JPH02304315A - 低温プローバ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は赤外線検出素子の特性をウェハ状態で評価する
ための低温プローバに関するものである。

［従来の技術］ 従来、ウェハ状態の赤外線検出素子の特性は、アパーチ
ャの無い低温プローバにより測定されている。

第３図は、従来の低温プローバの一例を示す断面図であ
る。第３図に示すように、赤外線透過窓２から入射した
赤外線１は、液体窒素溜８上に真空吸着されたウェハ状
態の赤外線検出素子３に入射する。赤外線検出素子３か
らの信号は、プローブカード７に取り付けられたプロー
ブ６で赤外線検出素子３のパッドを接触させることによ
って読み出される構成になっている。ウェハ状態の赤外
線検出素子３は液体窒素溜８からの熱伝導で液体窒素温
度まで冷却される。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら上述した従来の低温プローバでは、液体窒
素温度に冷却したアパーチャによって視野を絞っていな
いために、背景輻射量が大きくなり、赤外線検出素子へ
の赤外線の入射パワーが正確に計算できず、感度や信号
雑音比等の特性を測定することが困難であるという欠点
があった。正確な特性を測定するためには、ウェハ状態
の赤外線検出素子をスクライブして一つ一つ赤外線検出
器に取り付ける以外に方法はなく、作業が複雑なうえに
作業時間が長くなるという欠点があった。

本発明の目的は、ウェハ状態の赤外線検出素子の特性を
、迅速かつ正確に測定することのできる低温プローバを
提供することにある。

［課題を解決するための手段］ 本発明は、内部に液体窒素が充填され、ウェハ状態の赤
外線検出素子を真空吸着すると共に冷却する液体窒素溜
と、前記赤外線検出素子に赤外光を入射させる赤外線透
過窓と、該赤外線透過窓から入射した赤外線の光路上に
開口を有し、かつ前記赤外線検出素子に入射する赤外線
の視野を絞るアパーチャと、前記赤外線検出素子に接続
し、プローブカードに装着されたプローブと、該プロー
ブに固定されて前記アパーチャを保持する保持治具とを
備え、前記アパーチャは前記保持治具を介して前記液体
窒素溜からの熱伝導により冷却されてなることを特徴と
する低温プローバである。

［作用］ 本発明では、赤外線検出素子に入射する赤外線の視野を
絞る開口を設けたアパーチャを取り付け、同アパーチャ
を液体窒素溜からの熱伝導により液体窒素で冷却して使
用するので、背景輻射量が従来よりも小さくなり、感度
や信号雑音比等の赤外線検出素子の特性をウェハ状態で
迅速かつ正確に測定することができる。

［実施例］ 次に本発明の一実施例について、図面を参照して詳細に
説明する。

第１図は本発明の一実施例の断面図でおる。本発明の低
温プローバは、第１図に示すように、内部に液体窒素９
を充填し、ウェハ状態の赤外線検出素子３を真空吸引孔
１１により真空吸着する液体窒素溜８と、赤外線検出素
子３に赤外光１を入射させる赤外線透過窓２と、この赤
外線透過窓２から入射した赤外線１の光路上に開口を有
し、かつ赤外線検出素子３に入射する赤外線１の視野を
絞るアパーチャ４と、プローブカード７に取り付けられ
、赤外線検出素子３と接続するプローブ６と、このプロ
ーブ６に固定されてアパーチャ４を保持する保持治具５
とを備えている。このように、本発明の低温プローバは
、アパーチャ４を備えることにより、ウェハ状態の赤外
線検出素子３の視野を絞る機能を持たせたものである。

以下に本実施例の低温プローバの動作について、第１図
および第２図を参照して説明する。第２図は、本発明の
一実施例の正面図である。ただし、赤外線透過窓を省略
しである。第２図に示すように、アパーチャ４を取り付
け、プローブ６に固定された保持冶具５を液体窒素溜８
に真空吸着しているウェハ状態の赤外線検出素子３のス
クライブ線１０上に接触させる。ここで、プローブ６の
先端は保持治具５より下に出るようにしておく。アパー
チャ４は、赤外線検出素子３と保持治具５を通して熱伝
導により液体窒素温度まで冷却されると同時に、プロー
ブ６は赤外線検出素子３の電極と適度の圧力で接し、電
気的接触を保つ。

このようにして、赤外線検出素子３の視野を絞ることが
でき、従来ウェハ状態では測定が困難であった感度や信
号雑音比等の特性を迅速かつ正確に測定することができ
る。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によればウェハ状態の赤外
線検出素子の感度や信号雑音比等の特性を迅速かつ正確
に測定できる低温プローバが提供される。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の断面図、第２図は本発明の
一実施例の正面図、第３図は従来の低温プローバの一例
の断面図である。 １・・・赤外線　　　　　　　２・・・赤外線透過窓３
・・・赤外線検出素子　　　４・・・アパーチャ５・・
・保持治具　　　　　　６・・・プローブ７・・・プロ
ーブカード　　　８・・・液体窒素溜９・・・液体窒素
　　　　　　１０・・・スクライブ線１１・・・真空吸
引孔

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）内部に液体窒素が充填され、ウェハ状態の赤外線
   検出素子を真空吸着すると共に冷却する液体窒素溜と、
   前記赤外線検出素子に赤外光を入射させる赤外線透過窓
   と、該赤外線透過窓から入射した赤外線の光路上に開口
   を有し、かつ前記赤外線検出素子に入射する赤外線の視
   野を絞るアパーチャと、前記赤外線検出素子に接続し、
   プローブカードに装着されたプローブと、該プローブに
   固定されて前記アパーチャを保持する保持治具とを備え
   、前記アパーチャは前記保持治具を介して前記液体窒素
   溜からの熱伝導により冷却されてなることを特徴とする
   低温プローバ。