒だめ４を１２０°Ｃ１
真空容器１を１５０°Ｃに加熱する。２０分が経過した
時点で内部ヒータ１２による加熱をやめ、５０分経過後
に外付はヒータ１１の加熱をやめる。真空引きを終了し
た時点で、冷媒５を注ぎ、受光素子７が十分に冷やされ
た時点から、素子の評価を行う。
本実施例の効果を示す実施例を以下に示す。赤外領域が
受光可能な受光素子を一２００°Ｃに冷却した時の感度
の波長特性を測定した結果を第３図に示す。本発明の容
器に収容して測定した結果を第３図（ａ）に示し、従来
の容器に収容した場合を第３図（ｂ）に示す。従来の容
器では波長ＳＰｍ付近に、容器内の窓や素子上に付着し
た水分による光の吸収の影響が見られる。上述の吸収の
程度は測定ごとに再現性がない。第３図（ｂ）の結果は
受光素子本来の特性を示していない。本発明の容器によ
る結果（第３図（ａ））には従来の容器の場合に見られ
たような水分による吸収がない。測定毎の再現性も良い
。本発明の容器を使えば、容器による影響を受けること
なく、受光素子の評価を行うことができる。
受光可能な受光素子を一２００°Ｃに冷却した時の感度
の波長特性を測定した結果を第３図に示す。本発明の容
器に収容して測定した結果を第３図（ａ）に示し、従来
の容器に収容した場合を第３図（ｂ）に示す。従来の容
器では波長ＳＰｍ付近に、容器内の窓や素子上に付着し
た水分による光の吸収の影響が見られる。上述の吸収の
程度は測定ごとに再現性がない。第３図（ｂ）の結果は
受光素子本来の特性を示していない。本発明の容器によ
る結果（第３図（ａ））には従来の容器の場合に見られ
たような水分による吸収がない。測定毎の再現性も良い
。本発明の容器を使えば、容器による影響を受けること
なく、受光素子の評価を行うことができる。
（発明の効果）
本発明の容器では真空引き時に容器を加熱することがで
きる。そのため、素子変換時などに付着した容器内の水
分を効率良く取りのぞくことができる。受光素子の評価
を行う時従来の容器では、容器中の水分に寄因する吸収
のため、素子本来の特性を正しく測定することができな
かったのに対し、本発明の容器では素子本来の特性を得
ることができる。
きる。そのため、素子変換時などに付着した容器内の水
分を効率良く取りのぞくことができる。受光素子の評価
を行う時従来の容器では、容器中の水分に寄因する吸収
のため、素子本来の特性を正しく測定することができな
かったのに対し、本発明の容器では素子本来の特性を得
ることができる。
第１図は本発明にかかる冷却容器の断面構造図、第２図
は従来の容器の断面構造図である。第３図は本発明の効
果を示すために行った比較実験結果を示す図である。 図において、１は真空容器、２は真空引き用バルブ、３
は断熱リング、４は冷媒だめ、５は冷媒、６は受光素子
取りつけ用の鋼ブロック、７は受光素子、８は光を取り
込むための窓、９はガス吸着剤、１０は底ブタ、１１は
外付はヒータ、１２は内部ヒータである。
は従来の容器の断面構造図である。第３図は本発明の効
果を示すために行った比較実験結果を示す図である。 図において、１は真空容器、２は真空引き用バルブ、３
は断熱リング、４は冷媒だめ、５は冷媒、６は受光素子
取りつけ用の鋼ブロック、７は受光素子、８は光を取り
込むための窓、９はガス吸着剤、１０は底ブタ、１１は
外付はヒータ、１２は内部ヒータである。
Claims (1)
- 容器の外壁または外壁から断熱された受光素子のとりつ
けられた冷却部分あるいはその両方に加熱装置を設けた
ことを特徴とする受光素子評価用冷却容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6649588A JPH01239427A (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 | 受光素子評価用冷却容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6649588A JPH01239427A (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 | 受光素子評価用冷却容器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01239427A true JPH01239427A (ja) | 1989-09-25 |
Family
ID=13317447
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6649588A Pending JPH01239427A (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 | 受光素子評価用冷却容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01239427A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101968521A (zh) * | 2010-08-31 | 2011-02-09 | 国网电力科学研究院 | 电器产品热稳定试验加热方法及其专用烘箱 |
-
1988
- 1988-03-18 JP JP6649588A patent/JPH01239427A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101968521A (zh) * | 2010-08-31 | 2011-02-09 | 国网电力科学研究院 | 电器产品热稳定试验加热方法及其专用烘箱 |
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